一种多线切割机减震装置的制作方法

本发明涉及多线切割机辅助装置领域，具体是一种多线切割机减震装置。

背景技术：

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式，但是当金属丝高速切割时，由于金属丝的振动频率大、振幅大，所以很容易使得金属丝从导轮槽中跳出，引起金属丝之间互相摩擦，从而造成断线，因此对于金属丝在切割时，对于金属丝的减震装置是必不可少的。

现有的减震装置，结构单一传统，不方便进行控制调节，无法对金属丝进行较好的组合减震支撑，且只具有按压或托举减震支撑中的一个减震方式，不能自由选择，局限性较大。因此，针对以上现状，迫切需要开发一种多线切割机减震装置，以克服当前实际应用中的不足。

技术实现要素：

本发明实施例的目的在于提供一种多线切割机减震装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：

一种多线切割机减震装置，包括对称放置的两个减震组件，且多线切割机的金属丝从两个减震组件穿过，两个减震组件之间还设有与金属丝配合的进给工作台；所述减震组件包括侧支撑板、底板座、伸缩缸、滑套、安装横杆、上支撑辊、下支撑辊和横纵向弹性支撑组件，所述底板座的顶部前后两侧分别安装固定有一个侧支撑板，两个所述侧支撑板之间安装固定有一条安装横杆，所述安装横杆上配合滑动设有两个滑套，两个所述滑套的顶部分别安装固定有一个伸缩缸，两个所述伸缩缸之间通通过横纵向弹性支撑组件支撑固定有上支撑辊和下支撑辊，且所述金属丝从上支撑辊和下支撑辊之间穿过。

作为本发明进一步的方案：所述伸缩缸的伸缩杆和安装横杆上均设有刻度。

作为本发明进一步的方案：两个所述滑套的侧面设有用于对滑套调节后锁定的锁紧旋钮。

作为本发明进一步的方案：所述上支撑辊和下支撑辊均为圆柱形结构，所述上支撑辊和下支撑辊上还开设有多个与金属丝相配合的环状导丝槽。

作为本发明进一步的方案：所述横纵向弹性支撑组件包括限位环板、减震弹簧、上套环、下套环、铰支座、第一连接轴、弹力绳和第二连接轴，所述伸缩缸的伸缩杆上分别配合滑动设有上套环和下套环，所述上套环上侧的伸缩缸伸缩杆上、下套环下侧的伸缩缸伸缩杆上以及上套环和下套环之间的伸缩缸伸缩杆上分别安装固定有一个限位环板，所述上套环和下套环的上下两侧伸缩缸伸缩杆上均套设有型号相同的减震弹簧；所述上支撑辊设于两个所述上套环之间，下支撑辊设于两个所述下套环之间，所述上支撑辊和下支撑辊的两端均转动连接有一个第二连接轴，第二连接轴的另一端通过弹力绳与第一连接轴固定连接，所述第一连接轴的另一端铰接于铰支座上，所述上支撑辊两端的两个铰支座分别对应固定于两个所述上套环上，下支撑辊两端的两个铰支座分别对应固定于两个所述下套环上。

作为本发明进一步的方案：所述上支撑辊和下支撑辊的两端均开设有一个轴承槽，第二连接轴通过轴承转动安装于轴承槽内。

作为本发明进一步的方案：所述第一连接轴和第二连接轴相对的一端均开设有一个插接孔，所述弹力绳的两端分别拆装于第一连接轴和第二连接轴的插接孔内，所述第一连接轴和第二连接轴上还设有多个用于对弹力绳进行固定的固定螺栓。

与现有技术相比，本发明实施例的有益效果是：

1）通过设置两个滑套可沿着安装横杆指定数值移动，可适应不同位置的金属丝减震需要；通过伸缩缸可对上支撑辊和下支撑辊的高度位置进行调节，当上支撑辊与金属丝抵触时，可通过上支撑辊对金属丝进行按压式减震；当下支撑辊与金属丝抵触时，可通过下支撑辊对金属丝进行托举式减震，使用控制灵活方便；还可控制两个伸缩缸的高度不同，适应多根金属丝不在同一水平面的工作需要；通过上支撑辊和下支撑辊上开设的导丝槽，可提升上支撑辊和下支撑辊对金属丝的传导稳定性；

2）通过横纵向弹性支撑组件的结构设置，第二连接轴可对上支撑辊和下支撑辊转动支撑，降低上支撑辊和下支撑辊与金属丝之间的摩擦；通过弹力绳可对上支撑辊和下支撑辊进行横向为主的弹性支撑，工况适应效果好，通过设置铰支座，可适应两个伸缩缸的高度不同的工作需要；通过限位环板和减震弹簧的配合结构设置，可对上套环和下套环进行稳定的纵向弹性支撑，提升上支撑辊和下支撑辊对金属丝的组合减震效果。

综上所述，该多线切割机减震装置，结构新颖，方便进行控制调节，具有对金属丝较好的组合减震支撑效果，降低金属丝从导轮槽中跳出的几率。

附图说明

图1为本发明实施例的结构示意图。

图2为本发明实施例中减震组件的侧视结构示意图。

图3为图2中a部分的放大结构示意图。

图4为图3中第二连接轴和上支撑辊连接处的局部剖视结构示意图。

图5为本发明实施例中上支撑辊的结构示意图。

图6为本发明实施例中滑套和安装横杆连接处的局部结构示意图。

图中：1-金属丝，2-减震组件，3-进给工作台，21-侧支撑板，22-底板座，23-伸缩缸，24-滑套，25-锁紧旋钮，26-安装横杆，27-刻度，28-上支撑辊，281-轴承槽，282-导丝槽，29-下支撑辊，210-限位环板，211-减震弹簧，212-上套环，213-下套环，214-铰支座，215-固定螺栓，216-第一连接轴，217-弹力绳，218-第二连接轴，2181-插接孔，219-轴承。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

实施例1

请参阅图1-2、5-6，本发明实施例中，一种多线切割机减震装置，包括对称放置的两个减震组件2，且多线切割机的金属丝1从两个减震组件2穿过，两个减震组件2之间还设有与金属丝1配合的进给工作台3；所述减震组件2包括侧支撑板21、底板座22、伸缩缸23、滑套24、安装横杆26、上支撑辊28、下支撑辊29和横纵向弹性支撑组件，所述底板座22的顶部前后两侧分别安装固定有一个侧支撑板21，两个所述侧支撑板21之间安装固定有一条安装横杆26，安装横杆26上设有刻度27，所述安装横杆26上配合滑动设有两个滑套24，两个所述滑套24的侧面设有用于对滑套24调节后锁定的锁紧旋钮25，两个所述滑套24的顶部分别安装固定有一个伸缩缸23，两个所述伸缩缸23之间通通过横纵向弹性支撑组件支撑固定有上支撑辊28和下支撑辊29，且所述金属丝1从上支撑辊28和下支撑辊29之间穿过，所述上支撑辊28和下支撑辊29均为圆柱形结构，所述上支撑辊28和下支撑辊29上还开设有多个与金属丝1相配合的环状导丝槽282，使得金属丝1的稳定性得到提升。

实施例2

请参阅图2-6，本实施例与实施例1的不同之处在于：

本实施例中，所述横纵向弹性支撑组件包括限位环板210、减震弹簧211、上套环212、下套环213、铰支座214、第一连接轴216、弹力绳217和第二连接轴218，所述伸缩缸23的伸缩杆上也设有刻度27，所述伸缩缸23的伸缩杆上分别配合滑动设有上套环212和下套环213，所述上套环212上侧的伸缩缸23伸缩杆上、下套环213下侧的伸缩缸23伸缩杆上以及上套环212和下套环213之间的伸缩缸23伸缩杆上分别安装固定有一个限位环板210，所述上套环212和下套环213的上下两侧均套设有型号相同的减震弹簧211，通过上部的两个减震弹簧211可对上套环212纵向弹性支撑，通过下部的两个减震弹簧211可对下套环213纵向弹性支撑。

所述上支撑辊28设于两个所述上套环212之间，下支撑辊29设于两个所述下套环213之间，所述上支撑辊28和下支撑辊29的两端均转动连接有一个第二连接轴218，第二连接轴218的另一端通过弹力绳217与第一连接轴216固定连接，所述第一连接轴216的另一端铰接于铰支座214上，所述上支撑辊28两端的两个铰支座214分别对应固定于两个所述上套环212上，下支撑辊29两端的两个铰支座214分别对应固定于两个所述下套环213上。

进一步的，如图4所示，所述上支撑辊28和下支撑辊29的两端均开设有一个轴承槽281，第二连接轴218通过轴承219转动安装于轴承槽281内，所述第一连接轴216和第二连接轴218相对的一端均开设有一个插接孔2181，所述弹力绳217的两端分别拆装于第一连接轴216和第二连接轴218的插接孔2181内，所述第一连接轴216和第二连接轴218上还设有多个用于对弹力绳217进行固定的固定螺栓215。

该多线切割机减震装置，在实际应用时，具有以下突出优点：

1）通过设置两个滑套24可沿着安装横杆26指定数值移动，可适应不同位置的金属丝1减震需要；通过伸缩缸23可对上支撑辊28和下支撑辊29的高度位置进行调节，当上支撑辊28与金属丝1抵触时，可通过上支撑辊28对金属丝1进行按压式减震；当下支撑辊29与金属丝1抵触时，可通过下支撑辊29对金属丝1进行托举式减震，使用控制灵活方便；还可控制两个伸缩缸23的高度不同，适应多根金属丝1不在同一水平面的工作需要；通过上支撑辊28和下支撑辊29上开设的导丝槽282，可提升上支撑辊28和下支撑辊29对金属丝1的传导稳定性；

2）通过横纵向弹性支撑组件的结构设置，第二连接轴218可对上支撑辊28和下支撑辊29转动支撑，降低上支撑辊28和下支撑辊29与金属丝1之间的摩擦；通过弹力绳217可对上支撑辊28和下支撑辊29进行横向为主的弹性支撑，工况适应效果好，通过设置铰支座214，可适应两个伸缩缸23的高度不同的工作需要；通过限位环板210和减震弹簧211的配合结构设置，可对上套环212和下套环213进行稳定的纵向弹性支撑，提升上支撑辊28和下支撑辊29对金属丝1的组合减震效果。

以上的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。