一种高生产率多孔半导体制造设备的制作方法

文档序号:15207012发布日期:2018-08-21 10:08阅读:120来源:国知局

本发明是一种高生产率多孔半导体制造设备,属于高生产率多孔半导体制造设备领域。



背景技术:

晶体硅是商业光伏应用中最主要的吸收材料。与大批量生产晶体硅太阳能电池有关的较高效率和材料的丰富吸引了人们对其持续使用及改进。但是晶体硅材料本身相对较高的成本限制了这些太阳能电池组件的广泛使用。目前,“晶圆”或晶体硅和切片的成本占成品太阳能组件制造成本的约40%-60%。如果有更直接的方法制造晶圆,那么这在降低太阳能电池的成本上将是巨大的进展。已知有不同的生长单晶硅并释放或转移生长的晶圆的方法。不论何种方法,低成本外延硅沉积工艺和大容量、有生产价值的低成本释放层形成的方法是硅太阳能电池更广泛使用的先决条件。多孔半导体形成是一个全新的领域,具有不断扩大的应用前景。

现有的技术一般打孔不够精确生产率较低并废渣没有及时处理影响半导体质量,可进一步完善该功能。



技术实现要素:

针对现有技术存在的不足,本发明目的是提供一种高生产率多孔半导体制造设备,以一般打孔不够精确生产率较低并废渣没有及时处理影响半导体质量,可进一步完善该功能解决的问题。

为了实现上述目的,本发明是通过如下的技术方案来实现:一种高生产率多孔半导体制造设备,其结构包括合页、散热孔、制造箱体、支架、显示屏、观察台、精确打孔机构、产品标识、手把、开合门;

所述合页设于开合门与制造箱体之间并铰链连接,所述散热孔嵌设于制造箱体右下方并固定连接形成一体化结构,所述制造箱体为长方体结构并下部设有开合门,所述支架焊接于制造箱体顶部与显示屏之间且与制造箱体相互垂直,所述显示屏通过支架设于制造箱体上方并点连接于制造箱体,所述观察台安装于显示屏正前端并与制造箱体相连接,所述精确打孔机构装设于制造箱体内部并活动连接,所述产品标识镶嵌于制造箱体上表面且设于开合门右上方,所述手把固定连接于开合门上,所述开合门通过合页设于制造箱体前端并活动连接;

所述精确打孔机构包括推动装置、动力源装置、打孔装置、摆动装置、通电装置、固定吸附装置、传动装置,所述推动装置安装于精确打孔机构内部并活动连接,所述动力源装置设于精确打孔机构右上方且与推动装置按压连接,所述打孔装置安装于精确打孔机构顶端中部且与通电装置电连接,所述摆动装置设于打孔装置与通电装置之间并摆动连接,所述通电装置设于打孔装置左侧并通过摆动装置与打孔装置电连接,所述固定吸附装置连接传动装置于左侧并活动连接,所述传动装置设于精确打孔机构右下方且通过动力源装置与固定吸附装置活动连接。

进一步地,所述推动装置包括l连接杆、活动圆销、第一连接杆、开合杆、推动杆、限位框、第二连接杆、按压块,所述l连接杆通过活动圆销与第一连接杆活动连接并设于精确打孔机构右侧,所述活动圆销连接第一连接杆与l连接杆之间并活动连接,所述第一连接杆连接开合杆于后部,所述开合杆设于推动杆与第一连接杆之间且通过l连接杆与推动杆活动连接,所述推动杆通过开合杆与第二连接杆推动连接并上部设于限位框内部,所述限位框右侧焊接于精确打孔机构内壁上并中部设有推动杆、第二连接杆,所述第二连接杆通过上部与按压块相连接,所述按压块通过第二连接杆与动力源装置按压连接。

进一步地,所述动力源装置包括电机、按钮、电机连接架、电机轴、第一锥齿、动力齿轮、皮带轮、齿轮连接杆、连接块、传动齿轮、矩形块、传动皮带、第二传动齿轮、第三传动齿轮、第四传动齿轮、固定架,所述电机通过电机连接架安装于精确打孔机构右上方并固定连接,所述按钮装设于电机底部且与按钮间隙配合,所述电机连接架底部与精确打孔机构焊接并中部固定有电机,所述电机轴设于电机左侧并与电机转动连接,所述第一锥齿连接电机轴于左侧并同步转动,所述动力齿轮通过轴固定于精确打孔机构内壁上且与第一锥齿齿轮转动连接,所述皮带轮设于动力齿轮外侧并同步转动,所述齿轮连接杆连接动力齿轮于矩形块上并转动连接,所述连接块固定于传动齿轮上且与摆动装置碰撞连接,所述传动齿轮通过轴设于精确打孔机构内壁上且通过齿轮连接杆转动连接,所述矩形块固定于传动齿轮并与齿轮连接杆固定连接,所述传动皮带连接皮带轮于第二传动齿轮、第三传动齿轮、第四传动齿轮上并皮带连接,所述第二传动齿轮通过轴固定于精确打孔机构内壁上并设于限位框左侧,所述第三传动齿轮设于第二传动齿轮左下方且设于第四传动齿轮上部,所述第四传动齿轮装设于固定架中部且与传动皮带传动连接,所述固定架右端焊接于精确打孔机构内壁上并中部设有第四传动齿轮并活动连接。

进一步地,所述打孔装置包括固定座、拉杆、打孔器、伸缩杆,所述固定座固定于精确打孔机构顶端并与伸缩杆相连接,所述拉杆固定于打孔器左上部并与通电装置相连接,所述打孔器套设于伸缩杆外部并固定连接,所述伸缩杆贯穿打孔器并与通电装置电连接且与固定吸附装置伸缩固定连接。

进一步地,所述摆动装置包括重力铁块、固定杆、摆动杆、伸缩弹簧,所述重力铁块固定于摆动杆右端并与连接块碰撞连接,所述固定杆顶部与精确打孔机构内部焊接并下方连接有摆动杆,所述摆动杆通过重力铁块与固定杆摆动连接,所述伸缩弹簧焊接于摆动杆与精确打孔机构顶端并弹簧连接。

进一步地,所述通电装置包括推拉杆、u型连接块、第二摆动杆、弧形连接杆、矩形槽杆、变形杆、伸缩剪刀叉、拉绳、触电块、通电线、电池块、连接板、固定环、第二连接绳,所述推拉杆设于u型连接块内部并槽连接,所述u型连接块固定于精确打孔机构顶部并设于固定杆左侧端,所述第二摆动杆连接于推拉杆上部并通过弧形连接杆摆动连接,所述弧形连接杆固定于第二摆动杆底部并通过摆动杆摆动连接,所述矩形槽杆左端焊接于精确打孔机构内壁上并与变形杆活动连接,所述变形杆通过圆销安装于矩形槽杆中部并通过弧形连接杆与矩形槽杆移动连接,所述伸缩剪刀叉连接推拉杆于底部并通过拉绳、第二连接绳伸缩连接,所述拉绳连接变形杆底部并设于连接板左侧与固定环固定连接,所述触电块固定于连接板左下方并通过拉绳、第二连接绳与电池块电连接,所述通电线连接电池块于左侧并通过固定座连接于打孔器,所述电池块焊接于精确打孔机构内壁上并设于触电块正下方,所述连接板上部连接有伸缩剪刀叉并通过拉绳、第二连接绳升降连接,所述固定环焊接于连接板两侧并固定连接,所述第二连接绳设于连接板右侧并通过固定环与拉杆相连接。

进一步地,所述固定吸附装置包括吸附口、限位吸附座、铰链座、铰链连接杆、焊接杆、转动轴、第二锥齿、泵机轴、抽泵机、弹簧、连接轴承、连接管、活动拉杆,所述吸附口镶嵌于限位吸附座左侧并与连接管接口连接,所述限位吸附座安装于铰链连接杆上部并通过铰链座与铰链连接杆铰链连接,所述铰链座设于限位吸附座与铰链连接杆之间,所述铰链连接杆通过活动拉杆与焊接杆活动连接,所述焊接杆固定连接于传动装置与铰链连接杆之间,所述转动轴安装于连接轴承底部并通过传动装置转动连接,所述第二锥齿焊接于泵机轴右侧并与转动轴齿轮连接,所述泵机轴安装于抽泵机右端并通过第二锥齿与抽泵机转动连接,所述抽泵机固定于精确打孔机构左下方并与泵机轴转动连接,所述弹簧套设于连接管外部,所述连接轴承焊接于精确打孔机构内壁上并套设于连接管与转动轴外部,所述连接管设于抽泵机上部并与吸附口接口连接,所述活动拉杆连接传动装置于铰链连接杆上并活动连接。

进一步地,所述传动装置包括传动轮第二连接杆、转动轮、轮架、矩形固定座、连接脚、齿排、第二转动轮、传动轮第三连接杆,所述传动轮第二连接杆连接第四传动齿轮与传动轮第三连接杆并与第四传动齿轮转动连接,所述转动轮连接通过轮架安装于矩形固定座上且通过传动轮第三连接杆转动连接,所述轮架固定于矩形固定座上并与转动轮转动连接,所述矩形固定座安装于精确打孔机构右下方并设于转动轴右侧,所述连接脚装设于矩形固定座底部并固定连接,所述齿排设于第二转动轮表面并通过第二转动轮与转动轴角齿连接,所述第二转动轮设于转动轮左侧并通过转动轮与活动拉杆转动连接,所述传动轮第三连接杆连接转动轮于后部并与传动轮第二连接杆相连接。

有益效果

本发明一种高生产率多孔半导体制造设备,当半导体从右中端进入精确打孔机构进行打孔时,将l连接杆撞开使l连接杆与开合杆相连接呈三角形状并将开合杆往上顶,由于开合杆两端向外开并上部推动杆连接第二连接杆推动按压块与按钮按压连接并启动电机,当电机轴转动通过电机转动并带动第一锥齿与动力齿轮齿轮连接时,动力齿轮与皮带轮同步转动并连接齿轮连接杆,传动齿轮通过矩形块与齿轮连接杆连接并转动,连接块固定于传动齿轮外部并通过转动与重力铁块碰撞连接,当连接块将重力铁块往上抬起时摆动杆左端与弧形连接杆碰撞,由于弧形连接杆连接第二摆动杆使第二摆动杆摆动并向左摆动时与变形杆碰撞,变形杆具有柔韧性碰撞时呈直线状与内壁相互平行并将拉绳放松,由于拉绳与连接板相连接,拉绳使连接板往下降,触电块固定于连接板左下方当下降到固定位置时,触电块与电池块相连接并通电,通电线连接电池块于固定座上并电连接于打孔器,由于打孔器通电并控制伸缩杆升降与限位吸附座卡位连接,使打孔器固定于限位吸附座正上方,传动皮带连接皮带轮、第二传动齿轮、第三传动齿轮、第四传动齿轮并传动连接,当传动轮第二连接杆与第四传动齿轮转动并连接传动轮第三连接杆时,转动轮连接传动轮第三连接杆进行转动并带动第二转动轮,第二转动轮表面连接有活动拉杆转动时连接铰链连接杆使限位吸附座发生位置变化并与伸缩杆插口连接并外侧连接有齿排,并与转动轴转动连接,当转动轴转动时与第二锥齿齿轮连接并带动泵机轴转动使抽泵机发电,当停止转动时限位吸附座向左移动并吸附口与连接管重力连接并将内部杂物吸出,保持内部清洁。

本发明一种高生产率多孔半导体制造设备,可通过触碰开合杆启动开关,使吸附固定座与打孔器相互平行并起到限制位置卡位作用,可提高打孔正确率的同时废物可直接落入吸附座内,当吸附座向左与泵机按压连接启动泵机将槽内杂物吸附排出,保持设备内部整洁度可保证半导体制造质量,方便使用。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本发明一种高生产率多孔半导体制造设备的结构示意图。

图2为本发明精确打孔机构静态平面的结构示意图。

图3为本发明精确打孔机构动态部件解析一的结构示意图。

图4为本发明精确打孔机构动态部件解析二的结构示意图。

图中:合页-1、散热孔-2、制造箱体-3、支架-4、显示屏-5、观察台-6、精确打孔机构-7、产品标识-8、手把-9、开合门-10、推动装置-70、动力源装置-71、打孔装置-72、摆动装置-73、通电装置-74、固定吸附装置-75、传动装置-76、l连接杆-7001、活动圆销-7002、第一连接杆-7003、开合杆-7004、推动杆-7005、限位框-7006、第二连接杆-7007、按压块-7008、电机-7101、按钮-7102、电机连接架-7103、电机轴-7104、第一锥齿-7105、动力齿轮-7106、皮带轮-7107、齿轮连接杆-7108、连接块-7109、传动齿轮-7110、矩形块-7111、传动皮带-7112、第二传动齿轮-7113、第三传动齿轮-7114、第四传动齿轮-7115、固定架-7116、固定座-7201、拉杆-7202、打孔器-7203、伸缩杆-7204、重力铁块-7301、固定杆-7302、摆动杆-7303、伸缩弹簧-7304、推拉杆-7401、u型连接块-7402、第二摆动杆-7403、弧形连接杆-7404、矩形槽杆-7405、变形杆-7406、伸缩剪刀叉-7407、拉绳-7408、触电块-7409、通电线-7410、电池块-7411、连接板-7412、固定环-7413、第二连接绳-7414、吸附口-7501、限位吸附座-7502、铰链座-7503、铰链连接杆-7504、焊接杆-7505、转动轴-7506、第二锥齿-7507、泵机轴-7508、抽泵机-7509、弹簧-7510、连接轴承-7511、连接管-7512、活动拉杆-7513、传动轮第二连接杆-7601、转动轮-7602、轮架-7603、矩形固定座-7604、连接脚-7605、齿排-7606、第二转动轮-7607、传动轮第三连接杆-7608。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。

实施例

请参阅图1-图4,本发明提供一种高生产率多孔半导体制造设备:其结构包括合页1、散热孔2、制造箱体3、支架4、显示屏5、观察台6、精确打孔机构7、产品标识8、手把9、开合门10;

所述合页1设于开合门10与制造箱体3之间并铰链连接,所述散热孔2嵌设于制造箱体3右下方并固定连接形成一体化结构,所述制造箱体3为长方体结构并下部设有开合门10,所述支架4焊接于制造箱体3顶部与显示屏5之间且与制造箱体3相互垂直,所述显示屏5通过支架4设于制造箱体3上方并点连接于制造箱体3,所述观察台6安装于显示屏5正前端并与制造箱体3相连接,所述精确打孔机构7装设于制造箱体3内部并活动连接,所述产品标识8镶嵌于制造箱体3上表面且设于开合门10右上方,所述手把9固定连接于开合门10上,所述开合门10通过合页1设于制造箱体3前端并活动连接;

所述精确打孔机构7包括推动装置70、动力源装置71、打孔装置72、摆动装置73、通电装置74、固定吸附装置75、传动装置76,所述推动装置70安装于精确打孔机构7内部并活动连接,所述动力源装置71设于精确打孔机构7右上方且与推动装置70按压连接,所述打孔装置72安装于精确打孔机构7顶端中部且与通电装置74电连接,所述摆动装置73设于打孔装置72与通电装置74之间并摆动连接,所述通电装置74设于打孔装置72左侧并通过摆动装置73与打孔装置72电连接,所述固定吸附装置75连接传动装置76于左侧并活动连接,所述传动装置76设于精确打孔机构7右下方且通过动力源装置71与固定吸附装置75活动连接,所述推动装置70包括l连接杆7001、活动圆销7002、第一连接杆7003、开合杆7004、推动杆7005、限位框7006、第二连接杆7007、按压块7008,所述l连接杆7001通过活动圆销7002与第一连接杆7003活动连接并设于精确打孔机构7右侧,所述活动圆销7002连接第一连接杆7003与l连接杆7001之间并活动连接,所述第一连接杆7003连接开合杆7004于后部,所述开合杆7004设于推动杆7005与第一连接杆7003之间且通过l连接杆7001与推动杆7005活动连接,所述推动杆7005通过开合杆7004与第二连接杆7007推动连接并上部设于限位框7006内部,所述限位框7006右侧焊接于精确打孔机构7内壁上并中部设有推动杆7005、第二连接杆7007,所述第二连接杆7007通过上部与按压块7008相连接,所述按压块7008通过第二连接杆7007与动力源装置71按压连接,所述动力源装置71包括电机7101、按钮7102、电机连接架7103、电机轴7104、第一锥齿7105、动力齿轮7106、皮带轮7107、齿轮连接杆7108、连接块7109、传动齿轮7110、矩形块7111、传动皮带7112、第二传动齿轮7113、第三传动齿轮7114、第四传动齿轮7115、固定架7116,所述电机7101通过电机连接架7103安装于精确打孔机构7右上方并固定连接,所述按钮7102装设于电机7101底部且与按钮7102间隙配合,所述电机连接架7103底部与精确打孔机构7焊接并中部固定有电机7101,所述电机轴7104设于电机7101左侧并与电机7101转动连接,所述第一锥齿7105连接电机轴7104于左侧并同步转动,所述动力齿轮7106通过轴固定于精确打孔机构7内壁上且与第一锥齿7105齿轮转动连接,所述皮带轮7107设于动力齿轮7106外侧并同步转动,所述齿轮连接杆7108连接动力齿轮7106于矩形块7111上并转动连接,所述连接块7109固定于传动齿轮7110上且与摆动装置73碰撞连接,所述传动齿轮7110通过轴设于精确打孔机构7内壁上且通过齿轮连接杆7108转动连接,所述矩形块7111固定于传动齿轮7110并与齿轮连接杆7108固定连接,所述传动皮带7112连接皮带轮7107于第二传动齿轮7113、第三传动齿轮7114、第四传动齿轮7115上并皮带连接,所述第二传动齿轮7113通过轴固定于精确打孔机构7内壁上并设于限位框7006左侧,所述第三传动齿轮7114设于第二传动齿轮7113左下方且设于第四传动齿轮7115上部,所述第四传动齿轮7115装设于固定架7116中部且与传动皮带7112传动连接,所述固定架7116右端焊接于精确打孔机构7内壁上并中部设有第四传动齿轮7115并活动连接,所述打孔装置72包括固定座7201、拉杆7202、打孔器7203、伸缩杆7204,所述固定座7201固定于精确打孔机构7顶端并与伸缩杆7204相连接,所述拉杆7202固定于打孔器7203左上部并与通电装置74相连接,所述打孔器7203套设于伸缩杆7204外部并固定连接,所述伸缩杆7204贯穿打孔器7203并与通电装置74电连接且与固定吸附装置75伸缩固定连接,所述摆动装置73包括重力铁块7301、固定杆7302、摆动杆7303、伸缩弹簧7304,所述重力铁块7301固定于摆动杆7303右端并与连接块7109碰撞连接,所述固定杆7302顶部与精确打孔机构7内部焊接并下方连接有摆动杆7303,所述摆动杆7303通过重力铁块7301与固定杆7302摆动连接,所述伸缩弹簧7304焊接于摆动杆7303与精确打孔机构7顶端并弹簧连接,所述通电装置74包括推拉杆7401、u型连接块7402、第二摆动杆7403、弧形连接杆7404、矩形槽杆7405、变形杆7406、伸缩剪刀叉7407、拉绳7408、触电块7409、通电线7410、电池块7411、连接板7412、固定环7413、第二连接绳7414,所述推拉杆7401设于u型连接块7402内部并槽连接,所述u型连接块7402固定于精确打孔机构7顶部并设于固定杆7302左侧端,所述第二摆动杆7403连接于推拉杆7401上部并通过弧形连接杆7404摆动连接,所述弧形连接杆7404固定于第二摆动杆7403底部并通过摆动杆7303摆动连接,所述矩形槽杆7405左端焊接于精确打孔机构7内壁上并与变形杆7406活动连接,所述变形杆7406通过圆销安装于矩形槽杆7405中部并通过弧形连接杆7404与矩形槽杆7405移动连接,所述伸缩剪刀叉7407连接推拉杆7401于底部并通过拉绳7408、第二连接绳7414伸缩连接,所述拉绳7408连接变形杆7406底部并设于连接板7412左侧与固定环7413固定连接,所述触电块7409固定于连接板7412左下方并通过拉绳7408、第二连接绳7414与电池块7411电连接,所述通电线7410连接电池块7411于左侧并通过固定座7201连接于打孔器7203,所述电池块7411焊接于精确打孔机构7内壁上并设于触电块7409正下方,所述连接板7412上部连接有伸缩剪刀叉7407并通过拉绳7408、第二连接绳7414升降连接,所述固定环7413焊接于连接板7412两侧并固定连接,所述第二连接绳7414设于连接板7412右侧并通过固定环7413与拉杆7202相连接,所述固定吸附装置75包括吸附口7501、限位吸附座7502、铰链座7503、铰链连接杆7504、焊接杆7505、转动轴7506、第二锥齿7507、泵机轴7508、抽泵机7509、弹簧7510、连接轴承7511、连接管7512、活动拉杆7513,所述吸附口7501镶嵌于限位吸附座7502左侧并与连接管7512接口连接,所述限位吸附座7502安装于铰链连接杆7504上部并通过铰链座7503与铰链连接杆7504铰链连接,所述铰链座7503设于限位吸附座7502与铰链连接杆7504之间,所述铰链连接杆7504通过活动拉杆7513与焊接杆7505活动连接,所述焊接杆7505固定连接于传动装置76与铰链连接杆7504之间,所述转动轴7506安装于连接轴承7511底部并通过传动装置76转动连接,所述第二锥齿7507焊接于泵机轴7508右侧并与转动轴7506齿轮连接,所述泵机轴7508安装于抽泵机7509右端并通过第二锥齿7507与抽泵机7509转动连接,所述抽泵机7509固定于精确打孔机构7左下方并与泵机轴7508转动连接,所述弹簧7510套设于连接管7512外部,所述连接轴承7511焊接于精确打孔机构7内壁上并套设于连接管7512与转动轴7506外部,所述连接管7512设于抽泵机7509上部并与吸附口7501接口连接,所述活动拉杆7513连接传动装置76于铰链连接杆7504上并活动连接,所述传动装置76包括传动轮第二连接杆7601、转动轮7602、轮架7603、矩形固定座7604、连接脚7605、齿排7606、第二转动轮7607、传动轮第三连接杆7608,所述传动轮第二连接杆7601连接第四传动齿轮7115与传动轮第三连接杆7608并与第四传动齿轮7115转动连接,所述转动轮7602连接通过轮架7603安装于矩形固定座7604上且通过传动轮第三连接杆7608转动连接,所述轮架7603固定于矩形固定座7604上并与转动轮7602转动连接,所述矩形固定座7604安装于精确打孔机构7右下方并设于转动轴7506右侧,所述连接脚7605装设于矩形固定座7604底部并固定连接,所述齿排7606设于第二转动轮7607表面并通过第二转动轮7607与转动轴7506角齿连接,所述第二转动轮7607设于转动轮7602左侧并通过转动轮7602与活动拉杆7513转动连接,所述传动轮第三连接杆7608连接转动轮7602于后部并与传动轮第二连接杆7601相连接。

本发明提供一种高生产率多孔半导体制造设备,其工作原理为:当半导体从右中端进入精确打孔机构7进行打孔时,将l连接杆7001撞开使l连接杆7001与开合杆7004相连接呈三角形状并将开合杆7004往上顶,由于开合杆7004两端向外开并上部推动杆7005连接第二连接杆7007推动按压块7008与按钮7102按压连接并启动电机7101,当电机轴7104转动通过电机7101转动并带动第一锥齿7105与动力齿轮7106齿轮连接时,动力齿轮7106与皮带轮7107同步转动并连接齿轮连接杆7108,传动齿轮7110通过矩形块7111与齿轮连接杆7108连接并转动,连接块7109固定于传动齿轮7110外部并通过转动与重力铁块7301碰撞连接,当连接块7109将重力铁块7301往上抬起时摆动杆7303左端与弧形连接杆7404碰撞,由于弧形连接杆7404连接第二摆动杆7403使第二摆动杆7403摆动并向左摆动时与变形杆7406碰撞,变形杆7406具有柔韧性碰撞时呈直线状与内壁相互平行并将拉绳7408放松,由于拉绳7408与连接板7412相连接,拉绳7408使连接板7412往下降,触电块7409固定于连接板7412左下方当下降到固定位置时,触电块7409与电池块7411相连接并通电,通电线7410连接电池块7411于固定座7201上并电连接于打孔器7203,由于打孔器7203通电并控制伸缩杆7204升降与限位吸附座7502卡位连接,使打孔器7203固定于限位吸附座7502正上方,传动皮带7112连接皮带轮7107、第二传动齿轮7113、第三传动齿轮7114、第四传动齿轮7115并传动连接,当传动轮第二连接杆7601与第四传动齿轮7115转动并连接传动轮第三连接杆7608时,转动轮7602连接传动轮第三连接杆7608进行转动并带动第二转动轮7607,第二转动轮7607表面连接有活动拉杆7513转动时连接铰链连接杆7504使限位吸附座7502发生位置变化并与伸缩杆7204插口连接并外侧连接有齿排7606,并与转动轴7506转动连接,当转动轴7506转动时与第二锥齿7507齿轮连接并带动泵机轴7508转动使抽泵机7509发电,当停止转动时限位吸附座7502向左移动并吸附口7501与连接管7512重力连接并将内部杂物吸出,保持内部清洁。

本发明所述的伸缩剪刀叉7407是由杆与杆之间交叉通过活动圆销相连接可伸缩活动,形状与剪刀相似,所以被称之为剪刀叉,一般被广泛使用。

本发明解决的问题是一般打孔不够精确生产率较低并废渣没有及时处理影响半导体质量,可进一步完善该功能,本发明通过上述部件的互相组合,可通过触碰开合杆启动开关,使吸附固定座与打孔器相互平行并起到限制位置卡位作用,可提高打孔正确率的同时废物可直接落入吸附座内,当吸附座向左与泵机按压连接启动泵机将槽内杂物吸附排出,保持设备内部整洁度可保证半导体制造质量,方便使用。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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