一种恒温拉晶炉的制作方法

文档序号:8135140阅读:543来源:国知局
专利名称:一种恒温拉晶炉的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种电炉,具体地说是涉及用于半导体碲化铋结晶、拉晶过程中 使用的恒温炉子。
背景技术
在半导体致冷器的生产过程中,晶棒需要在恒温的条件下制备,现有的炉子是这 样的用电炉丝绕制在炉腔周围,由于电阻丝闪烁,造成温度不稳定,而影响使用。
发明内容本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种温度稳定的拉晶炉。本实用新型的技术方案是这样实现的拉晶炉,包括拉晶炉本体和电阻丝,电阻丝 靠近炉腔内部的壁,其特征是炉腔内还具有一层不锈钢圈。所述的不锈钢圈外部还具有小孔。本实用新型的有益效果是具有炉腔内部温度恒定,不会因为电阻丝的闪烁出现 温度变化的缺点;另一方面,由于具有一个不锈钢圈,具有保护炉腔和电阻丝的的优点。

图1是本实用新型环保型恒温拉晶炉的横切面结构示意图其中;1、晶炉本体2、电阻丝挂具本体3、不锈钢圈4、小孔
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。如图1所示,拉晶炉,包括拉晶炉本体1和电阻丝2,电阻丝2靠近炉腔内部的壁, 其特征是炉腔内还具有一层不锈钢圈3。这个不锈钢圈靠近炉腔的壁,电炉丝在不锈钢圈 的外部。作为一种技术方案,所述的不锈钢圈3外部还具有小孔4。不锈钢圈具有平衡电炉丝的闪烁的这作用,也就保持了温度的恒定。在炉腔内部具有碰撞、污染炉壁和炉腔的情况下,不锈钢圈还具有保护作用。
权利要求一种恒温拉晶炉,包括拉晶炉本体和电阻丝,电阻丝靠近炉腔内部的壁,其特征是炉腔内还具有一层不锈钢圈。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征是所述的不锈钢圈外部还具有小孔。
专利摘要本实用新型涉及一种电炉,具体地说是涉及用于半导体碲化铋结晶、拉晶过程中使用的恒温炉子。拉晶炉,包括拉晶炉本体和电阻丝,电阻丝靠近炉腔内部的壁,其特征是炉腔内还具有一层不锈钢圈。所述的不锈钢圈外部还具有小孔。它具有炉腔内部温度恒定,不会因为电阻丝的闪烁出现温度变化的缺点;另一方面,由于具有一个不锈钢圈,具有保护炉腔和电阻丝的的优点。
文档编号C30B15/00GK201620203SQ20092029695
公开日2010年11月3日 申请日期2009年12月15日 优先权日2009年12月15日
发明者陈建卫, 陈建民, 陈燕青, 陈磊 申请人:河南鸿昌电子有限公司
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