一种全自动分布式多晶硅开方机的制作方法

文档序号:15478437发布日期:2018-09-18 22:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种全自动分布式多晶硅开方机,其特征在于,包括机架、第一切割室、起升反转装置和第二切割室,第一切割室和起升反转装置安装在机架横梁上,第二切割室安装在机架底座上;其中,第一切割室包括水平多线切割机构,是单条金刚石切割线由若干个第一导轮张紧、与各个第一导轮对应设置的若干个第一切割轮走线而形成在水平向上相互平行的第一个切割面,该切割面上的金刚石切割线在同一水平面上;第二切割室包括竖直多线切割机构,是单条金刚石切割线由若干个第二导轮张紧、与各个第二导轮对应设置的若干个第二切割轮走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面,该切割面上的金刚石切割线在同一竖直面上。

2.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机,其特征在于,位于水平多线切割机构两端的一个第一切割轮均与伺服驱动电机连接。

3.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机,其特征在于,位于竖直多线切割机构两端的一个第二切割轮均与伺服驱动电机连接。

4.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机,其特征在于,第一个切割面上的金刚石切割线之间的线距相等,第二个切割面上的金刚石切割线之间的线距相等。

5.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机,其特征在于,起升反转装置包括安装在机架横梁上的桁架机构、导轨丝杠机构、夹持机构和旋转机构,桁架机构与导轨丝杠机构连接,导轨丝杠机构与夹持机构连接,夹持机构为一直角支架,直角支架的水平支架和竖直之间通过连接轴连接,水平支架与旋转机构连接。

6.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机,其特征在于,开方机还包括多晶硅的运输机构、机械手装置及周转机构。

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