硼铝硅酸盐玻璃的制作方法

专利名称：：硼铝硅酸盐玻璃的制作方法
技术领域：
：本发明一M涉及玻璃，更尤其涉及硼铝硅酸盐玻璃，及其制备方法和用途。
背景技术：
：显示器主要分成两类发射型(例如，阴极射线管和等离子显示器面板(PDP))和非劍寸型。液晶显示器(LCD)属于后一类，后一类依靠外部光源，显示器仅作为光调制器。在液晶显示器的情况下，外部光源即可以是环境光源(用于反射显示器)也可以是专用光源(例如在直接图象显示器中发现的)。液晶显示器依靠液晶(LC)材料的三个固有特',皿行调制。第一特性是LC材料弓胞偏振光的旋光性的能力。第二特性是这种旋转外液晶的机械取向的1繊性。第三特性魏过^顿夕卜部电场外液晶进行机械取向的能力。在简单的、扭曲相列(TN)液晶显示器结构中，两个St及包围液晶材料层。在公知的NormallyWhite显示，型中，在^t反的内表面上应用定向层产生液晶指向矢的90°旋转。这就意,m液晶单元一面的线性偏振光的偏振将被液晶材料旋转90。。相互垂直取向的偏振膜置于基板的外表面上。m第一偏振膜时光是线性偏振的。穿过液晶单元，光偏振旋转90。并皿过第二偏振膜离开。施加穿过液晶层的电场利用场来排列液晶指向矢，防碍其光旋转能力。通过该单元的线性偏振光并不旋转偏振，因此l^二偏lll莫阻挡。因此，最简单来说，液晶材料成为一种光阀，通过应用电场控制其允许或阻挡光传输的能力。上述的说明适合于在液晶显示器中单像素的操作。高信息类型的显示器要求在本领域中称为亚像素的几百万像素排列成矩阵格式。所有这些亚像素的寻址，即对所有的这些亚像素应用电场，同时使寻址速度最大化和使串扰最小化具有几种挑战。亚像素寻址的一种优选方式是通过用位于每个亚像素上的薄膜晶体管控制电场，构成活性矩阵液晶显示器设备(AMLCD)的基础。这些显示器的制备非常复杂，当制备具有光学性能的显示器时基板玻璃的特性非常重要。在Kohli的美国专利6,060,168、Chacon等人的美国专利6,319,867、Chacon等人的美国专利6,831,029和Kohli的美国专利RE38,959中描述了一些适合的繊玻璃。然而，仍然需要會調于制备活性矩阵液晶显示器设备(AMLCD)和其它平板显示器的玻璃，本发明部分关于解决该需求。对于LCD显示器基板的一个技术问题，尤其是由例如多晶硅技术的高温过程审恪的这些显示器，是顿玻璃鹏行高温处理步骤之后的玻璃板的密度变化(收縮，或热稳定性)。玻璃板的收縮能导致在繊表面产生的半导体特性缺少配准，因此得到低质量或有缺陷的显示器。玻璃板的热稳定性取决于玻璃组成和其受热过程。然而，尽管严格退火的玻璃板在下游处理过程中有较小的收縮，但仍难以获得这样热动力稳定自板，并且要求第二热处理和/或低生产速率的制备过程会导致非常高的成本。已经发现玻璃材料的退火点与玻璃板的热稳定性相关。对于通过给定热处理过程制备的玻璃板，玻璃材料的退火点越高，由此制备的鹏板的收縮越小。本发明解决前面讨论的几个技术问题。
发明内容本发明涉及液相线粘度大于或等于约900oo泊的无i!M，戶;M玻璃包含Si02、A1203、B203、MgO、CaO禾QSrO，使得基于氧化物的摩尔百分数是6顿02^68.2;2，g0^9;3^Ca0^9;和将会在下面的附图和详细说明中更加全面的说明和讨论本发明的这些和附加特征和实施方案。图1是显示具有退火点范围的玻璃在45(TC—个小时之后收縮的图。图2是根据本发明的多种玻璃的预测Si02含量相对于领糧的Si02含量的图。图3是根据本发明的多种玻璃的预测MgO含量相对于测量的MgO含量的图。图4是本发明的各种玻璃的熔融温度与Si02含量的关系图。具体实施例方式在本发明的材料、制品、禾口/或方法被公开和描^t前，要理解的是，下面描述的方面并不局限于特定的材料、制备方法，或用途，而是理解为说明本发明。还要理解的是，在此使用的术语仅是为了描述特别的方面，并不是指局限于此。在说明书和权利要求书中，除非文中其它要求，否则，单词"包含"或变化形式，例如包含的单数形式和进行式都应理解为意味着包括戶/i^组分但不排除任何其它组分或组分的组。必须要注意的是，如在说明书和附加的权禾腰求中i顿的，单数形式"a"，"an"和'the"包括复数指代，除非文中清楚其它指示。因此，例如，对于"澄清齐U"意口賴包括两种或多种这种澄清剂的混^th对于"玻璃形成恢glassformer)"是指包括两种或多种这种玻璃形成体的混合物，等。"可选的"或"可选地"尉旨随后描述的事件或瞎况可以发生也可以不发生，并且说明书包括事件和情况发生的例子和没有发生的例子。当〈細近似值敲，例如，在"约一^^寺定值"中i顿先衍司"约"，可以理解为该特定f鄉成本发明的另一方面。范围可以鋭为"从'约'一啊寺定值到'约'另一^K寺定值"，"少于'约'一^f寺定值"，"'约'一M寺定值或更大"等。当駄这种范围时，本发明的另一方面分别包括'从一，定值到另一M寺定值"、"少于该特定值"、和"特定值或更大"。进一步働军为齡范围的端点既与另一端点密切关联，又不取决于另一端点，在范围中没有记载更低端点的情况下，更低的端点是指零和包括零。组分的重量百分数，除非特别相反描述，都是基于包括该组分的配方或组合物的总重量。类船也，组分的摩尔百分数，除非特别相反描述，都是基于包括组分的配方或组合物的总摩尔数。如上讨论的，本发明涉及包括Si02、A1203、B203、MgO、CaO和SrO的无碱玻璃，和该玻璃还包括多种其它组分。选择Si02、A1203、B203、MgO、CaO、SiO和其它组分(如果是任意的)，使该玻璃包括，以基于氧化物的摩尔百分数计算64-68,2Si02，11—13.5Al203,5—9B203，2—9MgO，3—9CaO，和1—5SrO。正如在此使用的，"无碱玻璃(alkali-free)"是指玻璃(i)基本上不有意添加碱金属氧化物，例如，以避^Mi^属离子从玻璃到TFT硅的扩散对薄膜晶体管(TFT)性能产生负面影响；(ii)包含总量少于约O.l摩尔的M^属氧化物；或者(iii)二者。在某些实施方案中，该玻璃包括，以基于氧化物的摩尔百分数计算64-68Si02。在某些实施方案中，以基于氧化物的摩尔百分数计算11.3—13.5A1203。在某些实施方案中，该玻璃满足一种或多种下面的皿式1.05S(MgO+CaO+SiO)/Al2O3^l.45;0.67^(SiO+CaO)/Al203^).92;和0.45SCaO/(CaO+SrO)^0.95。例如，在某些实施方案中，还满足，直接要求的玻璃还具有低于或等于约120(TC的液相线^Jt，和低于或等于约162(TC的熔融温度。例如，在某些实施方案中，该玻璃满足第一个前述表达式(1.05，gO+CaO+SrO)/Al20《1.45)。在某些实施方案中，该玻璃满足第二个前述表达式(0.67-SrO+CaO)/Al2O3^0.92)。在某些实施方案中，该玻璃满足第三个前述表达式(0.45^CaO/(CaO+SiO)^0.95)。在某些实施方案中，两个或多个前述鋭式都满足。在某些实施方案中，所有三个前述^fe^均满足。为了进一步说明，在某些实施方案中，该玻璃满足所有的下面三4^i式1.05，gO+CaO+SrO)/Al20-l3;0.72^SrO+CaO)/Al2O^0.9;和0.555CaO/(CaO+SrO)^0.95，例如，在玻璃满足所有的下面三^ii式的情况下1.05，gO+CaO+SiO)/Al2O-l3;0.72^(SrO+CaO)/Al2O^0.9;和0.8SCaO/(CaO+SrO妙.95。本发明的玻璃(例如，上述讨论的〗對可一种玻璃)还能包括多种其它组分。例如，本发明的玻璃还能包括Sn02、Fe203、Ce02、A&C^S^C^Cl、Br或其组合。这些材料能作为澄清齐條力口(例如，为了f，AAffi于制备玻璃的熔融批料中去除气体夹杂物)禾口/翻于其它目的。在某些实施方案中，本发明的玻璃(例如上面讨论的倒可一种玻璃)还包括Sn02(例如，以基于氧化物的摩尔百分数计算，0.02—0.3Sn02等)和FeA(例如，以基于氧化物的摩尔百分数计算，0.005—0.08F&O0.01—0.08Fe203等)。为了说明，在某些实施方案中，本发明的无^^还包括Sn02和FeA，其中，以基于氧化物的摩尔百分数0.02^SnO2^0.3;禾口0.005^Fe2O3^0.08在某些实施方案中，本发明的玻璃包括少于0.05%(例如，少于0.04%,少于0.03%，少于0.02%，少于0.01%，等)重量的Sb203、As203、或其组合。在某些实施方案中，本发明的玻璃组成还包括Sn02、F&O"Ce02、Cl、Br或其组合和包括少于0.05%(例如，少于0.04%,少于0.03%,少于0.02%，少于0.01%，等)重量的Sb203、As203、或其组合。在某些实施方案中，本发明的M还包括Sn02和Fez03和包括少于0.05%(例如，少于0.04%,少于0.03%，少于0.02%，少于0.01%，等)重量的Sb203、As203、或其组合。在某些实施方案中，本发明的无^^璃还包括Sn02和FeA，其中，以基于氧化物的摩尔百分数0.02《nO2^03;和0.005^Fe2O3，8，和包括少于0.05%(例如，少于0.04%,少于0.03%，少于0.02%,少于0.01%，等)重量的Sb203、As203、或其组合。本发明的玻璃(例如，上述讨论的^fif可一种玻璃)能包括F、Cl或Br，例如，在鹏还包括Cl和/或Br作为澄清剂的情况下。例如，该玻璃能包括氟、氯禾口/或溴，其中，以摩尔百分数计算F+Cl+Bi^0.4，例如F+Cl+Bi^0.3，F+Cl+Bi^0.2，F+Cl+Bi^0.1，0.001^F+Cl+Bi^0,4禾口/或0.005^F+CI+Bi^0.4。为了说明，在某些实施方案中，玻璃还包括Sn02和FeA和，可^i也，氟、氯和/或溴，使得以基于氧化物的摩尔百分数计算0.02￡SnO^0.3，0.005^Fe2O3^).08禾口F+Cl+Bi^0.4，和在某些实施方案中，本发明的玻璃还包括Sn02和FeA，可选地315203、As203、氟、氯和/或溴，使得以基于氧化物的摩尔百分数计算0.02^SnO^0.3，0.005^Fe2O3^0.08和F+Cl+Bi^0.4，鹏包含少于0.05%(例如，少于0.04%,少于0.03%，少于0.02%，少于0.01%，等)重量的Sb203、As203、或其组合。在用于某些应用、例如平板显示器鎌的玻璃的制备中，4顿Sn02、FeA、Ce02、As203、Sb203、Cl、Br或其组合作为澄清剂是特别有用的。正如上面提到的，能加入澄清剂，例如，M从用于制备玻璃的熔融批料中去除气体夹杂物以制本无缺陷的玻璃。说明性地，纷锡澄清齐何单独使用或如果需要与其它澄清技术手段结合使用。然而，从消除污染的角度出发，对卤化物澄清剂提出挑战，并且卤化物能与铁络合，制备无光学传输特性的玻璃。其它可能的组合包括，但不局限于，纷锡澄清齐U+硫^k、亚硫Kfe、氧化钸、机械鼓泡，和/或真空澄清。然而，要求优化控制玻璃的硫含量以避免包含S02或S03的气体缺陷的产生，^ffi过量的铁或其它过渡金属澄清剂可赋予玻璃不希望的染色。本发明的玻璃还能包括BaO。在某些实施方案中，本申请的,包括少于1000ppm重量的BaO。正如上面提到的，本发明的玻璃是"无碱的"。正如上面还提到的，本发明的无^a璃能包括5M属氧化物(例如，Li20、Na20、K20，等)，只要玻璃(i)基本上不有意添加5M^属氧化物；(ii)包含总量少于约0.1摩尔X的m属氧化物；或者(iii)二者。例如玻璃l細作薄膜晶体管(TFT)繊的情况下，有意包括脸属氧化物一般视为不希望的，由于他们对TFT性能的负面影响。在某些实施方案中，本发明的无碱玻璃包括有意添加的碱金属氧化物，但无璃包含少于1000ppm(例如，少于700ppm，少于500ppm，少于200ppm，少于100ppm，少于50ppm，等)重量的自属氧化物(例如，Li20、Na20和K20的总量少于1000ppm重量)。在某些实施方案中，本发明的无M璃包括非故意添加的i^fe属氧化物，和无M璃包含总量少于约O.l摩尔％的碱金属氧化物。本发明的玻璃还能包括杂质，如典型的在商业制备的玻璃中发现的。此外或可选地，會g添加多种其它氧化物(例如，Ti02、MnO、ZnO、Nb205、Mo03、Ta205、W03、Zr02、Y203、1^203等)，只要它们的添加不使会l/^g出，的范围。在本发明的玻璃还包括这种其它氧化物的情况下，每种这种其它氧化物典型地，其量不超过1摩尔。/^它们的总量典型地少于或等于5摩尔％，尽管能使用更高的量只要使用的量不使组成置于上述范围之外。本发明的玻璃还能包括与批半将关的和/或由于熔融、澄清和/翻于制备玻璃的成型设备弓l入玻璃的各种杂质(如ZK)2)。如上所述，在某些实施方案中，玻璃满足一种或多种下面的皿式1.05，gO+CaO+SrO)/Al2O-l.45;1.05,gO+CaO+SiO)/Al2O3^l3;0.67^(SiO+CaO)/Al2O3￡0.92;0.72SSiO+CaO)/Al2O3$0.9;0.45SCaO/(CaO+SrO)^0.95，0.55SCaO/(CaO+SrO)^0.95，禾口0.8^CaO/(CaO+SrO)，5。不管玻璃是否一个也没有满足、满足一个、两个、或三个、或多个前述的表达式和不管玻璃是否一种也不包含、包含一种、或多种附加组分(例如上面讨论的那些)，會腿择Si02、A1203、B203、MgO、CaO和SrO和其它组分(如果有的话)，基于氧化物以摩尔百分比计-(B^SiOHSiOJp^,)^0.3禾口其中xBo[MgO]—=[1.29+12.94xRo-14.4xS0]xB0餅Ro=(MgO+CaO+SiO)/Al203S0=(CaO+SrO)/Al2O3B0=l—B2O3/100此外或可选地，旨继择Si02、A1203、B203、MgO、CaO、SrO和其它组分(如果有的话)0.45^CaO/(CaO+SrO)^0.8;64^Si0^68;11.3￡A120《13.5;0.02^SnO2^0.3，0.005^Fe2O3^0.08;F+Cl+Bi^0.4，和/或玻璃包含少于0.05%(例如，少于0.04%,少于0.03%，少于0.02%，少于0.01%，等)重量的Sb203、As203、或其组合。如上戶腿，本发明的玻璃包括5-9B203。这种玻璃的实例包括，以基于氧化物的摩尔百分数计:包含5—8.8B203,5-8.5B203，5-8.28203,和/或5-8B203的玻璃。如上戶脱，本发明的玻璃包括2—9MgO。这种玻璃的实例包括，以基于氧化物的摩尔百分数计包含2—8Mg0,2—7MgO，2—6MgO，2.5—9MgO，2.5—8MgO,2.5—7MgO禾口/或2.5—6MgO的玻璃。如上戶;M，本发明的玻璃包括l-5SrO。这种玻璃的实例包括，以基于氧化物的摩尔百分数计包含14.5810,14310，1-3.5SrO，1.5-5SiO，1.54.5SiO,1.54SiO，1.5-3.5SiO，2.5-3.5SiO禾口/或2.5—5SrO的玻璃。在某些实施方案中，选择Si02、A1203、B203、MgO、CaO、SiO和其它组分(如果有的话)，以基于氧化物的摩尔百分数计64-68.2Si02、11-13.5A1203、5-9B203、2画9MgO、3-9CaO和1-3.5SrO。在某些实施方案中，选择Si02、A1203、B203、MgO、CaO、SrO和其它组分(如果有的话)，以基于氧化物的摩尔百分数计64-68.2Si02、11-13.5A1203、5-9B203、2.5-6MgO、3-9CaO和l画5SiO。在某些实施方案中，选择Si02、A1203、B203、MgO、CaO、SiO和其它组分(如果有的话)，以基于氧化物的摩尔百分数计64-68.2Si02、11-13.5A1203、5-8B203、2-9MgO、3-9CaO和1-5SrO。在某些实施方案中，选择Si02、A1203、B203、MgO、CaO、SrO和其它组分(如果有的话)，以基于氧化物的摩尔百分数计64-68.2Si02、11-13.5A1203、5-8B203、2.5-6MgO、3-9CaO和1-3.5SiO。在某些实施方案中，本发明的玻璃具有少于约2.6g/cm3的密度，例如少于2.6g/cm3的密度，少于约2.56g/cm3的密度，少于2.56g/cm3的密度，从约2.4g/cm3到约2.6^cm3的密度，从2，4^cm3到26^cm3的密度，从约2.45g/cm3到约2.6g/cm3的密度，从2.45g/cr^到2.6g/cmS的密度等。在某些实施方案中，本发明的玻璃具有低于或等于约12ocrc的液相线温度，例如低于或等于约119(TC的液相线^^，低于或等于约118(TC的液相线温度，低于或等于约U7(TC的液相线温度，低于或等于约116(TC的液相线温度，低于或等于约1150。C的液相线温度，低于或等于约114(TC的液相线温度，低于或等于约113(TC的液相线温度，低于或等于约112(TC的液相线温度，低于或等于约mor的液相线温度，低于或等于约11(xrc的液相线、温度。如上戶;M，本发明的玻璃具有大于或等于约90,ooo的液相线粘度。作为说明性的，在某些实施方案中，本发明的玻璃具有大于或等于90,000泊的液相线粘度，例如大于或等于约100,000泊的液相线粘度，大于或等于100,000泊的液相线粘度，大于或等于约110,000泊的液相线粘度，大于或等于110,000泊的液相线粘度，大于或等于约120,000泊的液相线粘度，大于或等于120,000泊的液相线粘度，大于或等于约130,000泊的液相线粘度，大于或等于130,000泊的液相线粘度，大于或等于约140,000泊的液相缴占度，大于或等于1400,00泊的液相线粘度，大于或等于约150,000泊的液相线粘度，大于或等于150,000泊的液相线粘度，大于或等于约160,000泊的液相线粘度，大于或等于160,000泊的液相线粘度，大于或等于约1700，00泊的液相线粘度，大于或等于170,000泊的液相线粘度，大于或等于约180,000泊的液相线粘度，大于或等于1800,00泊的液相线粘度等。在某些实施方案中，本发明的玻璃在0'C到30(TC温度范围具有小于或等于约4(M0—々。C的热膨胀线性系数，例如小于或等于40x10—7/°C;小于或等于约39x10—7/°C，小于或等于39xlO力。C;小于或等于约38xlO—"7。C，小于或等于38x10_7/°C;小于或等于约37x10—7/°C,小于或等于37x10—7/°C;小于或等于约36x10_7/°C，小于或等于36x10—7/°C;从约33x10—7/。C到约40x10—7/°C;从33xl0—7/°C到40x10—7/°C;从约33x10—7厂C到约36x10—7/°C;从33x10—7厂。到36x10—7/。C等。在某些实施方案中，本发明的玻璃具有大于或等于约68(TC的应变点，例如大于或等于68(TC，大于或等于约685"C的应变点，例如大于或等于6S5'C，大于或等于约69(TC的应变点，例如大于或等于69(TC等。在某些实施方案中，本发明的玻璃具有大于或等于约725X:的退火点，例如大于或等于725°C，大于或等于约730°C，大于或等于730°C，大于或等于约735°C，大于或等于735"C，大于或等于约745"C，大于或等于745卩，从约725'C到约760。C，从725。C到760。C，从约735。C到约760°C，从735。C到760°C，等。在某些实施方案中，本发明的玻璃具有小于或等于约1620'C的熔融温度，例如小于或等于1620'C，小于或等于约1615'C，小于或等于1615'C，小于或等于约1610。C，小于或等于161(TC等。在某些实施方案中，本发明的玻璃具有大于或等于约30.5GPa，cc/g的比模量，例如大于或等于30.5GPa*cc/g，大于或等于约31.5GPa*cc/g，大于或等于31.5GPa'cc/g，等。该玻璃能被制备成各种玻璃开沐，例如，玻璃板(例如具有厚度从约30拜到约2mm的玻璃板，例如从30|jm到2mm，从约100pm到约lmm，例如从10(am至Ulmm，等)。对包含在本发明玻璃中的各种氧化物的源并不特别挑剔。批料组分包括细砂、氧化铝、硼酸、氧化镁、石灰石、碳勝思、石肖酷思、氧化锡，等。例如，典型地以由松散的砂子堆积物或由砂岩或石英岩开采的a石英的碎砂形式添加Si02。尽管这些可以以低价格商购得到，能用其它晶形或无定形Si02部分或全部替代，而对熔融行为没有影响。因为熔融的Si02非常粘，并且缓慢溶解到无石舰璃中，通常有禾啲是，将砂子粉碎，^f輕少85^舰U.S.謂目筛，对应于筛L尺寸约15。，絲。在生产中，fflil批^M专送过程^M:空气处理设备提升细砂，避免危害健康，希望最好除去最小部分的碎砂。典型地^ffi氧化铝作为Al2CV源。典型地^ffl硼酸作为8203源。除了玻璃形成体(Si02、Al20jnB203)，本发明的玻璃还包括MgO、CaO和SrO。本领域己知的，碱土金属一般以氧化物(尤其是MgO)，碳(CaO和SiO)，硝酸盐(CaO和SiO)，禾口/或氢氧化物(MgO、CaO和SiO)添加。在MgO和CaO的情况下，能作为源(原料)的天然矿物包括白云石(CaXiMgl.x)C03)，^f美矿(MgC03)，氢氧镁石(Mg(OH)2)，滑石(Mg3SLA。(OH)2)，橄榄石(Mg2Si04)和石灰石(CaC03)。这些天然的源包括铁，因此在玻璃中出现铁氧化物的情况下，这些天然的源育調于添加铁氧化物。本发明的玻璃能使用本领域公知的各种技术制备。例如，4柳下拉方齒列如熔融下拉方法制备玻璃板。与其它成型方法例如浮法工艺相比，由于几个原因在某些情况下烙融方法是,的。例如熔融方法制备得到的玻璃基板要求较少的磨光或不要求磨光，当然，取决于最终产品所希望的表面粗、糙度。为了进一步说明，由熔融方法制备得到的玻璃能减少平均内应力，相对于与用其它方法制备得到的玻璃。本发明的玻璃能用于很多用途。说明性地，它们能用于硅半导体的。例如，本发明的玻璃能被用于制备显示器玻璃基板，例如具有厚度从约30,到约2mm的显示器玻璃基板(例如，从3(Vm到2mm，从约lOOpm到约lmm，从10nm至ljlmm，等)。显示器基板的实例包括TFT显示器玻璃SI反，例如用于平板显示器设备的TFT显示器玻璃亂本发明还涉及半导体组件，包括沉积在玻璃基板上的半导体，其中所述玻璃基板包含本发明的无碱玻璃。會調于前述半导体组件的半导体的实例包括晶体管、二极管、硅晶体管、硅二极管，和其它硅半导体；场效应晶体管(FET)、薄膜晶体管(TTT)，有机光^l寸二极管(OLED)和其它光发射二极管；及用于光电应用(EO)、双光子混和应用、非线性光学应用、场致发光应用和光电和传感器应用中的半导体。本发明还涉及平板显示器设备，包括平面、具有多晶硅薄膜晶体管的透明玻璃基板，其中所述玻璃基板包含本发明的无碱玻璃。无碱玻璃包括Si02、A1203、B203、MgO、CaO和SrO，基于氧化物以摩尔百分比计6顿0^68.2;11^\1203^13.5;5^B203^9;3;^Ca0^9;和能制备玻璃基板的，玻璃的实例包括上面讨论的那些，例如，满足下面的表达式的玻璃1.05《MgO+CaO+SrO)/Al203$1.4;0.67-SrO+CaO)/Al2O3^0.92;禾口0.45^CaO/(CaO+SiO)^0.95)。典型地，在平板鹏显示器设备的情况下，该设备包括两个^4虫制备的平板(组件)。一个^^色滤板，具有沉积在其上的一系列的红色、蓝色、绿色、和黑色有机颜料。这，本色的每一种正好相应于对应的活性平面的亚像素。因为包含活性、薄膜晶体管(TFT)，所以称为活性平面，可^ffl典型的半导体类型方法进行制备。这，括观谢、CVD、光刻和蚀刻。在某些实施方案中，用于前述基板(例如，显示器玻璃基板)的无碱玻璃能够显著地没有缺陷。正如上面讨论的，例如，育^liWOT—种或多种澄清剂，例如Sn02、Fe203、Ce02、As203、SbaC^Cl、Br，或其组合来制备本发明显著没有缺陷的无碱玻璃。^!组合的实例在上面给出。说明性地，该能包括，SnOjtlFe203;0.02-0.3Sn02和0.005-0.08Fe203,少于0.05%重量的SbzCb禾口/或As203;除少于0.05。/o重量Sb2O3禾口/或As2O3外的SnO2、FezC^CeQ2、Cl、Br、或其组合；除少于0.05n/。重量的Sb2O3禾口/或As2O3外的SnO2和Fe2O3;禾口/或除少于0.05%重量的Sb203禾口/或As203外的0.02-0.3Sn02和0.005-0.08Fez03作为澄清剂。本发明的玻璃在制备某些用于活性矩阵液晶显示器设备(AMLCD)的时是特别有利的。例如，AMLCD對反最好满足各种消费者需求，这些需求中的几个强烈取决于熔融过程本身。其中之一，早期表面认为归因于熔融，部分解释了由熔融过程制备的對反吸引消费者的原因。另一个消费者需求是在热循环下的几何稳定性，对此熔融过程具有不足。因为，相对于其完全松弛状态或者如果该玻璃在Tg附近保持相当长的时间而获得的状态，在熔融过程中，玻璃^t从成型驢(例如超过IIO(TC)相当快的降低到玻璃转变鹏(例如，对于某种产品，约72(TC)之下，玻璃具有微小的^f只膨胀。当该玻璃再加热时，它朝其平衡体积自然松弛，这种三维收縮或松弛有时称为"收缩，。说明性地，对于指定的拉伸(和其自身特定的7賴吩布)，和对于要制j^寺定产品(例如，厚度、表面积等)的特定玻璃，冷却速率能几乎完全由板离开拉伸设备的速度(英寸/倂中)决定。该速率有时尉^'牵引繊度"。对于拉伸，发现提高牵弓鹏度能增加收縮。如果以恒定速率进行熔融(例如，9001bs/小时)，那么将自传送到较长的隔离管上，会降低玻璃在其上移动的速率，因此降低收縮。因此，当在特别的槽上制备较大尺寸的玻璃板掛反时，收縮问题得以暂缓。然而，为了提高效率，通常需要从指定的拉伸制备尽可能多的平方英尺。这样做会提高熔融速率，但是会使系统推向收縮极限。对于具有较小隔离管的槽是尤其正确的，高的牵引车驢率能导致收縮接近于可接受极限的玻璃(例如，接近于45(TC^a保持一小时导致的收縮)。为了从现有设备生产更多的玻璃(即，无需增加槽的尺寸和隔离管)，能增加牵引^I率，但是这样可导致玻璃具有过高的收縮。尽管可能补偿拉伸的热力分布以便减慢通过临界粘度区域的冷却速率，从而降低收縮，fMlt爐行的程度具有实际的限制。例如，某些观点，拉伸设备必须更高以允许以高的牵引车M度时减缓74邻，这就会再次具有由现有设备生产更多玻璃的问题，(与完全再设计和再建相反)。研究表明当玻璃的应力或退火点增加时玻璃保持等温会产生更少的收縮。在45(TC—小时后的收縮。在45(TC热处理之前，玻璃进行与离幵熔融拉伸设备的玻璃的冷却分布相似的热循环(例如，延长高温的暴露，然后決速以与用于熔融拉伸中相同速率进行冷却)。正如图1所示，退火点增加，收縮下降；然而在高于约76(TC的退火点，对于在退火点上指定增加，收縮性能的改善快速减小。在图1中具有最高退火点的玻璃可用于低温多晶硅("pSi")应用。为了进一步说明，能优化本发明的組成以便具有90k泊或更高的液相线粘度、162(TC或更低的融化^^、725'C^高的退火点、禾口/或30.5GPa，cc/g或更高的比模量。具有高模量和退火点组合的本发明组成能特别适用于某些熔融拉伸过程，例如以高冷却速率的熔融拉伸过程。尽管不希望由可操作本发明某些玻璃的樹可理i爐行束缚或进行限制，在不定型硅("aSiO")处理过程中提高退火点可提供增加的几何稳定性，可允许更高的拉伸速率而无需借助于退火或昂贵的设备再设计。(再次，尽管不希望由可操作本发明某些玻璃的任何理论进行束缚或进行限制)高水平的熔融和相对低的熔融，能^*熔融，因此允许更高的熔M率而没有相应地增加缺陷。能使用本领域公知的定量分析技术来测定本发明玻璃的组成。合适的技术是X射线荧光光谱(層)(对原子数多于8的元素)、电感耦合等离子体发光光谱(ICP-OES)、电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)、和电子微探针分析。参见，例如，J.Nolte,ICPEmissionSpectrometry:APracticalGuide,Wilev-VCH(2003):H,E.Tavlor,InductivelvCoupledPlasmaMassSpectroscopy:PracticesandTechniques,AcademicPress(2000);禾口S丄B.ReedElectronMicroprobeAnalvsis,CambridgeUniversityPress;2ndedition(l997)，在这里Mil参考加以弓|用。对每种元素分析时间约10女H中，使用电子微探针分析能容易获得约200ppmF的检测极限和约20ppmCl、Br、Fe、和Sn的检测极限。对于痕量元素，能^fflICP-MS。本发明SM:下面的非P蹄胜的实施例进行说明。实施例实施例i员有权使用申请人考虑的方法和^ffi这个考虑方法。如果合适，进一步发展在本文描述的内容以优化本发明的玻璃以用于特殊的应用。几个令人惊奇的发现导致本发明。首先是，当玻璃被设计成无BA组分时，具有液相线粘度、熔融、和退火点最佳组合的玻璃趋于具有相似比例的Si02、A1203、MgO、CaO和SiO。为了理解这些，考虑一种玻璃的实例是最简单的，为了进一步讨论该玻璃还引入各种所需组分，^67SiOr9B203-llAl2Or3MgO-7CaO-3SrO。由下面表示无B203的玻璃[SiO2]0=Si02/(1-B2O3/100)=67/(l-9/100)=73.63[Al2O3]0=Al2O3/(l-B2O3/100)=ll/(l-9/100)=12.09[MgO]0=MgO/(l-BA/lOO"3/(l-9/100H-30[CaO]0=CaO/(l-BA/腦h7/(l-9/100)=7.69[SrO]0=SiO/(l-B2O3/100)=3/(l-9/100H.30认为该玻璃的液相线ia度明显高于包含B2Cb的玻璃，因为B203稀释了其它氧化物的浓度，因此降低了氧化物在鹏中的化学势。腿一步认为，当BA被加入到组分中时，液相线纟鹏会急居lj下降，而粘度下降更为缓和。估计，约5摩尔％的B203时，在晶体形成的最高^^时的玻璃粘度(液相线粘度)>85k泊，玻璃适于熔融，也许并不如目前通常所实施的，但的确在现有方纟去合预期方法改进的范围内。最不希望的是，在本发明的鹏范围内不含BA类似物的玻璃趋于与其它玻璃非常相似，相对于这些范围之外的玻璃几乎总是具有高液相线粘度、低熔融Mit、和高退火点的有利组合。例如，根本不含SiO的B203玻璃完娥于具有不被接受的高液相线温度。加入8203，最后可获得高液相线粘度，但是通常具有过低的退火点以致于不育腿行高速牵弓I。这可能因为相对于包含2.5^SiC^5范围SiO的玻璃，CaO和MgO(尤其是MgO)与&02具有不利的相互作用，稳定方石英(或f丐长石)。为了进一步说明，考虑没有MgO但1.05，1.45(即1.05^(MgO+CaO+SrO)/Al2O《1.45)的玻璃。在这种玻璃里，SoGP(CaO+SrO)/Al203)纽高(即超出了0.67^So^0.92的范围)。在固定的8203浓度时，控制这种玻璃的Si02浓度使得增加液相线粘度，也许会到非常高的值，但是熔融温度会比0.67《0^0.92的玻璃高出很多。而且，相对于0.67^So^0.92和1.05SR^1.45范围的對以物玻璃，其它性能例如CTE、密度、和/謝莫量(可能第二重要的，取决于玻璃成型方法和玻璃的用途)也可能损失。换句话说，许多具有So和/或Ro在0.67^So^0.92和1.05，1.45范围之外、但接肚述So和/或Ro范围的无B203组成适于熔融，但代价是退火点也许太低和/，融温度也许太高。第二个令人惊奇的发现是，当Ro增加，具有液相織占度、熔s电温度、和退火点最佳组合的玻璃趋于比具有相同B203含量但较低Ro值的玻璃具有更高的MgO含量。确实，据认为有由Rq和So决定的雌MgO含量。这种雌的MgO含量表示为"[MgO;u",申请人由经舰似确定[MgO]—为[MgO]—=[1.29+12.94xRo-14.4xS0]x[l-B203/100]对于指定的Ro和So，据称当MgO和[MgO]—之间的区别很小时，该具有下面中的至少两个有禾啲液相线粘度、有禾啲熔融驗、有利的退火点。还据称当-0,3^MgO—[MgO]p^.3时能获得具有所有三个有利性能的鹏(即有利的液相线粘度、有利的熔融温度和有利的退火点)。第三个令人惊奇的发现是，具有液相线粘度、熔融温度、和退火点最佳组合和5^B20《9的m趋于具有很;^f號上由玻璃的MgOm、Ro值和So值决定的SiCb含量。当在具有MgO的情况下，具有由MgO含量、Ro和So决定的优选Si02含量(这种优选的Si02含量表示为[Si02]p^)，但是，对于固定的Ro和So，MgO，部分由玻璃中的BA水平决定。因此，据称必须{顿戶舰无8203类似物的组成中的MgO含量例如通过上述[MgO](TMgO/(1-B2(V100)计算Si02的髓直，根据这个，申请人由经縦似确定[Si02]—为[SiOd—=[87.57-6.06xMgO/B0+66.54xRo-80.61xS0]xB0其中Bo二l-B2(V100。据称当Si02和[Si02]p^之间的区别很小时，玻璃具有下面中的至少两个有利的液相线粘度。有利的熔融温度、有利的退火点。还认为当-0.3《102—[Si02]p^3时能获得具有所有三个有利性能的玻璃(即有利的液相线粘度、有禾啲熔融鹏和有禾啲退火点)。为了观察这些变量之间的相互作用，和为了观察如何使用实施例1中提出的关系式优化本发明的玻璃以用于特定用途，在下面l^共实施例2和3。实施例2实施例表明测试玻璃组成的过程以决定其是否特别适于熔融过程。使用[Mg0]—和[Si02]p^来优化本发明用于熔融过程中的玻璃。考虑到实施例l中讨论的玻璃，67SiOr9B2OrllAl2Or3MgO-7CaO-3SrO。如上所述，简单的计算表明玻璃的氧化物组分在下面的范围内6顿02^68.2;11，203^13.5;5^B203^9;3&妙和而且，简单计算表明,式(MgO+CaO+SiO)/Al203:(3+7+3)/11=1.18;(SrO+CaO)/Al2O3=(3+7)/ll=0.91^f]CaO/(CaO+SiO)=7/(7+3)=0.7，在下面范围内1.05，gO+CaO+SiO)/Al2O3$l.45;0.67^(SiO+CaO)/Al2O3^0.92;禾口0.45$CaO/(CaO+SrO)^0.95。使用上面给出的皿式，如下计算Ro、So、Co和[MgO]o:Ro=(MgO+CaO+SrO)/Al203=(3+7+3)/11=1.18S0=(SiO+CaO)/Al2O3=(7+3)/ll=0.91C0=CaO/(CaO+SrO)=7/(7+3)二0.7[MgO]0=MgO/(l-B2O3/100)=3/(1-9/100)=3.30然后使用Ro、So、Q)和[MgO]o的值如下计算[MgO]—和[Si02]—的值，[MgO]—=[1.29+1294xRo-14.4xS0]x[l-B2(V100]=[1.29+(12.94)(1.18>(14.4)(0.91)]x[l-9/100]=3.18[Si02]—=[87.57-6.06xMgO/B。+66.54xRo-肌61xS0]xB0=[87.57-(6.06)(3.3)+(66.54)(1.18)-(肌61)(0.91"[1-9/100]=66.94l顿这些[MgO]p^和[Si02]—的值，如下能确定MgO-[MgO]一和Si02-[Si。2]—MgO-[MgO]p^二3陽3.18二德，Si02-,如=67陽66.94二0.06因此，用于该实施例(即，67Si02-9B2OrllAl2Or3MgO-7CaO-3SiO)中的玻璃组術脔足下面的，式-0.3地0—[MgO]p^0.3-0.3^SiO2—[Si02]p^.3据称，例如，相对于具有相同Ro和So值但MgO或Si02浓度在雌范围之外的玻璃(即，与[MgO]—差值大于0.3的MgO浓度和与[Si02]—差值大于0.3的Si02浓度，尤其相对于具有在64《i0^68.2和2^MgC^9范围之外MgO或Si02浓度的玻璃)，实施例中的玻璃(67SiOr9B203-llAl2Or3MgO-7CaO-3SiO)趋于具有能用于某些过程(例如熔融过程)的液相线粘度、熔融纟鹏和退火点的较好组合。对许多侯选玻璃组合物重复实施例2中所述方法，以确定玻璃组合物的[MgO]—和[Si02]—值。据认为m将[MgO]—和[Si02]—值与侯选玻璃中的MgO或Si02浓度进行比较，能获得用于某些过程例如熔融过程中具有液相线粘度、熔融温度和退火点特别有利组合的玻璃。实施例3实施例3表明使用实施例1中描述的关系生产玻璃组合物的过程。该过程包括下列步骤(1)选火点目标；(2)选择Ro和S。i微值；(3)舰Ro和So计算[MgO]o;(4)使用[MgO]o计算[Si02]o作为MgO的目标值；(5)4顿Ro、Sq、[MgO]o和[Si02]q计算[Al203]q，[CaO]o和[SrO]o;(6)计算B2Cb和使用其计算Si02、B203、A1203、MgO和CaO的重正化浓度；和(7)将结果与所需密度和CTE目标值进行比较，如果必要，用新输入参数重新进行步骤1-6。为了进行这些步骤，我们利用三个描述组成与退火点、热膨胀系数和密度依赖关系的经验关系式，艮口退火点二828.3+3.1Al20r3.9Mg04.0Ca04.4SrO-9.4B203(。C)CTE=13.640.22B203+0.75MgOl.58CaOH.86SrO(x10-7/°C)密度=2.189+0.0088Al2O3-0.0046B203+0.0100MgOK).0131CaaK).0286SiO(g/cm3)第一步是选择退火点目标。74(TC或更高的退火点提供牵弓l速率的显著增加，{跳于aSi应用高于76(TC退火点仅提供小的改善。然而，如果玻璃用于较大尺寸的板材，较低退火点即可满足，因为熔融速率是限制因素。在这个实施例中，选择748°。的中间目标值。下一步皿择Ro、So和Q)的初始值。这些参数与最终玻璃性旨&间的^^是复杂的，因为调整一个参数，会获得一个性能范围。由此，不考虑液相线粘度问题(因此与熔融的适应性)，通常认为-湘对于劍氐Ro值，高Ro值导劍鹏融鹏、低退火点、高CTE值和高密度；湘对于低So值，高S。值导致高熔融鹏、高CTE值、相对低退火点和高密度；-高Co值导致较低熔融温度、较高CTE值、高退火点和高密度。由Co值的趋势，使其尽可能的高(1.0)好像具有吸引力，但实际上，趋于升高液相线^^，因此减小液相线粘度。因为本发明玻璃的CTE和密度几乎总是纟,于AMLCD应用，因此Mffi常设法获得一些液相线粘度、熔S^温度、和退火点竞争性性能间的平衡，然后调整参考的组成以改善密度和CTE。对这个实施例，选择下列Ro、S。和Q)值以接近他们各自范围的中间值Ro=1.23，Sf0.82和Q)二0.65。用这些Ro、So和Q)值，进行步骤(3)禾卩(4)。更特别地，如下计算所参考的无B203^i离MgO目标含量[MgO]o=1.29+12.94xRo-14.4xSQ=5.4mol%。〈OT[MgO]()，参考的无B203的理想的Si02含量计算如下[SiO2]0=87.57-6.06x[MgO]0+66.54xR^0.61xS0=70.59mol%。用这些f直，进行步骤(5)来确定参考的无B203玻璃的Al203，CaO，和SiO[Al2O3]0+[CaO]0+[SrO]0=100-[SiO2]0-[MgO]0=24mol%因为[CaO+SiO]o/[Al203]H).82，组合上MM个皿式得出1.82[Al2O3]0=24mol%和求解,3]0，获得，[Al2O3]0=13.19mol%由差值决定CaO和SiO的组合浓度[CaO+SrO]o=24-13.19=10.81mol%因为假定[CaOV[CaOSi0](^0.65,如下获得[CaO]o和[SiO]o的值[CaO]0K0.65)x(10.81)=7.03mol%[SrO]0=3.78mol%使用这些氧化物的浓度(与无B203鹏相关)，會隨行步骤(6)。在步骤(6)中，上述的退火点算法用于确定必需添加的B203以获得所需的退火点。将[MxOy]o=MxOyx(l-B2(V100)的皿式代AM火点，式，其中MxOy代表A1203、MgO、CaO、和SrO，获得如下皿式退火点二828.3+3.1[Al203]()X(l-B203/100)-3.9[MgO]0x(l-B2O3/100)■4.0[CaO]0x(l-B2O3/100)■4.4[SrO]0x(l-B2(V100)-9.4B203定义Ko二3.1[Al203]o-3,9[MgO]o4[CaO]o4.4网o得到下面的皿式退火点二8283+Ko-B203xK(/100-9.4[B203]0。进一步整理，毅式得出B203=(828.3-退火点+Ko)/(Ko/100+9.4)。对于考虑的组成Ko=3.1x(13.19)-3.9x(5.4)-(4)x(7.03)-(4.4)x(3.78)=~24.9将该值和748°C的目标退火点代入B203皿式，B203的值计算为B203=(828.3-748-24.923)/(-24.9(/100+9.4)=6.05mol%。现在计算的B2CM直，能用于校准其它氧化物浓度，例如，Si02=[SiO2]0x(l-6.05/100)=66.32mol%最终组成是Si02=66.32Al203=12.39B2O3=6.05MgO=5.07CaO二6.60SiO=3.55最后，在步骤(7)中，计算的CTE和密度的f魏证实他们适于戶;M应用:CTE=13.6W.22B203W,75MgOH.58CaO+l.86S1OCTE=35.8xl(T7/°C禾口密度2.189+0.0088Al203-0.0046B203+0.0100Mg00.0131CaCHK).0286SrO密度二2.509g/cm3这两个值正好落入商购LCD组成的范围内。如果需要较低的CTE或密度，那么较低的Ro和/或较高的S。值可获得所需性能，虽然也许损害其它性能，例如熔融温度或液相线粘度。最好的平衡取决于制备玻璃所需方法和由消费者需求对所需性能的限制。据称，选择Si02、A1203、B203、MgO、CaO、SrO和其它组分(如果有的话)使玻璃包括以基于氧化物摩尔百分数计64-68.2Si02、11-13.5A1203、5-9B203、2-9MgO、3-9CaO和l-5SrO的玻璃具有一种或多种(例如，两种或多种，三种或多种，等)下列有利性能小于或等于162(TC的熔融鹏(例如低于或等于1615。C，低于或等于161(TC，等)；高于或等于725。C的退火点(高于或等于73CTC，高于或等于735"C，高于或等于74(TC，高于或等于745'C，等)；大于或等于90千泊的液相线粘度(例如，大于或等于100千泊的液相线粘度，大于或等于110千泊的液相缴占度，大于或等于130千泊的液相线粘度)。在下表1中给出的对此加以证实。不在上述范围(即，64-68.2Si02、11-13.5A1203、5-9B203、2-9MgO、3-9CaO和l-5SiO之外)，能发现玻璃具有一种或多种战有利性能，但是，由在实施例3中分析，在这些范围之外将可能以特别不利的方式影响一种或多种上述性能。例如，具有较高Si02含量可不利地影响退火点；具有较高B203含量可不利地影响退火点；具有较低8203含量和/，低Si02含量可不利地影响液相线粘度，等。此外，正如上面指出的，在某些实施方案中，选择玻璃组分使满足表达式1.05^(MgO+CaO+SiO)/Al2O3^1.45。据认为与(MgO+CaO+SrO)/Al203>1.45时的退火点和与(MgO+CaO+SrO)/Al203〈.05时的液相线粘度相相比，这些玻璃具有特别好的退火点和液相线粘度。实施例4-103表1歹咄了本发明以玻璃批料中氧化物为基准计算的摩尔百分数表示的玻璃实施例。表l还列出了这些玻璃的多种物理性能，这些性能的单位如下应变点。C退火点。c软化点。cCTExlO力。C(0-300。C)密度赃方厘米熔融鹏。c液相线鹏。c液相线粘度千泊因为各个组分的总和达到或非常接近约100，出于完全实施的目的，可认为上面记录的值以摩尔百分数表示。实际批料组分可包含任何材料，可以是氧化物，也可以是当与其它坯批料组分一起熔融时会以飾比例转变it^需氧化物的其它化合物。例如，SiC03和CaC03分别提供SrO和CaO源。用于制备表1玻璃的特定批料组分魏砂、氧化铝、硼酸、氧化镁、石灰石、和碳^f思或硝醱思。在一定温度和时间熔融每种玻璃组合物的3000或19000克批料以获得相对均匀的自组^tl，来制备表1中的，例如，在钼柑锅中约160(rC的^g约16小时。特别是，在陶瓷磨机中用陶瓷介质将坯料球磨一个小时。将批料转移到1800cc的铂柑锅中并放入160(TC的熔炉中。16小时后，将坩锅/，炉中取出，将玻璃倒在Jt^板上。当粘度足以操作的时候，将玻璃转移到725'C的退火炉，在该MiS保持一小时，然后以0，5"C/^中)ti倒室温。根据玻璃领域常规技术测定表1中鹏的性能。例如，在0-30(TC鹏范围的线性热膨胀系数(CTE)以xio々。c表示，应变点以。C表示。这些由纤维伸长技术测定(分别参考ASTME228-85和C336)。M31阿基米德方法(ASTMC693)测量以g/cm3为单位的密度。M31旋转滚筒粘度测定法(ASTMC965-81)使用适于高温粘度翻的Fulcher方程计算以"为单位的熔融鹏(定义为鹏熔体具有200泊粘度的温度('T^200p"))。使用ASTMC829-81的标准梯度舟液相方法测量以"C为单位的玻璃的液相线纟驢。这包括将碎玻璃颗粒方j(A钼舟中，将舟放入具有梯度^Jt区域的熔炉中，在M的温度区域加热该舟24小时，通过显微检测测定在玻璃内部出现晶体的最高Mit。由液相线温度和Mcher方程系数决定以千泊计的液相线粘度。<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage36</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>5^B203^9;2SMg0^9;3^Ca0^9;禾口1SSKK5。因此，当&02含量高于68.2摩尔％，高于162(TC的熔g敝M可特别导致不包含砷的组合物。尽管在此己经详细说明和描述了优选实施方案，但^t相关领域技术人员来说，能进行各种修改、增加、替代等而不脱离本发明的实质，因此这些认为在由下面权利要求限定的本发明范围内，这是显而易见的。权利要求1、一种具有高于或等于约90,000泊液相线粘度的无碱玻璃，所述玻璃包含SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO和SrO，以基于氧化物的摩尔百分数计，使得64≤SiO2≤68.2；11≤Al2O3≤13.5；5≤B2O3≤9；2≤MgO≤9；3≤CaO≤9；和1≤SrO≤5。2、根据权利要求1所述的无碱玻璃，其中所述玻璃具有大于或等于约IOO，OOO泊的液相线粘度和低于或等于约120(TC的液相线纟鹏。3、根据权利要求1或2所述的无碱玻璃，其中所述玻璃在(TC到30(TC温度范围内具有小于或等于约40x10—^C的热膨胀线性系数。4、根据前述任一权禾腰求戶腿的无M璃，其中戶脱鹏具有大于或等于约725。C的退火点。5、如前述任一权利要求戶;M的无碱玻璃，其中以基于氧化物的摩尔百分数计11.3线0-13.5。6、根据前述任一权利要求戶腿的无M璃，其中以基于氧化物的摩尔百分数计1.05,gO+CaO+SiO)/Al2O3^l.45;0.67s;SrO+CaO)/Al203^).92;禾口0.45^CaO/(CaO+SiO妙.95;玻璃具有低于或等于约120(TC的液相线温度和低于或等于约162(TC的熔融驗。7、根据前述任一权禾腰求0M的无gM，其中以基于氧化物的摩尔百分数计1.05,gO+CaO+SiO)/Al2O3^13;0.72^(SrO+CaO)/Al2O^0.9;和0,55SCaO/(CaO+SiO)^0.95。8、根据前述任一权禾腰求戶舰的无M璃，其中以基于氧化物的摩尔百分数计1.05傘gO+CaO+SiO)/Al化l.3;0.72^(SrO+CaO)/Al2O3^0.9;和9、根据前述任一权利要求戶服的无石糍璃，还包括Sn02、FeA、Ce02、As203、Cl、Br或其组合。10、根据前述任一权利要求所述的无碱玻璃，还包括Sn02和FeA，以基于氧化物的摩尔百分数计-0.02^SnO^03;禾口0.005^Fe2O3^).08。11、根据前述任一权利要求戶，的无5璃，其中所述玻璃包括少于0.05%重量的SbA、AsA、或其组合。12、根据前述任一权利要求戶脱的无石|^，其中F+Cl+Bi^0.4。13、根据前述任一权利要求戶JM的无M^璃，其中-0.3SSiO2—[SiO2>^0.3禾口-0.3，gO—[MgO]测战3肿[Si02]测i二[87.57-6.06xMgO/Bo+66.54xRo-80.61xSo]xB0[MgO]测,二[1.29+12.94xRo-14.4xSo]xB0其中Ro=(MgO+CaO+SiO)/Al203S0=(SiO+CaO)/Al2O3B0=l-B2O3/100。14、根据权利要求13所述的无碱玻璃，其中所述玻璃具有大于或等于约100,000泊的液相线粘度。15、根据权利要求13或14所述的无M^璃，其中所述玻璃具有大于或等于约130,000泊的液相线粘度。16、根据权利要求13-15中任一戶服的无石璃，其中戶皿M在0'C到30(TC温度范围内具有小于或等于约40x10_7°C的线性热膨胀系数。17、根据权禾腰求13-16中任一戶舰的无璃，其中戶腿玻璃具有大于或等于约725"C的退火点。18、根据权利要求13-17中任一所述的无5璃，其中所述玻璃具有低于或等于约162(TC的烙Sr温度和低于或等于约120(TC的液相线温度。19、根据权利要求13-18中任一所述的无M璃，其中以基于氧化物的摩尔百分数计1.05,gO+CaO+SiO)/Al2O3^1.45;0.67^CSrO+CaO)/Al2O《0.92;禾口0.45^CaO/(CaO+SiO妙.95;玻璃具有低于或等于约120(TC的液相线^j^，和低于或等于约162(TC的熔,鹏。20、根据权利要求13-19中任一所述的无M璃，其中以基于氧化物的摩尔百分数计1.05，gO+CaO+SiO)/Al2O3^1.3;0.72^(SiO+CaO)/Al2O^0.9;和0.55^CaO/(CaO+SrO妙95。21、根据前述任一权利要求所述的无碱玻璃，它为通过熔融拉伸方法制备的板形。22、一种玻璃基板，例如显示器玻璃基板，它包含根据前述任一权利要求臓无M璃。23、根据权禾腰求22戶腿的鹏對反，其中无M璃基本上没有缺陷。24、一种平板显示器设备，它包含载有多晶硅薄膜晶体管的平透明玻璃基板，其中戶脱鹏繊包括根据权利要求1-21中任一戶腿的无5JK璃。全文摘要本发明公开了一种具有高于或等于约90,000泊的液相线粘度的无碱玻璃，所述玻璃包含SiO₂、Al₂O₃、B₂O₃、MgO、CaO和SrO，基于氧化物以摩尔百分数计64≤SiO₂≤68.2；11≤Al₂O₃≤13.5；5≤B₂O₃≤9；2≤MgO≤9；3≤CaO≤9；和1≤SrO≤5。该玻璃被用于制备显示器玻璃基板，例如用于活性矩阵液晶显示器设备(AMLCD)和其它平板显示器设备的薄膜晶体管(TFT)显示器玻璃基板。文档编号C03C3/11GK101591141SQ20091015954公开日2009年12月2日申请日期2009年5月27日优先权日2008年5月30日发明者A·J·埃列森申请人:康宁股份有限公司