加热装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种节能的同时能够缩短能够升温速度较快且能够在短时间内冷却这样的加热冷却循环的加热装置。加热装置包括：发热板体(10)，其配置于前表面侧(1a)，用于辐射热；以及反射板体(20)，其以与发热板体(10)分开的方式配置于发热板体(10)的背面(1b)侧，发热板体(10)包括基板(11)和配置于该基板(11)的一表面上的电阻发热线(12)，反射板体(20)与发热板体(10)大致平行地配置且在前表面(1a)侧具有用于反射红外线的反射面(20a)。
【专利说明】加热装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种加热装置，进一步详细而言涉及一种能够进行具有指向性的热辐射的加热装置。
【背景技术】
[0002]以往，如下述专利文献I所公开的那样，公知有如下一种技术:在使陶瓷加热器的发热面面向被加热物的基础上，在陶瓷加热器的背面侧设置热反射体，以减轻因来自陶瓷加热器的背面侧的热辐射而导致的电力损耗。
[0003]专利文献1:日本特开2000 - 133416号公报
【发明内容】
_4] 发明要解决的问题
[0005]然而，在使用所述加热器的装置中，存在难以在加热后在短时间内将炉打开而取出被加热物这样的问题。本发明是鉴于所述现状而做出的，其目的在于，提供一种节能的同时能够缩短能够升温速度较快且能够在短时间内冷却这样的加热冷却循环的加热装置。_6] 用于解决问题的方案
[0007]为了解决所述问题，技术方案I的一种加热装置的主旨在于，该加热装置包括:发热板体，其配置于该加热装置的前表面侧，用于辐射热；以及反射板体，其以与所述发热板体分开的方式配置于所述发热板体的背面侧，所述发热板体包括基板和配置于该基板的一表面上的电阻发热线，所述反射板体与所述发热板体大致平行地配置且在前表面侧具有用于反射红外线的反射面。
[0008]根据技术方案I所述的加热装置，技术方案2所述的加热装置的主旨在于，所述反射板体具有:前板部，其配置于靠所述发热板体的一侧；后板部，其位于比所述前板部靠背面侧的位置；以及侧壁部，其将所述前板部和所述后板部连接起来，所述侧壁部具有切口或通孔，该切口或通孔可供用于向所述发热板体供给电力的电源线进行配线。
[0009]根据技术方案I或2所述的加热装置，技术方案3所述的加热装置的主旨在于，所述发热板体和所述反射板体在磁力的作用下被维持为彼此分开的状态。
[0010]根据技术方案I至3中任一项所述的加热装置，技术方案4所述的加热装置的主旨在于，所述反射板体在其背面侧具有与所述发热电阻线电连接的连接端子。
[0011 ] 根据技术方案4所述的加热装置，技术方案5所述的加热装置的主旨在于，所述连接端子配置于所述前板部。
[0012]根据技术方案I至5中任一项所述的加热装置，技术方案6所述的加热装置的特征在于，该加热装置包括用于向所述发热板体的所述电阻发热线供电的供电用结构体，所述供电用结构体具有第I结构部和第2结构部，所述供电用结构体为以使所述第I结构部和所述第2结构部分别成为桥柱的方式整体上成形为桥形的I个供电用结构体。
[0013]根据技术方案I至6中任一项所述的加热装置，技术方案7所述的加热装置的主旨在于，该加热装置具有用于将所述发热板体和所述反射板体维持为分开状态的支柱，所述支柱具有介于所述发热板体与所述反射板体之间的陶瓷制的间隔件。
[0014]根据技术方案I至7中任一项所述的加热装置，技术方案8所述的加热装置的主旨在于，该加热装置是在大气条件下或减压条件下使用的加热装置。
[0015]发明的效果
[0016]通过将具有基板和配置于该基板的一表面上的电阻发热线的发热板体用作热源，能够构成能够缩短能够升温速度较快且能够短时间内冷却这样的加热冷却循环的加热装置。另外，由于在以与发热板体分开的方式配置的反射板体的前表面侧表面具有用于反射红外线的反射面，因此能够抑制自发热板体辐射出的热向反射板体的背面侧漏出，从而能够构成使热辐射向前表面侧集中的节能的加热装置。
[0017]反射板体具有:前板部,其配置于靠发热板体的一侧；后板部,其位于比前板部靠背面侧的位置；以及侧壁部，其将前板部和后板部连接起来，侧壁部具有切口或通孔，该切口或通孔可供用于向发热板体供给电力的电源线进行配线，在该情况下，能够将用于向发热板体供电的电源线向反射板体的背面侧引出。另外，由此，能够将加热装置相互间以在侧方相对的方式配置。
[0018]所述发热板体和所述反射板体在磁力的作用下被维持为彼此分开的状态，在该情况下，能够防止自发热板体向反射板体的热传导，从而能够有效地抑制反射板体的温度上升。另外，即使发热板体和反射板体这两者在热作用下的应变不同，也不会受到相互间应变的影响。
[0019]加热装置包括用于向发热板体的电阻发热线供电的供电用结构体，供电用结构体具有第I结构部和第2结构部，供电用结构体为以使第I结构部和第2结构部分别成为桥柱的方式整体上成形为桥形的I个供电用结构体，在该情况下，能够减轻发热板体的温度变化(温度上升和温度降低)所引起的应变的影响。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1是说明实施例1的加热装置的说明图。
[0021]图2是说明发热板体的说明图。
[0022]图3是说明实施例2的加热装置的说明图。
[0023]图4是说明实施例3的加热装置的说明图。
[0024]图5是说明实施例3的加热装置的反射板体的说明图。
[0025]图6是说明实施例3的加热装置的使用形态的说明图。
[0026]图7是说明实施例4的加热装置的说明图，其是表示图10的A — A’截面的说明图。
[0027]图8是说明实施例4的加热装置中的磁体的配置的说明图。
[0028]图9是说明实施例4的加热装置中的磁体的配置的说明图。
[0029]图10是说明实施例4的加热装置中的磁体的配置的说明图。
[0030]图11是说明供电用结构体的形状的说明图。
[0031]图12是说明另一形态的加热装置的说明图。
[0032]图13是说明支柱的结构的一个例子的说明图。
【具体实施方式】
[0033]本实施方式I的加热装置(I)包括:发热板体(10)，其配置于该加热装置(I)的前表面侧(Ia)，用于辐射热；以及反射板体(20)，其以与发热板体(10)分开的方式配置于发热板体(10)的背面(Ib)侧，发热板体(10)包括基板(11)和配置于该基板(11)的一表面上的电阻发热线(12)，反射板体(20)与发热板体(10)大致平行地配置且在前表面(Ia)侧具有用于反射红外线的反射面(20a)(参照图1?图10)。
[0034]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为如下形态，即，反射板体(20)具有:前板部(21)，其配置于靠发热板体(10)的一侧；后板部(22)，其位于比前板部(21)靠背面(Ib)侧的位置；以及侧壁部(23)，其将前板部(21)和后板部(22)连接起来，侧壁部(23)具有切口或通孔(24)，该切口或通孔(24)可供用于向发热板体(10)供给电力的电源线(55)进行配线(参照图4?图5)。
[0035]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为发热板体(10)和反射板体(20)在磁力的作用下被维持为彼此分开的状态的形态(参照图7?图10)。
[0036]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为反射板体(20)在其背面(Ib)侧具有与发热电阻线(12)电连接的连接端子(56)的形态(参照图4和图6)。
[0037]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为连接端子(56)配置于前板部(21)的形态(参照图4和图6)。
[0038]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为如下形态，即，该加热装置(I)包括用于向发热板体(10)的电阻发热线(12)供电的供电用结构体(50)，供电用结构体(50)具有第I结构部(51)和第2结构部(52)，供电用结构体(50)为以使第I结构部(51)和第2结构部(52)分别成为桥柱的方式整体上成形为桥形的I个供电用结构体(50)(参照图2和图 11)。
[0039]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为如下形态，即，该加热装置(I)具有用于将发热板体(10)和反射板体(20)维持为分开状态的支柱(30)，支柱(30)具有介于发热板体(10)与反射板体(20)之间的陶瓷制的间隔件(36)(参照图13)。
[0040]在本实施方式I的加热装置(I)中，该加热装置能够为在大气条件下或减压条件下使用的加热装置。
[0041]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为如下形态，即，该加热装置(I)具有固定于发热板体(10)且贯穿反射板体(20)而向反射板体(20)的背面(Ib)侧突出的第I支柱(31)，第I支柱(31)具有被第I支柱(31)贯穿且被固定的、相对的两个凸缘型的磁体(42a、42b)，反射板体(20)具有内径大于第I支柱(31)的外径且供第I支柱(31)贯穿的通孔(25)，反射板体(20)在其构成通孔(25)的周缘部的表面/背面上分别具有环形的磁体(41a、41b)，两个环形的磁体(41a、41b)介于两个凸缘型的磁体(42a、42b)之间，并以使环形的磁体(41a、41b)和凸缘型的磁体(42a、42b)分别磁力排斥而不接触的方式配置各磁体的磁极(参照图7、图8以及图10)。
[0042]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为如下形态，即，该加热装置(I)具有固定于发热板体(10)且贯穿反射板体(20)而向反射板体(20)的背面(Ib)侧突出的第2支柱(32)，第2支柱(32)具有与其相螺纹接合的螺母(45)，螺母(45)具有大致均等配置于其外周的至少3个螺母侧的磁体(431、432、433)，反射板体(20)具有内径大于第2支柱(32)的外径且供第2支柱(32)贯穿的通孔(26)，反射板体(20)在其构成通孔(26)的周缘部的表面/背面中的至少任意一个表面上具有以与至少3个螺母侧的磁体(431、432、433)分别磁力排斥的方式配置的至少3个反射板体侧的磁体(441、442、443)(参照图7、图9以及图10)。
[0043]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为如下形态，即，该加热装置(I)具有用于将发热板体(10)和反射板体(20)维持为分开状态的支柱(30)，支柱(30)贯穿反射板体(20)而向反射板体(20)的背面(Ib)侧突出，反射板体(20)能够沿着贯穿该反射板体
(20)的支柱(30)向前表面(Ia)侧和背面(Ib)侧移动，由此能够改变发热板体(10)与反射板体(20)之间的分开距离。
[0044]在本实施方式I的加热装置(I)中，能够为如下形态，即，该加热装置(I)具有用于将发热板体(10)和反射板体(20)维持为分开状态的支柱(30)，支柱(30)贯穿反射板体(20)而向反射板体(20)的背面(Ib)侧突出，本加热装置(I)利用在背面(Ib)侧突出的支柱(30)而在整体上得到固定。
[0045]实施例
[0046]以下，使用附图并利用实施例来具体说明本发明。
[0047]实施例1
[0048]以下，说明实施例1的加热装置(参照图1和图2)。
[0049]实施例1的加热装置(I)(参照图1)包括发热板体(10)和反射板体(20)。另外，该加热装置(I)成为朝向前表面(Ia)侧进行热辐射的结构。
[0050]所述发热板体(10)(参照图2)是加热装置(I)中的、配置于加热装置(I)的前表面(Ia)侧而辐射热的部位。该发热板体(10)包括基板(11)和配置于基板(11)的一表面上的电阻发热线(12)。
[0051]电阻发热线(12)可以配置于基板(11)的前表面(Ia)侧和背面(Ib)侧中的任一侧的表面，但电阻发热线(12)优选位于基板(11)的背面(Ib)侧。并且，通过向该电阻发热线(12)通电而使该电阻发热线(12)发热。
[0052]所述基板(11)可以由任意的材料形成。即，可列举出例如金属和陶瓷。作为其中的金属，例如，能够使用不锈钢，除此之外，能够使用Cu (铜)、A1 (铝)以及这些金属的合金等。在这些材料中，优选为不锈钢。
[0053]在使用不锈钢的情况下，不锈钢的种类并没有特别限定，但优选为铁素体系不锈钢和/或奥氏体系不锈钢。并且，在这些不锈钢的种类之中，尤其优选为耐热性和/或耐氧化性优异的种类。S卩，例如，在铁素体系不锈钢之中，优选为Cr是16%?20%、Mo或Al是1.5%?3.5%的范围内的种类。另一方面，在奥氏体系不锈钢之中，优选为Ni是10%?22%,Cr是16%?26%、Mo是1%?3%的范围内的种类。更具体而言，可列举出SUS430、SUS436、SUS444、以及SUS316L等。这些不锈钢既可以仅使用I种，也可以组合使用两种以上。另外，基板(11)的厚度并没有特别限定，能够为例如0.4mm?20mm,优选为0.6mm?5mm ο
[0054]另外，通常对基板(11)和电阻发热线(12)实施绝缘处理(尤其是基板11为金属的情况下)。该绝缘处理可以任意地进行，但是，通常，通过在基板(11)与电阻发热线(12)之间设置绝缘覆膜来进行绝缘。作为这样的绝缘覆膜，能够使用玻璃覆膜。在使用玻璃覆膜的情况下、尤其在作为基板(11)而使用不锈钢的情况下，从其热膨胀平衡的观点考虑，更优选为软化点为600°c以上的结晶化玻璃和半结晶化玻璃。具体而言，优选为Si02 -A1203 - MO系玻璃。其中，MO是碱土金属的氧化物(MgO、CaO、BaO, SrO等)。玻璃覆膜的厚度并没有特别限定，但优选为60 μ m?120 μ m，更优选为70 μ m?110 μ m，进一步优选为75μπι?ΙΟΟμπι。并且，该玻璃覆膜优选为不含有碱金属的无碱玻璃。另外，作为该玻璃覆膜，优选使用红外线反射率较高的玻璃。
[0055]并且，能够在电阻发热线(12)的表面上设置防氧化覆膜。即，例如，在将电阻发热线(12)设于基板(11)的背面(Ib)侧的情况下，在电阻发热线(12)的背面(Ib)侧设置防氧化覆膜。作为这样的防氧化覆膜，能够原封不动地使用所述绝缘覆膜。即，能够原封不动地应用所述玻璃覆膜。
[0056]电阻发热线(12)只要能够通过通电而发热即可，构成发热电阻线(12)的导电材料的种类并不特别限定。作为导电材料，能够使用例如银、铜、金、钼、钯、铑、钨以及钥等。这些导电材料既可以仅使用I种，也可以组合使用两种以上。在组合使用两种以上的导电材料的情况下，能够将该两种以上的导电材料制成合金。更具体而言，能够使用银一钯合金、银一钼合金、钼一铑合金、银、铜、以及金等。
[0057]另外，构成电阻发热线(12)的导电材料优选为例如电阻温度系数((TC?1000°C的范围内)为500ppm/°C?4400ppm/°C的导电材料。该电阻温度系数((TC?1000°C的范围内)优选为500ppm/°C?4000ppm/°C,更优选为500ppm/°C?3800ppm/°C。尤其在将Ag或Ag — Pd作为导电材料的情况下，电阻温度系数((TC?600°C的范围内)优选为500ppm/°C?4000ppm/°C的导电材料、更优选为500ppm/°C?3800ppm/°C的导电材料。另一方面，在将Mo和/或W作为导电材料的情况下，优选为电阻温度系数(0°C?1000°C的范围内)是2000ppm/°C?4000ppm/°C的导电材料，更优选为电阻温度系数((TC?1000°C的范围内)是3000ppm/°C?4000ppm/°C的导电材料。并且，从表面固有电阻的观点考虑，电阻发热线(12)的线厚优选为3 μ m?20 μ m,更优选为5 μ m?17 μ m,进一步优选为8 μ m?12 μ m0另外，根据需要，能够使电阻发热配线(12)的各部位上的导电材料、线宽以及线厚等适当不同。
[0058]并且，加热装置⑴包括用于向发热板体(10)的电阻发热线(12)供电的供电用结构体(50)。供电用结构体(50)的结构并没有特别限定，但优选为由I个供电用结构体构成的供电用结构体(50)，该I个供电用结构体具有第I结构部(51)和第2结构部(52)，通过以使第I结构部(51)和第2结构部(52)分别成为桥柱的方式该I个供电用结构体整体上成形为桥形(参照图10)。
[0059]所述反射板体(20)是以与发热板体(10)分开的方式配置于发热板体(10)的背面侧(Ib)的部位。反射板体(20)与发热板体(10)大致平行地配置且在前表面侧(Ia)具有用于反射红外线的反射面(20a)。
[0060]因而，当向发热板体(10)所具有的电阻发热线(12)通电而使电阻发热线(12)发热时，热的一部分会向前表面(Ia)侧辐射。另外，热的另一部分会向发热板体(10)的背面(Ib)侧辐射。向该发热板体(10)的背面(Ib)侧辐射的热在反射面(20a)处被作为红外线反射而被向加热装置(I)的前表面(Ia)侧辐射。由此，减少自发热板体(10)辐射出的热中的、向背面(Ib)侧逸出的量，从而能够高效地利用加热装置(I)。另外，通过减少向背面(Ib)侧逸出的热量，能够减少加热装置(I)所消耗的能量。
[0061]反射板体(20)可以由任意的材料形成，例如，能够使用金属、陶瓷、玻璃等。其中，从使加工的自由度较高这样的观点考虑，优选为金属。另外，所使用的金属的种类也并不特别限定，除能够使用不锈钢之外，还能够使用Cu(铜)、A1(铝)以及它们的合金等。
[0062]另外，反射面(20a)可以使用任意的材料而形成。能够使用例如Au(金)、Ag(银)、Al (铝)、Cr (铬)、Ni (镍)、Sn(锡)以及Mg(镁)等。具体而言，能够将银(银镜面)、铝的被电解研磨后的表面、玻璃镜面(铝合金面)、铝、金、铬、镍、锡、碳酸镁等的表面用作反射面(20a)。其中，优选为含有银、金、铝的反射面(20a)。所述反射面(20a)既可以是由所述各材料构成的单体的表面，也可以是由所述材料制成的覆膜的表面。作为覆膜，可列举出由镀处理、厚膜油墨(日文:厚膜4 々)形成的镀面、溅射蒸镀表面等。
[0063]另外，发热板体(10)和反射板体(20)由支柱(30)连接起来并被固定。支柱(30)贯穿于固定地配置于发热板体(10)的背面(Ib)侧的大致四角的夹具(35)。该支柱(30)通常为螺纹结构并通过向夹具(35)内进行螺纹接合而被固定。
[0064]并且，反射板体(20)在其大致四角的分别与支柱(30)相对应的位置处具有通孔
(39)。支柱(30)贯穿于反射板体(20)的通孔(39)，并能够根据需要而使用螺母等将反射板体(20)自支柱(30)的上端侧固定。
[0065]尤其在减压条件下利用本加热装置(I)的情况下，能够格外显著地发挥基于该结构的效果。即，在减压条件下，热的对流传递小于大气条件下的热的对流传递。因此，与大气条件下相比，能够显著地进行基于控制红外线的热控制。例如，由于反射板体(20)具有反射面(20a)，因此，在减压条件下，能够更有效地获得减少向反射板体(20)的背面(Ib)侧辐射热的作用。即，能够有效地抑制热向反射板体(20)的背面(Ib)侧的逃逸(未被利用于加热被加热物的热的损耗)。
[0066]实施例2
[0067]以下，说明实施例2的加热装置(参照图3)，对于与所述实施例1的加热装置大致同样的结构部位标注相同的附图标记而省略其详细的说明。
[0068]实施例2的加热装置⑴(参照图3)在支柱(30)的位置不同方面与实施例1的加热装置(I)不同。在实施例1的加热装置(I)中，在大致四角上设有合计4根支柱(30)，相对于该结构，实施例2的加热装置(I)在发热板体(10)的中央附近设有两根支柱(30)。与利用支柱来支承四角的结构(实施例1)相比，在对发热板体(10)的中央附近进行支承的结构(实施例2)中，在发热板体(10)因加热而翘曲的情况下，能够减轻其应力。即，在对发热板体(10)的中央附近进行支承的结构(实施例2)中，通过将发热板体(10)固定于反射板体(20)，能够有效地释放发热板体(10)本身所积蓄的应变。尤其是，发热板体(10)在靠基板(11)的一表面侧具有电阻发热线(12)。并且，发热板体(10)能够具有所述那样的绝缘覆膜和防氧化覆膜等。因此，有时发热板体(10)在其表面/背面的比热不同，与反射板体(20)相比，发热板体(10)的因升温而引起的应变较大。因此，对发热板体(10)的中央附近进行支承的结构(实施例2)对于释放发热板体(10)的应变很有效。
[0069]在实施例2中，支柱(30)优选为4根以下，既可以为3根，也可以为两根，还可以为I根。另外，在实施例2中，支柱(30)优选配置于距发热板体(10)的重心位置的规定距离内。并且，在将发热板体(10)的整体面积作为100%的情况下，支柱(30)优选配置在相当于其95%以下(更优选为60%?80%、进一步优选为15%?60%)的面积的中央圆内。
[0070]并且，在将发热板体(10)的整体面积作为100%的情况下，支柱(30)的相对于发热板体(10)的接地面积(夹具35的底面积)的合计量优选为其2%以下(更优选为0.2%?1%，进一步优选为0.3%?0.7% )。
[0071]另外，在图3的形态中，两根支柱(30)的相对于发热板体(10)的接地面积的合计量优选为大约0.5% (在图1的形态中优选为大约1%)。另外，两根支柱(30)优选配置在相当于发热板体(10)的100%的整体面积的大约20%的面积的中央圆内。
[0072]实施例3
[0073]以下，说明实施例3的加热装置，对于与所述实施例1和实施例2的加热装置大致同样的结构部位标注相同的附图标记而省略其详细的说明。
[0074]实施例3的加热装置(I)(参照图4)在反射板体(20)(参照图5)的结构方面与实施例1的加热装置(I)不同。
[0075]即，实施例3的加热装置⑴的反射板体(20)(参照图5)具有:前板部(21)，其配置于靠发热板体(10)的一侧；后板部(22)，其位于比前板部(21)靠背面(Ib)侧的位置；以及侧壁部(23)，其将前板部(21)和后板部(22)连接起来。并且，侧壁部(23)具有切口或通孔(24)，该切口或通孔(24)可供用于向发热板体(10)供给电力的电源线(55)(参照图4)进行配线。并且，在实施例3的加热装置(I)中，反射板体(20)在其背面(Ib)侧具有与发热电阻线(12)电连接的连接端子(56)。更具体而言，连接端子(56)配置于前板部
(21)。并且，发热电阻线(12)经由设于发热板体(10)的供电用结构体(50)并通过电源线
(55)而与连接端子(56)电连接。
[0076]另外，前板部(21)和后板部(22)能够在例如5mm?60mm(优选为1mm?30mm、更优选为15mm?20mm)的范围内分开。
[0077]这样，在向反射板体(20)的背面(Ib)侧引出电源线(55)的情况下，如图6所示，能够将加热装置(I)以相互间组合的方式配置。即，能够通过组合加热装置(I)而获得期望的发热面积。
[0078]并且，由于反射板体(20)在侧壁部(23)上具有切口或通孔(24)，因此，在发热板体(10)的背面(Ib)侧的与发热板体(10)平行的面上不具有开口部。由此，防止红外线向反射板体(20)的背面(Ib)侧逸出，从而能够高效地进行红外线反射。即，能够构成热效率良好且节能的加热装置(I)。
[0079]实施例4
[0080]以下，说明实施例4的加热装置，对于与所述实施例1?实施例3的加热装置大致同样的结构部位标注相同的附图标记而省略其详细的说明。
[0081]实施例4的加热装置⑴(参照图7?图10)在反射板体(20)借助磁力排斥部而维持相对于发热板体(10)的位置这方面上与实施例1的加热装置(I)不同。
[0082]S卩，实施例4的加热装置⑴具有固定于发热板体(10)且贯穿反射板体(20)而向反射板体(20)的背面(Ib)侧突出的第I支柱(31)。并且，第I支柱(31)具有被第I支柱(31)贯穿且被固定的、相对的两个凸缘型的磁体(42a、42b)。另外，凸缘型的磁体(42a)位于比凸缘型的磁体(42b)靠前表面(Ia)侧的位置(参照图7和图8)。
[0083]并且，反射板体(20)具有内径大于第I支柱(31)的外径的通孔(25)。并且，第I支柱(31)被贯穿于通孔(25)(参照图7和图8)。
[0084]另外，反射板体(20)在其构成通孔(25)的周缘部的表面/背面上分别具有环形的磁体(41a、41b)。另外，环形的磁体(41a)位于比环形的磁体(41b)靠前表面(Ia)侧的位置(参照图7和图8)。
[0085]并且，两个环形的磁体(41a、41b)以介于两个凸缘型的磁体(42a、42b)之间的方式配置。而且，以使凸缘型的磁体(42a、42b)和环形的磁体(41a、41b)分别磁力排斥而不接触的方式配置各磁体的磁极。
[0086]SM列如，使凸缘型的磁体(42b)的前表面(Ia)侧为N极，并使环形的磁体(41b)的背面(Ib)侧为N极。另外，使环形的磁体(41a)的前表面(Ia)侧为N极，并使凸缘型的磁体(42a)的背面(Ib)侧为N极。通过如此进行磁极配置，能够利用相互间的磁力排斥来使反射板体(20)在不与第I支柱(31)接触的情况下维持自发热板体(10)悬浮起来的状态。即，阻断自发热板体(10)沿着第I支柱(31)传导过来的热，从而能够有效地抑制反射板体(20)的温度上升。
[0087]另外，当然，也可以是，使凸缘型的磁体(42b)的前表面(Ia)侧为S极，并使环形的磁体(41b)的背面(Ib)侧为S极。另外，使环形的磁体(41a)的前表面(Ia)侧为S极并使凸缘型的磁体(42a)的背面(Ib)侧为S极。通过这样的磁极配置，也能够获得所述效果O
[0088]另外，如图7和图8所示，凸缘型的磁体(42b)在其背面(Ib)侧由螺母(49b)固定，该螺母(49b)被第I支柱(31)贯穿且与第I支柱(31)螺纹接合。同样地，凸缘型的磁体(42a)在其前表面(Ia)侧由螺母(49a)固定，该螺母(49a)被第I支柱(31)贯穿且与第I支柱(31)螺纹接合。
[0089]并且，可以将环状的磁体(41a)和环状的磁体(41b)任意固定，能够将环状的磁体(41a)和环状的磁体(41b)以粘接于反射板体(20)的通孔(25)的周缘部的方式固定。在该情况下，能够使用例如耐热水泥、钎焊等。
[0090]另外，所述磁力排斥部包括所述两个凸缘型的磁体(42a、42b)和所述两个环形的磁体(41a、41b) ο
[0091]另一方面，实施例4的加热装置(I)具有固定于发热板体(10)且贯穿反射板体(20)而向反射板体(20)的背面侧突出的第2支柱(32)。并且，第2支柱(32)具有与其相螺纹接合的螺母(45)(参照图7和图9)。
[0092]并且，螺母(45)具有大致均等配置于其外周的至少3个螺母侧的磁体(431、432、433)(参照图7和图9)。
[0093]而且，反射板体(20)具有内径大于第2支柱(32)的外径且供第2支柱(32)贯穿的通孔(26)(参照图7和图9)。
[0094]并且，反射板体(20)在其构成通孔(26)的周缘部的表面/背面中的至少任意一个表面上具有以与至少3个螺母侧的磁体(431、432、433)分别磁力排斥的方式配置的至少3个反射板体侧的磁体(441、442、443)(参照图7和图9)。
[0095]另外，所述磁力排斥部包括至少3个螺母侧的磁体(431、432、433)和至少3个反射板体侧的磁体(441、442、443)。
[0096]即，例如，使螺母侧的磁体(431、432、433)的端面中的、与反射板体侧的磁体(441、442、443)相对应的端面为N极，并使反射板体侧的磁体(441、442、443)的端面中的、与螺母侧的磁体(431、432、433)相对应的端面为N极。通过如此进行磁极配置，能够利用相互间的磁力排斥来使反射板体(20)在不与第2支柱(32)接触的情况下维持自发热板体
(10)悬浮起来的状态。即，阻断自发热板体(10)沿着第2支柱(32)传导过来的热，从而能够有效地抑制反射板体(20)的温度上升。
[0097]另外，当然，也可以是，使螺母侧的磁体(431、432、433)的端面中的、与反射板体侧的磁体(441、442、443)相对应的端面为S极，并使反射板体侧的磁体(441、442、443)的端面中的、与螺母侧的磁体(431、432、433)相对应的端面为S极。通过这样的磁极配置，也能够获得所述效果。
[0098]另外，能够将螺母侧的磁体(431、432、433)分别以粘接于螺母(45)的侧面的方式固定。在该情况下，能够使用例如耐热水泥、钎焊等。同样地，能够将反射板体侧的磁体(441、442、443)分别以粘接于反射板体(20)的背面(Ib)的表面的方式固定。在该情况下，能够使用例如耐热水泥、钎焊等。
[0099]并且，通过利用所述那样的图8所示的磁体和其配置，能够使发热板体(10)和反射板体(20)分开，而无需在发热板体(10)与反射板体(20)之间设置热传导部位。另外，通过利用图9所示的磁体和其配置，能够将发热板体(10)与反射板体(20)之间的位置固定。即，利用图8所示的磁体和其配置，能够将发热板体(10)与反射板体(20)之间的在Z轴方向上的位置关系固定。并且，利用图9所示的磁体和其配置，能够将发热板体(10)与反射板体(20)之间的在X轴和Y轴方向上的位置关系固定。这样，优选将图8所示的磁体和其配置以及图9所示的磁体和其配置组合使用。另外，在将图8所示的磁体和其配置以及图9所示的磁体和其配置组合使用的情况下，如图10所示，优选在彼此对角的位置分别配置两套图8所示的磁体和其配置以及两套图9所示的磁体和其配置。
[0100]另外，在本发明中，并不限于所述实施例，能够为根据目的、用途而在本发明的范围内进行各种变更而成的实施例。
[0101]S卩，在实施例1?实施例4中，能够具有用于将发热板体(10)和反射板体(20)维持为分开状态的支柱(30)。在该情况下，能够为使支柱(30)具有介于发热板体(10)与反射板体(20)之间的陶瓷制的间隔件(36)的形态(参照图13)。通过使陶瓷制的间隔件(36)介于发热板体(10)与反射板体(20)之间，能够抑制热传导速度。即，与仅利用金属来构成支柱(30)的情况相比，能够将自发热板体(10)沿着支柱(30)传导至反射板体(20)的热传导的速度抑制得较小。换言之，可以说能够将发热板体(10)与反射板体(20)之间热绝缘。
[0102]另外，在为支柱(30)具有间隔件(36)的形态的情况下，图13所示的支柱(30)能够具有固定在发热板体(10)的基板(11)上的夹具(35、加强支柱)、介于发热板体(10)与反射板体(20)之间的陶瓷制的间隔件(36)、支柱头(37)、以及用于将所述夹具(35)、间隔件(36)以及支柱头(37)分别连接起来的接合构件(381、382)。
[0103]并且，图13所示的夹具(35)能够具有能与接合构件(381)相接合的背面(Ib)侧固定孔(35a)。另外，间隔件(36)能够具有能与接合构件(381)相接合的前表面(Ia)侧固定孔(36a)和能与接合构件(382)相接合的背面(Ib)侧固定孔(36b)。并且，支柱头(37)能够具有能与接合构件(382)相接合的前表面(Ia)侧固定孔(37a)。
[0104]在这样的结构的支柱(30)中，通过将接合构件(381)接合于固定孔(35b)和固定孔(36a)，能够使夹具(35)和间隔件(36)相接合。另外，通过将接合构件(382)接合于固定孔(36b)和固定孔(37a)，能够使间隔件(36)和支柱头(37)相接合。并且，能够通过该接合使发热板体(10)与反射板体(20)之间电绝缘。
[0105]并且，能够在反射板体(20)上设置通孔(39)。并且，在将接合构件(382)贯穿到通孔(39)内之后，使反射板体(20)介于间隔件(36)与支柱头(37)之间，在该状态下，能够使间隔件(36)、接合构件(382)以及支柱头(37)相接合。由此，利用支柱(30)，能够在所述绝缘的基础上固定反射板体(20)。
[0106]另外，可以将所述各固定孔(35b、36a、36b、37a)与接合构件(381、382)之间任意接合。即，例如，可以通过设置螺纹结构而使各固定孔与接合构件螺纹接合。并且，也可以在使各固定孔和接合构件嵌合的基础上使用粘接剂将各固定孔和接合构件粘接固定起来。另外，例如，能够利用钎焊来使各固定孔和接合构件相接合。这些接合形态既可以仅使用I种也可以组合使用两种以上。
[0107]并且，也可以是将接合构件预先固定于各固定孔的形态。具体而言，例如，能够以如下形态利用接合构件(381):将接合构件(381)预先固定于固定孔(35b)，并且能够将接合构件(381)接合于固定孔(36a)。同样地，能够以如下形态利用接合构件(382):将接合构件(382)预先固定于固定孔(36b)，并且能够将接合构件(382)接合于固定孔(37a)。
[0108]另外，在实施例1?实施例4中，加热装置(I)能够具有用于将发热板体(10)和反射板体(20)维持为分开状态的支柱(30)。在该情况下，能够使支柱(30)贯穿反射板体(20)而向反射板体(20)的背面(Ib)侧突出。并且，能够成为以下加热装置(I):反射板体(20)能够沿着贯穿该反射板体(20)的支柱(30)向前表面(Ia)侧和背面(Ib)侧移动，由此能够改变发热板体(10)与反射板体(20)之间的分开距离。
[0109]这样，在能够改变发热板体(10)与反射板体(20)之间的分开距离的加热装置(I)中，在排列配置加热器时(参照图6)，能够独立地调节各个加热器(I)的分开距离。由此，能够确保可靠的绝缘并提高配线的引绕自由度。
[0110]另外，在排列配置加热器时(参照图6)单独地调节各个加热器(I)的分开距离的情况下，有时红外线的反射率会由于各加热器(I)而发生变化。在这样的情况下，通过对向各加热装置(I)的发热板体(10)的通电进行控制，能够保持发热板体(10)的前表面(Ia)侧的热辐射量的平衡。
[0111]并且，在实施例1?实施例4中，加热装置(I)能够具有用于将发热板体(10)和反射板体(20)维持为分开状态的支柱(30)。在该情况下，能够使支柱(30)贯穿反射板体
(20)而向反射板体(20)的背面(Ib)侧突出。并且，本加热装置(I)能够利用在背面(Ib)侧突出的支柱(30)而在整体上得到固定。
[0112]这样，在利用在背面(Ib)侧突出的支柱(30)而整体被固定的加热装置(I)中，在来自支柱(30)的引热作用下，减少自发热板体(10)向反射板体(20)的热传导量，从而能够使反射板体(20)向其背面(Ib)侧辐射的热量减少。即，能够抑制反射板体(20)的背面(Ib)侧的温度上升。
[0113]另外，在本加热装置中，在发热板体(10)中，电阻发热线(12)既可以配置于基板(11)的前表面(Ia)侧(即，热辐射侧)，也可以配置于基板(11)的背面(Ib)侧。作为将电阻发热线(12)配置于基板(11)的背面(Ib)侧的形态，可列举出图1、图3、图4、图6、图7以及图13。另一方面，作为将发热电阻线配置于基板(11)的前表面(Ia)侧的形态，可列举出图12。在该图12所示的形态中，不必设置连接端子(56)(参照图4)以向发热电阻体
(12)供给来自外部的电力。即，在图12所示的形态中，能够直接向供电用结构体(50)供给来自外部的电力而使发热电阻体(12)发热。因而，能够构成更简便的结构。
[0114]产业h的可利用件
[0115]本发明的加热装置能够作为用于加热被加热物的技术广泛地应用。具体而言，能够较佳地应用于在半导体的制造过程中使用的干燥炉、在半导体的制造过程中使用的热处理炉、在平板显示器的制造过程中使用的干燥炉、在平板显示器的制造过程中使用的热处理炉等。尤其是，本发明的加热装置在减压(大致真空)条件下反复进行升温和降温的用途中有用。
[0116]附图标记说明
[0117]1、加热装置；la、前表面侧；lb、背面侧；10、发热板体；11、基板；12、发热电阻线；20、反射板体；21、前板部；22、后板部；23、侧壁部；24、缺口或通孔；20a、反射面；25、26、通孔；30、支柱；31、第I支柱；32、第2支柱；35、夹具(用于固定支柱的夹具、加强支柱)、35b、加强支柱的背面侧固定孔；36、间隔件；36a、间隔件的前表面侧固定孔；36b、间隔件的背面侧固定孔；37、支柱头；37a、支柱头的前表面侧固定孔；381、382、接合构件；39、通孔(供支柱贯穿的通孔)；41a、41b、环形的磁体；42a、42b、凸缘型的磁体；431、432、433、螺母侧的磁体；441、442、443、反射板体侧的磁体；45、螺母；49a、49b、螺母;50、供电用结构体;51、第I结构部；52、第2结构部；55、电源线；56、连接端子。
【权利要求】
1.一种加热装置，其特征在于， 该加热装置包括:发热板体，其配置于该加热装置的前表面侧，用于辐射热；以及反射板体，其以与所述发热板体分开的方式配置于所述发热板体的背面侧， 所述发热板体包括基板和配置于该基板的一表面上的电阻发热线， 所述反射板体与所述发热板体大致平行地配置且在前表面侧具有用于反射红外线的反射面。
2.根据权利要求1所述的加热装置，其中， 所述反射板体具有:前板部，其配置于靠所述发热板体的一侧；后板部，其位于比所述前板部靠背面侧的位置；以及侧壁部，其将所述前板部和所述后板部连接起来， 所述侧壁部具有切口或通孔，该切口或通孔可供用于向所述发热板体供给电力的电源线进行配线。
3.根据权利要求1或2所述的加热装置，其中， 所述发热板体和所述反射板体在磁力的作用下被维持为彼此分开的状态。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的加热装置，其中， 所述反射板体在其背面侧具有与所述发热电阻线电连接的连接端子。
5.根据权利要求4所述的加热装置，其中， 所述连接端子配置于所述前板部。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的加热装置，其中， 该加热装置包括用于向所述发热板体的所述电阻发热线供电的供电用结构体， 所述供电用结构体具有第I结构部和第2结构部， 所述供电用结构体为以使所述第I结构部和所述第2结构部分别成为桥柱的方式整体上成形为桥形的I个供电用结构体。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的加热装置，其中， 该加热装置具有用于将所述发热板体和所述反射板体维持为分开状态的支柱， 所述支柱具有介于所述发热板体与所述反射板体之间的陶瓷制的间隔件。
8.根据权利要I至7中任一项所述的加热装置，其中， 该加热装置是在大气条件下或减压条件下使用的加热装置。
【文档编号】H05B3/02GK104380839SQ201480001580
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年2月7日 优先权日:2013年2月20日
【发明者】铃木文胜, 梅村裕司, 加藤祥平, 森田智博, 枅川正也 申请人:株式会社美铃工业