1.一种硅晶棒装夹装置，其特征在于：包括装夹座(1)；
所述装夹座(1)包括支架(11)和装夹主轴(12)；
所述装夹主轴(12)安装在所述支架(11)上、并可相对于所述支架(11)转动；
还包括活动组件安装座(14)、第一驱动部件和活动夹紧部件；
所述活动组件安装座(14)设置在所述装夹主轴(12)的周向外侧，并与所述装夹主轴(12)固定连接；
所述第一驱动部件与所述活动组件安装座(14)固定连接；所述第一驱动部件与所述活动夹紧部件连接；所述第一驱动部件驱动所述活动夹紧部件沿所述装夹主轴(12)的轴向移动。
2.根据权利要求1所述的硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述装夹座(1)还包括封杆(17)和弹性部件；
所述封杆(17)套接在所述装夹主轴(12)的自由端；所述封杆(17)沿所述装夹主轴(12)的轴向相对于所述装夹主轴(12)滑动、但在所述装夹主轴(12)的周向方向相对于所述装夹主轴(12)固定；
所述弹性部件设置在所述装夹主轴(12)和所述封杆(17)套接形成的套合腔(19)内；所述弹性部件一端与所述装夹主轴(12)连接，另一端与所述封杆(17)连接。
3.根据权利要求2所述的硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述封杆(17)套接在所述装夹主轴(12)的外侧；
所述装夹座(1)还包括环形密封件(20)；所述环形密封件(20)固定安装在所述装夹主轴(12)外侧、并套接所述封杆(17)；所述环形密封件(20)的表面设有进气孔(201)；
所述封杆(17)、所述装夹主轴(12)和所述环形密封件(20)间形成缝隙；
所述进气孔(201)和所述缝隙连通。
4.根据权利要求3所述硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述装夹座(1)还包括压紧块(21)和转向头(22)；
所述压紧块(21)包括第一通孔和第二通孔；所述第一通孔和所述第二通孔同轴设置，并且，所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径；
所述压紧块(21)固定安装在所述封杆(17)的自由端，所述第一通孔位于所述封杆(17)和所述第二通孔之间；所述第一通孔的边缘区域由所述压紧块(21)和所述封杆(17)的端面围成限位环形槽(211)；
所述转向头(22)的圆周面侧设有限位凸起(221)；
所述限位凸起(221)卡接在所述限位环形槽(211)内，以使所述转向头(22)安装在所述装夹主轴(12)的自由端；
所述封杆(17)的自由端端面和所述转向头(22)面向所述装夹主轴(12)的端面二者之一设置有球型凸面(171)，另一设有与所述球型凸面(171)半径相同的球型凹面(222)；所述球型凸面(171)贴合所述球型凹面(222)，以使所述转向头(22)相对于所述封杆(17)转动；
所述转向头(22)的自由端穿过所述第二通孔并凸出于所述压紧块(21)。
5.根据权利要求2所述的硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述装夹座(1)还包括压紧块(21)和转向头(22)；
所述压紧块(21)包括第一通孔和第二通孔；所述第一通孔和所述第二通孔同轴设置，并且，所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径；
所述压紧块(21)固定安装在所述装夹主轴(12)的自由端，所述第一通孔位于所述装夹主轴(12)和所述第二通孔之间；所述第一通孔的边缘区域由所述压紧块(21)和所述装夹主轴(12)的端面围成限位环形槽(211)；
所述转向头(22)的圆周面侧设有限位凸起(221)；
所述限位凸起(221)卡接在所述限位环形槽(211)内，以使所述转向头(22)安装在所述装夹主轴(12)的自由端；
所述装夹主轴(12)的自由端端面和所述转向头(22)面向所述装夹主轴(12)的端面二者之一设置有球型凸面(171)，另一设有与所述球型凸面(171)半径相同的球型凹面(222)；所述球型凸面(171)贴合所述球型凹面(222)，以使所述转向头(22)相对于所述封杆(17)转动；
所述转向头(22)的自由端穿过所述第二通孔并凸出于所述压紧块(21)。
6.根据权利要求4或5所述的硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述转向头(22)自由端的端面设置有三个搭子(223)；
三个所述搭子(223)呈三角形分布；三个所述搭子(223)的自由端共面。
7.根据权利要求1-5任一项所述的硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述第一驱动部件为双作用气缸(15)；所述活动夹紧部件为一端与所述双作用气缸(15)的活塞杆固定连接的伸缩顶杆(16)。
8.根据权利要求7所述的硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述活动组件安装座(14)上设有第三通孔；
所述伸缩顶杆(16)穿过所述第三通孔；
所述伸缩顶杆(16)和所述第三通孔之间设有限制所述伸缩顶杆(16)转动的导向平键。
9.根据权利要求7所述的硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述伸缩顶杆(16)包括顶杆本体(161)、连接销(162)、双头顶紧块(163)、压板(164)和垫块(165)；
所述顶杆本体(161)与所述活塞杆固定连接；
所述双头顶紧块(163)通过所述连接销(162)与所述顶杆本体(161)铰接；
所述压板(164)固定安装在所述压板(164)的自由端端面；
所述垫块(165)安装在压板(164)的自由端端面。
10.根据权利要求1-5任一项所述的硅晶棒装夹装置，其特征在于：
所述装夹座(1)还包括第一伺服电机(24)；
所述第一伺服电机(24)与所述支架(11)固定连接；所述第一伺服电机(24)与所述装夹主轴(12)连接，以驱动所述装夹主轴(12)转动。