专利名称：一种石墨加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及及一种熔融单晶硅加热装置，尤其是涉及一种圆筒式、结 构紧凑、纵向回曲式的石墨加热器。
背景技术：
目前市场上石墨加热器的品种并不多， 一般是把石墨制成管式或板式，按 其用途作为一种高温下工作的载体。
如专利号为85202601本发明的石墨筒加热炉的特征在于:在以管状电阻发 热管的内腔为加热室，用于高温加热的石墨筒加热炉内，靠近上述发热管两端的 外面，分别在其上部和下部按装了温度可调的加热器，并且使之与该发热管垂 直。
如专利号为200710036107 —种用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器，有四块 辐射式加热板，每块辐射式加热板由3A(A4，2，3)个"N"形块于底部邻接组成， 四块辐射式加热板立置并围成一个正方形，其四个角下部用角接器将相邻两块 加热板连接起来且采用碳碳复合螺栓、螺母紧固；将围成所述正方形的四块辐射 式加热板的共12A个"N"形块平均分成六组，于每组"N"形块的顶部安装一个 直立的石墨电极且所装石墨电极在围成正方形的四块辐射式加热板上均匀分布， 每个石墨电极上部分别接有水冷铜电极，将各水冷铜电极按双三角形接线方式 连接。该加热器能满足辐射面积大、加热效率高、基本性能稳定等要求并获得 所需高温，工作可靠性好。
又如专利号为94246584. 9本实用新型属于加热器制造技术领域。本实用新 型提供一种用石墨材料做加热体，电极将石墨加热体与电源联接为加热器，它不 仅是一种高温型加热器，而且可按不同的需要把石墨加工成平板、圆管、台锥等 不同形状，做成具有平面和圆管的不同形状恒温区或按一定温度梯度分布的新型加热器。本实用新型集加热体和均恒温体为一体，具有很高的效率和良好的温 度均匀性，并且适用于制备碳化物的材料与薄膜。
以上所述的电动玩具各有各的特点，其结构与本发明相异甚远。 发明内容
本实用新型的目的是为了解决熔融单晶硅加热均匀度难以平衡以及耗能大 的问题，提供一种用冷等静压方法生产的具有高强度、结构细密、理化特性均 匀的各向同性石墨，使热场保温性能好，炉内坩埚受热均衡的石墨加热器。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的这种石 墨加热器，包括电极脚、接线孔，其中电极脚设有两个，即"+ ""-"，设置 在若干块均等的长条形的石墨板组成的圆筒两侧下端，每块石墨板通过上连接 板和下连接板串接在一起，每两块石墨板之间设有均等的间隙，通入电流，整 个石墨板组加热至所需高温，具有高强度、结构细密、加热器内热温均衡之特 占。
作为优选，所述的电极脚连接在单个石墨板上，因为整个筒形的加热器是 一个整体的加热场，石墨板作为一个个"电阻"串接在一起，电极脚设有与石 墨板垂直的横撑，横撑上设有接线孔，横撑在石墨加热器工作时，可起支撑作 用，接线孔与供电源的"+ " "_"两极相接。
作为优选，所述的两块石墨板在一件下连接板的连接位置设有撑脚，这样 撑脚的受力面积较大，整个加热器在两个横撑和两个撑脚的支承下稳定性好， 撑脚的下端与横撑的底面齐平，在一些特殊的单晶硅炉热场中，下部的支承也 有特殊的情况，两个横撑和两个撑脚下部并不一定在同一平面，只要整个加热 器稳固平衡工作即可满足要求。
因此，本实用新型是一种结构设计合理，具有高强度、结构细密、理化特 性均匀的，热场保温性能好，炉内坩埚受热均衡的石墨加热器。
图1是本实用新型的一种结构示意图。
图2是本实用新型图1的A向示意图。 图3是本实用新型的一种实施例示意图。
图中1.电极脚，2.撑脚，3.接线孔，4.间隙，5.石墨板，6.连接 板，7.下连接板，8.横撑。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的 说明。
参见图1、 2，选用冷等静压方式生产的具有高强度、低耗能、结构细密、 理化特性均匀的向向同性石墨作为材料，整个石墨加热器设计成圆筒形状，在 轴向均等的把圆周分成32等分，每个等分之间设一等分的31处间隙4，得到 32块宽度相等的石墨板5，在其中的圆筒对称的对边，即相距180度角位置， 选两块石墨板5向下沿伸一定的长度，制成两个电极脚1，电极脚1的端部设一 横撑8，在横撑8上设一接线孔3，另外在两横撑8的圆周方向垂直位置的两支 石墨板5上，沿伸到与撑脚8相等的长度位置，形成撑脚2。
如图3所示，在保证整个石墨加热器的支承稳定性时，可不设撑脚2。
上述实施例是对本实用新型的说明，不是对本实用新型的限定，任何对本 实用新型的简单变换后的结构均属于本实用新型的保护范围。
权利要求1、一种石墨加热器，包括电极脚、接线孔，其特征是所述的电极脚(1)设有两个，分别设置在若干块均等的长条形的石墨板(5)组成的圆筒两侧下端，每块石墨板通过上连接板(6)和下连接板(7)串接在一起，每两块石墨板之间设有均等的间隙(4)。
2、 根据权利要求1所述的一种石墨加热器，其特征在于所述的电极脚(1) 连接在单个石墨板(5)上，电极脚(1)设有与石墨板(5)垂直的横撑(8)， 横撑上设有接线孔(3)。
3、 根据权利要求1或2所述的一种石墨加热器，其特征在于所述的两块石 墨板(5)在一件下连接板(7)的连接位置设有撑脚(2)，撑脚的下端与横撑(8)的底面齐平。
专利摘要本实用新型涉及一种熔融单晶硅加热装置，尤其是涉及一种圆筒式、结构紧凑、纵向回曲式的石墨加热器，包括电极脚、接线孔，其中电极脚有“+”“-”两极，设置在若干块均等的长条形的石墨板组成的圆筒两侧下端，每块石墨板通过上连接板和下连接板串接在一起，每两块石墨板之间设有均等的间隙，通入电流，整个石墨板组加热至所需高温，具有高强度、结构细密、加热器内热温均衡之特点。
文档编号C30B15/14GK201305648SQ20082016983
公开日2009年9月9日 申请日期2008年12月5日 优先权日2008年12月5日
发明者田党军, 钟小平 申请人:浙江舒奇蒙能源科技有限公司