一种全自动分布式多晶硅开方机的制作方法

文档序号:15478437发布日期:2018-09-18 22:01阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于多晶硅开方领域,公开了一种全自动分布式多晶硅开方机。该开方机包括机架、第一切割室、起升反转装置和第二切割室;第一切割室包括水平多线切割机构,是单条金刚石切割线由若干个第一导轮张紧、与各个第一导轮对应设置的若干个第一切割轮走线而形成在水平向上相互平行的第一个切割面;第二切割室包括竖直多线切割机构,是单条金刚石切割线由若干个第二导轮张紧、与各个第二导轮对应设置的若干个第二切割轮走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面。该开方机可以用自动化替代了人工操作,提高了开方效率,而且整个工艺能够实现全自动化,使该工艺的工业化生产更为可能。

技术研发人员:王新辉;马云鹏;段景博;周波
受保护的技术使用者:青岛高测科技股份有限公司
技术研发日:2017.12.27
技术公布日:2018.09.18

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