一种大尺寸石英坩锅的生产工艺的制作方法

文档序号:8126683阅读:482来源:国知局
专利名称:一种大尺寸石英坩锅的生产工艺的制作方法
技术领域
本发明涉及太阳能光伏领域,具体涉及一种大尺寸石英坩锅的生产工艺。
背景技术
石英坩埚是太阳能光伏行业用于拉制硅单晶的消耗性器皿,每生产一炉硅单晶就 用掉一只坩埚,伴随着国内光伏行业的迅猛发展,石英坩埚市场需求也日益增大。目前,国内石英坩埚生产企业只能生产最大尺寸为24”的石英坩埚,与国外同行生 产的32”甚至是40”的大口径石英坩埚相比,我国研发生产28”及以上大口径石英坩埚技 术与国外尚有较大差距;同时由于单晶硅生产技术的进步,国内单晶硅生产企业迫切需要 采用一次投料量更多,单炉产能更大,成本更低,并能够拉制更大直径硅单晶的石英坩埚, 但国内单晶企业目前所用大直径直拉硅单晶用28”石英坩埚均依赖进口,成本昂贵。由于 受到生产关键技术的制约,当前国内石英坩埚生产企业还未能开发出28”及更大尺寸的石 英坩埚。

发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种大尺寸石英坩锅的生产工 艺,该工艺解决了大尺寸石英坩埚抗析晶性、高耐热性、减小应力和一次成型无畸变的控制 方法。本发明所采用的技术方案一种大尺寸石英坩锅的生产工艺,该工艺的流程为高 纯石英砂一高纯石墨模具一真空装料成型一真空电弧熔制一自然冷却脱模一石英坩埚初 步检测一冷加工喷砂、切断、倒角一石英坩埚二次检验一超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘 干一石英坩埚三次检验一真空包装一试用一改进一批量生产,该工艺具体包括以下步骤1、高纯度主要原料石英砂,检验合格投入生产试验;2、在旋转的高纯石墨模具上进行装料成型;3、将模具和成型好的石英砂移入坩埚炉内进行真空熔制;4、对熔制好的石英坩埚进行自然冷却脱模;5、初步检测石英坩埚关键指标,对达标的石英坩埚进行喷砂和研磨;6、根据客户对石英坩埚的高度要求进行切断并做倒角处理;7、对石英坩埚进行酸浸、超声、高压喷淋和烘干;8、对烘干后的石英坩埚进行终验、包装入库。有益效果1、本发明坩埚外形尺寸达到711-713mm,壁厚可控制在12_13mm之间, 杂质元素含量符合规定,抗析晶性达到规定要求,耐热性(1550°C 士 10°C下负载2kg变形率 小于4% )达标;2、本发明石英坩埚的价格比国际进口价格下降25%左右;3、本发明通过 该项目的实施,可推动国内光伏产业的低成本化发展,实现光伏产业的社会化、家庭化,拉 动内需,增加就业。缩小我国在新型能源和环保领域与发达国家的差距。
具体实施例方式下面结合具体实施方式
对本发明作进一步的说明一种大尺寸石英坩锅的生产工艺,该工艺具体包括以下步骤1、高纯度主要原料石英砂,检验合格投入生产试验;2、在旋转的高纯石墨模具上进行装料成型;3、将模具和成型好的石英砂移入坩埚炉内进行真空熔制;4、对熔制好的石英坩埚进行自然冷却脱模;5、初步检测石英坩埚关键指标,对达标的石英坩埚进行喷砂和研磨;6、根据客户对石英坩埚的高度要求进行切断并做倒角处理;7、对石英坩埚进行酸浸、超声、高压喷淋和烘干;8、对烘干后的石英坩埚进行终验、包装入库。
权利要求
一种大尺寸石英坩锅的生产工艺,其特征在于该工艺具体包括以下步骤1、高纯度主要原料石英砂,检验合格投入生产试验;2、在旋转的高纯石墨模具上进行装料成型;3、将模具和成型好的石英砂移入坩埚炉内进行真空熔制;4、对熔制好的石英坩埚进行自然冷却脱模;5、初步检测石英坩埚关键指标,对达标的石英坩埚进行喷砂和研磨;6、根据客户对石英坩埚的高度要求进行切断并做倒角处理;7、对石英坩埚进行酸浸、超声、高压喷淋和烘干;8、对烘干后的石英坩埚进行终验、包装入库。
2、在旋转的高纯石墨模具上进行装料成型;
3、将模具和成型好的石英砂移入坩埚炉内进行真空熔制;
4、对熔制好的石英坩埚进行自然冷却脱模;
5、初步检测石英坩埚关键指标,对达标的石英坩埚进行喷砂和研磨;
6、根据客户对石英坩埚的高度要求进行切断并做倒角处理;
7、对石英坩埚进行酸浸、超声、高压喷淋和烘干;
8、对烘干后的石英坩埚进行终验、包装入库。
全文摘要
本发明提供了一种大尺寸石英坩锅的生产工艺,该工艺解决了大尺寸石英坩锅抗析晶性、高耐热性、减小应力和一次成型无畸变的控制方法,该工艺具体包括以下步骤1、高纯度主要原料石英砂,检验合格投入生产试验;2、在旋转的高纯石墨模具上进行装料成型;3、将模具和成型好的石英砂移入坩锅炉内进行真空熔制;4、对熔制好的石英坩锅进行自然冷却脱模;5、初步检测石英坩锅关键指标,对达标的石英坩锅进行喷砂和研磨;6、根据客户对石英坩锅的高度要求进行切断并做倒角处理;7、对石英坩锅进行酸浸、超声、高压喷淋和烘干;8、对烘干后的石英坩锅进行终验、包装入库。
文档编号C30B15/10GK101891376SQ20091002787
公开日2010年11月24日 申请日期2009年5月18日 优先权日2009年5月18日
发明者陈宝昌 申请人:扬州华尔光伏科技有限公司
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