技术特征：
技术总结
本发明公开了一种单晶硅棒装夹装置，包括滚轮支撑机构、第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构；滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座，第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上；第一定位及取片机构包括真空吸盘，真空吸盘位于滚轮支撑机构上方；夹持机构包括夹爪机构及第一轴向移动驱动机构；夹爪机构用于夹持单晶硅棒；第一轴向移动驱动机构用于驱动夹爪机构轴向移动；第一浮动支撑机构包括支撑机构及第二轴向移动驱动机构，支撑机构设置于第一定位及取片机构和夹持机构之间；第二轴向移动驱动机构用于驱动支撑机构轴向移动。本发明具有可以保证加工过程中单晶硅棒的端面的平行度均一致的优点。
技术研发人员：朱文志;李波;汤文博;蓝碧峰;范舒彬;林孝狮;黄田玉;林光展
受保护的技术使用者：福州天瑞线锯科技有限公司
技术研发日：2018.12.26
技术公布日：2019.03.15