高温炉加热棒的制作方法

文档序号:8151815阅读:701来源:国知局
专利名称:高温炉加热棒的制作方法
技术领域
高温炉加热棒技术领域[0001]本发明涉及熔体籽晶法单晶生长设备,尤其涉及高温炉加热棒。 技术背景[0002]目前市场上很多钨棒发热体高温电阻炉采用低电压大电流方式供电,其中加热钨棒均是在底部过渡处弯曲,形成U型。此种加热钨棒做成高温炉,轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布不合理,生成的晶体质量不高。因为其形状复杂,且极易损坏,难以修复。发明内容[0003]为了克服现有高温电阻炉的发热体技术的不足,本发明提供高温炉加热棒,其形状为“弯折U型”,将其做成高温炉,具有完全的轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是将难熔金属裁切成长度一致的金属棒,并将其加工成形状为“弯折U型”,即形成加热棒,并且加热棒两端设计成螺纹形状。[0005]作为本发明的进一步改进,所述难熔金属可以是钨或者钼。[0006]本发明产生的有益效果是,材料加工方便;大量用于高温炉;能适用于各类低电压大功率钨丝电阻炉,典型应用是蓝宝石晶体生长炉及单晶硅晶体生长炉。


[0007]
以下结合附图和实施例对本发明进一步说明。[0008]图1是本发明加热棒的平面图。[0009]图2是本发明加热棒的侧视图。[0010]图3是本发明加热棒弯折部分的示意图。[0011]附图标记说明1.加热棒。
具体实施方式
[0012]在图1、2、3中,高温炉加热棒,将难熔金属裁切成长度一致的金属棒,将裁切好的金属加工成形状为“弯折U型”,并且加热棒两端设计成螺纹形状。[0013]在安装成高温炉时,先在加热棒两端分别以螺纹连接方式连接于两个金属棒的对应端,然后将两个金属棒另一端固定于两个极性不同的电极圈上,即形成高温炉加热体。
权利要求1.高温炉加热棒,其特征在于将难熔金属裁切成长度一致的金属棒,然后将其加工成形状为“弯折U型”,即形成加热棒,并且加热棒两端设计成螺纹形状。
2.根据权利要求1所述的高温炉加热棒,其特征在于所述难熔金属可以是钨或者钼。
专利摘要本实用新型公布了一种高温炉加热棒,其特征在于将难溶金属裁切成设计长度,并将其加工成形状为“弯折U型”,并且加热棒两端设计成螺纹形状,即形成加热棒,将其做成高温炉,具有完全的轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布。其能适用于各类低电压大功率钨丝电阻炉,典型应用是蓝宝石晶体生长炉以及单晶硅晶体生长炉。
文档编号H05B3/40GK202282875SQ20112038991
公开日2012年6月20日 申请日期2011年10月13日 优先权日2011年10月13日
发明者刘世全, 徐家庆 申请人:刘世全
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