一种用于单晶炉的出料系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及单晶炉装置技术领域，特别是一种用于单晶炉的出料系统。
【背景技术】
[0002]目前将单晶硅晶棒取出的方法一般是由操作人员带上手套，用钳子将晶棒夹出。然而这样的操作方式不仅存在危险性，而且单晶硅晶棒的破裂强度与抗拉强度均较小，且晶棒在下降过程中存在一定的晃动，因此晶棒很容易出现断裂，以及人工操作随意性交大，效率缓慢。
【发明内容】
[0003]本发明需要解决的技术问题是通过料棒存放机构把单晶硅晶棒自动放入料棒输送平台的料槽内，然后由料棒输送平台把单晶硅晶棒输送出去，大大提高了单晶硅晶棒的出料效率；提供一种用于单晶炉的出料系统。
[0004]为解决上述的技术问题，本发明的结构包括X向料棒输送装置、Y向平移机构、Z向升降机构、支架和料棒存放机构，所述的料棒存放机构连接在支架上，所述的支架位于X向料棒输送装置的上方，所述支架的两端通过Y向平移机构与Z向升降机构相连，所述的X向料棒输送装置包括料棒输送平台、X向平移小车和两条X向设置的第一轨道，所述的料棒输送平台上开设四条料槽，所述的料棒输送平台通过X向平移小车活动连接在两条X向设置的第一轨道上。
[0005]进一步:所述的料棒存放机构包括第一角钢、第二角钢，销轴和电动缸，所述的电动缸位于第二角钢的下方，所述的第二角钢和电动缸固定连接在支架上，所述的第一角钢通过销轴与第二角钢活动连接，所述电动缸的出轴端活动连接在第一角钢的底部。
[0006]又进一步:所述的Y向平移机构包括两条Y向设置的第二轨道和两辆Y向平移小车，所述支架的两端分别通过一辆Y向平移小车活动连接在两条Y向设置的第二轨道上。
[0007]再进一步:所述的Z向升降机构包括四条Z向设置的导向轨道和四辆升降小车，所述的两条第二轨道的两端分别连接在四辆升降小车上，所述的四辆升降小车分别活动连接在相对应的四条Z向设置的导向轨道上。
[0008]采用上述结构后，本发明通过料棒存放机构把单晶硅晶棒自动放入料棒输送平台的料槽内，然后由料棒输送平台把单晶硅晶棒输送出去，大大提高了单晶硅晶棒的出料效率；而且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
【附图说明】
[0009]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细的说明。
[0010]图1为本发明的结构示意图。
[0011 ] 图2为料棒存放机构的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]如图1所示的一种用于单晶炉的出料系统，包括X向料棒输送装置、Y向平移机构、Z向升降机构、支架1和料棒存放机构，所述的料棒存放机构连接在支架1上，所述的支架1位于X向料棒输送装置的上方，所述支架1的两端通过Y向平移机构与z向升降机构相连，所述的X向料棒输送装置包括料棒输送平台3、x向平移小车和两条X向设置的第一轨道9，所述的料棒输送平台3上开设四条料槽4，所述的料棒输送平台3通过X向平移小车活动连接在两条X向设置的第一轨道上。工作时，先把制备好的料棒防止在料棒存放机构内，然后依次启动Y向平移机构和Z向升降机构把料棒存放机构运送到料槽4的正上方，然后启动料棒存放机构使存放着的单晶硅晶棒自动掉落进料槽4内，当料棒输送平台3上的四条料槽4都存放了单晶硅晶棒后，启动X向平移小车使其带着料棒输送平台3把单晶硅晶棒沿着第一轨道9输送出去。本设计通过料棒存放机构把单晶硅晶棒自动放入料棒输送平台的料槽内，然后由料棒输送平台把单晶硅晶棒输送出去，大大提高了单晶硅晶棒的出料效率。
[0013]如图2所示的料棒存放机构包括第一角钢10、第二角钢11，销轴13和电动缸14，所述的电动缸14位于第二角钢11的下方，所述的第二角钢11和电动缸14固定连接在支架1上，所述的第一角钢10通过销轴13与第二角钢11活动连接，所述电动缸14的出轴端活动连接在第一角钢10的底部。工作时通过启动电动缸14，使第一角钢10通过销轴13绕着第二角钢11进行转动，使单晶硅晶棒在重力的作用下自动掉落进料棒输送平台3上的料槽4内。
[0014]如图1所示的Y向平移机构包括两条Y向设置的第二轨道6和两辆Y向平移小车5，所述支架1的两端分别通过一辆Y向平移小车活动连接在两条Y向设置的第二轨道6上。工作时通过启动两辆Y向平移小车5，使两辆Y向平移小车5带着支架1沿着第二轨道6进行移动，把料棒存放机构运送到料槽4的正上方，本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
[0015]如图1所示的Z向升降机构包括四条Z向设置的导向轨道7和四辆升降小车8，所述的两条第二轨道6的两端分别连接在四辆升降小车8上，所述的四辆升降小车8分别活动连接在相对应的四条Z向设置的导向轨道7上。工作时，启动四辆升降小车8，使其通过平移机构带着料棒存放机构进行竖直方向上的运动，降低料棒存放机构与料槽4之间的距离，防止单晶硅晶棒在下落的过程中由于高度过高而造成损坏。
【主权项】
1.一种用于单晶炉的出料系统，其特征在于:包括X向料棒输送装置、Y向平移机构、z向升降机构、支架(1)和料棒存放机构，所述的料棒存放机构连接在支架(1)上，所述的支架(1)位于X向料棒输送装置的上方，所述支架(1)的两端通过Y向平移机构与Z向升降机构相连，所述的X向料棒输送装置包括料棒输送平台(3)、X向平移小车和两条X向设置的第一轨道(9)，所述的料棒输送平台(3)上开设四条料槽(4)，所述的料棒输送平台3通过X向平移小车活动连接在两条X向设置的第一轨道上。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的出料系统，其特征在于:所述的料棒存放机构包括第一角钢(10)、第二角钢(11)，销轴(13)和电动缸(14)，所述的电动缸(14)位于第二角钢(11)的下方，所述的第二角钢(11)和电动缸(14)固定连接在支架⑴上，所述的第一角钢(10)通过销轴(13)与第二角钢(11)活动连接，所述电动缸(14)的出轴端活动连接在第一角钢(10)的底部。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的出料系统，其特征在于:所述的Y向平移机构包括两条Y向设置的第二轨道(6)和两辆Y向平移小车(5)，所述支架(1)的两端分别通过一辆Y向平移小车活动连接在两条Y向设置的第二轨道(6)上。4.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉的出料系统，其特征在于:所述的Z向升降机构包括四条Z向设置的导向轨道(7)和四辆升降小车(8)，所述的两条第二轨道(6)的两端分别连接在四辆升降小车⑶上，所述的四辆升降小车⑶分别活动连接在相对应的四条Z向设置的导向轨道(7)上。
【专利摘要】本发明涉及一种用于单晶炉的出料系统，包括X向料棒输送装置、Y向平移机构、Z向升降机构、支架和料棒存放机构，所述的料棒存放机构连接在支架上，所述的支架位于X向料棒输送装置的上方，所述支架的两端通过Y向平移机构与Z向升降机构相连，所述的X向料棒输送装置包括料棒输送平台、X向平移小车和两条X向设置的第一轨道，所述的料棒输送平台上开设四条料槽，所述的料棒输送平台通过X向平移小车活动连接在两条X向设置的第一轨道上。本设计通过料棒存放机构把单晶硅晶棒自动放入料棒输送平台的料槽内，然后由料棒输送平台把单晶硅晶棒输送出去，大大提高了单晶硅晶棒的出料效率。
【IPC分类】C30B35/00, C30B29/06
【公开号】CN105332062
【申请号】CN201510659171
【发明人】潘清跃, 王平
【申请人】江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
【公开日】2016年2月17日
【申请日】2015年10月13日