专利名称：一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法
技术领域：
本发明涉及液晶面板的蚀刻领域，尤其涉及一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法。
背景技术：
目前在FDP显示领域，液晶面板玻璃广泛的应用于电脑、电视、手机等显示终端。随着市场需求，液晶显示器向重量轻、高清晰等方向发展，为了达到这些特点与要求，大部分液晶显示面板均采用液晶面板玻璃薄化的方式进行。目前，液晶面板玻璃的薄化技术，主要以化学蚀刻为主，物理研磨为辅。而且此类化学薄化均是均衡薄化。目前均衡薄化主要有四种蚀刻方式可采用1、浸泡式(Dipping) ;2、侧面喷洒式(Side-Spray) ;3、瀑布流式(Cascade) ;4、顶部喷洒式(Top-Spray)。 随着市场日新月异的发展，液晶显示器等应用终端(如电脑、电视、手机等)向智能化发展。以其中一种智能化方向触摸技术为例，传统的触摸屏工艺结构如图I所示。为了降低触摸屏的成本，简化制造工艺，近年来出现了将触摸面板功能与液晶面板一体化的技术，如图2所示。触摸面板和液晶面板的一体化包括“In-cell”方法和“On-cell”方法。In-cell是指将触摸面板功能嵌入到液晶像素中的方法。On-cell是指将触摸面板功能嵌入到彩色滤光片基板(C/F)和偏光板之间的方法。
发明内容
针对上述的触摸屏发展趋势(工艺简化，成本降低)及解决液晶面板玻璃薄化的问题(由于透明电极层贴附在液晶显示器层上，在薄化的过程中需要保护)，本发明目的在于提供一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，该方法同样适用于其他需要单面保护的蚀刻玻3 。本发明的技术方案是一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，包括以下工序
工序A :挑选出可以进行单面蚀刻的液晶面板玻璃，可以单面蚀刻的条件为单面厚度> 0. Imm ;
工序B :把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面进行贴膜保护；
工序C :采用蚀刻装置将通过工序B处理过的液晶面板玻璃进行蚀刻；
工序D :对蚀刻后的液晶面板玻璃进行脱膜处理；
工序E :将脱膜后的液晶面板玻璃清洗干净。作为优选，在工序B前对通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式进行清洗，清洗设备采用PVC自动化清洗机，清洗液的主要成分为质量浓度1%的KOH水溶液，清洗液的成分包括重量百分率为2% 5%的非离子型表面活性剂、重量百分率为5% 10%的KOH水溶液、重量百分率为1% 5%的葡萄糖酸钠、重量百分率为1% 5%的四乙酸乙烯二胺、重量百分率为1% 5%的四钠酸、重量百分率为70% 85%的水，清洗温度25°C，清洗时间5分钟。作为优选，所述工序B是采用自动贴膜机，把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃的两面分别贴上TFT保护膜和C/F保护膜，并在贴膜的过程中采用静电防护措施，贴膜过程包括以下步骤
1)C/F保护膜准备将卷成卷筒的C/F保护膜的开放端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方；
2)TFT保护膜准备及产品投入将TFT保护膜平铺在自动贴膜机的工作平台上与C/F保护膜的位置对应，将液晶面板玻璃的TFT基板面朝下放置在TFT保护膜上；
3)接产品将液晶面板玻璃从自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙通过，并在工作平台的后方接住液晶面板玻璃；
4)一次裁切在液晶面板玻璃完全通过自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙后，裁断C/F保护膜；· 5)二次裁切沿着液晶面板玻璃的边沿裁切C/F保护膜或TFT保护膜，使其与液晶面板玻璃的尺寸一致；
6)贴膜完成去除液晶面板玻璃需要蚀刻的一面上的保护膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保护膜。作为优选，所述静电防护措施选择采用离子风机对贴膜过程中产品的静电进行静电中和，或者选择采用防静电膜降低贴膜过程的静电产生量，其中采用防静电膜的方式包括以下步骤
在B工序的步骤1)C/F保护膜准备中增加静电膜的准备将静电膜的一端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方，使贴膜后静电膜位于C/F保护膜的上方；
在B工序的步骤6)贴膜完成中增加静电膜的去除。作为优选，所述工序C的蚀刻方式为顶部喷洒式，蚀刻时液晶面板玻璃采用专用PVC工装装载，蚀刻液为HF混酸，温度为25±2°C。作为优选，所述工序D的脱膜处理过程包括采用碱液加热浸泡方式对蚀刻后的液晶面板玻璃进行化学脱膜，然后通过人工将碱液软化的保护膜进行手动脱膜，所述化学脱膜的设备为PVC自动化清洗机，所述碱液主要成分为由NaOH和DI水配置而成的质量浓度15%的NaOH溶液，化学脱膜的温度为50°C，时间为20分钟；所述手动脱膜在防静电手动脱模台上进行。作为优选，所述工序E采用的清洗设备为流水清洗线，具体清洗流程为
1)投入将液晶面板玻璃投入流水清洗线内；
2)碱液清洗碱液的主要成分为浓度1%的NaOH，清洗温度为40°C；
3)DI水清洗第一阶段；
4)风切利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为 0. 4 0. 5mpa ；
5)打包。作为优选，在工序E后通过触点式厚度测量机对液晶玻璃面板进行厚度检查，并对液晶玻璃面板进行外观检查，将液晶玻璃面板分为良品、可修复产品和报废品。作为优选，将检查挑选出的可修复的产品通过抛光机进行物理研磨修复,抛光的辅助材料为抛光粉、抛光垫和附垫。
作为优选，抛光后通过流水清洗线对产品进行清洗，清洗流程为
1)投入将液晶面板玻璃投入流水清洗线内；
2)滚刷清洗；
3)DI水清洗第一阶段；
4)风切利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为 0. 4 0. 5mpa ；
5)打包；
清洗后的合格品和工序E后检查出来的良品通过OQC检查，将产品进行分类。本发明的有益效果是本发明克服了均衡薄化对液晶面板玻璃两个面进行蚀刻的问题，液晶面板玻璃的其中一面需要进行保护，例如液晶面板一面上存在一层“透明电极层”(不能被腐蚀)，单面蚀刻工艺可以有效的保护有“透明电极层”的一面，而最终达到薄化的目的，也减少了工艺和成本。
图I为传统触摸屏工艺结构 图2为触摸面板与液晶面板一体化结构 图3为本发明的生产流程 图4为液晶面板玻璃的结构示意 图5为PVC工装的主视 图6为PVC工装的俯视 图7为PVC工装的左视 图8为防静电手动脱模台的主视 图9为防静电手动脱模台的俯视 图10为防静电手动脱模台的右视 图11为液晶面板玻璃的测试点位置图。
具体实施例方式作为本发明的一种实施方式，如图3所示，一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，包括以下工序
工序A :挑选出可以进行单面蚀刻的液晶面板玻璃，可以单面蚀刻的条件为单面厚度> 0. Imm (如图4所示，IXD玻璃即液晶面板玻璃，是由C/F基板(即彩色滤光片)和TFT基板组合而成的液晶显示器层。单面厚度为C/F基板或者TFT基板的厚度。目前最薄单面厚度可以做到0. 1mm)。在工序B前对通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式进行清洗，清洗设备采用PVC自动化清洗机(PVC自动化清洗机的中文名称为蚀刻前清洗机)，清洗液的主要成分为质量浓度1%的KOH水溶液，清洗液的成分与含量如下
花W称I化学文摘号I重量百分率
非离子型表面活性剂一_2^5_
KOH 水溶液_ 1310-58-3 5~10_
面萄糖酸纳丨527-07-1 |r5—
权利要求
1.一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于包括以下工序 工序A :挑选出可以进行单面蚀刻的液晶面板玻璃，可以单面蚀刻的条件为单面厚度> O. Imm ； 工序B :把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面进行贴膜保护； 工序C :采用蚀刻装置将通过工序B处理过的液晶面板玻璃进行蚀刻； 工序D :对蚀刻后的液晶面板玻璃进行脱膜处理； 工序E :将脱膜后的液晶面板玻璃清洗干净。
2.根据权利要求I所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于在工序B 前对通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式进行清洗，清洗设备采用PVC自动化清洗机，清洗液的主要成分为质量浓度1%的KOH水溶液，清洗液的成分包括重量百分率为2% 5%的非离子型表面活性剂、重量百分率为5% 10%的KOH水溶液、重量百分率为1% 5%的葡萄糖酸钠、重量百分率为1% 5%的四乙酸乙烯二胺、重量百分率为1% 5%的四钠酸、重量百分率为70% 85%的水，清洗温度25°C，清洗时间5分钟。
3.根据权利要求I所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于所述工序B是采用自动贴膜机，把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃的两面分别贴上TFT保护膜和C/F保护膜，并在贴膜的过程中采用静电防护措施，贴膜过程包括以下步骤 1)C/F保护膜准备将卷成卷筒的C/F保护膜的开放端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方； 2)TFT保护膜准备及产品投入将TFT保护膜平铺在自动贴膜机的工作平台上与C/F保护膜的位置对应，将液晶面板玻璃的TFT基板面朝下放置在TFT保护膜上； 3)接产品将液晶面板玻璃从自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙通过，并在工作平台的后方接住液晶面板玻璃； 4)一次裁切在液晶面板玻璃完全通过自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙后，裁断C/F保护膜； 5)二次裁切沿着液晶面板玻璃的边沿裁切C/F保护膜或TFT保护膜，使其与液晶面板玻璃的尺寸一致； 6)贴膜完成去除液晶面板玻璃需要蚀刻的一面上的保护膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保护膜。
4.根据权利要求3所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于所述静电防护措施选择采用离子风机对贴膜过程中产品的静电进行静电中和，并且选择采用防静电膜降低贴膜过程的静电产生量，其中采用防静电膜的方式包括以下步骤 在B工序的步骤1)C/F保护膜准备中增加静电膜的准备将静电膜的一端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方，使贴膜后静电膜位于C/F保护膜的上方； 在B工序的步骤6)贴膜完成中增加静电膜的去除。
5.根据权利要求I所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于所述工序C的蚀刻方式为顶部喷洒式，蚀刻时液晶面板玻璃采用专用PVC工装装载，蚀刻液为HF混酸，温度为25±2°C。
6.根据权利要求I所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于所述工序D的脱膜处理过程包括采用碱液加热浸泡方式对蚀刻后的液晶面板玻璃进行化学脱膜，然后通过人工将碱液软化的保护膜进行手动脱膜，所述化学脱膜的设备为PVC自动化清洗机，所述碱液主要成分为由NaOH和DI水配置而成的质量浓度15%的NaOH溶液，化学脱膜的温度为50°C，时间为20分钟；所述手动脱膜在防静电手动脱模台上进行。
7.根据权利要求I所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于所述工序E采用的清洗设备为流水清洗线，具体清洗流程为 1)投入将液晶面板玻璃投入流水清洗线内； 2)碱液清洗碱液的主要成分为浓度1%的NaOH，清洗温度为40°C； 3)DI水清洗； 4)风切利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为 O. 4 O. 5mpa ； 5)打包。
8.根据权利要求I至7任一项所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于在工序E后通过触点式厚度测量机对液晶玻璃面板进行厚度检查，并对液晶玻璃面板进行外观检查，将液晶玻璃面板分为良品、可修复产品。
9.根据权利要求8所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于将检查挑选出的可修复的产品通过抛光机进行物理研磨修复，抛光的辅助材料为抛光粉、抛光垫和附垫。
10.根据权利要求9述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于抛光后通过流水清洗线对产品进行清洗，清洗流程为 1)投入将液晶面板玻璃投入流水清洗线内； 2)滚刷清洗； 3)DI水清洗第一阶段； 4)风切利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为 O. 4 O. 5mpa ； 5)打包； 清洗后的合格品和工序E后检查出来的良品通过OQC检查，将产品进行分类。
全文摘要
本发明公开了一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，包括以下工序；工序A挑选出可以进行单面蚀刻的液晶面板玻璃，可以单面蚀刻的条件为单面厚度＞0.1mm；工序B把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面进行贴膜保护；工序C采用蚀刻装置将通过工序B处理过的液晶面板玻璃进行蚀刻；工序D对蚀刻后的液晶面板玻璃进行脱膜处理；工序E将脱膜后的液晶面板玻璃清洗干净。利用本发明方法加工液晶面板玻璃可以有效解决现有技术中液晶面板玻璃薄化的问题，该方法同样适用于其他需要单面保护的蚀刻玻璃。
文档编号C03C15/00GK102951845SQ201210432138
公开日2013年3月6日 申请日期2012年11月2日 优先权日2012年11月2日
发明者李福春, 蒲中军, 邓飞, 唐忠于, 唐毅强, 向勇, 黄毅, 李正元, 赵兴华, 黄立雄, 李辉, 钱华军, 张以洪, 蒲琨, 王勇, 张永强, 谢秋乙, 阳利民, 舒茜, 王晓, 黎岸, 刘俊杰, 廖志勇 申请人:成都工投电子科技有限公司