一种用于晶圆解理的绷紧机构、绷膜组件及绷膜方法与流程

本发明涉及解理设备技术领域，具体涉及用于晶圆解理的绷紧机构、绷膜组件及绷膜方法。

背景技术：

结晶矿物受力后，由其自身结构的原因造成晶体沿一定结晶方向裂开成光滑平面的性质，称为解理；裂开的光滑平面称为解理面。

在解理的过程中，需要将待解理的晶圆放置在绷膜架的划切膜上，划切膜具有一定的张力，以保持半导体晶圆的水平力。

现有的划切膜的绷紧过程是通过一个或多个工人手工操作，将划切膜绷紧后贴附在绷膜架上，使得划切膜与绷膜架粘牢；但是在粘结过程中，需要多人辅助绷膜架以实现粘结过程，效率低。

技术实现要素：

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的划切膜的绷紧过程是通过一个或多个工人手工操作，将划切膜绷紧后贴附在绷膜架上，使得划切膜与绷膜架粘牢；但是在粘结过程中，需要多人辅助绷膜架以实现粘结过程，效率低的缺陷，从而提供一种用于晶圆解理的绷紧机构。

本发明还提供一种具有上述绷紧机构的绷膜组件。

本发明还提供一种绷膜方法。

为解决上述技术问题，本发明提供的一种用于晶圆解理的绷紧机构，包括：

底座，正面用于放置绷膜架；

顶紧块，具有四个，间隔设置在所述底座的正面的四角处；所述顶紧块受驱动的滑动设置在所述底座上；所述顶紧块具有靠近所述底座中心的第一状态，也具有远离所述底座中心的第二状态；所述顶紧块适于与绷膜架抵接。

作为优选方案，所述顶紧块与驱动装置连接；所述驱动装置包括：

转盘，转动设置在所述底座的背面；所述转盘上设置有驱动槽；所述驱动槽具有靠近所述转盘中心的第一端，也具有远离所述转盘中心的第二端；

驱动轴，一端滑动设置在驱动槽内，另一端穿过所述底座与顶紧块连接；所述驱动轴受驱动的滑动设置在所述底座上。

作为优选方案，所述底座上设置有滑动槽，所述顶紧块滑动设置在所述滑动槽内；所述滑动槽的内部设置有贯通底座的长条孔，所述驱动轴滑动设置在所述长条孔内。

作为优选方案，还包括：

连接板，滑动设置滑动槽内；所述连接板的一端与顶紧块连接，另一端朝向所述底座的中心伸出与驱动轴连接；

导向杆，一端与底座固定连接，另一端与所述顶紧块滑动连接。

作为优选方案，还包括：

手柄，一端与转盘连接，另一端伸出所述底座。

本发明还提供一种绷膜组件，包括：绷紧机构以及与绷紧机构配合使用的绷膜架，所述绷膜架为上述中任一项所述的绷紧机构；所述绷膜架的周长能够调节。

作为优选方案，所述绷膜架包括：

绷膜管组，具有四根围绕成矩形的绷膜管；所述绷膜管内部具有腔体；

张紧角，具有滑动插设到所述绷膜管的腔体内的插入端；

弹性件，具有多个，设置在绷膜管的腔体内；所述弹性件的一端与绷膜管的腔体的内壁连接，另一端与所述张紧角的插入端的端部抵接；所述弹性件具有驱动所述张紧角朝向腔体外移动的偏压力。

作为优选方案，所述张紧角和所述绷膜管之间设置有限位装置；

所述限位装置包括：

限位槽，开设在所述绷膜管的侧壁上；

限位凸起，一端与张紧角的插入端连接，另一端滑动设置在所述限位槽内。

本发明提供的一种绷膜方法，使用上述中任一项所述的绷膜组件，包括以下步骤：

放置划切膜，将划切膜铺设在所述底座的正面；

放置绷膜架，将顶紧块处于第二状态，将绷膜架夹设在顶紧块之间；驱动所述顶紧块使之处于第一状态；

固定划切膜和绷膜架，将划切膜和绷膜架粘结固定；

拆下绷膜架，将顶紧块处于第二状态，将粘结好划切膜的绷膜架从底座上拆下。

作为优选方案，通过转动转盘，使得驱动轴由驱动槽的第一端移动到第二端，实现顶紧块由第一状态到第二状态的转换。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的用于晶圆解理的绷紧机构，包括：底座和顶紧块；通过顶紧块在第一状态和第二状态之间的转换，将绷膜架的位置和形状实现固定后，将划切膜粘结到绷膜架上；该过程中，只需要一个工作人员就能轻松完成，节省了人力，提高了工作效率。

2.本发明提供的用于晶圆解理的绷紧机构，所述驱动装置包括：转盘和驱动轴；通过转动转盘，使得驱动槽的第一端和第二端的位置发生变化，使得驱动轴带动顶紧块做靠近底座中心和远离底座中心的运动，实现对绷膜架的压紧和固定。

3.本发明提供的绷膜组件，包括绷紧机构和绷膜架；所述绷膜架包括：绷膜管组、张紧角和弹性件；初始状态，绷膜架处于自然长度，绷紧机构的顶紧块处于第二状态，将绷膜架放置到绷紧机构上；将顶紧块调整到第一状态，对绷膜架进行压缩，使得绷膜架的周长变小，将划切膜固定到绷膜架上，在弹性件的驱动下，绷膜架的周长变长，实现对划切膜的张紧，由于绷膜架的周长均匀变长，从而对划切膜的张紧力分布均匀；对划切膜的张紧力的大小可以通过控制弹性件的驱动力的大小从而控制张紧力的大小；该绷膜组件的配合使用，不会导致划切膜的松动和起皱，对后期的切割能够起到良好的承载作用。

4.本发明提供的绷膜组件，在张紧角和绷膜管之间设置有限位装置，限位装置的设定，可以防止张紧角从绷膜管中脱出，并限定了绷膜架的周长的最大和最小的范围。

5.本发明提供的绷膜方法，使用上述绷膜组件，因此具有上述任一项所述的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的绷紧组件的立体结构示意图。

图2为本发明的绷膜架的立体结构示意图。

图3为本发明的张紧角的立体结构示意图。

图4为本发明的绷膜管与张紧角的连接关系结构示意图。

图5为图4所示的a处的局部放大图。

图6为本发明的绷膜管的剖视结构示意图。

图7为本发明的绷紧机构的第一角度立体结构示意图。

图8为本发明的底座的立体结构示意图。

图9为本发明的绷紧机构的第二角度立体结构示意图。

图10为本发明的转盘的立体结构示意图。

附图标记说明：

100、绷膜架；101、绷膜管；102、张紧角；103、限位槽；104、限位凸起；105、插入端；106、划切膜；107、弹性件；

200、绷紧机构；201、底座；202、滑动槽；203、长条孔；204、驱动轴；205、顶紧块；206、转盘；207、驱动槽；208、第一端；209、第二端；210、手柄；211、连接板；212、导向杆。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供的绷膜组件，如图1所示，包括：绷紧机构200和绷膜架100；所述绷紧机构200和绷膜架100配合使用，用于在晶圆的解理过程中，将划切膜106设置在绷膜架100上；

如图2所示，绷膜架100呈矩形，具有四根绷膜管101，四根绷膜管101构成绷膜架100的四个边，绷膜管101内部具有腔体；

如图3所示，相邻的两个绷膜管101的靠近的端部滑动插设有张紧角102，张紧角102呈“l”型，两个端部为适于滑动插设到绷膜管101的腔体内的插入端105；

如图4、5所示，在张紧角102和绷膜管101之间设置有限位装置；限位装置包括设置在绷膜管101的侧壁上的限位槽103，和在张紧角102上与限位槽103配合设置的限位凸起104；

具体的结构可以是在张紧角102的插入端105设置有通孔，在绷膜管101的对应位置设置有两个限位槽103，先将张紧角102插设到绷膜管101的腔体内，在通孔内插入销轴，销轴的两端分别伸进限位槽103内，销轴伸出的部分作为限位凸起104，实现限位；

作为可替换的实施方式，限位凸起104可以是可以伸缩的凸起，在安装过程中，可以将凸起按到张紧角102的内部，到达限位槽103的位置后，可以弹出，实现限位的作用；

如图6所示，在绷膜管101的腔体内设置有弹性件107，所述弹性件107优选为弹簧；在每根绷膜管101的腔体的两端分别设置弹性件107，弹性件107的一端与腔体的内壁固定连接，另一端适于张紧角102的插入端105的抵接，具有推动张紧角102向腔体外移动的驱动力；弹性件107的驱动力可以为划切膜106提供张力，使得划切膜106不会松动起皱；

在每根绷膜管101的相同位置设置有相同的弹性件107，这样每个位置及角度对划切膜106的张力相同，能够对后期晶圆的切割提供良好的承载作用。

如图7所示，绷紧机构200包括底座201，底座201为矩形，底座201具有正面和反面；底座201的正面用于放置绷膜架100；

如图8所示，在底座201的正面，沿对角线上设置有滑动槽202，滑动槽202内滑动设置有顶紧块205，顶紧块205可以做靠近、远离底座201的中心的运动；在滑动槽202的靠近底座201中心的一端设置有贯通底座201的长条孔203；在长条孔203内滑动设置有驱动轴204，驱动轴204朝向底座201的正面和背面伸出，其中朝向正面伸出的一端与顶紧块205连接；

如图9、10所示，在底座201的背面转动连接有转盘206，在转盘206上设置有驱动槽207，所述驱动槽207具有靠近所述转盘206中心的第一端208，也具有远离所述转盘206中心的第二端209；驱动槽207与顶紧块205对应设置具有四个，四个顶紧块205沿圆周方向同向设置；驱动轴204伸出底座201的背面的一端滑动设置在驱动槽207内，同时在驱动轴204上设置有轴承，可与驱动槽207发生转动；在转盘206上连接有手柄210的一端，另一端伸出所述底座201，方便手握，实现转动转盘206；

在使用时，驱动槽207的第二端209在驱动轴204的位置，通过转动转盘206，驱动槽207的第一端208到达驱动轴204的位置，在移动的过程，带动顶紧块205向靠近底座201的中心运动，由于驱动槽207与顶紧块205对应设置，在转盘206的转动过程中，可以实现四个顶紧块205同时移动，对绷膜架100的四个张紧角102压紧，实现绷膜架100的收缩。

进一步的，在顶紧块205上连接有连接板211一端，连接板211的另一端朝向底座201的中心伸出与驱动轴204连接；连接板211的设置，可以减少转盘206的直径。

在底座201的四角处伸出导向杆212，导向杆212滑动插设在顶紧块205内。

在顶紧块205抵接张紧角102的一端开设缺口，张紧角102的拐角处卡接在缺口处，方便对绷膜架100的固定。

实施例2

本实施例提供的绷膜方法，使用实施例1所述的绷膜组件，包括以下步骤：

放置划切膜106，为配合该装置的使用，将矩形的划切膜106的四个角落裁切掉，以避让底座201上的顶紧块205的位置，将裁切好的划切膜106铺设在所述底座201的正面；

放置绷膜架100，使得转盘206上的驱动槽207的第二端209位于驱动轴204的位置，即顶紧块205处于远离底座201中心的第二状态；在绷膜架100的绷膜管101的外表面黏贴双面胶，按压张紧角102，将绷膜架100放置在底座201上，使得一个张紧角102与一个顶紧块205抵接；

移动手柄210，使得转盘206发生转动，由于驱动槽207的移动，使得驱动轴204也发生移动，处于驱动槽207的第一端208，带动顶紧块205朝向底座201的中心移动，在移动过程中，克服弹性件107的驱动力，使得张紧角102向绷膜管101的腔体内移动，绷膜架100的周长变小；

固定划切膜106和绷膜架100，将划切膜106与绷膜架100的绷膜管101粘结固定，为了固定的更加牢固，可以将划切膜106围绕绷膜管101粘结；

拆卸绷膜架100，转动转盘206，驱动槽207带动驱动轴204移动，从而实现顶紧块205朝向远离底座201中心的方向移动，解除与绷膜架100的抵接，将绷膜架100从底座201上拿出。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。