专利名称：一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于多晶硅加工设备技术领域，涉及一种多晶硅设备硅芯炉中的高频 感应加热器，具体涉及一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器。
背景技术：
随着太阳能行业的蓬勃发展，多晶硅市场得以迅猛发展，国内外有实力的商业巨 头纷纷投入巨资介入多晶硅行业，发展规模越来越大，硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个 重要环节，需求也越来越大，因此，研发更新型、性能更为卓越的硅芯设备具有重要意义。随 着多晶硅生产规模的扩大，硅芯炉数量很大，需要投入大量的人力、物力及能源消耗，占用 面积越来越大，而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一，因此，从提高设备效 率，节能降耗，节约成本方面考虑，很有必要研发产能更优的硅芯制备设备。
发明内容本实用新型的目的是提供一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器，解决了现 有的硅芯炉效率低、能耗大、成本高的问题。本实用新型所采用的技术方案是，一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器， 包括圆柱形聚流板，聚流板的外表面环绕有铜管，铜管的两个端口处连接有连接座，铜管的 另一侧外表面焊接有用于接地的接地板，聚流板的内部中心开有化料孔，围绕化料孔设置 有三个拉制孔，围绕化料孔还设置有两个弦切孔或葫芦孔，三个拉制孔之间的间隙处、两个 弦切孔或葫芦孔之间的间隙处以及拉制孔与弦切孔或葫芦孔之间的间隙处设置有分流槽。本实用新型的特点还在于，其中的铜管与聚流板通过银焊或铜焊固定。其中的拉制孔上有倒角。其中的化料孔上有倒角。其中的拉制孔的靠近化料孔侧设置有小切孔。其中的分流槽的外端设置有小孔。其中的聚流板上靠近铜管出口端处开有斜切口。其中的聚流板的顶部设置有大锥面。其中的聚流板的底部设置有两个台阶面。本实用新型的有益效果是，一次可同时拉制三根硅芯，效率是一次拉制一根硅芯 效率的3倍，明显提高设备效率，节省人力、物力及能源。
图1为本实用新型高频感应加热器的结构示意图；图2为本实用新型高频感应加热器的外部结构示意图；图3为本实用新型高频感应加热器工作时某个瞬间电流分布以及磁力线分布示意图。图中，1.连接座，2.铜管，3.聚流板，4.接地板，5.化料孔，6.拉制孔，7.小切孔， 8.分流槽，9.小孔，10.弦切孔或葫芦孔，11.斜切口，12.大锥面，13.台阶面。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。本实用新型高频感应加热器的结构，如图1所示，包括圆柱形聚流板3，聚流板3的 外表面环绕有铜管2，铜管2与聚流板3通过银焊或铜焊固定，铜管2的两个端口处连接有 连接座1，连接座1为半圆板，铜管2的另一侧设置有用于接地的接地板4，聚流板3的内部 中心开有化料孔5，化料孔5上有倒角，围绕化料孔5设置有三个拉制孔6，拉制孔6上有大 倒角，拉制孔6的靠近化料孔5侧设置有小切孔7，围绕化料孔5还设置有两个弦切孔或葫 芦孔10，三个拉制孔6之间的间隙处、两个弦切孔或葫芦孔10之间的间隙处以及拉制孔6 与弦切孔或葫芦孔10之间的间隙处设置有分流槽8，共有5个分流槽8，分流槽8的外端设 置有小孔9，聚流板3的靠近铜管2出口端处开有斜切口 11，如图2所示，聚流板3的顶部 设置有大锥面12，聚流板3的底部设置有两个台阶面13。本实用新型的工作过程为当交变的高频电流通过高频感应加热器的两极即连接 座1进入铜管2，通过铜管2导通聚流板3，于是在聚流板3上形成如图3所示某瞬间电流 分布，交变电流产生交变磁场，交变磁场产生热，形成热场，从而使得感应加热器下方的多 晶硅原料棒被加热熔化，核心部分就是孔及槽间参数匹配合适，使得拉制孔6下产生的3个 独立的熔区是一致的，从而保证拉制出的三根硅芯直径的一致性。其中铜管2中通有冷却 水，用于冷却加热器。本实用新型可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器，实现了一次能同时拉制三根 硅芯，同等时间内硅芯炉的产能提高了 3倍；同等规模的多晶硅生产产能大幅提升，硅芯炉 数量大大减少，提高了生产效率，节省人力、物力及能源，降低了多晶硅生产成本。
权利要求一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器，其特征在于，包括圆柱形聚流板(3)，聚流板(3)的外表面环绕有铜管(2)，铜管(2)的两个端口处连接有连接座(1)，铜管(2)的另一侧外表面焊接有用于接地的接地板(4)，所述的聚流板(3)的内部中心开有化料孔(5)，围绕化料孔(5)设置有三个拉制孔(6)，围绕化料孔(5)还设置有两个弦切孔或葫芦孔(10)，三个拉制孔(6)之间的间隙处、两个弦切孔或葫芦孔(10)之间的间隙处以及拉制孔(6)与弦切孔或葫芦孔(10)之间的间隙处设置有分流槽(8)。
2.根据权利要求1所述的高频感应加热器，其特征在于，所述的铜管(2)与聚流板(3) 通过银焊或铜焊固定。
3.根据权利要求1所述的高频感应加热器，其特征在于，所述的拉制孔(6)上有倒角。
4.根据权利要求1所述的高频感应加热器，其特征在于，所述的化料孔(5)上有倒角。
5.根据权利要求1所述的高频感应加热器，其特征在于，所述的拉制孔(6)的靠近化料 孔(5)侧设置有小切孔(7)。
6.根据权利要求1所述的高频感应加热器，其特征在于，所述的分流槽(8)的外端设置 有小孔(9)。
7.根据权利要求1所述的高频感应加热器，其特征在于，所述的聚流板(3)上靠近铜管 (2)出口端处开有斜切口(11)。
8.根据权利要求1所述的高频感应加热器，其特征在于，所述的聚流板(3)的顶部设置 有大锥面(12)。
9.根据权利要求1所述的高频感应加热器，其特征在于，所述的聚流板(3)的底部设置 有两个台阶面(13)。
专利摘要本实用新型公开了一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器，包括圆柱形聚流板，聚流板的外表面环绕有铜管，铜管的两个端口处连接有连接座，铜管的另一侧外表面设置有用于接地的接地板，聚流板的内部中心开有化料孔，围绕化料孔设置有三个拉制孔，围绕化料孔还设置有两个弦切孔或葫芦形孔，三个拉制孔之间的间隙处、两个弦切孔或葫芦形孔之间的间隙处以及拉制孔与弦切孔或葫芦形孔之间的间隙处设置有分流槽。本实用新型高频感应加热器，实现了一次能同时拉制三根硅芯，同等时间内硅芯炉的产能提高了3倍；同等规模的多晶硅生产产能大幅提升，硅芯炉数量大大减少，提高了生产效率，节省人力、物力及能源，降低了多晶硅生产成本。
文档编号H05B6/22GK201605351SQ20102013273
公开日2010年10月13日 申请日期2010年3月17日 优先权日2010年3月17日
发明者原洛渭, 吴斌, 宋艳玲, 王一强, 王建春, 程涛, 董淑梅 申请人:西安理工晶体科技有限公司