坩埚循环水应急补水装置的制作方法

文档序号:2251354阅读:186来源:国知局
专利名称:坩埚循环水应急补水装置的制作方法
技术领域
坩埚循环水应急补水装置
技术领域
本实用新型涉及ー种备用补水装置,尤其是涉及ー种坩埚循环水应急补水装置。背景技木公知的,石英坩埚作为拉制大直径单晶硅是ー种必不可少的设备之一,目前的石英坩埚在1450度以下使用,大致分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大規模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体エ业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。在生产石英坩埚的エ艺步骤中,水是不可或缺的,由于石英坩埚主机在生产过程中需要循环水冷却降温,遇到突然停水停电对石英坩埚生产设备损害较大。
发明内容为了克服背景技术中的不足,本实用新型公开了ー种坩埚循环水应急补水装置,本实用新型通过在主水管上设置自动关闭装置,在设备连接水管上利用三通连接自动储水容器,在突然停水停电时,确保设备不受损害,使生产设备慢慢降温冷却。实现本实用新型的技术方案如下一种坩埚循环水应急补水装置,包括自动储水容器、主水管、自动关闭装置、三通和设备连接水管,停水自动关闭装置的两端分别联通主水管和设备连接水管,所述设备连接水管上设有三通,所述三通的分支由上下水管联通自动储水容器的下部。所述的坩埚循环水应急补水装置,所述自动关闭装置包括一段直径大于主水管和设备连接水管的管路、挡片、弹簧、橡胶片、杆体,管路两端分别螺丝接通主水管和设备连接水管,在杆体的ー侧设有挡片,所述挡片的外缘设有多个豁ロ,橡胶片套接在杆体挡片的ー侧且由螺母固定,弹簧的一端顶在挡片的另ー侧,弹簧的另一端顶在设备连接水管的端部,所述橡胶片顶在主水管的连接端端部形成主水管无来水的自动封堵。所述的坩埚循环水应急补水装置,所述橡胶片的外缘直径略大于主水管内壁直径,橡胶片的外缘与管路内壁留有间距。所述的坩埚循环水应急补水装置,所述自动储水容器包括容器本体和自闭上盖,自闭上盖通过内螺纹与自动储水容器上端的连接外螺纹丝接,在自闭上盖的上部设有凸起,凸起内形成上部小下部大的锥形孔,锥形孔上端设有排气孔,空心球设置在锥形孔内,空心球的外缘面与锥形孔的上部紧密配合,在锥形孔的下部设有防止空心球掉落的档杆。通过上述公开内容,本实用新型的有益效果是本实用新型所述的坩埚循环水应急补水装置,通过在主水管上设置自动关闭装置,正常有水时依靠自来水的压力,自来水将挡片以及橡胶片顶开,自来水顺着挡片的豁ロ进入设备连接水管并自动储存在自动储水容器中,自动储水容器水满后空心球封堵自闭上盖的锥形孔,设备使用主水管内的自来水,一旦遇有突然停水停电,挡片上的橡胶片利用弹簧封堵主水管,自动储水容器内的水便进入设备连接水管开始工作,对石英坩埚主机在生产过程中进行循环水冷却降温,确保设备不受损害,使生产设备慢慢降温冷却。

图I是本实用新型的结构示意图;图2是本实用新型的自动关闭装置结构示意图;图3是本实用新型的挡片、杆体结构示意图;图4是本实用新型的自闭上盖结构示意图;图中1、自动储水容器;2、上下水管;3、主水管;4、自动关闭装置;5、三通;6、设备连接水管;7、自闭上盖;8、弹簧;9、挡片;10、螺母;11、橡胶片;12、豁ロ ;13、杆体;14、排气孔;15、空心球;16、锥形孔;17、档杆;18、内螺纹。
具体实施方式下面结合实施例对本实用新型进行进一步的说明;下面的实施例并不是对于本实用新型的限定,而是仅作为支持实现本实用新型的方式,在本实用新型所公开的技术框架内的任意等同结构替换,均为本实用新型的保护范围;结合附图I 4所述的坩埚循环水应急补水装置,包括自动储水容器I、主水管3、自动关闭装置4、三通5和设备连接水管6,停水自动关闭装置4的两端分别联通主水管3和设备连接水管6,所述设备连接水管6上设有三通5,所述三通5的分支由上下水管2联通自动储水容器I的下部。结合附图2或3所述自动关闭装置4包括一段直径大于主水管3和设备连接水管6的管路、挡片9、弹簧8、橡胶片11、杆体13,管路两端分别螺丝接通主水管3和设备连接水管6,在杆体13的ー侧设有挡片9,所述挡片9的外缘设有多个豁ロ 12,橡胶片11套接在杆体13挡片9的ー侧且由螺母10固定,弹簧8的一端顶在挡片9的另ー侧,弹簧8的另一端顶在设备连接水管6的端部,所述橡胶片11顶在主水管3的连接端端部形成主水管3无来水的自动封堵;所述橡胶片11的外缘直径略大于主水管3内壁直径,橡胶片11的外缘与管路内壁留有间距。 结合附图4所述自动储水容器I包括容器本体和自闭上盖7,自闭上盖7通过内螺纹18与自动储水容器I上端的连接外螺纹丝接,在自闭上盖7的上部设有凸起,凸起内形成上部小下部大的锥形孔16,锥形孔16上端设有排气孔14,空心球15设置在锥形孔16内,空心球15的外缘面与锥形孔16的上部紧密配合,在锥形孔16的下部设有防止空心球15掉落的档杆17。实施本实用新型所述的坩埚循环水应急补水装置,通过在主水管3上设置自动关闭装置4,正常有水时依靠自来水的压力,自来水将挡片9以及橡胶片11顶开,自来水顺着挡片9的豁ロ进入设备连接水管6并自动储存在自动储水容器I中,自动储水容器I水满后空心球15封堵自闭上盖7的锥形孔16,设备使用主水管3内的自来水,一旦遇有突然停水停电,挡片9上的橡胶片11利用弹簧8封堵主水管3,自动储水容器I内的水便进入设备连接水管6开始工作,对石英坩埚主机在生产过程中进行循环水冷却降温,确保设备不受损害,使生产设备慢慢降温冷却。本实用新型未详述部分为现有技木。
权利要求1.一种坩埚循环水应急补水装置,包括自动储水容器(I)、主水管(3)、自动关闭装置(4)、三通(5)和设备连接水管(6),其特征是停水自动关闭装置⑷的两端分别联通主水管(3)和设备连接水管出),所述设备连接水管(6)上设有三通(5),所述三通(5)的分支由上下水管(2)联通自动储水容器(I)的下部。
2.根据权利要求I所述的坩埚循环水应急补水装置,其特征是所述自动关闭装置(4)包括一段直径大于主水管(3)和设备连接水管¢)的管路、挡片(9)、弹簧(8)、橡胶片(11)、杆体(13),管路两端分别螺丝接通主水管(3)和设备连接水管¢),在杆体(13)的一侧设有挡片(9),所述挡片(9)的外缘设有多个豁ロ(12),橡胶片(11)套接在杆体(13)挡片(9)的ー侧且由螺母(10)固定,弹簧(8)的一端顶在挡片(9)的另ー侧,弹簧(8)的另一端顶在设备连接水管(6)的端部,所述橡胶片(11)顶在主水管(3)的连接端端部形成主水管⑶无来水的自动封堵。
3.根据权利要求2所述的坩埚循环水应急补水装置,其特征是所述橡胶片(11)的外缘直径略大于主水管⑶内壁直径,橡胶片(11)的外缘与管路内壁留有间距。
4.根据权利要求I所述的坩埚循环水应急补水装置,其特征是所述自动储水容器(I)包括容器本体和自闭上盖(7),自闭上盖(7)通过内螺纹(18)与自动储水容器(I)上端的连接外螺纹丝接,在自闭上盖(7)的上部设有凸起,凸起内形成上部小下部大的锥形孔(16),锥形孔(16)上端设有排气孔(14),空心球(15)设置在锥形孔(16)内,空心球15的外缘面与锥形孔(16)的上部紧密配合,在锥形孔(16)的下部设有防止空心球(15)掉落的档杆(17)。
专利摘要坩埚循环水应急补水装置,包括自动储水容器(1)、主水管(3)、自动关闭装置(4)、三通(5)和设备连接水管(6),其特征是停水自动关闭装置(4)的两端分别联通主水管(3)和设备连接水管(6),所述设备连接水管(6)上设有三通(5),所述三通(5)的分支由上下水管(2)联通自动储水容器(1)的下部;本实用新型通过在主水管上设置自动关闭装置,在设备连接水管上利用三通连接自动储水容器,在突然停水停电时,确保设备不受损害,使生产设备慢慢降温冷却。
文档编号E03B11/00GK202450573SQ20112053831
公开日2012年9月26日 申请日期2011年12月21日 优先权日2011年12月21日
发明者沈福茂 申请人:乐山市泽尔汇科技有限公司
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