专利名称：制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法和设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1和9的前序部分所述的制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的设备及其方法。
背景技术：
光电太阳能电池是面式的半导体元件，在该半导体元件中通过入射的电磁辐射产生载流子分离，从而在太阳能电池的至少两个电触点之间产生电势并通过与所述触点连接的外部电路能够从太阳能电池分接出电功率。此时，通过金属接触结构收集载流子，从而通过所述接触结构在一个或多个接触点上的接通能够将载流子馈入外部电路。因此，通常在制造太阳能电池时，将金属接触结构通常网格形或双梳子形地施加到太阳能电池表面，接触结构手指状地覆盖太阳能电池的表面，从而可以通过接触结构面式地从太阳能电池所有区域收集载流子并从这里将其输送给外部电路。如果将接触结构施加到太阳能电池这样的表面上，电磁辐射应在该表面上进入太阳能电池，所以接触结构必须满足以下抵触性的要求:接触结构应该覆盖在尽可能小的太阳能电池表面的面积区域，以便使遮蔽损耗最小化。此外，为了避免电损耗，金属接触结构应具有小的与所接通的太阳能电池半导体区域的接触电阻而且另一方面接触结构内部的线路电阻也应较低。因此有利的是，设置在太阳能电池上的接触结构具有尽可能高的纵横比，就是说，接触结构高与宽的比例较大。接触结构在这种情况下非常窄地构成，从而能够实现较低的遮蔽。同时接触结构还被构造得非常高，从而横截面积较大，相应地垂直于横截面的线路电阻较低，因此载流子能低损耗地输送。为了制造这种接触结构，已知在一个步骤中通过对含银的膏状物进行丝网印刷来完整地施加整个接触结构。然而在这种情况下会产生宽的接触结构，即，纵横比较低的接触结构，这种接触结构会导致低导电性并由于其宽度还通过对在位于其下面的太阳能电池的半导体材料的覆盖导致较高的光损失。此外由US 5，151，377可知，通过利用分配器将含金属微粒的膏状物经由输出口施加到在半导体基体来形成一种接触结构，当输出时，半导体基体相对于输出口运动。对于工业制造重要的是，太阳能电池的全部的制造过程，尤其是接触结构的制造能够低误差地以及经济地进行，不会因为所选择的制造方法而严重影响太阳能电池的效率。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法和设备，该方法和设备能在工业中使用并且尤其是相对于在先已知的方法和设备具有较低的易故障性或故障率。此外通过本发明的方法和本发明的设备能够制造相对于传统丝网印刷法有更大纵横比的接触结构。该任务通过根据权利要求1所述的制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法以及根据权利要求11所述的相应设备得以解决。本发明的方法的有利扩展方案在权利要求2至10中给出，本发明的设备的有利扩展方案在权利要求12至21中给出。在根据本发明的制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法中，为了形成接通结构，将含金属微粒的膏状物通过至少一个输出口施加到基体的表面上。此时输出口和基体相对于彼此运动。由于这种相对运动，由此在基体上形成膏状物带，由所述膏状物带形成接触结构。重要的是，膏状物在循环区域内被循环并在多个分支部处分别从循环区域中分出一部分膏状物。在这里每个分支部至少配设一个输出口，通过输出口，在分支部处分出的膏状物被施加到基体表面上。此外，膏状物分别从离开循环区域的分支部到从配设给该分支部的输出口的输出之间流动通过长度小于5cm的流动路径。因此，与在先已知的方法相比，膏状物的循环在循环区域中进行并且只有膏状物的一部分在多个分支部处从循环区域中被分出并分别通过至少一个输出口被输出。因此膏状物处于持续运动的状态，一方面在循环区域内或从分支部到输出口流动通过时。这是基于本申请人的这样认知，即膏状物的这种持续运动可以防止膏状物的沉积，尤其是防止输出口堵塞。因此通过本发明的方法，相较于传统的方法可以尤其大大降低由于沉积和堵塞导致的易故障性。此外根据申请人的认知重要的是，只有很少量的膏状物在循环区域之外运动。在本发明的方法中由此确保，从分支部出发到配设给分支部的输出口之间的流动路径的长度小于5cm。通过本发明的方法，通过多个分支部可以在基体上同时并排平行地产生多个膏状物带，从而实现快速并因此在工业中能经济地使用的金属接触结构的制造。此外，输出口和基体之间的相对运动可以这样选择，或输出口可以这样设置:接下来向基体上相互叠置地施加两个或多个膏状物带，从而附加地实现所产生的膏状物带的高纵横比(高度比宽度)并因此产生用于太阳能电池的有利的接触结构，如前文所描述。所述任务还通过根据权利要求11所述的设备解决。根据本发明的制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的设备包括:至少一个输出流路和至少一个泵装置，所述输出流路带有用于含金属微粒的膏状物的输出口，所述泵装置用于通过输出流路在输出口向基体表面上输出膏状物。因此通过泵装置可以经由输出流路从输出口向基体表面上输出膏状物。重要的是，本发明的设备包括循环区域，并且泵装置构造成与循环区域协作，使得泵膏状物通过泵装置能在循环区域中循环。该循环区域具有多个分支部，这些分支部分别通过至少一个输出流路与至少一个输出口流体导通地连接，使得在分支部处能分别从循环区域中分出的膏状物的一部分并通过输出口能将其施加到基体上。此外，膏状物从分支部经过输出流路至输出口的流动路径长度分别小于5cm。因此前面关于本发明的方法所述的优点在本发明的设备中也可实现，因为膏状物能够在循环区域内循环并因此使得由于沉积或堵塞而产生的故障最小化，并且由于分支部和输出口之间的流动路径所述长度小于5cm。为了进一步降低堵塞的风险，分支部和输出口之间的流动路径的长度优选小于1cm，更优选小于0.7cm,优选小于0.3cm,更优选小于0.05cm，尤其是小于0.03cm。相应地在本发明的方法中如上所述选择流动路径的所述长度。因此在本发明中重要的是，膏状物在循环区域内实现循环并且膏状物通过多个分支部从循环区域分出并通过各个输出口输出。这里属于本发明范围内的是，循环区域内的循环以很小的空间实现，例如通过搅拌机构搅拌那样。同样在本发明范围内的是，循环是通过膏状物在循环区域内的来回运动实现的，尤其是通过振荡的膏状物运动实现。在一个优选的实施形式中，膏状物借助于泵装置运动，优选至少在所述多个分支部的区域内以振动的方式运动。例如这种能在一个优选的实施形式中这样实现，即，泵装置设置在循环区域一端或两端，所述泵装置使膏状物在循环区域内来回运动。在另一个优选的实施形式中，通过膏状物在循环回路中循环实现在循环区域内的循环。因此可得到如下优点:其他元件，例如一个用作膏状物贮存器的容器都能够以简单的方式在流体技术上结合到循环回路中。同样在本发明范围内的是，将两种运动方式组合起来，就是说，设置循环回路，在该循环回路中，膏状物通过泵装置至少在循环区域中在所述多个分支部的区域内持续或暂时地振荡地往复运动。本发明的设备和本发明的方法适于使用任何膏状物，尤其是低粘度的膏状物。使用含金属微粒的压力膏状物是特别有利的。有利的是，在本发明的方法中，膏状物以大致相等的体积流量在所有输出口处输出。因此实现了:从不同的输出口同时施加到基体上的膏状物带具有相同的体积，就是说，尤其是相同的横向于运动方向的宽度和高度，从而形成统一的并有高度重复精度的可多次制造的接触结构。有利的是，在本发明的方法中，在循环区域内和/或第一个分支部上游的体积流量是所有输出口的体积流量总和的至少5倍，优选至少10倍，更优选至少50倍，还优选至少100倍，尤其是至少1000倍。因此确保明显更大部分的膏状物在循环区域内循环并只有与此相比较少的一部分膏状物通过分支部被分出并通过输出口输出。因此始终有大量的膏状物循环，并且在膏状物循环时的条件主要能通过循环区域内的体积流量预先设定且几乎与取出的膏状物无关。因此通过循环条件可预先规定防止膏状物粘附的环境条件。有利的是，在本发明的方法中，在循环区域的所有设有用于通过输出口输出膏状物的分支部的部分区域中存在的压力高于环境压力最小3bar,优选最小5bar,更为优选最小IObar,尤其最小20bar,更为优选最小30bar。因此保证了，循环区域内由于在分支部处取出膏状物导致的可能的压力差在循环区域仅导致较小的压力变化，并且因此所述压力差在大约相同持续条件下存在于所有的分支部，并且可以所有的输出口处实现相同的体积流。尤其有利的是:在各分支部处膏状物的压力相差小于5%，优选小于1%，优选小于0.5%。由于在各分支部处膏状物这种相互间极小的压力差，也保证了膏状物在所有输出口以大致相同的体积流输出。优选在本发明的方法中，至少在循环区域的流动路径的一个部分区域内，膏状物通过多个在膏状物流动方向上前后依次布置的分支部分出，并由每个分支部出发输送给至少一个配设给该分支部的输出口。由此能够以简单的方式实现膏状物从循环区域中多重的分支和输出。相应地，本发明的设备有利地构造成，至少在循环区域的一个部分区域内设置多个在膏状物流动方向上依次布置的分支部，这些分支部分别通过至少一个输出流路流体导通地与至少一个输出口连接。因此通过构造上简单的方式实现了通过输出口多重分支和输出膏状物。为了实现在循环区域中在流动方向上依次布置的输出口上能以大致相同的体积流量输出膏状物，在本发明的方法中，对于在循环区域中在膏状物的流动方向上依次布置的分支部，从流动方向上的第一个分支部到流动方向上的最后一个分支部的总压力降优选以至少10倍，优选至少50倍，尤其至少100倍小于在分支部和配设给该分支部的输出口之间的平均压力降。由于在该有利实施形式中与各分支部相互间的压力降相比，在分支部和输出口之间的压力差非常高，因此在每个分支部上存在大致相同的条件，从而能简单地实现膏状物以相同的体积流在每个输出口输出。本发明的设备有利地构造成，使得对于在循环区域中在膏状物的流动方向上依次布置的多个分支部，在循环区域的流动方向上第一个分支部和最后一个分支部之间，循环区域的最小横截面积是一个分支部和配设给该分支部的输出口之间的所有流动路径的最小横截面积至少5倍，优选至少10倍，优选至少50倍，还要优选至少100倍，尤其至少1000倍。因此保证了，循环体积明显大于膏状物被分出的体积并简单地实现了在循环区域的流动方向上的第一个和最后一个分支部之间较低的压力降，从而可以以大致相等的体积流量在所有输出口输出膏状物。有利的是，各输出口分别具有小于200 μ m，优选小于150 μ m，还优选小于100 μ m，尤其优选小于80 μ m,还优选小于50 μ m,尤其优选的小于30 μ m的开口直径。因此可实现精确地向基体输出膏状物。本发明的设备特别是构造成，对于每个输出口，在流动路径中，在离开循环区域的分支部和输出口之间，管道直径小于200 μ m,优选小于150 μ m,还优选小于100 μ m,尤其优选小于80 μ m,还优选小于50 μ m,尤其优选小于30 μ m。因此产生这样的优点:膏状物不须额外的剪切即可定向，并以片状形式通过出口离开设备并且因此使得可以实现向基体上能够均匀地施加触点条。为了补偿在循环区域的流动方向上依次布置的分支部之间的仍然存在的压力降，本发明的设备优选构造成，对于循环区域的流动方向上依次布置的分支部，在分支部和配设给该分支部的输出口处的输出之间的膏状物流动路径的长度在循环区域的流动方向上降低。因此由于流动通过的长度变短，从在循环区域的流动方向上第一个分支部到在循环区域的流动方向上最后一个分支部，在分支部和配设的输出口之间膏状物的通流阻力变小，从而补偿了在分支部处的压力降。附加或可选地有利的是，在循环区域的流动方向上，在离开循环区域的分支和在输出口的输出之间最小横截面开口变大。由此从循环区域的流动方向上的第一个分支部到循环区域的流动方向上的最后一个分支部，膏状物在分支部和配设的输出口之间的流动通过阻力变小并补偿可能的压力降。流动路径长度和/或横截面优选是这样选择的:在所有输出口处，膏状物能以大致相同的体积流量输出。但输出口横截面的改变会导致施加到基体上的膏状物带的线条宽度改变，从而优选横截面不变，而仅是流动路径的长度如上所述在流动方向上减小地构成。如果离开循环区域的分支部和输出口之间的流动路径具有改变的横截面，在流动路径有利地构造成使最窄的横截面处于输出口处。因此避免了膏状物在流动路径中就已经脱离管道壁并可能无定向地从输出口流出。补充的或者替代地，优选每个通向输出口的流动路径都构造成锥形的喷嘴。因此得出这样的优点:喷嘴中的阻力会变得很低并因此能降低设备的运行压力。在具有循环区域作为循环回路的方案的本发明的设备中，泵装置优选设置在所述多个分支部的上游，在流动方向上的最后一个分支部的下游设置用于提高膏状物的通流阻力的节流阀。因此能简单地在泵装置和节流阀之间，即在所有分支部处实现在循环回路中较高的压力，反之，从节流阀下游至膏状物再次进入泵的入口，循环回路中可以存在较低的压力，例如接近环境压力。因此一方面得到构造简单的设计，尤其是优选在节流阀和泵之间，在节流阀下游设置相对于环境开放的蓄存部，从而一方面能简单在循环回路中暂存大量的膏状物，另一方面，相对于环境压力开放的蓄存部即使在方法过程中也能简单地补充填充。节流阀优选构造成可调节流阀，从而使用者通过调节节流阀的通流阻力可以调节泵装置和节流阀之间的压力。可调节流阀还有这样的优点:通过调节泵功率和节流作用能够精确地且有目的地调节膏状物输出的最优参数(压力，体积流量等)。优选在本发明的设备中，在循环回路范围内在输出口上设置用于测量膏状物的压力的压力测量装置。该压力测量装置构造成，使得膏状物的压力通过流体可透过的膜传递液体介质上，且在液体媒介中设置测压器。因此可以防止膏状物粘附在测压器上。本发明的设备优选具有至少两个泵装置，第一泵这种在循环区域中设置在第一个通向输出口的分支部的上游，而第二泵在循环区域中设置在最后一个通向输出口的分支部的下游。优选的是，两个泵装置都构造为可调泵装置。在该优选实施形式中，通过选择两个泵装置的输送量可以控制通过输出口输出的膏状物的量:如果第二泵装置的输送速度选择为低于第一泵装置，那么第二泵装置就作为一种节流阀起作用，从而实现第一泵装置和第二泵装置之间的形成压力，通过提高形成压力，就是说，提高两个泵这种的输送量之差，可以实现在输出口上增高的膏状物输出量，或者通过相应的减小形成压力可以降低膏状物输出。此外第二泵装置有这样的优点:由于第二泵装置，膏状物在循环区域内在分支部之后朝膏状物蓄存部的输送也不易发生故障。优选本发明的设备不仅包括如前述的第二泵，还包括如前述的节流阀，因此可以非常精确控制压力降或膏状物在输出口处的输出量以及在循环区域内的流动速度。本发明的设备优选在循环区域内具有至少一个用于测量膏状物的流速和/或流量的流量测量装置。由此可以控制循环过程，尤其是检查或借助于控制单元和对泵相应的控制调节循环区域中预设的流速。尤其有利的是:在循环区域内在通向输出口的第一个分支部之前和最后一个分支部之后分别设置一个流量测量装置。因此由两个流量测量值之差可以确定输出膏状物的量，并尤其是通过控制单元和对泵和/或可调的节流阀和/或另一个泵的相应的控制可以将输出量调整至预设值。在本发明的设备中，优选在循环区域内的流动方向上在第一个和最后一个分支部之间没有中间接入泵装置。因此避免了可能通过泵装置产生的压力变化，这种压力变化会导致在输出口处不同的体积流。在本发明的设备中，循环区域优选至少在分支部的区域内作为这样的空心体实现，该空心体具有多个构造成空心体中的孔口的分支部。以这种方式，以结构简单并因此能经济地制造的方式设置多个分支部，并且每个配设给分支部的输出口在循环区域内在膏状物的流动方向上依次设置。尤其有利的是，所述孔口构造成喷嘴状。因此，可以简单地采用由现有技术已知的用于施加膏状物的喷嘴形状，例如以便在基体上形成膏状物带有利的纵横比。由本发明的设备的一种经济的实施形式这样实现，S卩，前述空心体在循环区域内在最后一个分支部的下游渐缩，从而通过横截面减小产生节流作用。在本发明的设备的前述具有可调节流阀的实施形式中，可以附加地设置这样的渐缩结构，但在这种情况下有利地仅通过可调节流阀保证节流，用以保证高的可变性。为了保证在循环区域内较低的流动阻力和循环区域内足够的膏状物量，空心体横截面积至少在分支部区域内优选为最小
0.3mm2,优选最小Imm2,还优选最小1.8mm2,进一步优选最小2.8mm2,进一步优选最小6mm2。在本发明的方法的另一个优选实施形式中，循环区域内的膏状物至少在部分区域内通过一个分支部并且在该分支部的下游在多个平行的流动路径内循环，在每个平行的流动路径上至少在一个分支部处，膏状物的一部分被分出并通过至少一个配设给该分支部的输出口被输出。为了进一步剪切及由此更好地混合和液化膏状物，这是尤其有利的。为了继续降低由于膏状物在循环区域内的沉积或者堵塞而产生的误差，本发明的设备至少在分支部区域内具有有利的一个或者多个被设置在循环区域的摆动装置，用以膏状物在摆动中被移动。通过摆动还降低了沉积或者堵塞的危险。尤其有利的是，摆动装置被构造为用于以超声波进膏状物的超声波振荡器。在本发明的设备中，优选在循环区域内设置加热装置，从而借助于该加热装置可以实现向循环的膏状物输入热量。因此可以加热循环的膏状物，以便降低膏状物的粘度。尤其有利的是，在输出口区域上和/或内设置一个或多个加热装置，从而至少在输出口处，有利地在分支部和输出口之间的流动路径中通过产生能通过输入热量加载膏状物，从而通过加热和由此实现的粘度降低，附加地降低尤其是在分支部和输出口之间的关键区域内出现堵塞的风险。通常通过本发明的方法或本发明的设备实现将膏状物施加到用于制造光电太阳能电池的半导体基体上。同样在本发明的范围中的是，基体被构造为用于例如按模块式连线容纳多个太阳能电池。因此尤其同样在本发明范围中的是，通过本发明的方法或者本发明的设备，在基体上建立一个接触结构，所述基体是模块的一部分，用于容纳多个光电太阳能电池。有利的是，在本发明的方法中基体在位置固定的输出口下方移动通过。因此本发明的方法特别是能简单地集成到内嵌过程中。然而同样在本发明范围中的是，输出口在位置固定的基体的上方运动，或者将两种运动方式结合起来。两种运动方式的结合尤其还有以下优点:例如基体能够在输出口之下移动通过，以产生多个互相并排平行设置的膏状物带，由这些膏状物带中产生手指形的接触结构。在一些位置附加地实现输出口的一种有利地垂直于基体的运动方向的运动，例如以便横向于前述膏状物带形成多次相叠设置的膏状物带，由这些膏状物带产生具有高的横截面的金属横向导线，即所谓的“汇流条”。用前述方式由此能够产生在太阳能电池中常见的梳形或双梳形接触模式。输出口和基体之间的距离有利地小于5cm，优选小于3cm，更优选小于1cm，尤其小于0.5cm。因此保证了输出口和基体之间的膏状物条不会被断开并因此在基体上产生连续不断的膏状物带。本申请人的研究表明，一定的进给速度，即输出口和基体之间的相对速度是有利的。这是因为，在保持一最低值作为基体和输出口之间的相对速度时，由于输出口较高的速度，附加地实现所施加的膏状物条的延长，从而产生相比较低相对速度能实现较薄的膏状物条，且尤其在多次相叠地施加膏状物时可实现较高的纵横比。本申请人的研究表明，优选输出口和基体之间的相对速度(Vral)优选是从输出口流出的膏状物条速度(Vp)优选至少
1.4倍，优选至少2倍，此外优选至少5倍。通过根据输出口的直径选择速度比vMl/vP来实现最优化:
权利要求
1.一种制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法，为了形成这种接触结构，将含金属微粒的膏状物通过至少一个输出口施加到基体(5)表面，在膏状物输出时，输出口和基体相对彼此运动； 其特征是， 膏状物在循环区域内循环， 分别在多个分支部处从循环区域中分出膏状物的一部分并且每个分支点配设至少一个输出口，通过输出口将在分支部分出的膏状物施加到基体的表面上，膏状物在自循环区域被分出至自配设给该分支部的输出口处被输出之间流动通过长度小于5cm的流动路径。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征是，循环区域内的循环通过膏状物在循环区域中的往复运动，尤其是通过振荡的膏状物运动实现。
3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征是，在循环区域中的循环通过膏状物在循环回路中的循环实现。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征是，膏状物在所有输出口处以大致相同的体积流量输出。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征是，膏状物在循环区域内在第一个分支部上游的体积流量是所有输出口的体积流量的总和至少5倍，优选至少10倍，优选至少50倍，更优选地至少100倍，尤其是1000倍。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征是，在循环区域的所有的设有用于通过输出口输出膏状物的分支部的部分区域中存在高出环境压力至少3bar，优选至少5bar,更优选至少IObar也是优选的,尤其是至少20bar,更优选地至少30bar的压。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征是，在各分支部处膏状物压力相差小于5%,优选小于I %，最好小于0.5%。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征是，在循环区域内流动路径的至少一个部分区域中，膏状物通过多个在膏状物的流动方向上依次布置的分支部分出并从每个分支部出发输送给至少一个配设给该分支部的输出口。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征是，对于在循环区域内在膏状物的流动方向上依次布置的分支部，从在流动方向上的第一个分支部到在流动方向上的最后一个分支部的总压力降优选以至少10倍，优选至少50倍，尤其是至少100倍小于在分支部和配设给该分支部的输出口之间的平均压力降。
10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征是，膏状物在循环区域内至少在一个部分区域内通过分支和在分支下游在循环区域的多个平行的流动路径循环，在平行的流动路径中的每个中，膏状物的一部分在至少一个分支部处分出并通过至少一个配设给所述分支部的输出口输出。
11.一种使用前述权利要求中任一项所述的方法制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的设备， 包括至少一个带有用于膏状物的输出口的输出流路和至少一个泵装置(2)，所述膏状物包含微粒，所述泵装置用于经由输出流路在至少一个输出口处向基体的表面输出的膏状物， 其特征是，该设备包括循环区域，泵装置(2)构造成与循环区域协作，使得膏状物在循环区域内能够通过泵装置循环，循环区域具有多个分支部，分支部分别通过至少一个输出流路与至少一个输出口流体导通地连接，使得在分支部处分别能从循环区域中分出膏状物的一部分并能通过输出口将其施加到基体(5)上并在每个分支部处，膏状物的从分支部出发、经由输出流路一直到输出口的流动路径的长度小于5cm。
12.根据权利要求11所述的设备，其特征是，泵装置构造为与循环区域协同作用，使得膏状物能够在循环区域内循环，尤其是能实现膏状物的振荡的动运动。
13.根据权利要求11或12所述的设备，其特征是，循环区域构造为循环回路，而泵装置(2)被这样构造为与循环回路这样协同作用，使得膏状物在循环回路中能够通过泵装置循环。
14.根据权利要求11至13中任一项所述的设备，其特征是，至少在循环区域的一个部分区域中设置多个在膏状物的流动方向上依次布置的分支部，所述分支部分别流体导通地通过至少一个输出流路与至少一个输出口连接。
15.根据权利要求14所述的设备，其特征是，在循环区域的流动方向上的第一个分支部和最后一个分支部之间，循环区域的最小横截面积是分支部和配设给该分支部的输出口之间的全部流动路径的最小横截面积的至少5倍，优选至少10倍，优选至少50倍，更优选至少100倍，尤其是至少1000倍。
16.根据权利要求14或15所述的设备，其特征是，对于在循环区域内的流动方向上依次布置的分支部，在分支部以及从配设给该分支部的输出口的输出之间的膏状物的流动路径的长度在循环区域的流动方向上降低和/或在离开循环区域的分支部和从输出口的输出之间的最小横截 开口在循环区域内的流动方向上增加。
17.根据权利要求11至16中任一项所述的设备，其特征是，泵(2)设置在所述多个分支部的上游，并且在流动方向上的最后一个分支部的下游设置节流阀(11)，优选是可调节流阀(11)，用于提高膏状物流通阻力。
18.根据权利要求11至17中任一项所述的设备，其特征是，至少在分支部的区域内，在循环区域上设置一个或多个振动装置，用以将膏状物置于振动，该振动装置构造为用于以超声波对膏状物加载的超声波发生器。
19.根据权利要求11至18中任一项所述的设备，其特征是，循环区域至少在分支部范围内构造为具有多个构造成孔口(8)的分支部的空心体，尤其是孔口(8，8'，8")构造为喷嘴形的。
20.根据权利要求11至19中任一项所述的设备，其特征是，在循环区域内设有用于向循环的膏状物输入热量的加热装置。
21.根据权利要求11至20中任一项所述的设备，其特征是，该设备具有至少两个泵装置，每个泵都构造为与循环区域协同作用，第一泵装置在循环区域内设置在第一个分支部的上游，第二泵装置在循环区域内设置在最后一个分支部的下游。
全文摘要
本发明涉及一种制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法，为了形成这种接触结构，将含金属微粒的膏状物通过至少一个输出口施加到基体表面，在膏状物输出时，输出口和基体相对彼此运动。本发明的特征是，膏状物在循环区域内循环，分别在多个分支部处从循环区域中分出膏状物的一部分并且每个分支部配设至少一个输出口，通过输出口将在分支部分出的膏状物施加到基体的表面上，膏状物在自循环区域被分出至自配设给该分支部的输出口处被输出之间流动通过长度小于1cm的流动路径。此外本发明还涉及一种制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的设备。
文档编号H05K3/12GK103168351SQ201180050296
公开日2013年6月19日 申请日期2011年8月29日 优先权日2010年9月3日
发明者丹尼尔·毕罗, 简·施佩希特, 丹尼尔·舍菲勒, 马克西米利安·波斯皮希尔, F·克莱芒 申请人:弗劳恩霍弗实用研究促进协会