一种熔炼电源升降一体结构的制作方法

文档序号:8059035阅读:307来源:国知局
专利名称:一种熔炼电源升降一体结构的制作方法
技术领域
本实用新型为一种电源结构,特别涉及一种制作石英坩埚的熔炼电源升降一体结构,属于升降设备技术领域。
背景技术
用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,是作为太阳能、半导体行业切克拉斯基法(cz)拉制单晶硅必不可少的容器。石英坩埚的制作是使用电弧石英坩埚工艺,而其中熔炼电源是必不可少的,通过调节熔炼电源来控制电极,从而精确控制熔制温度。熔炼电源一般有3个,在通常的设备配置中, 对每个熔炼电源都需要单独配置马达,在操作熔炼电源时,不能同时调节,造成调节尺度有一定的误差,使电流不平衡、稳定,造成熔炼电源的各个电极损耗速度不相等,使熔炼温度不稳定,熔炼坩埚的产品质量受到很大影响。且丝杆升降机的行程开关易损坏。

实用新型内容本实用新型的目的是针对上述现有技术中,电流不平衡、不稳定,造成熔炼电源的各个电极损耗速度不相等,使熔炼温度不稳定,熔炼坩埚的产品质量受到很大影响,且丝杆升降机的行程开关易损坏的缺陷,提供了一种熔炼电源升降一体结构,使易于熔炼电源的电流控制,电流平衡、稳定,使熔炼电源的各个电极损耗速度相等,熔炼温度稳定,熔炼坩埚的产品质量有保证,且可对丝杆升降机的行程开关起到很大的保护作用。为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是一种熔炼电源升降一体结构, 包括支架、丝杆升降机、马达和熔炼电源;所述丝杆升降机固定安装在支架的横梁上,所述马达设置在丝杆升降机一侧,丝杆升降机由马达带动;所述熔炼电源包括外线圈、铁芯、铁芯连杆,熔炼电源通过两侧连接杆,与横梁固定连接;所述铁芯通过铁芯连杆与丝杆升降机的升降丝杆固定连接,所述马达为一个,所述丝杆升降机有第1、2、3台,熔炼电源有第1、2、 3个;马达的输出轴同时与三台丝杆升降机的螺母转动轴固定连接,一个马达可同时带动三台丝杆升降机工作,使三个熔炼电源的铁芯同时作上、下运动。所述第1、2、3台丝杆升降机在支架的横梁上,自左至右横向均勻设置。所述马达设置在横梁的左侧。所述马达的输出轴与第1台丝杆升降机的螺母转动轴固定连接,第1、2台丝杆升降机的螺母转动轴之间以连接轴A固定连接,第2、3台丝杆升降机的螺母转动轴之间以连接轴B固定连接。与现有技术相比,本实用新型的有益效果是(1)三台丝杆升降机同时带动三个铁芯上下运动,易于熔炼电源的电流控制,电流平衡、稳定,使熔炼电源的各个电极损耗速度相等,可使熔炼温度稳定,熔炼坩埚的产品质
量提高。(2)对丝杆升降机的行程开关起到很大的保护作用,使设备不用经常维修,增加了设备使用寿命。
附图1 本实用新型主视图;附图2 本实用新型左视图;附图3 图1的A-A剖视图;附图标记说明1支架、11连接杆、2丝杆升降机、21升降丝杆、22螺母转动轴、3马达、31连接轴A、32连接轴B、4熔炼电源、41外线圈、42铁芯、43铁芯连杆。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,但不作为对本实用新型的限定。如图1-3所示,一种熔炼电源升降一体结构,包括支架1、丝杆升降机2、马达3和熔炼电源4 ;所述丝杆升降机2固定安装在支架1的横梁上,所述马达3设置在丝杆升降机 2左侧,丝杆升降机2由马达3带动;所述熔炼电源4包括外线圈41、铁芯42、铁芯连杆43, 熔炼电源4通过两侧连接杆11,与横梁固定连接;所述铁芯42通过铁芯连杆43与丝杆升降机2的升降丝杆21固定连接,所述马达3为一个,所述丝杆升降机2有第1、2、3台,熔炼电源4有第1、2、3个;马达3的输出轴同时与三台丝杆升降机2的螺母转动轴22固定连接, 一个马达3可同时带动三台丝杆升降机2工作,使三个熔炼电源4的铁芯42同时作上、下运动。所述第1、2、3台丝杆升降机2在支架1的横梁上,自左至右横向均勻设置。所述马达3的输出轴与第1台丝杆升降机2的螺母转动轴22固定连接,第1、2台丝杆升降机2的螺母转动轴22之间以连接轴A31固定连接,第2、3台丝杆升降机2的螺母转动轴22之间以连接轴B32固定连接。以上所述的实施例,只是本实用新型较优选的具体实施方式
的一种,本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种熔炼电源升降一体结构,包括支架、丝杆升降机、马达和熔炼电源;所述丝杆升降机固定安装在支架的横梁上,所述马达设置在丝杆升降机一侧,丝杆升降机由马达带动; 所述熔炼电源包括外线圈、铁芯、铁芯连杆,熔炼电源通过两侧连接杆,与横梁固定连接;所述铁芯通过铁芯连杆与丝杆升降机的升降丝杆固定连接,其特征在于所述马达为一个,所述丝杆升降机有第1、2、3台,熔炼电源有第1、2、3个;马达的输出轴同时与三台丝杆升降机的螺母转动轴固定连接,一个马达可同时带动三台丝杆升降机工作,使三个熔炼电源的铁芯同时作上、下运动。
2.根据权利要求1所述的一种熔炼电源升降一体结构,其特征在于所述第1、2、3台丝杆升降机在支架的横梁上,自左至右横向均勻设置。
3.根据权利要求1所述的一种熔炼电源升降一体结构,其特征在于所述马达设置在横梁的左侧。
4.根据权利要求1所述的一种熔炼电源升降一体结构,其特征在于所述马达的输出轴与第1台丝杆升降机的螺母转动轴固定连接,第1、2台丝杆升降机的螺母转动轴之间以连接轴A固定连接,第2、3台丝杆升降机的螺母转动轴之间以连接轴B固定连接。
专利摘要一种熔炼电源升降一体结构,属于升降设备技术领域,包括支架、丝杆升降机、马达和熔炼电源;丝杆升降机固定安装在支架的横梁上,马达设置在丝杆升降机一侧,丝杆升降机由马达带动;熔炼电源包括外线圈、铁芯、铁芯连杆,熔炼电源通过两侧连接杆,与横梁固定连接;铁芯通过铁芯连杆与丝杆升降机的升降丝杆固定连接,马达为一个,丝杆升降机有3台,熔炼电源有3个;马达的输出轴同时与三台丝杆升降机的螺母转动轴固定连接,一个马达可同时带动三台丝杆升降机工作,使三个熔炼电源的铁芯同时作上、下运动。本实用新由于三个铁芯同时上下运动,易于熔炼电源的电流控制,电流平衡、稳定,使各个电极损耗速度相等,可使熔炼温度稳定,熔炼坩埚的产品质量提高。
文档编号H05B7/152GK202035171SQ201120164919
公开日2011年11月9日 申请日期2011年5月13日 优先权日2011年5月13日
发明者王定永, 王文庆 申请人:宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司
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