一种晶体材料加工炉的门扣结构的制作方法

文档序号:8059859阅读:335来源:国知局
专利名称:一种晶体材料加工炉的门扣结构的制作方法
技术领域
一种晶体材料加工炉的门扣结构
技术领域
本实用新型涉及一种门扣,尤其是涉及一种晶体材料加工单晶硅炉或多晶硅炉的门扣结构。
背景技术
公知的,多晶硅是生产单晶硅的直接原料,也是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的基础材料。目前生产多晶硅方法有多种,较为常用的是氢还原法;该方法是把提纯好的硅卤化物(四氯化硅或三氯氢硅)和净化好的氢气作为原料通入还原炉,在高温环境中,硅卤化物与氢气发生化学反应,从而生成多晶硅,并沉积在发热体上,化学反应继续进行,沉积在发热体上的多晶硅越来越多,逐渐地将发热体全部覆盖,变成了一根外表包裹着多晶硅的棒状体,俗称硅棒;前述的化学反应是在还原炉中进行的,所以还原炉是生产多晶硅不可缺少的装置。已知的,多晶硅是一种高纯物质,俗称高纯硅。一般金属纯度达到五个“9”就算是了不起了,可是对多晶硅来说还远远不够,电子工业所用的多晶硅必须是八个“9”到十个 “9”;也就是说,在十亿到百亿个硅原子中仅有一个杂质原子。由此可知,多晶硅的生产一定要在密闭的,洁净的环境中进行。由此可见加工多晶硅时炉门的密闭程度同样属于必不可少的关键技术环节,常规晶体材料加工炉的门扣大多由铰接在炉体上的螺杆与炉门的月牙槽扣合,然后由螺杆上的蝶形螺母或直接由螺母旋拧,使炉门与炉体密闭,这种方式的缺陷是长期使用后容易伤及炉门。在还原炉生产多晶硅时,为了降低炉内温度,包含炉体、炉门内均设有水套,也就是炉体、炉门内均为空心的,冷却介质通过炉体、炉门为炉内降温以便防止炉体外壳被烤坏,完全靠水把热量带走,来达到降温的目的。所以保护炉体、炉门的结构安全和确保炉体与炉门的密封效果非常重要。
发明内容为了克服背景技术中的不足,本实用新型公开了一种晶体材料加工炉的门扣结构,本实用新型通过在门边正面上设置凹陷槽,由卡快的卡片卡在凹陷槽内形成柔性卡接, 并且旋拧手柄和旋拧头的配合设置,实现了快速将门体锁紧在炉体门框上的目的,本实用新型确保了炉体、炉门的连接牢固性和炉体与炉门的密封效果,大幅度的节约了使用成本。为了实现所述的发明目的,本实用新型采用如下技术方案一种晶体材料加工炉的门扣结构,包括炉体门框、门体和门扣,在门体的门边正面两侧或四周间隔设有多个凹陷槽,在对应每一凹陷槽的炉体门框上固定连接有门扣;所述门扣包含两个固定块、销轴、卡快、锁紧杆和旋拧机构,两个固定块间隔固定在炉体门框上, 销轴的两端分别插在两个固定块的穿销孔内,锁紧杆下端的销轴孔与销轴铰接,卡快的通孔套在锁紧杆的中部,旋拧机构的内螺纹与锁紧杆的上部外螺纹丝接且旋拧机构顶在通孔的外缘面上,所述卡快一侧设置向下折弯的卡片与门边的凹陷槽卡接。所述的晶体材料加工炉的门扣结构,所述凹陷槽呈长方形、长方形带圆弧形倒角或椭圆形。所述的晶体材料加工炉的门扣结构,两个固定块上的穿口通过锁紧螺丝固定在炉体门框上或直接焊接在炉体门框上;所述穿口与穿销孔在固定块内交叉设置。所述的晶体材料加工炉的门扣结构,在两个固定块的后部一侧 与后部扣板的一侧间隔固定连接且两个固定块和后部扣板形成一体。所述的晶体材料加工炉的门扣结构,所述旋拧机构包括旋拧手柄和旋拧头,旋拧手柄呈圆形或多角形,旋拧头设置在旋拧手柄的上部,旋拧头为四角形或六角形或圆形且在圆形外缘面相对的两个面设有平面,形成扳手的卡接旋拧结构,所述旋拧手柄的下部中间设置的内螺纹与锁紧杆的上部外螺纹丝接且旋拧手柄的下部面顶在通孔的外缘面上。所述的晶体材料加工炉的门扣结构,在旋拧手柄的下部面设有延伸螺管,所述延伸螺管的下端面顶在通孔的外缘面上。所述的晶体材料加工炉的门扣结构,在门体上设有观察窗。采用上述技术方案,本实用新型的有益效果是本实用新型所述的晶体材料加工炉的门扣结构,本实用新型通过在门边正面上设置凹陷槽,由卡快的卡片卡在凹陷槽内形成柔性卡接,在卡快通孔内穿入的锁紧杆通过旋拧手柄下部的延伸螺管顶在卡快上端通孔的外围面上,前期使用手部旋拧外螺纹丝接的旋拧手柄,后期由扳手对于旋拧头进行紧固,这样不仅可以实现快速将门体锁紧在炉体门框上,并且非常方便;本实用新型由于在两个固定块后部设置了后部扣板,利用后部扣板卡在炉体门框后部,进一步的确保了炉体、炉门的连接牢固性和炉体与炉门的密封效果,大幅度的节约了使用成本。

图1是本实用新型的使用状态示意图;图2是本实用新型的构件结构示意图;图3是本实用新型的结构示意图;图4是本实用新型的另一角度结构示意图;图5是本实用新型的旋拧部分结构示意图;在图中1、门边;2、门体;3、炉体门框;4、凹陷槽;5、旋拧头;6、旋拧手柄;7、卡片;8、固定块;9、观察窗;10、延伸螺管;11、外螺纹;12、锁紧杆;13、销轴孔;14、通孔;15、 卡快;16、锁紧螺丝;17、销轴;18、后部扣板;19、穿口 ;20、穿销孔;21、间隔;22、内螺纹。
具体实施方式参考下面的实施例,可以更详细解释本实用新型,但是本实用新型并不限于这些实施例。结合附图1 5中所述的晶体材料加工炉的门扣结构,包括炉体门框3、门体2和门扣,门体2上设有观察窗9,在门体2的门边1正面两侧或四周间隔设有多个凹陷槽4,在对应每一凹陷槽4的炉体门框3上固定连接有门扣;所述门扣包含两个固定块8、销轴17、卡快15、锁紧杆12和旋拧机构,两个固定块8间隔21固定在炉体门框3上,销轴17的两端分别插在两个固定块8的穿销孔20内,锁紧杆12下端的销轴孔13与销轴17铰接,卡快15 的通孔14套在锁紧杆12的中部,旋拧机构的内螺纹22与锁紧杆12的上部外螺纹11丝接且旋拧机构顶在通孔14的外缘面上,所述卡快15 —侧设置向下折弯的卡片7与门边1的凹陷槽4卡接;两个固定块8上的穿口 19通过锁紧螺丝16固定在炉体门框3上或直接焊接在炉体门框3上。结合附图2 4中给出的结构,在两个固定块8的后部一侧与后部扣板18的一侧间隔固定连接且两个固定块8和后部扣板18形成一体;其中所述旋拧机构包括旋拧手柄6 和旋拧头5,旋拧手柄6呈圆形或多角形,旋拧头5设置在旋拧手柄6的上部,旋拧头5为四角形或六角形或圆形且在圆形外缘面相对的两个面设有平面,形成扳手的卡接旋拧结构, 所述旋拧手柄6的下部中间设置的内螺纹22与锁紧杆12的上部外螺纹11丝接且旋拧手柄6的下部面顶在通孔14的外缘面上;在旋拧手柄6的下部面设有延伸螺管10,所述延伸螺管10的下端面顶在通孔14的外缘面上。
实施本实用新型所述的晶体材料加工炉的门扣结构,本实用新型通过在门边1的正面环绕设置凹陷槽4,所述凹陷槽4距离门边设置1至2cm间距,由凹陷槽4直接与卡快 15的卡片7与凹陷槽4卡接,使得力点仅在凹陷槽4内,克服了现有月牙形凹陷的卡接中, 月牙形凹陷开槽伤及门体变形的缺陷,由于卡片7与凹陷槽4的对接不伤门体2,使得本实用新型的卡接方式形成柔性卡接,在卡快15通孔14内穿入的锁紧杆12通过旋拧手柄6下部的延伸螺管10顶在卡快15上端通孔14的外围面上;当然了,本实用新型还可不设延伸螺管10,由所述旋拧手柄6直接顶在卡快15上端,本实用新型在前期先由手部旋拧外螺纹 11丝接的旋拧手柄6,后期由扳手对于旋拧头5进行紧固,这样不仅可以实现快速将门体2 锁紧在炉体门框3上;本实用新型通过在两个固定块8后部设置了后部扣板18,利用后部扣板18卡在炉体门框3后部面上,由后部扣板18以及连接在炉体门框3侧边上的两个固定块8形成相互借力的固定方式,进一步的使炉体、炉门连接的牢固性和炉体与炉门的密封效果得到保证;在使用锁紧螺丝16固定两固定块8时,由于穿口 19与穿销孔20的交叉设置,所述锁紧螺丝16还可防止销轴17脱落。以上内容中未细述部份为现有技术,故未做细述。为了公开本实用新型的目的而在本文中选用的实施例,当前认为是适宜的,但是应了解的是,本实用新型旨在包括一切属于本构思和本实用新型范围内的实施例的所有变换和改进。
权利要求1.一种晶体材料加工炉的门扣结构,包括炉体门框⑶、门体(2)和门扣,其特征是在门体⑵的门边⑴正面两侧或四周间隔设有多个凹陷槽G),在对应每一凹陷槽⑷的炉体门框⑶上固定连接有门扣;所述门扣包含两个固定块(8)、销轴(17)、卡快(15)、锁紧杆(12)和旋拧机构,两个固定块⑶间隔固定在炉体门框(3)上,销轴(17)的两端分别插在两个固定块⑶的穿销孔00)内,锁紧杆(12)下端的销轴孔(13)与销轴(17)铰接,卡快(15)的通孔(14)套在锁紧杆(12)的中部,旋拧机构的内螺纹02)与锁紧杆(12) 的上部外螺纹(11)丝接且旋拧机构顶在通孔(14)的外缘面上,所述卡快(1 一侧设置向下折弯的卡片(7)与门边⑴的凹陷槽⑷卡接。
2.根据权利要求1所述的晶体材料加工炉的门扣结构,其特征是所述凹陷槽(4)呈长方形、长方形带圆弧形倒角或椭圆形。
3.根据权利要求1所述的晶体材料加工炉的门扣结构,其特征是两个固定块(8)上的穿口(19)通过锁紧螺丝(16)固定在炉体门框C3)上或直接焊接在炉体门框C3)上;所述穿口(19)与穿销孔OO)在固定块(8)内交叉设置。
4.根据权利要求1或3所述的晶体材料加工炉的门扣结构,其特征是在两个固定块 (8)的后部一侧与后部扣板(18)的一侧间隔固定连接且两个固定块(8)和后部扣板(18) 形成一体。
5.根据权利要求1所述的晶体材料加工炉的门扣结构,其特征是所述旋拧机构包括旋拧手柄(6)和旋拧头(5),旋拧手柄(6)呈圆形或多角形,旋拧头(5)设置在旋拧手柄 (6)的上部,旋拧头( 为四角形或六角形或圆形且在圆形外缘面相对的两个面设有平面, 形成扳手的卡接旋拧结构,所述旋拧手柄(6)的下部中间设置的内螺纹0 与锁紧杆(12) 的上部外螺纹(11)丝接且旋拧手柄(6)的下部面顶在通孔(14)的外缘面上。
6.根据权利要求5所述的晶体材料加工炉的门扣结构,其特征是在旋拧手柄(6)的下部面设有延伸螺管(10),所述延伸螺管(10)的下端面顶在通孔(14)的外缘面上。
7.根据权利要求1所述的晶体材料加工炉的门扣结构,其特征是在门体(2)上设有观察窗(9)。
专利摘要一种晶体材料加工炉的门扣结构,涉及一种门扣,在门体(2)的门边(1)正面两侧或四周间隔设有多个凹陷槽(4),在对应每一凹陷槽的炉体门框(3)上固定连接有门扣;两个固定块间隔(21)固定在炉体门框上,销轴的两端分别插在两个固定块的穿销孔(20)内,锁紧杆下端销轴孔(13)与销轴铰接,卡快的通孔(14)套在锁紧杆的中部,旋拧机构的内螺纹(22)与锁紧杆的上部外螺纹(11)丝接且旋拧机构顶在通孔的外缘面上;本实用新型通过在门边正面上设置凹陷槽,由卡快的卡片卡在凹陷槽内形成柔性卡接;本实用新型确保了炉体、炉门的连接牢固性和炉体与炉门的密封效果,大幅度的节约了使用成本。
文档编号C30B35/00GK202090107SQ20112019222
公开日2011年12月28日 申请日期2011年6月2日 优先权日2011年6月2日
发明者刘朝轩 申请人:洛阳金诺机械工程有限公司
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