空气离子清洗装置制造方法
【专利摘要】本发明用于提供一种空气离子清洗装置，该空气离子清洗装置用于对图像传感器表面的离子进行清洗，该空气离子清洗装置包括有气体输入装置、平板电极，置于平板电极间的电磁阀、高压射频电压源、多个支撑部，及两个抽真空装置，该支撑部用于放置待清洗的图像传感器，该气体输入装置用于向平板电极之间输入混合气体，该高压射频电压源用于游离平板电极之间的气体，产生带电的气体组合，该带电的气体组合流向至图像传感器表面以使该图像传感器的表面带电，及使得该图像传感器表面的离子被离子化为带电离子，该抽真空装置用于将图像传感器表面带电的离子抽离到外部吸集器。本发明的空气离子清洗装置，可避免在清洗的同时对图像传感器再次污染。
【专利说明】空气离子清洗装置
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种空气离子清洗装置。
【背景技术】
[0002]现有技术下，对于准备封装的图像传感器通常还需要人为来操作机台，由此将会导致图像传感器被污染。因此，客户在要求封装图像传感器时，都需要严格的限制可容许在图像传感器上的离子的数量。鉴于此，有必要提供一种可对图像传感器表面上的离子进行处理的清洗装置。
【发明内容】
[0003]本发明的主要目的在于提供一种空气离子清洗装置，旨在解决上述的问题。
[0004]本发明用于提供一种空气离子清洗装置，该空气离子清洗装置用于对图像传感器表面的离子进行清洗，该空气离子清洗装置包括有气体输入装置、与气体输入装置连接的平板电极，置于平板电极间的电磁阀、置于平板电极两侧的高压射频电压源、置于平板电极下方的多个支撑部，及置于支撑部两侧的两个抽真空装置，该支撑部用于放置待清洗的图像传感器，该气体输入装置用于向平板电极之间输入混合气体，该高压射频电压源用于游离平板电极之间的气体，产生带电的气体组合，该电磁阀用于控制气体输入装置向平板电极间输入混合气体的流量，该带电的气体组合流向至图像传感器表面以使该图像传感器的表面带电，及使得该图像传感器表面的离子被离子化为带电离子，该抽真空装置用于将图像传感器表面带电的离子抽离到外部吸集器。
[0005]本发明的空气离子清洗装置，其通过空气离子对图像传感器表面的离子进行清洗，以此避免在清洗的同时对图像传感器再次污染。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本发明空气离子清洗装置的硬件结构图。
[0007]主要元件符号说明
【权利要求】
1.一种空气离子清洗装置，该空气离子清洗装置用于对图像传感器表面的离子进行清洗，其特征在于:该空气离子清洗装置包括有气体输入装置、与气体输入装置连接的平板电极，置于平板电极间的电磁阀、置于平板电极两侧的高压射频电压源、置于平板电极下方的多个支撑部，及置于支撑部两侧的两个抽真空装置，该支撑部用于放置待清洗的图像传感器，该气体输入装置用于向平板电极之间输入混合气体，该高压射频电压源用于游离平板电极之间的气体，产生带电的气体组合，该电磁阀用于控制气体输入装置向平板电极间输入混合气体的流量，该带电的气体组合流向至图像传感器表面以使该图像传感器的表面带电，及使得该图像传感器表面的离子被离子化为带电离子，该抽真空装置用于将图像传感器表面带电的离子抽离到外部吸集器。
2.如权利要求1所述的空气离子清洗装置，其特征在于:该空气离子清洗装置还包括有分别设置于抽真空装置外的高压游离电极，该高压游离电极用于将抽真空装置在抽离图像传感器表面带电的离子时所吸入的空气游离为带电离子。
3.如权利要求1所述的空气离子清洗装置，其特征在于:该气体输入装置输入至平板电极间的混合气体包括有氧气及氩气。
4.如权利要求1所述的空气离子清洗装置，其特征在于:该空气离子清洗装置还包括有固定于支撑部下方的传送装置，该传送装置用于传送该支撑部。
【文档编号】B08B7/00GK104070042SQ201310098906
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2013年3月26日 优先权日:2013年3月26日
【发明者】张仁淙 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司