一种真空吸附工作台及真空吸附装置的制作方法

本发明涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种真空吸附工作台及真空吸附装置。

背景技术：

在面板制作的多个工艺流程(如基板切割、面板粘合以及面板表面贴膜等)中，均需采用真空吸附工作台，通过抽真空装置先将面板固定在工作台上，再进行后续的工艺加工。

现有技术各种不同尺寸的面板，采用同一尺寸的真空吸附工作台。若面板过小，工作台上未覆盖有面板的部分吸气孔与外界连通，导致真空吸附工作台出现漏气现象；若面板过大，工作台不能将面板完全固定。因此，根据不同尺寸的面板，需要更换不同尺寸的真空吸附工作台，而真空吸附工作台的频繁更换，增加了大量的设备调试时间，降低了面板加工的工作效率。

技术实现要素：

本发明的实施例提供一种真空吸附工作台及真空吸附装置，可固定各种不同尺寸的面板。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种真空吸附工作台，包括工作台本体，所述工作台本体上开设有多个吸气孔；还包括第一吸气管道和封堵件，所述第一吸气管道与多个所述吸气孔均连通，所述封堵件可与所述第一吸气管道配合连接，以断开所述吸气孔与所述第一吸气管道的连接。

本发明实施例还公开了一种真空吸附装置，包括上述技术方案所述的真空吸附工作台和抽真空装置，所述抽真空装置与所述真空吸附工作台的第二吸气管道连通。

相较于现有技术，本发明实施例提供的真空吸附工作台及真空吸附装置，工作台本体上开设的多个吸气孔与第一吸气管道均连通。当待吸附物放置于工作台本体时，通过第一吸气管道、吸气孔将待吸附物吸附于工作台本体上；对于工作台本体上未覆盖有待吸附物的吸气孔，通过封堵件插入第一吸气管道内，断开未覆盖有待吸附物的吸气孔与第一吸气管道的连接，从而避免真空吸附工作台出现漏气现象。本发明实施例的真空吸附工作台通过调整封堵件插入第一吸气管道的深度，可固定不同尺寸的待吸附物(如面板)，不需更换真空吸附工作台，减少了设备的调试时间，提高了工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例中真空吸附工作台的结构示意图；

图2为本发明实施例中真空吸附工作台的截面示意图；

图3为本发明实施例中真空吸附工作台上放置有待吸附物的结构示意图之一；

图4为本发明实施例中真空吸附工作台上放置有待吸附物的结构示意图之二；

图5为本发明实施例中真空吸附装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

参照图1～3，本发明实施例的真空吸附工作台，包括工作台本体1、第一吸气管道2和封堵件3，在工作台本体1上开设有多个吸气孔11，多个吸气孔11与第一吸气管道2均连通，封堵件3可与第一吸气管道2配合连接，以断开吸气孔11与第一吸气管道2的连接。

相较于现有技术，本发明实施例提供的真空吸附工作台，工作台本体1上开设的多个吸气孔11与第一吸气管道2均连通。当待吸附物100放置于工作台本体1时，第一吸气管道2通过吸气孔11将待吸附物100吸附于工作台本体1上；对于工作台本体1上未覆盖有待吸附物100的吸气孔11，通过封堵件3插入第一吸气管道2内，断开未覆盖有待吸附物100的吸气孔11与第一吸气管道2的连接，从而避免真空吸附工作台出现漏气现象。本发明实施例的真空吸附工作台通过调整封堵件3插入第一吸气管道2的深度，可固定不同尺寸的待吸附物100(如面板)，不需更换真空吸附工作台，减少了设备的调试时间，提高了工作效率。

可选地，多个吸气孔11可自由分布，部分第一吸气管道2被封堵后，不会影响第一吸气管道2与其他吸气孔11的连通，这种第一吸气管道2的结构设计难度较大。因此，本发明实施例中的多个吸气孔11以多排方式分布，各排的吸气孔11之间不连通，相应地，第一吸气管道2为多个，多个第一吸气管道2与多排吸气孔11一一对应连通；同理，封堵件3也为多个，多个封堵件3可与多个第一吸气管道2一一配合连接，第一吸气管道2的结构较简单。

上述第一吸气管道2设有多个进气口、出气口和开口21，其中，多个进气口开设于第一吸气管道2的管壁上，且与多个吸气孔11一一连通；出气口位于第一吸气管道2的一端，开口21位于第一吸气管道2的另一端，出气口用于与抽真空装置连通，封堵件3可方便地通过该开口21插入第一吸气管道2内。

在使用中，将待吸附物100沿吸气孔11延伸方向的一侧放置，将封堵件3从另一侧插入第一吸气管道2内，即可封堵住待吸附物100未覆盖住的吸气孔11。

上述吸气孔11的排布方向与第一吸气管道2的延伸方向可相同，也可不同。若吸气孔11的排布方向与第一吸气管道2的延伸方向不同，则第一吸气管道2的中部有折弯结构，第一吸气管道2的长度较长，封堵件3在折弯处不易插入；或吸气孔11倾斜设置，从而与第一吸气管道2连通，增加吸气孔11的加工难度。参照图2，若多排吸气孔11沿第一方向p平行设置(图2中其他箭头所示为吸气方向)，第一吸气管道2的延伸方向与第一方向平行，即吸气孔11的排布方向与第一吸气管道2的延伸方向相同；封堵件3设计为封堵杆，封堵杆的长度方向与第一吸气管道2的延伸方向平行，且可滑动设置于第一吸气管道2内，封堵杆通过开口21插入第一吸气管道2较方便，且第一吸气管道2为平直的管道，结构较简单。因此，本发明实施例优先采用后者的方案。优选地，吸气孔11沿竖直方向开设，第一吸气管道2对应设置于吸气孔11竖直方向的下方。

考虑到封堵件3插入第一吸气管道2的深度，仅可从吸气孔11是否封闭看出，而吸气孔的深度较大，观察吸气孔11是否封闭的难度较大，导致封堵件3插入第一吸气管道2的位置不易控制，因此，优选地，本发明实施例的封堵件3固定连接有限位件4，限位件4位于工作台本体1的上方，限位件4可与待吸附物100的边沿抵接，同时封堵件3在第一吸气管道2内也停止运动，从而限制封堵件3的封堵位置，以方便封堵件3插入第一吸气管道2内合适的位置，使封堵操作较简单。

可选地，限位件4为限位杆，限位杆4的长度方向可与第一方向p平行，工作台本体1的上表面设有多个导向凹槽12，该导向凹槽12位于相邻两排的吸气孔11之间，或多排吸气孔11中位于外侧的一排吸气孔与工作台本体1的外边沿之间，当将封堵杆插入第一吸气管道2时，限位杆配合插入导向凹槽12中，随着封堵杆的移动，限位杆沿导向凹槽12的延伸方向移动。

进一步地，多个第一吸气管道2分别与抽真空装置连通，导致吸气管道结构较复杂，因此，优选地，本发明实施例的抽真空吸附平台还包括第二吸气管道5，第二吸气管道5与抽真空装置连通，多个第一吸气管道2的出气口分别与第二吸气管道5连通，多个第一吸气管道2不需直接与抽真空装置连通，第一吸气管道2可设计的较短，多个较短的第一吸气管道2和第二吸气管道5组成的吸气管道其结构较简单。

当抽真空装置的吸力较大时，封堵杆受力发生移动，如封堵杆移至待吸附物100下方的第一吸气管道2内，断开待吸附物100下方的吸气孔11与第一吸气管道2的连通，使得待吸附物100不能可靠固定。因此，本发明实施例的封堵杆为中空结构，且封堵杆与第二吸气管道5连通，封堵杆与第一吸气管道2配合的端部两侧的压力相同，使得封堵杆可停留于第一吸气管道2内的任一位置，防止封堵杆被进一步吸入第一吸气管道2内。此外，本发明实施例中第二吸气管道5位于工作台本体1的下方，封堵杆通过外部的管道与第二吸气管道5连通。

为了提高封堵杆的密封性，本发明实施例的封堵杆与第一吸气管道2配合的一端套设有密封圈31，提高了封堵杆与第一吸气管道2配合的端部的密封性，进一步防止封堵杆被吸入第一吸气管道2内。

可选地，第一吸气管道2可设置于工作台本体1的下方，也可设置于工作台本体1内。本发明实施例将第一吸气管道2设置于工作台本体1内，且位于吸气孔11的下方，便于吸气孔11与第一吸气管道2的连通；相应地，上述的开口21位于工作台本体1上与第一方向垂直的侧面。

上述限位件4与封堵件3可直接固定连接，也可真空吸附平台包括固定板6，通过固定板6将限位杆与封堵件3固定连接，固定方式较简单。优选地，本发明实施例采用后者的方案。

参照图3～4，本发明实施例中的真空吸附平台由4个工作台本体1组成，限位杆和封堵杆通过固定板6组成的封堵组件，在使用中，图中上方的两块工作台本体1，每个封堵组件的限位杆位于封堵杆之上；图中下方的两块工作台本体，每个封堵组件的封端杆位于限位杆之上。

本发明实施例还公开了一种真空吸附装置300，包括上述所有的真空吸附工作台、以及抽真空装置200，抽真空装置200与真空吸附工作台的第二吸气管道5连通，如图5所示。由于在本实施例的真空吸附装置内安装的真空吸附工作台与上述的各实施例中提供的真空吸附工作台结构相同，因此二者能够解决相同的技术问题，并达到相同的预期效果。

本发明实施例中真空吸附装置300的工作流程为：先将待吸附物100放置于工作台本体1上，将封堵组件朝靠近待吸附物100推动，直至限位杆与待吸附物100抵靠，对于整排均没有覆盖待吸附物100的吸气孔11，将封堵件3推至第一吸气管道2内，直至固定板6的内表面与工作台本体的侧面相抵靠，在将抽真空装置200打开。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。