一种硅棒晶向调节机构的制作方法

文档序号:33495915发布日期:2023-03-17 21:03阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种硅棒晶向调节机构,其特征在于,包括:底座(1),所述底座(1)上端两侧固定设有弧形导轨(2),且两侧的弧形导轨(2)圆心与旋转转轴(6)相同;转向机构(5),所述转向机构(5)与底座(1)连为一体;驱动机构(9),所述驱动机构(9)与底座(1)连为一体。2.根据权利要求1所述的一种硅棒晶向调节机构,其特征在于:所述转向机构(5)包括:调节板(3),所述调节板(3)下端两侧固定设有弧形滑动板(7),且调节板(3)通过旋转转轴(6)转动设置于底座(1)上端表面,弧形滑动板(7)滑动连接于弧形导轨(2)表面;硅棒载台(4),所述硅棒载台(4)固定设置于调节板(3)上端表面,硅棒载台(4)一端设有刻度线。3.根据权利要求1所述的一种硅棒晶向调节机构,其特征在于:所述转向机构(5)还包括:弧形滑动板(7),所述弧形滑动板(7)的圆心与弧形滑动板(7)相同,弧形滑动板(7)侧表面固定设有啮齿(10);第二转轴(20),所述第二转轴(20)转动设置于底座(1)内侧,且第二转轴(20)一端固定设有齿轮(21),齿轮(21)与啮齿(10)啮合连接,第二转轴(20)表面固定设有大锥齿轮(19),大锥齿轮(19)直径大于齿轮(21)。4.根据权利要求1所述的一种硅棒晶向调节机构,其特征在于:所述驱动机构(9)包括:第一转轴(12),所述第一转轴(12)转动设置于底座(1)内侧,第一转轴(12)表面固定设有小锥齿轮(11),且小锥齿轮(11)与大锥齿轮(19)啮合,小锥齿轮(11)直径小于大锥齿轮(19);套筒(15),所述套筒(15)滑动设置于第一转轴(12)表面,且套筒(15)内部呈六棱形设置,六棱形弧形滑动板(13)滑动设置于套筒(15)内部,且六棱形弧形滑动板(13)固定设置于第一转轴(12)一端;弹簧(18),所述弹簧(18)套在第一转轴(12)表面,且弹簧(18)一端与套筒(15)内部一端贴合,弹簧(18)另一端与六棱形弧形滑动板(13)表面贴合。5.根据权利要求1所述的一种硅棒晶向调节机构,其特征在于:所述驱动机构(9)还包括:限位棘轮(14),所述限位棘轮(14)固定设置于套筒(15)表面,底座(1)一端表面设有限位槽(17),且限位槽(17)与限位棘轮(14)相适配;转轮(16),所述转轮(16)固定设置于套筒(15)一端。6.根据权利要求2所述的一种硅棒晶向调节机构,其特征在于:所述硅棒载台(4)上端表面呈弧形设置。7.根据权利要求1所述的一种硅棒晶向调节机构,其特征在于:所述底座(1)上端表面固定设有指针(8),且指针(8)与硅棒载台(4)一端刻度线对应设置。

技术总结
本实用新型涉及硅棒加工技术领域,尤其为一种硅棒晶向调节机构,包括:底座,所述底座上端两侧固定设有弧形导轨,且两侧的弧形导轨圆心与旋转转轴相同;转向机构,所述转向机构与底座连为一体;驱动机构,所述驱动机构与底座连为一体,同时第二转轴一端的齿轮对弧形滑动板侧表面的啮齿作用,带动弧形滑动板在弧形导轨表面缓缓滑动,从而使调节板通过旋转转轴旋转,调节角度,间接带动硅棒载台表面的硅棒转动调整角度,指针对应指示硅棒载台一端的刻度线,方便观察,调整好后,松开转轮,在弹簧作用下限位棘轮卡入限位槽进行限位,方便进行调节位置,以及方便进行限位固定。以及方便进行限位固定。以及方便进行限位固定。


技术研发人员:蒋志彬 张宇平 徐海琦
受保护的技术使用者:衢州晶哲电子材料有限公司
技术研发日:2022.11.15
技术公布日:2023/3/16
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