专利名称：机器人的制作方法
技术领域：
本文所公开的实施方式涉及机器人。
背景技术：
常规上，所谓的水平多关节机器人作为用于搬运诸如半导体晶片等的基板的机器人是公知的。在水平多关节机器人中，用作末端执行器的手安装在可摆动臂的末端部中，从而相对于臂水平地旋转。所述手能够保持基板(例如参见日本专利申请特开2011-224743号公报)。在该类机器人中，用于驱动手的手驱动机构通常设置在臂的壳体内。例如，通常将采用诸如Harmonic Drive (注册商标)减速机构的齿轮机构的减速装置用作手驱动机构。然而，如果如在上述常规构造中所述的那样将采用齿轮机构的常规减速装置用作手驱动机构，则臂的重量增大。而且，难以使臂变薄。
发明内容
本文所公开的实施方式提供一种包括能够使得臂变轻且变薄的驱动机构的机器人。根据实施方式的一方面，提供本种机器人，所述机器人包括:臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助关节部以可旋转的方式安装，输出轴安装在所述末端部中；以及驱动机构，所述驱动机构设置在所述臂内并且构造成以减小的速度来驱动所述输出轴，其中，所述驱动机构包括马达、驱动带轮、从动带轮、至少一个中间带轮、以及多个带，所述马达具有马达轴，所述驱动带轮附接到所述马达轴，所述从动带轮附接到所述输出轴，所述中间带轮设置在所述驱动带轮和所述从动带轮之间，所述多个带用于通过所述中间带轮将所述驱动带轮和所述从动带轮操作地互连。通过本文所公开的实施方式，可以使得构造成通过输出轴来驱动末端执行器的臂变轻且变薄。
图1是示出根据一实施方式的机器人的示意性说明图。图2是示出机器人的臂的示意性说明平面图。图3是示出机器人的臂的第一驱动机构的示意性说明竖直剖视图。图4A是示出第一驱动机构的第一前端中间带轮的示意性说明图。图4B是示出第一驱动机构的第一后端中间带轮的示意性说明图。图5是示出机器人的臂的第二驱动机构的示意性说明竖直剖视图。图6A是示出第二驱动机构的第二前端中间带轮的示意性说明图。图6B是示出第二驱动机构的第二后端中间带轮的示意性说明图。图7是示出根据另一实施方式的机器人的臂的示意性说明立体图。
图8A是示出机器人的臂的第一驱动机构的示意性说明立体图。图SB是示出机器人的臂的第二驱动机构的示意性说明立体图。
具体实施例方式在下文中，现将参照形成为实施方式的一部分的附图详细地描述机器人的实施方式。虽然将水平多关节机器人作为机器人的一个示例进行描述，但本发明不局限于以下描述的实施方式。首先，将参照图1描述根据一个实施方式的水平多关节机器人(在下文中简称为“机器人I”)的示意性构造。图1是示出根据本实施方式的机器人I的示意性说明图。在下列说明中，有时存在这样的情况:机器人I的相应部件的相对位置关系由上下方向、左右方向、前后方向、向前方向、向内方向来限定。在该情况下，沿图1中所示的三维直角坐标系统的Z方向将被称为向上方向，X方向将被称为水平向右方向，Y方向将被称为向内方向。参照图1，根据本实施方式的机器人I包括:基座单元2，该基座单元安装在诸如地板表面等的预定安装表面上；以及臂单元3，该臂单元安装成相对于基座单元2水平旋转。臂单元3在其末端设置有能沿水平方向旋转的手单元4。基座单元2是机器人I的基座，并且形成为竖直细长的盒形形状。在该基座单元2内设置有升降机构(未示出)，该升降机构用于驱动升降单元5，所述升降单元用于使臂单元3上下移动。例如，能够将采用马达和滚珠丝杠的公知机构用作升降机构。
臂单元3安装成能够借助形成为柱状形状的升降单元5相对于基座单元2的上表面沿竖直方向(Z方向)滑动(参见图1中的双头箭头100a)。臂单元3包括第一臂6和第二臂7。第一臂6具有基端部，该基端部安装在升降单元5的上端上，以能够绕第一关节部61的第一臂枢轴旋转。第二臂7具有基端部，该基端部安装在第一臂6的末端部上，以能够绕第二关节部62的第二臂枢轴旋转。手单元4安装在第二臂7的末端部上，以能够绕第三关节部63的手枢轴103 (参见图2、图3和图5)旋转。在图1中，附图标记IOla表示第一关节部61的中心轴线。附图标记102a表示第二关节部62的中心轴线。附图标记103a表示第三关节部63 (手枢轴103)的中心轴线。手单元4是用于保持诸如晶片的末端执行器。手单元4包括第一手4a和第二手4b，这两个手都形成为叉形形状。第一手4a和第二手4b沿着作为输出轴的手枢轴103以间隔开的关系安装。换言之，第一手4a和第二手4b沿着手枢轴103以竖直叠置的状态安装，从而能够在预定的旋转范围内独立地旋转。第一手4a和第二手4b能够沿水平方向旋转，但不能不受限制地旋转。设置有用于将第一手4a和第二手4b的旋转分别限制到必要的旋转量的止动机构(未示出)。公知的止动机构可以适当地用作该止动机构。用于检测例如在第一手4a和第二手4b上是否存在基板的传感器安装在第一手4a和第二手4b中。线缆Ila和Ilb连接至传感器。线缆Ila和Ilb通过第二臂7和第一臂6的内部(参见图3)延伸到基座单元2中。
如图1所示，第一手4a和第二手4b具有相同的构造。另选地，第一手4a和第二手4b可以具有不同的构造。在本实施方式中，手单元4构造成包括两个手，但手的数量不局限于此。机器人I安装在例如基板搬运系统(未示出)中，并且能够合适地用于搬运诸如晶片等的基板。基板搬运系统与处理设备并排安装，所述处理设备使基板经受例如清洁、蚀亥IJ、除灰、化学气相沉积或者曝光。当然，多个机器人I可以安装在不同地点处，从而在期望位置之间搬运诸如基板等的板状构件。接下来，将参照图2至图6B描述作为本实施方式的机器人I的一个重要部分的手驱动机构8。如图2所示，本实施方式的手驱动机构8是用于以减小的速度驱动作为上述输出轴的手枢轴103的驱动机构。第一马达9a和第二马达9b用作用于手驱动机构8的驱动源
9。手驱动机构8设置在第二臂7的臂壳体70内。如图2和图3所示，本实施方式的手枢轴103包括供连接第一手4a的第一手枢轴1031和供连接第二手4b的第二手枢轴1032。换言之,如图3所示,形成为管状形状的第一手枢轴1031插入形成为管状形状的第二手枢轴1032中，其中所述第二手枢轴1032的内径大于第一手枢轴1031的外径。第一手枢轴1031和第二手枢轴1032具有公共中心轴线103a。如图2所示，手驱动机构8包括与第一手4a对应的第一驱动机构8a和与第二手4b对应的第二驱动机构Sb。更具体地，如图2和图3所示，第一驱动机构8a包括:第一马达9a ;第一驱动带轮81a，该第一驱动带轮附接到作 为第一马达9a的马达轴的第一驱动轴91a ；以及第一从动带轮82a，该第一从动带轮具有预定的减速比，并且直接附接到第一手枢轴1031。第一驱动机构8a还包括:至少一个第一中间带轮83a,该至少一个第一中间带轮具有预定减速比，并且设置在第一驱动带轮81a和第一从动带轮82a之间；以及多个第一带84a，所述多个第一带用于通过第一中间带轮83a将第一驱动带轮81a和第一从动带轮82a操作性互连。如图2和图3所示，第一驱动机构8a的第一中间带轮83a包括第一前端中间带轮830aF (参见图4A)和第一后端中间带轮830aR (参见图4B)。第一前端中间带轮830aF的第一驱动中间带轮831a (稍后待述)具有比第一驱动带轮81a的直径大的直径，并且相对于第一驱动带轮81a具有预定减速比。第一后端中间带轮830aR具有比第一前端中间带轮830aF的直径大的直径，并且相对于第一前端中间带轮830aF具有预定减速比。第一从动带轮82a具有比第一后端中间带轮830aR的直径大的直径，并且相对于第一后端中间带轮830aR具有预定减速比。如图4A所示，第一前端中间带轮830aF包括第一驱动中间带轮831a和第一驱动子带轮832a,所述第一驱动中间带轮831a通过第一前端传动带84aF操作连接至第一驱动带轮81a，所述第一驱动子带轮832a的直径小于第一驱动中间带轮831a的直径，第一驱动中间带轮831a和第一驱动子带轮832a附接到同一轴。如图4A所示，第一前端中间带轮830aF的第一驱动中间带轮831a和第一驱动子带轮832a设置在第一驱动侧基板835a和借助第一驱动侧连接构件836a连接至第一驱动侧基板835a的第一驱动侧支承板837a之间。第一驱动中间带轮831a和第一驱动子带轮832a以相互邻接并且竖直叠置的关系设置在同一轴上。如图4B所示，第一后端中间带轮830aR包括第一从动子带轮834a，该第一从动子带轮借助第一中间传动带84aM操作地连接至第一前端中间带轮830aF的第一驱动子带轮832a。第一后端中间带轮830aR还包括第一从动中间带轮833a，该第一从动中间带轮的直径小于第一从动子带轮834a的直径。第一从动中间带轮833a和第一从动子带轮834a附接到同一轴，并且第一从动中间带轮833a借助第一后端传动带84aR操作地连接至第一从动带轮82a。如图4B所示，第一后端中间带轮830aR的第一从动中间带轮833a和第一从动子带轮834a设置在第一从动侧基板838a和借助第一从动侧连接构件839a连接至第一从动侧基板838a的第一从动侧支承板840a之间。第一从动中间带轮833a和第一从动子带轮834a以相互邻接并且竖直叠置的关系设置在同一轴上。 如图2和图5所示，第二驱动机构8b包括:第二马达％，该第二双马达沿横向方向与第一马达9a并排地安装；以及第二驱动带轮81b，该第二驱动带轮附接到作为第二马达9b的马达轴的第二驱动轴91b。第二驱动机构8b还包括第二从动带轮82b，该第二从动带轮具有预定减速比，并且直接附接到第二手枢轴1032。第二驱动机构Sb还包括:至少一个第二中间带轮83b，该至少一个第二中间带轮具有预定减速比，并且设置在第二驱动带轮81b和第二从动带轮82b之间；以及多个第二带84b,所述多个第二带通过第二中间带轮83b将第二驱动带轮81b和第二从动带轮82b互连。第二驱动机构8b的第二中间带轮83b包括第二前端中间带轮830bF (参见图6A)和第二后端中间带轮830bR (参见图6B)。第二前端中间带轮830bF的第二驱动中间带轮831b (稍后待述)具有比第二驱动带轮81b的直径大的直径，并且相对于第二驱动带轮81b具有预定减速比。第二后端中间带轮830bR具有比第二前端中间带轮830bF的直径大的直径，并且相对于第二前端中间带轮830bF具有预定减速比。第二从动带轮82b具有比第二后端中间带轮830bR的直径大的直径，并且相对于第二后端中间带轮830bR具有预定减速比。如图6A所示，第二前端中间带轮830bF包括第二驱动中间带轮831b和第二驱动子带轮832b,第二驱动中间带轮831b通过第二前端传动带84bF操作地连接至第二驱动带轮81b，所述第二驱动子带轮832b附接到第二驱动中间带轮831b的轴。如图6A所示，第二前端中间带轮830bF的第二驱动中间带轮831b和第二驱动子带轮832b设置在第二驱动侧基板835b和借助第二驱动侧连接构件836b连接至第二驱动侧基板835b的第二驱动侧支承板837b之间。第二驱动中间带轮831b和第二驱动子带轮832b以竖直叠置的关系设置在同一轴上，并且彼此间隔开一距离，该距离比第一前端中间带轮830aF的第一驱动中间带轮831a和第一驱动子带轮832a之间的距离大。如图6B所示，第二后端中间带轮830bR包括第二从动子带轮834b，该第二从动子带轮借助第二中间传动带84bM操作地连接至第二前端中间带轮830bF的第二驱动子带轮832b。第二后端中间带轮830bR还包括第二从动中间带轮833b，该第二从动中间带轮的直径小于第二从动子带轮834b的直径。第二从动中间带轮833b附接到第二从动子带轮834b的轴，并且借助第二后端传动带84bR操作地连接至第二从动带轮82b。如图6B所示，第二后端中间带轮830bR的第二从动中间带轮833b和第二从动子带轮834b设置在第二从动侧基板838b和借助第二从动侧连接构件83%连接至第二从动侧基板838b的第二从动侧支承板840b之间。第二从动中间带轮833b和第二从动子带轮834b以相互邻接并且竖直叠置的关系设置在同一轴上。在根据本实施方式的机器人I中，用于以预定转矩驱动第一手4a和第二手4b的手驱动机构8设置在第二臂7的臂壳体70内。与常规构造不同，手驱动机构8不采用利用齿轮机构的减速装置。换言之，手驱动机构8的减速机构包括比常规齿轮机构轻的带轮和带。因而，本实施方式的机器人I可以
减小第二臂7的重量。在本实施方式的手驱动机构8中，如从图3至图6B能够注意到的，第一前端中间带轮830aF的第一驱动中·间带轮831a和第二前端中间带轮830bF的第二驱动中间带轮831b设置在相同高度。第一前端中间带轮830aF和第二前端中间带轮830bF设置在相同的竖直取向。第一后端中间带轮830aR和第二后端中间带轮830bR沿相反的竖直取向设置。换言之，第一从动子带轮834a定位在上侧，并且第二从动子带轮834b定位在下侦U。第一从动子带轮834a和第二从动子带轮834b设置成当在平面图中看时(参见图2)彼此部分地重叠。因此，在第一驱动中间带轮831a的正下方并且邻近于该第一驱动中间带轮831a设置的第一驱动子带轮832a和第一后端中间带轮830aR的第一从动子带轮834a彼此操作地连接而不受水平卷绕的第一中间传动带84aM的阻碍。类似地，设置在第二驱动中间带轮831b下方并且与第二驱动中间带轮831b间隔开的第二驱动子带轮832b和第二后端中间带轮830bR的第二从动子带轮834b彼此操作地连接而不受水平卷绕的第二中间传动带84bM的阻碍。这样，在竖直方向上设置在同一高度的第一驱动带轮81a和第二驱动带轮81b借助第一中间带轮83a、第二中间带轮83b、水平卷绕的第一带84a和水平卷绕的第二带84b而能够在无阻碍的情况下操作地连接至在竖直方向上设置在不同高度的第一从动带轮82a和第二从动带轮82b。在根据本实施方式的手驱动机构8的第一马达9a和第二马达9b中，马达基端部90a和90b设置在第一臂6内。第一驱动轴91a和第二驱动轴91b的上部延伸到第二臂7的臂壳体70内。在根据本实施方式的手驱动机构8中，第一手枢轴1031插入具有管状形状的第二手枢轴1032中。第一手构轴1031和第二手枢轴1032彼此共用同一中心轴线103a。第一马达9a和第二马达9b沿第二臂7的横向方向并排安装。借助该构造，可以减小第二臂7的臂壳体70的厚度并且可以使臂壳体70沿横向方向变薄，这有助于减小第二臂7的尺寸和重量。具体地，由于第一马达9a的马达基端部90a和第二马达9b的马达基端部90b设置在第一臂6内，因此可以减小第二臂7的基端部的厚度。如果无需减小臂壳体70的厚度，则第一马达9a的马达基端部90a和第二马达9b的马达基端部90b无需必定设置在第一臂6内。换言之，第一马达9a和第二马达9b可以设置在第二臂7内。安装有第一和第二驱动带轮81a和81b、第一和第二前端中间带轮830aF和830bF、以及第一和第二后端中间带轮830aR和830bR的第一和第二马达9a和9b能够沿第一和第二带84a和84b的卷绕方向(即，沿第二臂7的纵向方向)移动。另一方面，安装在第二臂7的末端部中的手单元4保持固定。因而，通过顺序地移动第一和第二后端中间带轮830aR和830bR、第一和第二前端中间带轮830aF和830bF、以及第一和第二马达9a和9b能够容易调节第一带84a和第二带84b的张力。如从图4A、4B、6A和6B能够理解的，第一中间传动带84aM和第二中间传动带84bM的宽度比第一前端传动带84aF和第二前端传动带84bF的宽度宽。第一后端传动带84aR和第二后端传动带84bR的宽度比第一中间传动带84aM和第二中间传动带84bM的宽度宽。换言之，带宽度从第一马达9a和第二马达9b朝向第一从动带轮82a和第二从动带轮82b (在此侧处转矩变大)逐渐增大，由此带的强度增大。这使得可以事先防止带断开或断裂。如图3所示，在手驱动机构8与臂壳体70的上表面之间设置有用于容纳线缆卷绕机构(未示出)的线缆操纵空间10。从第二手4b延伸的第二线缆Ilb引入该线缆操纵空间10中。从第一手4a延伸的第一线缆Ila通过具有管状形状的第一手枢轴1031的内部朝向第一臂6延伸。(另一实施方式)接着，将参照图7、图8A和图8B描述根据另一实施方式的机器人I的手驱动机构
8。图7是示出根据另一实施方式的机器人I的臂的示意性说明立体图。图8A是示出机器人I的臂的第一驱动机构的示意性说明立体图。图8B是示出机器人I的臂的第二驱动机构的示意性说明立体图。
在下列说明中，与前面的实施方式中具有相同功能的部件将用相同的附图标记表示。将描述与前面的实施方式的构造不同的构造。而不再详细地描述其余的构造。如图7中可见的，本实施方式在以下两点与前面的实施方式不同。(I)第一马达9a和第二马达9b设置在第二臂7内，使得第一马达9a和第二马达9b的相应的驱动轴(第一驱动轴91a和第二驱动轴91b)沿相反方向突出。(2 )第一前端中间带轮830aF和第二前端中间带轮830bF沿相反的竖直取向设置。第一前端中间带轮830aF的第一驱动中间带轮831a和第二前端中间带轮830bF的第二驱动中间带轮831b设置成当在平面图中看时彼此部分地重叠。在本实施方式的手驱动机构8中，如图8A所示，第一中间带轮83a的第一前端中间带轮830aF包括第一驱动中间带轮831a,该第一驱动中间带轮借助第一前端传动带84aF操作地连接至第一驱动带轮81a。第一前端中间带轮830aF还包括第一驱动子带轮832a,该第一驱动子带轮的直径比第一驱动中间带轮831a的直径小。第一驱动子带轮832a和第一驱动中间带轮831a安装在同一轴上。第一中间带轮83a的第一后端中间带轮830aR包括第一从动子带轮834a，该第一从动子带轮借助第一中间传动带84aM操作地连接至第一前端中间带轮830aF的第一驱动子带轮832a。第一后端中间带轮830aR还包括第一从动中间带轮833a,该第一从动中间带轮的直径比第一从动子带轮834a的直径小。第一从动中间带轮833a和第一从动子带轮834a安装在同一轴上，并且第一从动中间带轮833a借助第一后端传动带84aR操作地连接至第一从动带轮82a。
如图8B所示，第二中间带轮83b的第二前端中间带轮830bF包括第二驱动中间带轮831b,该第二驱动中间带轮借助第二前端传动带84bF操作地连接至第二驱动带轮81b。第二前端中间带轮830bF还包括第二驱动子带轮832b，该第二驱动子带轮的直径比第二驱动中间带轮831b的直径小。第二驱动子带轮832b和第二驱动中间带轮831b安装在同一轴上。第二中间带轮83b的第二后端中间带轮830bR包括第二从动子带轮834b，该第二从动子带轮借助第二中间传动带84bM操作地连接至第二前端中间带轮830bF的第二驱动子带轮832b。第二后端中间带轮830bR还包括第二从动中间带轮833b，该第二从动中间带轮的直径比第二从动子带轮834b的直径小。第二从动中间带轮833b安装在第二从动子带轮834b的轴上，并且借助第二后端传动带84bR操作地连接至第二从动带轮82b。在图7、图8A和图8B中，附图标记700表不供设直手驱动机构8的基板。在上述的本实施方式的手驱动机构8中，第一马达9a和第二马达9b沿相反取向设置。第一前端中间带轮830aF和第二前端中间带轮830bF沿相反取向设置。第一驱动中间带轮831a和第二驱动中间带轮831b设置成当在平面图中看时彼此部分地重叠。在完全容纳在第二臂7内的手驱动机构8中，不必采用包括重的齿轮机构的减速装置。这有助于减小第二臂7的重量。在本实施方式的手驱动机构8中，沿相反取向设置的第一驱动带轮81a和第二驱动带轮81b能够借助第一中间带轮83a、第二中间带轮83b、水平卷绕的第一带84a和水平卷绕的第二带84b而在无阻碍的情况下操作地连接至第一从动带轮82a和第二从动带轮82b。如以上在这些实施方式中所述，机器人I构造成包括第二臂7，该第二臂的基端部借助臂支承轴以可旋转的方式安装。作为输出轴的手枢轴103安装在第二臂7的末端部中。用于以减小的速度驱动手枢轴103的手驱动机构8设置在第二臂7内。然而，输出轴不局限于手`枢轴103。当然，手驱动机构8可以是任何类型的，只要该手驱动机构能够驱动输出轴即可。不言而喻，用于容纳驱动机构的臂不局限于第二臂7。通过上述构造，本实施方式的机器人I可以减小臂的重量。本领域技术人员能够容易地想到其它效果和其它修改例。为此，本公开内容的宽泛范围不局限于上文示出并描述的具体公开内容和代表性实施方式。因而，在不脱离由所附的权利要求及其等同物限定的精神和范围的情况下，本公开内容能够以许多不同的形式进行修改。
权利要求
1.一种机器人，所述机器人包括: 臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助关节部以可旋转的方式安装，输出轴安装在所述末端部中；以及 驱动机构，所述驱动机构设置在所述臂内并且构造成以减小的速度来驱动所述输出轴， 其中，所述驱动机构包括:具有马达轴的马达；附接到所述马达轴的驱动带轮；附接到所述输出轴的从动带轮；至少一个中间带轮，所述中间带轮设置在所述驱动带轮和所述从动带轮之间；以及多个带，所述多个带用于通过所述中间带轮将所述驱动带轮和所述从动带轮操作地互连。
2.根据权利要求1所述的机器人，其中，安装在所述臂的所述末端部中的所述输出轴是用于以可旋转的方式支承手单元的手枢轴。
3.根据权利要求1所述的机器人，其中，所述中间带轮包括: 前端中间带轮，所述前端中间带轮包括驱动中间带轮和驱动子带轮，所述驱动中间带轮借助所述多个带之中的第一带操作地连接至所述驱动带轮，所述驱动子带轮附接到供附接所述驱动中间带轮的轴；以及 后端中间带轮，所述后端中间带轮包括从动中间带轮和从动子带轮，所述从动中间带轮借助所述多个带之中的第二带操作地连接至所述从动带轮，所述从动子带轮附接到供附接所述从动中间带轮的轴，所述从动子带轮借助所述多个带之中的第三带操作地连接至所述前端中间带轮的所述驱动子带轮。
4.根据权利要求3所述的机器人，其中，所述前端中间带轮的所述驱动中间带轮和所述驱动子带轮在第一基板与借助第一连接构件连接至所述第一基板的第一支承板之间以叠置的关系设置在同一轴上，并且 所述后端中间带轮的所述从动中间带轮和所述从动子带轮在第二基板与借助第二连接构件连接至所述第二基板的第二支承板之间以叠置的关系设置在同一轴上。
5.根据权利要求3所述的机器人，其中，具有供附接所述驱动带轮的所述马达轴的所述马达、所述前端中间带轮、以及所述后端中间带轮沿带卷绕方向以可动的方式附接，从而通过移动所述后端中间带轮、所述前端中间带轮以及所述马达而能够调节所述带的张力。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的机器人，其中，所述第三带的宽度大于所述第一带的宽度，所述第二带的宽度大于所述第三带的宽度。
7.根据权利要求2所述的机器人，其中，所述手单元包括多个手，这些手沿着所述手枢轴以间隔开的关系设置，所述驱动机构以与每个手对应的关系设置。
8.根据权利要求7所述的机器人，其中，所述手包括附接到第一手枢轴的第一手和附接到第二手枢轴的第二手； 所述驱动机构包括与所述第一手对应的第一驱动机构和与所述第二手对应的第二驱动机构； 所述第一驱动机构包括第一马达、附接到所述第一马达的驱动轴上的第一驱动带轮、具有预定减速比并且附接到所述第一手枢轴的第一从动带轮、以及具有预定减速比并且安装在所述第一驱动带轮和所述第一从动带轮之间的至少一个第一中间带轮； 所述第二驱动机构包括第二马达、附接到所述第二马达的驱动轴上的第二驱动带轮、具有预定减速比并且附接到所述第二手枢轴的第二从动带轮、以及具有预定减速比并且安装在所述第二驱动带轮和所述第二从动带轮之间的至少一个第二中间带轮； 所述第二手枢轴形成为管状形状，所述第一手枢轴插入所述第二手枢轴中，所述第一手枢轴和所述第二手枢轴构造成具有公共中心轴线；并且 所述第一马达和所述第二马达沿所述臂的横向方向并排设置。
9.根据权利要求8所述的机器人，其中，所述臂包括: 第一臂，所述第一臂具有基端部 ，所述第一臂的基端部借助第一关节部以可旋转的方式附接到基座单元，所述基座单元安装在安装面上；以及 第二臂，所述第二臂具有基端部和末端部，所述第二臂的基端部借助第二关节部以可旋转的方式附接到所述第一臂的末端部，所述手单元借助所述手枢轴以可旋转的方式附接到所述第二臂的所述末端部，所述驱动机构设置在所述第二臂内。
10.根据权利要求9所述的机器人，其中，所述第一中间带轮包括:第一前端中间带轮，该第一前端中间带轮具有第一驱动中间带轮和第一驱动子带轮，所述第一驱动中间带轮借助第一前端传动带操作地连接至所述第一驱动带轮，所述第一驱动子带轮附接到供附接所述第一驱动中间带轮的轴；以及第一后端中间带轮，该第一后端中间带轮具有第一从动子带轮和第一从动中间带轮，所述第一从动子带轮借助第一中间传动带操作地连接至所述第一前端中间带轮的所述第一驱动子带轮，所述第一从动中间带轮借助第一后端传动带操作地连接至所述第一从动带轮，所述第一从动中间带轮附接到供附接所述第一从动子带轮的轴； 所述第二中间带轮包括:第二前端中间带轮，该第二前端中间带轮具有第二驱动中间带轮和第二驱动子带轮，所述第二驱动中间带轮借助第二前端传动带操作地连接至所述第二驱动带轮，所述第二驱动子带轮附接到供附接所述第二驱动中间带轮的轴；以及第二后端中间带轮，该第二后端中间带轮具有第二从动子带轮和第二从动中间带轮，所述第二从动子带轮借助第二中间传动带操作地连接至所述第二前端中间带轮的所述第二驱动子带轮，所述第二从动中间带轮借助第二后端传动带操作地连接至所述第二从动带轮，所述第二从动中间带轮附接到供附接所述第二从动子带轮的轴； 所述第一前端中间带轮的所述第一驱动中间带轮和所述第二前端中间带轮的所述第二驱动中间带轮设置在相同高度； 所述第一后端中间带轮和所述第二后端中间带轮沿相反竖直取向设置，所述第一从动子带轮和所述第二从动子带轮设置成当在平面图中看时彼此部分地重叠；并且至少所述第一马达的基端部和所述第二马达的基端部设置在所述第一臂内。
11.根据权利要求9所述的机器人，其中，所述第一中间带轮包括:第一前端中间带轮，该第一前端中间带轮具有第一驱动中间带轮和第一驱动子带轮，所述第一驱动中间带轮借助第一前端传动带操作地连接至所述第一驱动带轮，所述第一驱动子带轮附接到供附接所述第一驱动中间带轮的轴；以及第一后端中间带轮，该第一后端中间带轮具有第一从动子带轮和第一从动中间带轮，所述第一从动子带轮借助第一中间传动带操作地连接至所述第一前端中间带轮的所述第一驱动子带轮，所述第一从动中间带轮借助第一后端传动带操作地连接至所述第一从动带轮，所述第一从动中间带轮附接到供附接所述第一从动子带轮的轴；所述第二中间带轮包括:第二前端中间带轮，该第二前端中间带轮具有第二驱动中间带轮和第二驱动子带轮，所述第二驱动中间带轮借助第二前端传动带操作地连接至所述第二驱动带轮，所述第二驱动子带轮附接到供附接所述第二驱动中间带轮的轴；以及第二后端中间带轮，该第二后端中间带轮具有第二从动子带轮和第二从动中间带轮，所述第二从动子带轮借助第二中间传动带操作地连接至所述第二前端中间带轮的所述第二驱动子带轮，所述第二从动中间带轮借助第二后端传动带操作地连接至所述第二从动带轮，所述第二从动中间带轮附接到供附接所述第二从动子带轮的轴； 所述第一马达和所述第二马达设置在所述第二臂内并且设置有沿相反方向突出的驱动轴；并且 所述第一前端中间带轮和所述第二前端中间带轮沿相反竖直取向设置，所述第一驱动中间带轮和 所述第二驱动中间带轮设置成当在平面图中看时彼此部分地重叠。
全文摘要
本发明涉及一种机器人。所述机器人包括臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助关节部以可旋转的方式安装，输出轴安装在所述末端部中；以及驱动机构，所述驱动机构设置在所述臂内并且构造成以减小的速度来驱动所述输出轴。所述驱动机构包括具有马达轴的马达；附接到所述马达轴的驱动带轮；附接到所述输出轴的从动带轮；至少一个中间带轮，所述中间带轮设置在所述驱动带轮和所述从动带轮之间；以及多个带，所述多个带用于通过所述中间带轮将所述驱动带轮和所述从动带轮操作地互连。
文档编号B25J9/06GK103240732SQ20121059240
公开日2013年8月14日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年2月1日
发明者古市昌稔, 小宫路修, 铃木雅之, 实政泰树 申请人:株式会社安川电机