专利名称：清洗铝合金零件的方法
技术领域：
本发明涉及一种清洗方法，尤其涉及一种清洗铝合金零件的方法。
背景技术：
铝合金是半导体刻蚀设备使用的重要材料，其反应室的关键零部件多为铝合金制造。 根据设计要求，这些零部件表面有的需要经过表面处理，比如硬质阳极氧化、等离子喷 涂、导电氧化、刷度镍等，有的则直接采用铝金属表面。在集成电路制造过程中，铝合金 零部件需经常周期性地进行清洗，零部件清洗质量的好坏关系到刻蚀工艺是否可以正常进 行。
目前，在铝合金零件清洗中，水痕(water mark)是经常出现的问题。 现有技术一采用IPA擦拭，再用菜瓜布沾热水擦拭。
上述现有技术一至少存在以下缺点不能根本去除水痕，并且费力费时，清洗效果不 明显。
现有技术二采用1% 5%的醋酸铵、1% 10%的醋酸、1% 8%的硫酸铝溶液浸泡，再 用菜瓜布擦拭。
上述现有技术二至少存在以下缺点化学液配制麻烦，整个过程操作复杂费时，并且
整体效果不够明显。
发明内容
本发明的目的是提供一种操作简便、能有效除去水痕、清洗效果明显的清洗铝合金零 件的方法。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的-
本发明的清洗铝合金零件的方法，包括步骤
A、 用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面；
B、 用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面；
C、 采用超声清洗铝合金零件表面。 '
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的清洗铝合金零件的方法，由于
先用金属抛光研磨液研磨，再用无尘纸蘸有机溶剂擦拭，再采用超声清洗铝合金零件表 面。操作简便、能有效除去水痕、清洗效果明显。
具体实施例方式
本发明的清洗铝合金零件的方法，其较佳的具体实施方式
是，包括， 步骤l、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面；
步骤2、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面，所述的有机溶剂可以是异丙醇、 乙醇或丙酮中的一种或多种，也可以是其它的有机溶剂。 步骤3、采用超声清洗铝合金零件表面。
所述的步骤l之前，首先用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，并用氮气将铝合金零 件表面吹干。
其中，步骤1和步骤2可以重复进行一次或多次，然后用超纯水对铝合金零件表面进行 喷淋，并用氮气将铝合金零件表面吹干。
用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋的时间大于等于5分钟。
所述的步骤3中，采用超声清洗铝合金零件表面时，首先用20 — 30千赫的超声清洗20 一30分钟，再用35—45千赫的超声清洗20 — 30分钟。超声能量密度小于等于20瓦/加仑。可 以在水温为20—25'C的18兆去离子水中进行。
最后，用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，并用氮气将铝合金零件表面吹干，再进 行烘干。烘干的温度为80 12(TC，时间为1 1.5小时。
一个具体实施例
准备金属抛光专用研磨液、M-3无尘纸、无尘室专用防护胶带以及电子级IPA (异丙 醇)。
在室温下使用超纯水喷淋零件表面至少5分钟，以去除表面一些吸附性较低的颗粒污 染物，然后用洁净N2枪吹干表面。
使用电子级异丙醇来去除裸铝表面的有机杂质，其他的有机溶剂如果符合要求也可以 使用如乙醇、丙酮等，但前提是不能造成裸铝表面的再次污染；再用超纯水冲洗，并用N2 枪吹干。
用防护胶带覆盖无需进行清洗的表面部分，
将适量研磨液涂抹在M-3无尘纸上，顺着裸铝原本的抛光纹路轻轻均匀擦拭，避免过 于用力或力度不均，从而导致擦拭过多的表面产生新的纹路或破坏原有纹路。
用蘸有IPA的M-3无尘纸擦拭被研磨过的表面，除去研磨中留下的污物，擦拭直到无尘
纸上看不出污染颜色。
重复上述研磨和擦拭的步骤5 — 6次，直到去除裸铝表面所有水痕并使其光亮。 揭去防护胶带。
在室温下使用超纯水喷淋零件表面至少5分钟，然后用洁净N2枪吹干表面。
放入超声槽中，更换新的18兆去离子水，水温为室温25t:，以较低频率(25KHz)进 行大颗粒的去除，超声20-30分钟，超声能量密度小于20瓦/加仑，零件与托板之间垫有无 尘布以防止水印。时间不要过长，以免损害表面。
放入超声槽中，更换新的18兆去离子水，水温为室温25'C ，以较高频率(40KHz)进 行小颗粒的去除，超声20-30分钟，超声能量密度小于20瓦/加仑，零件与托板之间垫有无 尘布以防止水印。时间不要过长，以免损害表面。
超纯水喷淋零件表面至少5分钟，并用带有过滤器的N2枪吹干零部件表面，直到看不 见明显的水滴。积聚于凹部的残留液，可用无尘纸吸附后，再用N2吹扫。对于孔槽，特别 是较深的螺纹孔应特别注意吹扫干净，这些孔槽的水分会使烘干变得困难，并且在烘干过 程中，大量的水分溢流到裸铝表面，导致水痕产生。
把零件置于洁净烘箱中，在80 12(TC，烘烤1 1.5小时。
本发明使用金属抛光专用研磨液、专用无尘纸和常温超声清洗的方法去除零部件裸铝 表面的水痕，是一种快速而简便的水痕去除和避免水痕的有效方法，而且对零件表面的损 伤也是极为微量的，在零部件允许规格范围内。主要适用于半导体加工设备中铝合金零部 件的清洗，也适用于对其它铝合金器件的清洗。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任 何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都 应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种清洗铝合金零件的方法，其特征在于，包括步骤A、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面；B、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面；C、采用超声清洗铝合金零件表面。
2、 根据权利要求l所述的清洗铝合金零，的方法，其特征在于，所述的步骤A之前， 首先用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，并用氮气将铝合金零件表面吹干。
3、 根据权利要求l所述的清洗铝合金零件的方法，其特征在于，所述的有机溶剂包括 以下至少一种溶剂异丙醇、乙醇、丙酮。
4、 根据权利要求l所述的清洗铝合金零件的方法，其特征在于，所述的步骤C之后还 包括，用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，并用氮气将铝合金零件表面吹干，再进行烘 干。
5、 根据权利要求4所述的清洗铝合金零件的方法，其特征在于，对铝合金零件表面进 行烘干的温度为80 12(TC，时间为1 L 5小时。
6、 根据权利要求l所述的清洗铝合金零件的方法，其特征在于，所述的步骤A和步骤B 重复进行一次或多次，然后用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，并用氮气将铝合金零件 表面吹干。
7、 根据权利要求2、 4或6所述的清洗铝合金零件的方法，其特征在于，所述用超纯水 对铝合金零件表面进行喷淋的时间大于等于5分钟。
8、 根据权利要求l所述的清洗铝合金零件的方法，其特征在于，所述的步骤C中，首 先用20 — 30千赫的超声清洗20—30分钟，再用35—45千赫的超声清洗20—30分钟。
9、 根据权利要求1或8所述的清洗铝合金零件的方法，其特征在于，所述的步骤C中， 采用超声清洗时，超声能量密度小于等于20瓦/加仑。
10、 根据权利要求1或8所述的清洗铝合金零件的方法，其特征在于，所述的步骤C 中，采用超声清洗时，在水温为20—25'C的18兆去离子水中进行。
全文摘要
本发明公开了一种清洗铝合金零件的方法，首先用超纯水喷淋铝合金零件的表面；然后用金属抛光专用研磨液研磨，并用无尘纸蘸IPA擦拭；再用超声清洗；最后用氮气吹干，并进行洁净烘干。可有效去除裸铝表面的水痕，同时避免零件在清洗中再产生水痕，操作简便、清洗效果明显。主要适用于半导体加工设备中铝合金零部件的清洗，也适用于对其它铝合金器件的清洗。
文档编号B08B3/12GK101372748SQ200710120619
公开日2009年2月25日 申请日期2007年8月22日 优先权日2007年8月22日
发明者林 陶 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司