专利名称：拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置的制作方法
技术领域：
拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池生产设备，尤其涉及拉晶炉的除尘设备。背景技术：
随着太阳能电池的不断推广应用，硅棒的需求量越来越大。目前，硅棒通常采用拉 晶炉拉制，俗称直拉法。直拉法是指在拉晶炉的真空腔室内设有石英坩埚，将经过处理的高 纯多晶硅料或次品硅(单晶硅和多晶硅头尾料)装入石英坩埚内，并向拉晶炉内充入保护 性气体，加热至1500°C使硅料熔化，然后将子晶夹头中的子晶降下与多晶熔硅充分接触，子 晶严格定向，并以一定的速度旋转提升，在晶核诱导下从熔体上被缓缓提拉出来。在拉晶过 程中，硅熔液会产生挥发性烟气，主要包括硅氧化物(SiO、少量的SiO2,呈黄色烟尘状)和 杂质挥发物。这些气尘粒子必须及时由真空泵抽吸到拉晶炉的初级储尘箱内，否则气体中 灰尘粒子就会飘浮在单晶生长界面周围，从而直接影响硅棒的品质。因此生产中必须向拉 晶炉中充入氩气，氩气由上至下穿过单晶生长区域，带走气尘杂质。当氩气的流量偏小时， 能明显看到硅熔液上方有烟尘翻腾，俗称“冒烟”，此时，SiO粒子可能会被吸附到单晶生长 界面上，造成正在生长的单晶的原子晶向发生位错，使单晶生长失败，俗称“断苞”，降低了 成晶率。由于电池的单位成本随着电池尺寸的增加而降低，因此生产大规格的硅棒是必然 趋势，这样一次向拉晶炉内投入的硅料量就更大，必须使用更大的石英坩埚。在拉棒过程中 产生的气尘杂质必然会更多，也就增加了硅棒产生位错的机率。所以，大直径晶棒需要更迅 速地排除气尘杂质。目前，拉晶炉、初级储尘箱和真空泵之间的连接关系如图1所示，所述 初级储尘箱12为竖直的筒状体，包括筒体和筒盖，在筒体内设有不锈钢滤网B2，它将筒体 内分隔成存尘室Bl和真空室B3，拉晶炉10中的废气通过连接管11与初级储尘箱12中的 存尘室Bl相通，真空泵13通过连接管11与真空室B3相通连。在拉晶过程中，拉晶炉10 中的灰尘会被吸入初级储尘箱12中，拉晶结束经过冷却，再用移动式吸尘器来吸除初级储 尘箱12中的灰尘。根据现行的拉晶工艺，拉晶炉10拉晶结束后需要冷却5小时才能对初 级储尘箱12内的灰尘进行吸除，即使如此，拉晶炉10的初级储尘箱12内的温度还很高，一 般在120°C 150°C，由于吸尘器内的储尘袋为纸质或无纺布材质，如此温度的灰尘废气被 强行吸入吸尘器的储尘袋中，时常将之烫坏，含有灰尘的高温废气会直接渗透到吸尘器驱 动电机的旋转主轴轴承内，导致轴承卡死，因此吸尘器的使用寿命很短，一般只能使用3个 月，每台拉晶炉10每年至少需要配4台吸尘器，以2000元/台计算，每台拉晶炉10仅吸尘 器消耗就高达8000元，不仅生产成本大，而且拉晶炉10的生产间隔时间太长，拉晶炉的生 产效率没有得到充分发挥，每次开炉、关炉所消耗的能量也很大。到目前为止，太阳能电池 生产企业还没有理想的解决方法。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置。[0005]用这种吸尘装置取代现有的吸尘器，不仅可缩短拉晶炉的停炉时间，提高拉晶炉 的产能，而且能对拉晶车间所有拉晶炉的初级储尘箱中的高温灰尘进行吸除，既快速又安全。本实用新型所采用的技术方案是所述拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置，其特征是包括吸尘嘴、吸尘支管、支路 阀门、主管道、二级储尘箱、吸风管、吸风机和排风管，在主管道上接有多条吸尘支管，每一 条吸尘支管对应于一台拉晶炉，每一条吸尘支管都通过支路阀门与主管道相通连；所述二 级储尘箱包括二级储尘筒、耐高温滤网筒和端盖，主管道与二级储尘筒的筒体内腔相通连， 耐高温滤网筒放置在二级储尘筒的筒体内腔中，吸风管穿过端盖与耐高温滤网筒的滤网筒 内腔相通连，吸风机设置在吸风管和排风管之间。进一步，所述吸尘支管是不锈钢软管。进一步，所述耐高温滤网筒由不绣钢网围合而成，其目数为30 60目。由于在主管道上接有若干个吸尘支管，每根吸尘支管由支路阀门控制，每一根吸 尘支管对应于一台拉晶炉，当拉晶炉拉晶结束后冷却2 3小时，开启吸风机，只要将对应 的支路阀门打开，用吸尘嘴对准初级储尘箱中的存尘室和不锈钢滤网进行吸除，就能很快 地将拉晶炉的初级储尘箱中的灰尘吸除，在吸除过程中，虽然初级储尘箱中灰尘的温度还 较高，一般在200°C以内，但由于吸尘支管、支路阀门、主管道、二级储尘箱、吸风管、吸风机 和排风管都为耐高温材料，它不仅能及时对初级储尘箱中的灰尘进行吸除，缩短拉晶炉的 冷却时间，而且在吸除过程中工作稳定可靠，不存在滤芯被烫坏的情况。将二级储尘箱设置 在拉晶车间外，不仅减少了吸尘对拉晶车间的污染，满足拉晶车间的净化要求，而且延长了 高温灰尘废气的降温路线，使得吸入二级储尘箱中灰尘接近环境温度。用本实用新型取代现有的吸尘器，不仅缩短拉晶炉的冷却时间，提高了拉晶炉的 产能，而且减少了吸尘过程中灰尘对拉晶车间的污染，一套装置可对拉晶车间的所有拉晶 炉进行吸尘，吸尘方便、快捷、可靠、安全，维护成本低。经测算，拉晶车间配备本实用新型的 一次投入比现有技术一年更换吸尘器的费用还要低，经济效益十分显著。
[0012]图1为拉晶炉、初级储尘箱、真空泵三者间的连接示意图；图中10-拉晶炉；11-连接管；12-初级储尘箱；13-真空泵；B 1_存尘室；B2-不 锈钢滤网；B3-真空室。图2为本实用新型工作示意图；图中1_吸尘嘴；2-吸尘支管；3-支路阀门；4-主管道；5- 二级储尘箱；6_吸风 管；7-吸风机；8-排风管；9-下水道；51-二级储尘筒；52-耐高温滤网筒；53-端盖；54-筒 体内腔；55-滤网筒内腔。
具体实施方式
以下结合附图说明本实用新型的具体实施方案本实用新型所述拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置，如图2所示，它包括吸尘嘴 1、吸尘支管2、支路阀门3、主管道4、二级储尘箱5、吸风管6、吸风机7和排风管8，每一条吸尘支管2对应于一台拉晶炉，且吸尘支管2通过支路阀门3与主管道4相通连，所述吸尘 支管2是耐高温的金属软管；所述二级储尘箱5设置在拉晶车间外，它由二级储尘筒51、耐 高温滤网筒52和端盖53组成，耐高温滤网筒52放置在二级储尘筒51内，并与端盖53的 端面贴合，所述耐高温滤网筒52由目数为40目的不绣钢网围合而成；主管道4与二级储尘 筒51的筒体内腔54相通连，吸风管6穿过端盖53与耐高温滤网筒52的滤网筒内腔55相 通连，吸风机7的吸风口与吸风管6相连接，吸风机7的排风口与排风管8相连接，排风管 8通入下水道9中。
权利要求一种拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置，其特征是包括吸尘嘴(1)、吸尘支管(2)、支路阀门(3)、主管道(4)、二级储尘箱(5)、吸风管(6)、吸风机(7)和排风管(8)，在主管道(4)上接有多条吸尘支管(2)，每一条吸尘支管(2)对应于一台拉晶炉，每一条吸尘支管(2)都通过支路阀门(3)与主管道(4)相通连；所述二级储尘箱(5)包括二级储尘筒(51)、耐高温滤网筒(52)和端盖(53)，主管道(4)与二级储尘筒(51)的筒体内腔(54)相通连，耐高温滤网筒(52)放置在二级储尘筒(51)的筒体内腔(54)中，吸风管(6)穿过端盖(53)与耐高温滤网筒(52)的滤网筒内腔(55)相通连，吸风机(7)设置在吸风管(6)和排风管(8)之间。
2.根据权利要求1所述拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置，其特征是所述吸尘支管 (2)是不锈钢软管。
3.根据权利要求1所述拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置，其特征是所述耐高温滤 网筒(52)由不绣钢网围合而成，其目数为30 60目。
专利摘要一种拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置，包括吸尘嘴、吸尘支管、支路阀门、主管道、二级储尘箱、吸风管、吸风机和排风管，所有吸尘支管通过支路阀门与主管道相通连，每一条吸尘支管对应于一台拉晶炉，所述二级储尘箱包括二级储尘筒、耐高温滤网筒和端盖，主管道与筒体内腔相通连，耐高温滤网筒放置在筒体内腔中，吸风管穿过端盖与耐高温滤网筒的滤网筒内腔相通连，吸风机设置在吸风管和排风管之间。由之取代现有的吸尘器，能缩短拉晶炉的冷却时间，提高拉晶炉的产能，可对拉晶车间的所有拉晶炉进行吸尘，吸尘方便、快捷、可靠、安全，维护成本低。
文档编号B08B9/08GK201684759SQ20102020818
公开日2010年12月29日 申请日期2010年5月31日 优先权日2010年5月31日
发明者周小伟 申请人:常州亿晶光电科技有限公司