人工晶体生长用晶体旋转机构的制作方法

文档序号:8031038阅读:503来源:国知局
专利名称:人工晶体生长用晶体旋转机构的制作方法
技术领域
本发明涉及一种人工晶体生长用晶体旋转机构,特别涉及半导体硅单晶生长和锗单晶生长用的晶体旋转机构。
背景技术
现有技术中人工晶体生长用晶体旋转机构是把担负信号传输的电刷环安装在支撑轴承的上部,定心套安装在旋转轴的上部,这样使得旋转轴的旋出部分较长,旋转平稳性差。另外,定心套安装在旋转轴的上部安装更换十分不便。
发明目的针对上述现有技术存在的缺陷,本发明的发明目的在于提供一种结构简单,使用方便,效果明显的人工晶体生长用晶体旋转机构,以提高人工晶体生长的稳定性、可靠性,并方便安装和维修。
技术内容本发明的人工晶体生长用晶体旋转机构,包括旋转轴(5)通过轴承座12、压盖(11)、旋紧螺母(6)、轴承(7)、轴承(14)和固定螺母(15)安装在基座(1)上,起信号传输作用的电刷环(4)通过紧定螺钉(13)安装固定在旋转轴(5)上,并在两个支撑轴承之间,楔形带轮(9)通过键(10)带动旋转轴(5)旋转,旋转轴(5)上设置有走线槽(8),电刷环(4)的输出线穿过走线槽(8)引到旋转轴(5)的上部,以便控制元器件。基座(1)上有一个开孔(3),以方便安装与出线。安装在基座(1)上的拨叉(2)与电刷环(4)的定环(外环)接触,以便使电刷环的输入线相对固定。由于本发明带动旋转的是一根钢丝绳软轴,因此,在旋转轴(5)的下端安装一个定心套(16),确保钢丝绳软轴的对中性,提高旋转运动的平稳性。
有益效果本发明的创新之处在于起信号传输作用的电刷环(4)通过紧定螺钉(13)安装固定在旋转轴(5)上,并在两个支撑轴承之间,缩短了旋转轴的旋出部分,在旋转轴(5)的下端安装一个定心套(16),确保钢丝绳软轴的对中性,从而了提高旋转运动的平稳性。


图1为本发明的结构示意图;图2为本发明的具体实施例。
附图中,1是基座,2是安装在基座(1)上的拨叉,3基座(1)上的一个开孔,4是电刷环,5是旋转轴,6是旋紧螺母,7是轴承,8是走线槽,9是楔形带轮,10是通过键,11是压盖,12是轴承座,13是螺钉,14是轴承,15是固定螺母,16是定心套。
参见图1所示,包括旋转轴(5)通过轴承座(12)、压盖(11)、旋紧螺母(6)、轴承(7)、轴承(14)和固定螺母(15)安装在基座(1)上,起信号传输作用的电刷环(4)通过紧定螺钉(13)安装固定在旋转轴(5)上,并在两个支撑轴承之间,楔形带轮(9)通过键(10)带动旋转轴(5)旋转,旋转轴(5)上设置有走线槽(8),电刷环(4)的输出线穿过走线槽(8)引到旋转轴(5)的上部,以便控制上部的电气控制系统。基座(1)上有一个开孔(3),以方便安装与出线。安装在基座(1)上的拨叉(2)与电刷环(4)的定环(外环)接触,以便使电刷环的输入线相对固定。由于本发明带动旋转的是一根钢丝绳软轴,因此,在旋转轴(5)的下端安装一个定心套(16),确保钢丝绳软轴的对中性,提高旋转运动的平稳性。
具体实施例方式
附图2为本发明的具体实施例;下面结合附图对本发明的内容作进一步说明参见图2所示,将卷扬提升机构安装在本发明中空心旋转轴(5)的上端,电刷环(4)的输出线与上部的电气控制系统相连接,钢丝绳软轴通过空心旋转轴(5)的中心孔,穿过定心套(16)的中心孔提拉生长人工晶体。空心旋转轴(5)通过轴承座(12)、压盖(11)、旋紧螺母(6)、轴承(7)、轴承(14)和固定螺母(15)安装在基座(1)上,起信号传输作用的电刷环(4)通过紧定螺钉(13)安装固定在空心旋转轴(5)上,并在两个支撑轴承之间,楔形带轮(9)通过键(10)带动旋转轴(5)旋转,旋转轴(5)上设置有走线槽(8),电刷环(4)的输出线穿过走线槽(8)引到空心旋转轴(5)的上部,与上部的电气控制系统相连接。基座(1)上有一个开孔(3),以方便安装与出线。安装在基座(1)上的拨叉(2)与电刷环(4)的定环(外环)接触,以便使电刷环的输入线相对固定。由于本发明带动旋转的是一根钢丝绳软轴,因此,在空心旋转轴(5)的下端安装一个定心套(16),确保钢丝绳软轴的对中性,提高旋转运动的平稳性。
本发明具有结构简单,制造容易,安装使用方便,工作稳定可靠等特点,广泛用于各类人工晶体生长设备中的晶体提拉生长运动。
权利要求
1.一种人工晶体生长用晶体旋转机构,由旋转轴等组成,其特征在于旋转轴(5)通过轴承座(12)、压盖(11)、旋紧螺母(6)、轴承(7)、轴承(14)和固定螺母(15)安装在基座(1)上,起信号传输作用的电刷环(4)通过紧定螺钉(13)安装固定在旋转轴(5)上,并在两个支撑轴承之间,楔形带轮(9)通过键(10)带动旋转轴(5)旋转,旋转轴(5)上设置有走线槽(8),电刷环(4)的输出线穿过走线槽(8)引到旋转轴(5)的上部,以便控制元器件。基座(1)上有一个开孔(3),以方便安装与出线。安装在基座(1)上的拨叉(2)与电刷环(4)的定环(外环)接触,以便使电刷环的输入线相对固定。由于本发明带动旋转的是一根钢丝绳软轴,因此,在旋转轴(5)的下端安装一个定心套(16),确保钢丝绳软轴的对中性,提高旋转运动的平稳性。
2.根据权利要求1所述的人工晶体生长用晶体旋转机构,其特征在于起信号传输作用的电刷环(4)安装固定在旋转轴(5)上,并在两个支撑轴承之间。
3.根据权利要求1或2所述的人工晶体生长用晶体旋转机构,其特征在于在旋转轴(5)的下端安装一个定心套(16),确保钢丝绳软轴的对中性,提高旋转运动的平稳性。
全文摘要
本发明涉及一种人工晶体生长用晶体旋转机构,特别涉及半导体硅单晶生长和锗单晶生长用的晶体旋转机构;包括担负信号传输的电刷环安装在支撑轴承的上部,定心套安装在旋转轴的上部,这样使得旋转轴的旋出部分较长,旋转平稳性差;另外,定心套安装在旋转轴的上部安装更换十分不便;将卷扬提升机构安装在本发明中空心旋转轴的上端,钢丝绳软轴通过空心旋转轴的中心孔,穿过安装在旋转轴下部的定心套的中心孔提拉生长人工晶体;提高人工晶体生长中旋转运动的稳定性、可靠性,并方便安装和维修,可广泛用于各类人工晶体生长设备中的晶体提拉生长运动。
文档编号C30B15/30GK101070609SQ20061004011
公开日2007年11月14日 申请日期2006年5月8日 优先权日2006年5月8日
发明者冯金生, 李留臣 申请人:江苏华盛精细陶瓷科技有限公司
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