直拉法制作硅单晶的加热器的制作方法

文档序号:8151569阅读:430来源:国知局
专利名称:直拉法制作硅单晶的加热器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种加热器结构,尤其涉及一种直拉法制作硅单晶的加热器结构。
背景技术
目前单晶热场所使用加热器大部分为一体的,主要是外部通入电流,起到加热升温的作用,将原料融化,并恒定单晶炉内温度。随着单晶热场的不断加大,18寸-20寸-22寸,甚至更大,加热器也随之变大,所以所需石墨原材料的尺寸必须大于要加工加热器的尺寸,这样原材料就有很大的局限性,并且现在由于市场影响进口等静压石墨材料越来越紧张,所能提供加工加热器的材料数量有限,造成加热器价格高,加工周期较长等问题。并且, 一旦加热器某一部位出现异常(如断裂),整个加热器就会报废,这就造成了很大的浪费。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种省材省料的组装式直拉法制作硅单晶的加热器,减少维护费用。本实用新型的目的是这样实现的一种直拉法制作硅单晶的加热器,它包括若干第一加热板、若干第二加热板和若干连接板,在所述第一加热板和第二加热板的竖直方向上分别设置有插头和插槽,所述第一加热板和第二加热板上的插头、插槽左右反向设置,所述连接板为一块圆弧形宽板,在所述连接板的上、下端面分别设置有一对插头I,所述连接板上端面的一对插头I分别与第一加热板和第二加热板的插槽相配合。所述加热器还包括连接套和固定弯头,所述连接套上设置有与第一加热板和第二加热板上的插头相配合的插槽I,在所述固定弯头的竖边上设置有与连接板下端面的插头I相配合的插槽II,在所述固定弯头的横边上设置有固定孔。与现有技术相比,本实用新型的有益效果是本实用新型将传统的整体式加热器分解成若干块加热板再拼接起来组合成加热器,不仅达到和整体加热器一样的功能,而且使得所用原料体积大大减少,降低了选材难度,同时在加热器出现问题时,只需更换某个连接块,达到了降低成本的目的。

图I为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型的第一加热板的结构示意图。图3为本实用新型的第二加热板的结构示意图。图4为本实用新型的连接板的结构示意图。图5为本实用新型的连接套的结构示意图。图6为本实用新型的固定弯头的结构示意图。其中[0015]第一加热板I第二加热板2连接板3连接套4固定弯头5插头6插槽7插头I 8插槽I 9插槽II 10固定孔11。
具体实施方式
参见图I一图6,本实用新型涉及一种直拉法制作硅单晶的加热器,主要由六块第一加热板I、六块第二加热板2和两块连接板3组成,在所述第一加热板I和第二加热板2的竖直方向上分别设置有插头6和插槽7,所述第一加热板I和第二加热板2上的插头6、插槽7左右反向设置,所述连接板3为一块圆弧形宽板,在所 述连接板3的上、下端面分别设置有一对插头I 8,所述连接板3上端面的一对插头I 8分别与第一加热板I和第二加热板2的插槽7相配合。所述加热器还包括连接套4和固定弯头5,所述连接套4上设置有与第一加热板I和第二加热板2上的插头6相配合的插槽I 9,在所述固定弯头5的竖边上设置有与连接板3下端面的插头I 8相配合的插槽II 10,在所述固定弯头5的横边上设置有固定孔11。
权利要求1. 一种直拉法制作硅单晶的加热器,其特征在于它包括若干第一加热板(I)、若干第二加热板(2)和若干连接板(3),在所述第一加热板(I)和第二加热板(2)的竖直方向上分别设置有插头(6)和插槽(7),所述第一加热板(I)和第二加热板(2)上的插头(6)、插槽(7)左右反向设置,在所述连接板(3)的上、下端面分别设置有一对插头I (8),所述连接板(3)上端面的一对插头I (8)分别与第一加热板(I)和第二加热板(2)的插槽(7)相配合,所述加热器还包括连接套(4)和固定弯头(5),所述连接套(4)上设置有与第一加热板(I)和第二加热板(2)上的插头(6)相配合的插槽I (9),在所述固定弯头(5)的竖边上设置有 与连接板(3)下端面的插头I (8)相配合的插槽II (10),在所述固定弯头(5)的横边上设置有固定孔(11)。
专利摘要本实用新型涉及一种直拉法制作硅单晶的加热器,其特征在于它包括若干第一加热板(1)、若干第二加热板(2)和若干连接板(3),在所述第一加热板和第二加热板的竖直方向上分别设置有插头(6)和插槽(7),在所述连接板的上、下端面分别设置有一对插头I(8),所述加热器还包括连接套(4)和固定弯头(5)。本实用新型将传统的整体式加热器分解成若干块加热板再拼接起来组合成加热器,不仅达到和整体加热器一样的功能,而且使得所用原料体积大大减少,降低了选材难度。
文档编号C30B15/14GK202499930SQ20112038280
公开日2012年10月24日 申请日期2011年10月11日 优先权日2011年10月11日
发明者冯立学, 吴亚军, 李华恩, 胡元庆 申请人:海润光伏科技股份有限公司
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