一种多晶硅倒角装置的制作方法

本实用新型属于多晶硅加工设备领域，主要涉及一种多晶硅倒角装置。

技术背景

为了去除零件上因机加工产生的毛刺，也为了便于零件装配，一般在零件端部做出倒角。另外，在光伏行业的多晶硅片的生产过程中，有一道工序被称为倒角，倒角的意思是对硅锭的棱边进行处理，以清除棱角的工序。倒角主要是在机械加工中的轴和孔沿30°、45°、60°等角度用钻床等方式做一个一定长度的斜坡。

在对多晶硅进行加工过程中，硅块经过切割后边缘表面有稜角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷，边缘表面比较粗糙。为了增加硅切片边缘表面机械强度、减少颗粒污染，就要将硅块边缘磨削呈圆弧状或梯形，即进行倒角处理。

硅块倒角的目的主要是：1.消除硅块边缘表面由于切割后产生的棱角、毛刺、崩边或其他的缺陷，以及各种边缘表面污染，降低硅块边缘表面的粗糙度。

2.减小机械应力与热应力集中，后期硅块在使用时会经历大量的高温，如氧化、扩散、薄膜生长等，当这些工艺中产生的热应力的大小超过硅晶体强度时，即会产生位错与滑移等材料缺陷，倒角可减弱此类材料缺陷。

因此，倒角对于生产出更合格的硅片成品至关重要。常见的多晶硅倒角装置，一次放入多晶硅硅块只能进行一条硅块棱边的倒角，要实现四条棱边的倒角就需要旋转并放入四次，造成了操作的繁琐性，同时增加了多晶硅因多次移动导致硅块损伤的可能性，因此，需要设计一种更加简单便捷的多晶硅倒角装置，使得生产工艺更简便，节省劳动力，提高工作效率。

技术实现要素：

为了使得多晶硅的倒角过程更加简单便捷，本实用新型提供一种多晶硅倒角装置，可以同时进行多晶硅硅块两条棱边的倒角，使得生产工艺更简单便捷，实用性很强。

本实用新型所采用的设计方案是：一种多晶硅倒角装置，包括支架1，所述支架1上装有台面2，所述台面2上设有倒角磨轮固定柱3，所述倒角磨轮固定柱3上装有倒角磨轮4，所述台面2上设有夹具轨道5，所述夹具轨道5上设有轨道凹槽6，所述轨道凹槽6上装有下夹具7，所述下夹具7下方设有夹具滑块8，所述夹具滑块8下方装有滑块固定轴9，所述滑块固定轴9上设有固定轴手柄10，所述台面2下表面装有气缸11，所述气缸11上设有伸缩夹钳12，所述台面2上方设有上固定板13，所述上固定板13上装有上夹具14。

本实用新型提供的设计方案中，所述倒角磨轮固定柱3有两个，分别位于夹具轨道5的两侧，且每一个倒角磨轮固定柱3上都装有一个倒角磨轮4。

本实用新型提供的设计方案中，所述下夹具7、夹具滑块8、滑块固定轴9以固定轴手柄10为一个整体结构，所述夹具滑块8可在轨道凹槽3内滑动。

本实用新型提供的设计方案中，所述伸缩夹钳12的内围尺寸与滑块固定轴9的外周尺寸相同，所述伸缩夹钳12可感应到滑块固定轴9的接触。

本实用新型提供的设计方案中，所述上固定板13和上夹具14分别具有和台面2和下夹具7一样的夹具滑动结构。

本实用新型提供的设计方案中，所述上夹具14和下夹具7均为“V”形槽。

本实用新型具有以下优点：

本实用新型结构简单，操作方便，可以同时进行多晶硅硅块两条棱边的倒角，减轻了操作的繁琐性，同时减少了多晶硅因多次移动导致硅块损伤的可能性，使得生产工艺更简单便捷，节省劳动力，提高工作效率，实用性很强。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为多晶硅倒角装置的俯视三维结构图，1-支架，2-台面，3-倒角磨轮固定柱，4-倒角磨轮，5-夹具轨道，6-轨道凹槽，7-下夹具；

图2为多晶硅倒角装置的仰视三维结构图，8-夹具滑块，9-滑块固定轴，10-固定轴手柄，11-气缸，12-伸缩夹钳，13-上固定板，14-上夹具。

具体实施方式

下面将结合本实用新型附图和具体设计方案，对本实用新型实施例中的设计方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型专利中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利保护的范围。

实施例1

如图1多晶硅倒角装置的俯视三维结构图和图2多晶硅倒角装置的仰视三维结构图所示，一种多晶硅倒角装置，包括支架1，所述支架1上装有台面2，所述台面2上设有倒角磨轮固定柱3，所述倒角磨轮固定柱3上装有倒角磨轮4，所述台面2上设有夹具轨道5，所述夹具轨道5上设有轨道凹槽6，所述轨道凹槽6上装有下夹具7，所述下夹具7下方设有夹具滑块8，所述夹具滑块8下方装有滑块固定轴9，所述滑块固定轴9上设有固定轴手柄10，所述台面2下表面装有气缸11，所述气缸11上设有伸缩夹钳12，所述台面2上方设有上固定板13，所述上固定板13上装有上夹具14。

所述倒角磨轮固定柱3有两个，分别位于夹具轨道5的两侧，且每一个倒角磨轮固定柱3上都装有一个倒角磨轮4。

所述下夹具7、夹具滑块8、滑块固定轴9以固定轴手柄10为一个整体结构，所述夹具滑块8可在轨道凹槽3内滑动。

所述伸缩夹钳12的内围尺寸与滑块固定轴9的外周尺寸相同，所述伸缩夹钳12可感应到滑块固定轴9的接触。

所述上固定板13和上夹具14分别具有和台面2和下夹具7一样的夹具滑动结构。

所述上夹具14和下夹具7均为“V”形槽。

在装置使用时，通过固定轴手柄将下夹具拉出，将硅块放入“V”形夹具内，然后将下夹具推入夹具轨道，多晶硅晶块固定在上夹具和下夹具之间，待滑块固定轴接触伸缩夹钳后，气缸控制伸缩夹钳使得多晶硅晶块推出，同时两个倒角磨轮同时工作，对多晶硅的两条棱边进行倒角，待倒角结束后，取出晶块，旋转90度，开始第二次倒角，操作步骤同上，直至四个角都倒角完毕，拉出下夹具，取出多晶硅晶块。

本实用新型结构简单，操作方便，可以同时进行多晶硅硅块两条棱边的倒角，减轻了操作的繁琐性，同时减少了多晶硅因多次移动导致硅块损伤的可能性，使得生产工艺更简单便捷，节省劳动力，提高工作效率，实用性很强。

各位技术人员须知：虽然本实用新型已按照上述具体实施方式做了描述，但是本实用新型的发明思想并不仅限于此专利，任何运用本实用新型思想的改装，都将纳入本专利专利权保护范围内。