6寸单晶晶块的切片装置的制作方法

文档序号:1975839阅读:309来源:国知局
专利名称:6寸单晶晶块的切片装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及的单晶晶块切片技术领域,尤其是一种6寸单晶晶块的切片装置。
背景技术
目前在对单晶晶块切片时,通常在晶块进入切片机切片之前,先将晶块平行的粘 在粘有晶托的玻璃板表面,再将晶块装在设备上,并且将整个晶块都放置在线网内,包括 晶块两端的斜面,切片过程由于晶块端面斜面的存在,导致端面引起的崩边、缺角、裂纹、碎 片、甚至断线,严重影响了切片效益,端面斜面即使被切成片也是废片,极大的浪费了硅料。 目前国内外行业内尚无有效解决单晶硅晶块切片工艺中崩边、缺角、裂纹、碎片、甚至断线 比例居高不下的方法。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种6寸单晶晶块的切片装置,能有效解 决单晶硅晶块切片工艺中崩边、缺角、裂纹、碎片、甚至断线比例居高不下的问题。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种6寸单晶晶块的切片装 置,包括切片机台,切片机台左右两侧分别设置左导轮和右导轮,左、右导轮上平行设置回 转式线锯线,所述的线锯线上方之间安装单晶晶块,进线端第一根线锯线内缩于单晶晶块 端面1 2mmο进一步的,所述的进线端第一根线锯线内缩于单晶晶块端面1. 5mm。本实用新型的有益效果是,本实用新型的6寸单晶晶块的切片装置采用进线端第 一根钢线内缩于晶块端面,从而根本解决了现有切片工艺中由于晶块端面斜面引起切损、 崩边、缺角、跳线、甚至断线的问题,同时由于放弃端面斜面的切割,极大的减少了硅料的损 失,最大限度的提高了硅料的利用率,提高了硅片端的良率。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。


图1是本实用新型的结构示意图;图2是现有技术的结构示意图。图中1.左导轮,2.右导轮,3.线锯线,3-1.第一根线锯线,4.单晶晶块。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图, 仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。如
图1所示的一种6寸单晶晶块的切片装置,包括切片机台,切片机台左右两侧分 别设置左导轮1和右导轮2,左、右导轮1、2上平行设置回转式线锯线3,线锯线3上方安装
3至少一个单晶晶块4,进线端第一根线锯线3-1内缩于单晶晶块4端面1 2mm。最佳方案为进线端第一根线锯线3-1内缩于单晶晶块4端面1. 5mm。6寸单晶晶块的切片装置的生产方法如下1、对单晶块进行截断、检测、开方、滚圆、磨面等工艺制成成品6寸单晶晶块4 ;2、将成品单晶晶块4、玻璃板、晶托铝板放在铺有软胶皮垫的装有适量水的超声波 槽内清洗;3、将特制的胶水均勻的涂抹在已喷过砂的玻璃板的任一表面,同时将涂有胶层面 的玻璃板粘在晶托铝板上,并用铁托压适量的时间;4、将已配好的胶水适量均勻涂于玻璃板表面后将成品单晶晶块4粘于玻璃板表 面,保证单晶晶块4与玻璃板边缘面平行,同时单晶晶块4长度不可超过玻璃板;5、经过适当的固化时间,把粘有单晶晶块4的晶托铝板安装于切片机台,安装时 将进线端线锯线网的第一根线锯线3-1内缩于单晶晶块4端面1 2mm。6、单晶晶块4切片结束以后下料,经过清洗、分选、测试等工序便可包装成成品。如图2所示为现有技术的结构示意图,整个单晶晶块4都放置在线网内,包括单晶 晶块4两端的斜面,切片过程由于单晶晶块4端面斜面的存在,导致端面引起的崩边、缺角、 裂纹、碎片、甚至断线,严重影响了切片效益,端面斜面即使被切成片也是废片,极大的浪费 了硅料。以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人 员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。
权利要求一种6寸单晶晶块的切片装置,包括切片机台,切片机台左右两侧分别设置左导轮(1)和右导轮(2),左、右导轮(1、2)上平行设置回转式线锯线(3),其特征在于所述的线锯线(3)上方安装至少一个单晶晶块(4),进线端第一根线锯线(3 1)内缩于单晶晶块(4)端面1~2mm。
2.如权利要求1所述的6寸单晶晶块的切片装置,其特征在于所述的进线端第一根 线锯线(3-1)内缩于单晶晶块(4)端面1. 5mm。
专利摘要本实用新型涉及的单晶晶块切片技术领域,尤其是一种6寸单晶晶块的切片装置,包括切片机台,切片机台左右两侧分别设置左导轮和右导轮,左、右导轮上平行设置回转式线锯线,所述的线锯线上方安装至少一个单晶晶块,第一根线锯线内缩于单晶晶块端面1~2mm。本实用新型的采用进线端第一根钢线内缩于晶块端面,从而根本解决了现有切片工艺中由于晶块端面斜面引起切损、崩边、缺角、跳线、甚至断线的问题,同时由于放弃端面斜面的切割,极大的减少了硅料的损失,最大限度的提高了硅料的利用率,提高了硅片端的良率。
文档编号B28D5/04GK201728761SQ20102027308
公开日2011年2月2日 申请日期2010年7月28日 优先权日2010年7月28日
发明者吴继贤, 贺洁 申请人:常州天合光能有限公司
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