专利名称：飞轮及其拆卸装置的制作方法
技术领域：
飞轮及其拆卸装置
技术领域：
本实用新型涉及一种机械拆卸工具，尤其涉及一种飞轮及其拆卸装
置。背景技术：
在半导体芯片生产制造工艺中，经常需要将硅片在密封的环境下进行 沉淀、热氧化等工艺，而需要一个密封的反应设备，其中使用较为常见的比
如NOVELLUS公司SEQUEL型机台，专门使用于密封条件下的各种半导体 制成反应。在密封反应室中经常使用到加热器， 一般都是可拆卸形，通过将 加热器上方的转盘将其固定在密封反应室的旋转轴上。加热器在反应室内工 作时作旋转运动，以便对中心的待加工硅片进行均匀的加热。
飞轮作为将加热器的转盘固定在旋转轴的主要部件，其拆卸方式如图1、 图2所示，飞轮2安装于旋转轴1的端头，现有的飞轮呈锥盘状，其一侧盘 面的中心设有一个旋转轴安装槽2-3。槽底设置有螺孔，用以固定旋转轴的 端头。拆卸时必须先解除飞轮与旋转轴的固定连接，然后将飞轮从旋转轴上 拔下。由于一般加热器的使用寿命为一年，且经常需要在多个密封反应室内 使用，必须经常地拆卸安装，从而飞轮也经常性的要在旋转轴上人工插拔。 由于用力的不均匀性，很容易人为损坏旋转轴的轴芯。所以需要一种安全有 效的拆卸工具，能够方便安全地从旋转轴上拆卸飞轮。
实用新型内容
本实用新型的技术目的在于提供一种飞轮及其拆卸装置，以解决现在从 旋转轴的端头上手动拆卸飞轮容易损坏轴芯的问题。
本实用新型所述的飞轮拆卸装置，包括一 中心设有长管状通孔的支撑
体；以及至少三个固定爪围绕支撑体的中心均匀设置，分别通过活动铰与支 撑体铰接；还包括一端头设有手柄的活动顶杆。活动顶杆的杆身穿过通孔并 与之保持滑动约束。
作为优选方案支撑体制作成圆盘状，通孔垂直于盘面设置在圆盘中心 处，固定爪均匀设置于圆盘的边缘，并分别与支撑体通过活动铰铰接。
作为另一种优选方案，支撑体还可以制作成星状体，包括至少三个等长 的支撑臂围绕星状体中心的通孔均勻设置，支撑臂的一端固定连接通孔，另 一端则通过活动铰与固定爪铰接。
使用本实用新型所述飞轮为锥盘状，在其侧锥面上均勻开有至少两个容 纳固定爪端齿的齿槽。其一侧盘面的中心处还开有旋转轴安装槽，并且在飞 轮的轴心设置一贯穿旋转轴安装槽M槽底与飞轮的另一侧盘面的通孔。
飞轮拆卸装置在拆卸飞轮时，先将其固定爪的端齿咬合锥盘状飞轮上相 应的齿槽，并将活动顶杆插入飞轮轴心的通孔中，端头顶住飞轮所安装的旋 转轴轴芯，以活动顶杆的杆身为基准，向外侧牵引支撑体，使得飞轮在拆卸 时各向受力均匀，避免发生横向受力而损坏旋转轴轴芯端头的问题。其结构 简单，方便有效
图1 2为现有;5走转轴端头上飞l仑的拆卸示意图。
图3~5为本实用新型所述飞轮拆卸装置拆卸飞轮的示意图。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型的一个具体实施例作详细说明。
本实用新型所述的技术方案，如图3,首先对所使用的现有锥盘形飞轮 进行改造，先在其側锥面处均匀设置若干齿槽2-1,再于飞轮轴心处，贯穿 旋转轴安装槽的槽底与另 一侧盘面设置一通孔2-2。
如图4,本实用新型所述的飞轮拆卸装置，主要由支撑体3、活动顶杆4、 以及固定爪5组成。固定爪5的一端设有端齿，可咬合飞轮的齿槽，另一端 通过活动铰与支撑体3铰接。支撑体3既可以设置成圆盘状，也可以通过若 干等长的支撑臂组合而成，其中心处设置一长管状通孔3-1,活动顶杆4的 杆身贯穿支撑体的中心通孔，并可以在通孔3-1内沿通孔方向自由滑动。
为了在拆卸飞轮时，使得飞轮各向受力均衡，所以对应飞轮齿槽的固定 爪5也必须均匀设置。固定爪5围绕支撑体3的中心，与圆盘状支撑体3的 边缘4交接。如果支撑体3由若干等长支撑臂围绕中心通孔3-l组成，支撑臂 也同样均匀设置，其一端连接通孔，另一端与固定爪5铰接。活动铰可方便 固定爪5咬合齿槽2-l，固定爪的数量、飞轮齿槽的个数以及支撑臂的数量 保持一致。
如图3 5所示的本实用新型所述装置的拆卸示意图，在使用拆卸装置时， 先解除飞轮与旋转轴轴芯间的固定连接，然后将拆卸装置的固定爪5咬合对应飞轮侧锥面上的齿槽2-1。通过手柄，将活动顶杆4的端头插入飞轮轴心 处设置的贯穿通孔2-2，直到顶杆的端头顶住旋转轴1的轴芯。此时活动顶 杆4相对旋转轴1保持静止，以其杆身为基准，沿杆身滑动支撑体3，并带 动固定爪5向外牵引飞轮2。
这样飞轮2相对于旋转轴1，受到了均衡的沿轴线方向的牵引力，避免 了可能出现的横向受力对轴芯造成损坏，另外为了更加稳定的拆卸，还可以 在牵引过程中旋转支撑体3，带动飞轮2自旋。
以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案。不脱离本实用 新型精神和范围的任何修改或局部替换，均应涵盖在本实用新型的权利要求 范围当中。
权利要求1、一种飞轮拆卸装置，其特征在于，包括一中心开有通孔的支撑体；至少三个固定爪，围绕支撑体的中心均匀设置，且分别通过活动铰与支撑体铰接；还包括一端头设有手柄的活动顶杆，其杆身穿过支撑体中心的通孔，并在通孔内自由滑动。
2、 如权利要求1所述的飞轮拆卸装置，其特征在于所述支撑体制成圓盘 状，固定爪均匀设置于圆盘的边缘并通过活动铰与支撑体铰接。
3、 如权利要求1所述的飞轮拆卸装置，其特征在于所述支撑体还可以制 作成星状体，包括至少三个等长的支撑臂，围绕星状体中心的通孔均 匀设置，支撑臂的一端固定连接通孔，另一端与通过活动铰与固定爪 铰接。
4、 如权利要求1所述的飞轮拆卸装置，其特征在于所述支撑体中心的通 孔为长管状，活动顶杆的杆身穿过通孔并与之保持滑动约束。
5、 一种飞轮，其特征在于所述飞轮为锥盘状，在侧锥面上均匀开有至少 两个容纳固定爪端齿的槽，在锥盘的轴心处开有一通孔。
6、 如权利要求5所述的飞轮，其特征在于所述锥盘状的飞轮，其一侧盘 面的中心处开有旋转轴安装槽，所述轴心的通孔贯穿旋转轴安装槽的 槽底与飞轮的另一侧盘面。
专利摘要本实用新型提供了一种飞轮拆卸装置，包括至少三个固定爪，分别通过活动铰与一支撑体铰接，且围绕支撑体的中心均匀设置，还包括一端头设有手柄的活动顶杆。支撑体中心设有长管状通孔，活动顶杆的杆身穿过通孔并与之保持滑动约束。本实用新型拆卸飞轮时，通过均匀设置的固定爪咬合飞轮四周，活动顶杆穿过飞轮顶住旋转轴轴芯，并牵引支撑体，使得拆卸过程中飞轮各向受力均衡，从而避免了因为横向受力而损坏旋转轴轴芯的问题，其结构简单、方便有效。
文档编号B25B27/14GK201320743SQ20082015433
公开日2009年10月7日 申请日期2008年10月22日 优先权日2008年10月22日
发明者庞明磊, 华 田 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司