本发明涉及用于对以封装基板为代表的板状的被加工物进行加工的加工装置。
背景技术：
在将多个器件芯片用树脂密封而成的封装基板分割成与各器件芯片对应的封装器件芯片时，例如使用在作为旋转轴的主轴上安装有环状的切削刀具的切削装置。在该用途中，大多将与作为分割对象的封装基板一致地设计的专用的卡盘工作台设置在切削装置中(例如，参照专利文献1)。
上述卡盘工作台具有：与封装基板的分割预定线(间隔道)对应的切削刀具用的退刀槽；以及用于对由分割预定线划分的封装基板的各区域进行吸引的多个吸引孔，从而该卡盘工作台能够直接对封装基板进行保持。因此，无需像利用通用的卡盘工作台对封装基板进行保持的情况那样在卡盘工作台与封装基板之间夹设带，容易将封装基板的分割的成本抑制得较低。
然而，封装基板中使用的密封用的树脂因热等容易收缩，因此大多情况下封装基板发生变形而导致实际的分割预定线从预先设想的位置偏移。在这样的情况下，例如当使切削刀具与卡盘工作台的退刀槽一致地切入至封装基板时，在与实际的分割预定线不同的位置对封装基板进行切削，从而封装器件芯片发生破损。另一方面，当使切削刀具与实际的分割预定线一致地切入时，卡盘工作台会发生破损。
因此，提出了如下的加工装置等：在封装基板的分割预定线与卡盘工作台的退刀槽在俯视时不重叠的情况(即，在退刀槽与分割预定线存在偏移的情况)下，能够对卡盘工作台相对于封装基板的角度或位置进行调整(例如，参照专利文献2)。在该加工装置中，对拍摄封装基板而得到的实际的芯片图案和基准图案进行比较，根据该偏移，对卡盘工作台的角度或位置进行调整，从而使分割预定线与退刀槽重叠。
专利文献1：日本特开2011-49193号公报
专利文献2：日本特开2011-114070号公报
但是，在上述那样的加工装置中，虽然对卡盘工作台的角度或位置进行调整，但是卡盘工作台有时也会发生破损。封装器件芯片的尺寸越小、或者分割预定线的数量越增加，则越容易发生该问题。
技术实现要素：
本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供加工装置，能够防止卡盘工作台的破损。
根据本发明的一个方式，提供加工装置，其具有：卡盘工作台，其在保持面上具有长边侧刀具退刀槽和短边侧刀具退刀槽，该长边侧刀具退刀槽和短边侧刀具退刀槽分别对应于在正面上具有沿长边方向延伸的多条长边侧分割预定线和沿与该长边方向交叉的方向延伸的多条短边侧分割预定线的被加工物的该长边侧分割预定线和该短边侧分割预定线，该卡盘工作台利用该保持面对该被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行加工；移动单元，其使该卡盘工作台沿与该保持面平行的方向移动；旋转单元，其使该卡盘工作台绕与该保持面垂直的旋转轴旋转；拍摄单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行拍摄；搬送单元，其将该被加工物搬入至该卡盘工作台或将该被加工物从该卡盘工作台搬出；以及控制单元，其对各结构要素进行控制，其中，该控制单元具有：退刀槽信息存储部，其存储根据对与作为基准的角度和位置一致的该卡盘工作台的该保持面进行拍摄而得到的拍摄图像所求出的与该长边侧刀具退刀槽的角度、位置以及宽度相关的信息和与该短边侧刀具退刀槽的角度、位置以及宽度相关的信息；分割预定线信息存储部，其存储根据对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行拍摄而得到的拍摄图像所求出的与该长边侧分割预定线的角度以及位置相关的信息和与该短边侧分割预定线的角度以及位置相关的信息；偏移量计算部，其根据该退刀槽信息存储部和分割预定线信息存储部所存储的信息，对该长边侧分割预定线与该长边侧刀具退刀槽之间的偏移量和该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽之间的偏移量进行计算；判定部，其判定在按照该长边侧分割预定线与该长边侧刀具退刀槽重叠的方式使该卡盘工作台与被加工物相对地移动而对该卡盘工作台相对于该被加工物的角度、位置进行调整的情况下该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽是否重叠；以及报知部，其在由该判定部判定为该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽不重叠的情况下，将该情况报知给操作者，在由该判定部判定为该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽重叠的情况下，在利用该搬送单元将该被加工物从该卡盘工作台搬出之后，通过使该卡盘工作台旋转、使该卡盘工作台移动或者使对被加工物进行保持的搬送单元移动而对该卡盘工作台相对于该被加工物的角度、位置进行调整，以使得再次被搬入至该卡盘工作台的该被加工物的该长边侧分割预定线与该长边侧刀具退刀槽重叠、该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽重叠。
在本发明的一个方式中，优选计算该长边侧分割预定线与该长边侧刀具退刀槽之间的该偏移量时所用的该长边侧分割预定线是位于多条该长边侧分割预定线的中央的该长边侧分割预定线，计算该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽之间的该偏移量时所用的该短边侧分割预定线是位于多条该短边侧分割预定线的中央的该短边侧分割预定线。
另外，在本发明的一个方式中，优选该判定部根据相对于该长边侧分割预定线的长度与该短边侧分割预定线的长度之和的、该长边侧分割预定线的长度和该短边侧分割预定线的长度，计算该卡盘工作台的旋转量。
本发明的一个方式的加工装置具有：判定部，其判定在按照长边侧分割预定线与长边侧刀具退刀槽重叠的方式对卡盘工作台相对于被加工物的角度、位置进行调整的情况下短边侧分割预定线与短边侧刀具退刀槽是否重叠；以及报知部，其在判定部判定为短边侧分割预定线与短边侧刀具退刀槽不重叠的情况下，将该情况报知给操作者。
即，在卡盘工作台相对于被加工物的角度、位置存在偏移时，重视由于对被加工物进行切削而使切削刀具切入至卡盘工作台的保持面的可能性高的长边侧分割预定线和长边侧刀具退刀槽而对卡盘工作台的角度、位置进行调整，然后在短边侧分割预定线与短边侧刀具退刀槽不重叠的情况下，报知该情况，因此在该情况下不会强行地对被加工物进行加工而使卡盘工作台发生破损。这样，根据本发明的一个方式的加工装置，能够防止卡盘工作台的破损。
附图说明
图1是示意性示出切削装置的结构例的立体图。
图2是示意性示出被加工物的结构例的立体图。
图3是示意性示出卡盘工作台的结构例的立体图。
图4是示意性示出控制单元的功能等的框图。
图5的(a)是用于对退刀槽信息获取步骤进行说明的示意图，图5的(b)是用于对被加工物搬入步骤进行说明的示意图。
图6的(a)是用于对分割预定线信息获取步骤进行说明的示意图，图6的(b)是用于对被加工物搬出步骤和调整步骤进行说明的示意图。
图7的(a)是用于对被加工物重新搬入步骤进行说明的示意图，图7的(b)是用于对切削步骤进行说明的示意图。
标号说明
2：切削装置(加工装置)；4：基台；4a：开口；6：收纳区域；8：x轴移动工作台；10：x轴移动机构(移动单元)；12：防尘防滴罩；14：卡盘工作台；14a：保持面；14b：长边侧刀具退刀槽；14c：短边侧刀具退刀槽；14d：吸引孔；14e：流路；16：旋转驱动机构(旋转单元)；18：第一搬送单元；20：切削单元(加工单元)；22：支承构造；24：切削单元移动机构(移动单元)；26：y轴导轨；28：y轴移动板；30：y轴滚珠丝杠；32：y轴脉冲电动机；34：z轴导轨；36：z轴移动板；38：z轴滚珠丝杠；40：z轴脉冲电动机；42：主轴；44：切削刀具；46：拍摄单元(相机)；48：回收区域；50：第二搬送单元；52：控制单元；52a：退刀槽信息存储部；52b：分割预定线信息存储部；52c：偏移量计算部；52d：判定部；52e：报知部；54：阀；56：吸引源；11：被加工物；11a：正面；11b：背面；13a：长边侧分割预定线(间隔道)；13b：短边侧分割预定线(间隔道)；15：区域。
具体实施方式
参照附图，对本发明的一个方式的实施方式进行说明。图1是示意性示出本实施方式的切削装置(加工装置)2的结构例的立体图。如图1所示，切削装置2具有对各构造进行支承的基台4。在基台4的上表面前侧设置有对被加工物11进行收纳的收纳区域6。该收纳区域6按照堆叠多个被加工物11的状态对它们进行收纳。
图2是示意性示出被加工物11的结构例的立体图。被加工物11例如是俯视时形成为矩形的板状的封装基板。该被加工物11的正面11a侧由沿着长边方向d1延伸的多条长边侧分割预定线(间隔道)13a和沿着与长边方向d1交叉的短边方向d2延伸的多条短边侧分割预定线(间隔道)13b划分成多个区域15。
在各区域15中例如利用树脂密封有器件芯片(未图示)。另外，在本实施方式中，使用多个器件芯片被树脂密封的封装基板作为被加工物11，但对于被加工物11的材质、形状、构造、大小等没有限制。例如也可以使用由半导体、陶瓷、树脂、金属等材料形成的晶片作为被加工物11。
如图1所示，在收纳区域6的侧方形成有沿x轴方向(前后方向、加工进给方向)较长的开口4a。在该开口4a上设置有x轴移动工作台8、使x轴移动工作台8在x轴方向上移动的滚珠丝杠式的x轴移动机构(移动单元)10(参照图4)以及覆盖x轴移动机构10的防尘防滴罩12。
在x轴移动工作台8的上方设置有用于对被加工物11进行保持的卡盘工作台(保持工作台)14。该卡盘工作台14与包含电动机等在内的旋转驱动机构(旋转单元)16(参照图4)连结，绕与z轴方向(铅垂方向)大致平行的旋转轴进行旋转。另外，卡盘工作台14通过上述x轴移动机构10在x轴方向上移动(加工进给)。另外，对于卡盘工作台14的详细情况在后文进行叙述。
在收纳区域6的上方配置有将上述的被加工物11从收纳区域6搬送至卡盘工作台14的第一搬送单元18。利用第一搬送单元18搬送的被加工物11例如按照正面11a侧向上方露出的方式载置于卡盘工作台14。
在基台4的上表面上，按照跨越开口4a的方式配置有用于对两组切削单元(加工单元)20进行支承的门型的支承构造22。在支承构造22的前表面上部设置有使各切削单元20在y轴方向(左右方向、分度进给方向)和z轴方向上移动的两组切削单元移动机构(移动单元)24。
各切削单元移动机构24配置在支承构造22的前表面上，它们共同具有与y轴方向平行的一对y轴导轨26。在y轴导轨26上以能够滑动的方式安装有构成各切削单元移动机构24的y轴移动板28。在各y轴移动板28的背面侧(后表面侧)设置有螺母部(未图示)。
在该螺母部分别螺合有与y轴导轨26平行的y轴滚珠丝杠30。在各y轴滚珠丝杠30的一个端部连结有y轴脉冲电动机32。若利用y轴脉冲电动机32使y轴滚珠丝杠30旋转，则y轴移动板28沿着y轴导轨26在y轴方向上移动。
在各y轴移动板28的正面(前表面)上设置有与z轴方向平行的一对z轴导轨34。在z轴导轨34上以能够滑动的方式安装有z轴移动板36。在各z轴移动板36的背面侧(后表面侧)设置有螺母部(未图示)。
在该螺母部分别螺合有与z轴导轨34平行的z轴滚珠丝杠38。在各z轴滚珠丝杠38的一个端部连结有z轴脉冲电动机40。若利用z轴脉冲电动机40使z轴滚珠丝杠38旋转，则z轴移动板36沿着z轴导轨34在z轴方向上移动。
在各z轴移动板36的下部设置有切削单元20。该切削单元20具有作为旋转轴的主轴42(参照图7的(b)等)。在主轴42的一端侧安装有圆环状的切削刀具44。另外，在与切削单元20相邻的位置上设置有用于对被加工物11等进行拍摄的拍摄单元(相机)46。
若利用各切削单元移动机构24使y轴移动板28在y轴方向上移动，则切削单元20和相机46在y轴方向上移动(分度进给)。另外，若利用各切削单元移动机构24使z轴移动板36在z轴方向上移动，则切削单元20和相机46进行升降。
在相对于开口4a与收纳区域6相反的一侧的位置设置有回收区域48。该回收区域48对将被加工物11分割而得到的多个封装器件芯片进行回收。在回收区域48的上方配置有用于将对被加工物11进行分割而得到的多个封装器件芯片从卡盘工作台14搬送至回收区域48的第二搬送单元50。上述的各结构要素例如利用切削装置2内的控制单元52进行控制。
图3是示意性示出卡盘工作台14的结构例的立体图。如图3所示，卡盘工作台14的上表面成为用于对被加工物11进行保持的保持面14a。该保持面14a相对于z轴方向大致垂直。即，卡盘工作台14的旋转轴相对于保持面14a大致垂直。
在卡盘工作台14的保持面14a侧设置有与被加工物11的长边侧分割预定线13a对应的长边侧刀具退刀槽14b和与短边侧分割预定线13b对应的短边侧刀具退刀槽14c。长边侧刀具退刀槽14b和短边侧刀具退刀槽14c的上端开口于保持面14a。保持面14a被该长边侧刀具退刀槽14b和短边侧刀具退刀槽14c划分成与分割后的被加工物11对应的多个区域。
长边侧刀具退刀槽14b和短边侧刀具退刀槽14c的宽度比切削刀具44的宽度宽0.1mm～0.2mm左右。例如在切削刀具44的宽度为0.1mm～0.3mm的情况下，长边侧刀具退刀槽14b和短边侧刀具退刀槽14c的宽度为0.3mm～0.7mm左右。
因此，即使长边侧刀具退刀槽14b或短边侧刀具退刀槽14c相对于x轴方向略微倾斜，卡盘工作台14与切削刀具44也不一定会接触。通常相邻的两个长边侧刀具退刀槽14b的间隔均恒定，多个长边侧刀具退刀槽14b相互平行地形成。同样地，相邻的两个短边侧刀具退刀槽14c的间隔均恒定，多个短边侧刀具退刀槽14c相互平行地形成。
另外，长边侧刀具退刀槽14b和短边侧刀具退刀槽14c的深度例如比切削刀具44的最大的切入深度深。由此，在沿着长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b对被加工物11进行切削时，即使使切削刀具44切入得足够深，卡盘工作台14与切削刀具44也不会接触。
在由长边侧刀具退刀槽14b和短边侧刀具退刀槽14c划分的各区域形成有开口于保持面14a的吸引孔14d。各吸引孔14d经由形成在卡盘工作台14的内部的流路14e(参照图5的(a)等)或阀54(参照图5的(a)等)等而与吸引源56(参照图5的(a)等)连接。因此若在卡盘工作台14的保持面14a上载置被加工物11并打开阀54，则能够利用卡盘工作台14对被加工物11进行吸引、保持。
图4是示意性示出控制单元52的功能等的框图。如图4所示，控制单元52与x轴移动机构10、旋转驱动机构16、第一搬送单元18、切削单元20、切削单元移动机构24、拍摄单元46、第二搬送单元50等结构要素连接。
该控制单元52对各结构要素的动作等进行控制，以便能够适当地对被加工物11进行切削。另外，为了对卡盘工作台14相对于被加工物11的角度及位置等进行调整，控制单元52具有退刀槽信息存储部52a、分割预定线信息存储部52b、偏移量计算部52c、判定部52d以及报知部52e等。
退刀槽信息存储部52a对作为调整的基准的与长边侧刀具退刀槽14b的角度、位置、宽度等相关的信息和与短边侧刀具退刀槽14c的角度、位置、宽度等相关的信息进行存储。另外，这些信息例如根据对与作为基准的角度和位置一致的状态的卡盘工作台14的保持面14a进行拍摄而得到的图像(拍摄图像)求出。
分割预定线信息存储部52b对卡盘工作台14所保持的被加工物11的与长边侧分割预定线13a的角度、位置相关的信息和与短边侧分割预定线13b的角度、位置相关的信息进行存储。另外，这些信息例如根据对卡盘工作台14所保持的状态的被加工物11进行拍摄而得到的图像(拍摄图像)求出。
偏移量计算部52c根据退刀槽信息存储部52a和分割预定线信息存储部52b所存储的信息，对长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b的角度偏移量、位置偏移量和短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c的角度偏移量、位置偏移量进行计算。
判定部52d对是否能够适当地进行卡盘工作台14相对于被加工物11的角度、位置的调整进行判定。具体而言，判定在按照长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠的方式使卡盘工作台14旋转并使卡盘工作台14在x轴方向上移动或使保持着被加工物11的第一搬送单元18在y轴方向上移动的情况下短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c是否重叠。
在判定部52d判定为不能适当地进行卡盘工作台14的角度、位置的调整的情况下，报知部52e将该情况报知(通知)给操作者等。具体而言，在判定部52d判定为短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c不重叠的情况下，报知部52e将该情况报知给操作者等。对于报知的方法没有特别的限制，例如可以使用产生警告声、声音通知、点亮(闪烁)警告灯、显示图像(映像)等方法。
接着，对利用上述的切削装置2对卡盘工作台14相对于被加工物11的角度和位置进行调整的调整方法以及使用该切削装置2对被加工物11进行加工(切削)的加工方法进行说明。
在本实施方式的卡盘工作台14的调整方法和被加工物11的加工方法中，首先进行退刀槽信息获取步骤，获取作为对卡盘工作台14相对于被加工物11的角度和位置进行调整时的基准的长边侧刀具退刀槽14b和短边侧刀具退刀槽14c的信息。图5的(a)是用于对退刀槽信息获取步骤进行说明的示意图。
在该退刀槽信息获取步骤中，首先使卡盘工作台14的朝向(角度)与基准的角度一致。对于基准的角度没有特别限制，在本实施方式中，将长边侧刀具退刀槽14b相对于x轴方向平行的朝向作为基准的角度。同样地，使卡盘工作台14与基准的位置一致。
接着，使拍摄单元46相对于卡盘工作台14进行相对地移动，将拍摄单元46定位于对角度和位置进行调整时的作为基准的任意的长边侧刀具退刀槽14b或短边侧刀具退刀槽14c的上方。然后，利用该拍摄单元46对卡盘工作台14的保持面14a侧进行拍摄。由此，能够形成拍出长边侧刀具退刀槽14b或短边侧刀具退刀槽14c的图像(拍摄图像)。
然后，从拍摄单元46所形成的图像中获取与长边侧刀具退刀槽14b的角度、位置、宽度相关的信息或与短边侧刀具退刀槽14c的角度、位置、宽度相关的信息。例如，对保持面14a进行拍摄时的卡盘工作台14与拍摄单元46的位置关系、拍摄单元46的视野的范围(长度、宽度)等是已知的。
由此，从拍出长边侧刀具退刀槽14b的图像中，利用边缘检测等方法找出长边侧刀具退刀槽14b并获取其坐标等信息，从而能够计算出长边侧刀具退刀槽14b的角度、位置、宽度。同样地，从拍出短边侧刀具退刀槽14c的图像中，利用边缘检测等方法找出短边侧刀具退刀槽14c并获取其坐标等信息，从而能够计算出短边侧刀具退刀槽14c的角度、位置、宽度。
这样计算得到的与长边侧刀具退刀槽14b的角度、位置、宽度相关的信息和与短边侧刀具退刀槽14c的角度、位置、宽度相关的信息存储于上述的退刀槽信息存储部52a。
另外，对于作为基准的长边侧刀具退刀槽14b和作为基准的短边侧刀具退刀槽14c的选择方法(位置或个数)没有特别限制，例如可以选择与在之后的分割预定线信息获取步骤中作为对象的长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b对应的退刀槽。具体而言，例如当在之后的分割预定线信息获取步骤中将存在于被加工物11的中央的长边侧分割预定线13a作为对象的情况下，可以选择存在于卡盘工作台14的中央的长边侧刀具退刀槽14b作为基准。
同样地，例如当在之后的分割预定线信息获取步骤中将存在于被加工物11的中央的短边侧分割预定线13b作为对象的情况下，可以选择存在于卡盘工作台14的中央的短边侧刀具退刀槽14c作为基准。由此，容易进行长边侧刀具退刀槽14b与长边侧分割预定线13a的比较和短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b的比较。
在退刀槽信息获取步骤之后，进行被加工物搬入步骤，将被加工物11搬入至卡盘工作台14。图5的(b)是用于对被加工物搬入步骤进行说明的示意图。在被加工物搬入步骤中，首先利用第一搬送单元18对收纳至收纳区域6中的被加工物11的正面11a侧进行保持，按照背面11b侧与保持面14a接触的方式将被加工物11载置于(搬入至)卡盘工作台14。
这里，第一搬送单元18被控制单元52控制，以便将被加工物11搬入至预先确定的位置。因此，被加工物11例如按照长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b在俯视时大致重叠、短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c在俯视时大致重叠的方式载置于卡盘工作台14。在将被加工物11载置于卡盘工作台14之后，打开阀54，使吸引源56的负压作用于被加工物11。
在被加工物搬入步骤之后，进行分割预定线信息获取步骤，获取与卡盘工作台14所保持的被加工物11的长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b相关的信息。图6的(a)是用于对分割预定线信息获取步骤进行说明的示意图。
在分割预定线信息获取步骤中，首先使拍摄单元46相对于卡盘工作台14进行相对地移动，将拍摄单元46定位于目标图案(未图示)的上方，该目标图案在作为对象的任意的长边侧分割预定线13a或短边侧分割预定线13b的延长线上形成在器件芯片未被密封的外侧的区域。然后，利用该拍摄单元46对被加工物11的正面11a侧进行拍摄。由此，能够形成拍出与实际的长边侧分割预定线13a或短边侧分割预定线13b对应的目标图案的图像(拍摄图像)。
然后，从拍摄单元46所形成的图像中获取与作为对象的长边侧分割预定线13a的角度、位置相关的信息和与作为对象的短边侧分割预定线13b的角度、位置相关的信息。如上所述，对保持面14a进行拍摄时的卡盘工作台14与拍摄单元46的位置关系及拍摄单元46的视野的范围(长度、宽度)等是已知的。
由此，从拍出与长边侧分割预定线13a对应的目标图案的图像中，利用图案匹配等方法获取长边侧分割预定线13a的坐标等信息，从而能够计算出长边侧分割预定线13a的角度、位置。同样地，从拍出与短边侧分割预定线13b对应的目标图案的图像中，利用图案匹配等方法获取短边侧分割预定线13b的坐标等信息，从而能够计算出短边侧分割预定线13b的角度、位置。
将这样计算出的与长边侧分割预定线13a的角度、位置相关的信息和与短边侧分割预定线13b的角度、位置相关的信息存储于上述的分割预定线信息存储部52b。
另外，对于作为对象的长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b的选择方法(位置或条数)没有特别限制，例如可以选择存在于被加工物11的中央的长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b作为对象。这是因为，在被加工物11的中央，伴随被加工物11的伸缩及变形的长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b的伸缩及变形是平均化的。
具体而言，例如如图2所示，可以选择位于多条长边侧分割预定线13a的中央(区域a)的长边侧分割预定线13a作为对象。另外，例如可以选择位于多条短边侧分割预定线13b的中央(区域b)的短边侧分割预定线13b作为对象。通过这样选择存在于被加工物11的中央的长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b作为对象，即使例如在被加工物11变形为扇状的情况下，也能够平均地对所有的长边侧分割预定线13a和所有的短边侧分割预定线13b校正偏移。
在分割预定线信息获取步骤之后，进行偏移量计算步骤，计算出长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b之间的角度偏移量(例如δθ1)和位置偏移量(例如δx1、δy1)以及短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c之间的角度偏移量(例如δθ2)和位置偏移量(例如δx2、δy2)。
具体而言，偏移量计算部52c根据退刀槽信息存储部52a和分割预定线信息存储部52b所存储的信息，计算出角度偏移量和位置偏移量。即，偏移量计算部52c对作为基准的长边侧刀具退刀槽14b的角度与长边侧分割预定线13a的角度进行比较而计算出该角度偏移量。另外，偏移量计算部52c对作为基准的长边侧刀具退刀槽14b的位置与长边侧分割预定线13a的位置进行比较而计算出该位置偏移量。
同样地，偏移量计算部52c对作为基准的短边侧刀具退刀槽14c的角度与短边侧分割预定线13b的角度进行比较而计算出该角度偏移量。另外，偏移量计算部52c对作为基准的短边侧刀具退刀槽14c的位置与短边侧分割预定线13b的位置进行比较而计算出该位置偏移量。
在偏移量计算步骤之后，进行判定步骤，对是否能够适当地进行卡盘工作台14相对于被加工物11的角度和位置的调整进行判定。具体而言，由判定部52d判定在对被加工物11与卡盘工作台14的角度、位置的关系进行调整而使长边侧分割预定线13a和长边侧刀具退刀槽14b重叠的情况下短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c是否重叠。
例如在长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b的角度偏移量为δθ1的情况下，使卡盘工作台14按照δθ1的旋转量旋转，从而认为能够使长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠。由此，在使卡盘工作台14侧按照δθ1的旋转量旋转的情况下，由判定部52d判定短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c是否重叠。
具体而言，首先根据存储于退刀槽信息存储部52a的短边侧刀具退刀槽14c的角度、位置，求出使卡盘工作台14按照δθ1的旋转量旋转后的短边侧刀具退刀槽14c的角度、位置。然后，考虑存储于退刀槽信息存储部52a的短边侧刀具退刀槽14c的宽度，对短边侧分割预定线13b是否与旋转后的短边侧刀具退刀槽14c重叠进行判定。
即，对旋转后的短边侧刀具退刀槽14c的信息与存储于分割预定线信息存储部52b的短边侧分割预定线13b的信息进行比较，判定短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b是否重叠。
这里，在短边侧分割预定线13b相对于旋转后的短边侧刀具退刀槽14c在x轴方向上存在偏移的情况下，例如在利用第一搬送单元18将被加工物11从卡盘工作台14搬出之后，使卡盘工作台14在x轴方向上移动，将被加工物11再次搬入至卡盘工作台14，从而能够容易地使短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b重叠。
另一方面，在短边侧分割预定线13b相对于旋转后的短边侧刀具退刀槽14c在y轴方向上存在偏移的情况下，例如在利用第一搬送单元18将被加工物11从卡盘工作台14搬出之后，使搬送单元18在y轴方向上移动，将被加工物11再次搬入至卡盘工作台14，从而能够容易地使短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b重叠。
由此，在这些情况下，也判定为短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b重叠。即，在旋转后的短边侧刀具退刀槽14c的位置与存储于分割预定线信息存储部52b的短边侧分割预定线13b的位置在x轴方向或y轴方向上存在偏移的情况下，判定为短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b重叠。
另外，控制单元52预先对旋转后的短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b在x轴方向或y轴方向的偏移量进行存储。将该偏移量用于实际的调整。
同样地，在长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b的角度偏移量为δθ1、位置偏移量为δx1、δy1的情况下，使卡盘工作台14按照δθ1的旋转量进行旋转，使卡盘工作台14按照δx1的移动量在x轴方向上移动，使被加工物11(第一搬送单元18)按照δy2的移动量在y轴方向上移动，从而认为能够使长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠。
由此，在使卡盘工作台14侧按照δθ1的旋转量旋转、使卡盘工作台14按照δx1的移动量在x轴方向上移动、使被加工物11(第一搬送单元18)按照δy2的移动量在y轴方向上移动的情况下，由判定部52d判定短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c是否重叠。
具体而言，首先根据存储于退刀槽信息存储部52a的短边侧刀具退刀槽14c的角度、位置，求出使卡盘工作台14按照δθ1的旋转量旋转并使卡盘工作台14按照δx1的移动量在x轴方向上移动后的短边侧刀具退刀槽14c的角度、位置。
另外，根据存储于分割预定线信息存储部52b的短边侧分割预定线13b的角度、位置，求出使被加工物11(第一搬送单元18)按照δy2的移动量在y轴方向上移动后的短边侧分割预定线13b的角度、位置。
然后，考虑存储于退刀槽信息存储部52a的短边侧刀具退刀槽14c的宽度，对移动后的短边侧分割预定线13b是否与旋转、移动后的短边侧刀具退刀槽14c重叠进行判定。即，对旋转、移动后的短边侧刀具退刀槽14c的信息与移动后的短边侧分割预定线13b的信息进行比较，判定短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b是否重叠。
另外，在该情况下，在旋转、移动后的短边侧刀具退刀槽14c的位置与移动后的短边侧分割预定线13b的位置在x轴方向或y轴方向上存在偏移的情况下，也判定为短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b重叠。控制单元52预先对旋转、移动后的短边侧刀具退刀槽14c与移动后的短边侧分割预定线13b在x轴方向或y轴方向的偏移量进行存储。该偏移量用于实际的调整。
在长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠的状态下短边侧刀具退刀槽14c与短边侧分割预定线13b重叠意味着通过这样的调整能够不使卡盘工作台14破损地对被加工物11进行加工。
即，短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c重叠的判定相当于下述判定：能够适当地进行卡盘工作台14相对于被加工物11的角度和位置的调整，在调整后即使沿着长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b对被加工物11进行切削也不会对卡盘工作台14的保持面14a进行切削而发生擦伤。另一方面，短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c不重叠的判定相当于下述判定：不能适当地进行卡盘工作台14相对于被加工物11的角度和位置的调整，在调整后当沿着长边侧分割预定线13a和短边侧分割预定线13b对被加工物11进行切削时，会对卡盘工作台14的保持面14a进行切削而发生擦伤。
在判定为不能适当地进行卡盘工作台14相对于被加工物11的角度、位置的调整的情况下，接着进行报知步骤，将该情况报知(通知)给操作者等。即，在判定部52d判定为短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c不重叠的情况下，报知部52e将该情况报知给操作者等。
根据来自报知部52e的报知，例如操作者能够停止对对象的被加工物11的加工。因此，不会强行地对该被加工物11进行加工而使卡盘工作台14发生破损。另外，也可以是，控制单元52根据报知部52e的报知，停止切削装置2对被加工物11的加工。
与此相对，在判定为能够适当地进行卡盘工作台14相对于被加工物11的角度、位置的调整的情况下，即在判定为短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c重叠的情况下，接着进行被加工物搬出步骤，将被加工物11从卡盘工作台14搬出。图6的(b)是用于对被加工物搬出步骤等进行说明的示意图。
在被加工物搬出步骤中，首先关闭阀54，将吸引源56的负压断开。接着，利用第一搬送单元18对保持面14a上的被加工物11的正面11a侧进行保持，将该被加工物11从卡盘工作台14提起(搬出)。另外，在该被加工物搬出步骤中，只要能够将被加工物11从卡盘工作台14提起至至少不给卡盘工作台14的旋转和移动带来影响的程度即可。
在被加工物搬出步骤之后，进行调整步骤，对卡盘工作台14相对于被加工物11的角度和位置进行调整。在该调整步骤中，与在上述判定步骤中为了使长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠而设定的卡盘工作台14的旋转量一致地使卡盘工作台14旋转。
另外，与在上述判定步骤中为了使长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠而设定的卡盘工作台14的移动量一致地使卡盘工作台14在x轴方向上移动。另外，与在上述判定步骤中为了使长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠而设定的搬送单元18的移动量一致地使搬送单元18沿y轴方向移动。
另外，在上述判定步骤中，在旋转、移动后的短边侧刀具退刀槽14c与移动后的短边侧分割预定线13b在x轴方向上存在偏移的情况下，考虑该偏移量而使卡盘工作台14在x轴方向上移动。另外，在上述判定步骤中，在旋转、移动后的短边侧刀具退刀槽14c与移动后的短边侧分割预定线13b在y轴方向上存在偏移的情况下，考虑该偏移量而使搬送单元18沿y轴方向移动。
在调整步骤之后，进行被加工物重新搬入步骤，将被加工物11再次搬入至卡盘工作台14。图7的(a)是用于对被加工物重新搬入步骤进行说明的示意图。在该被加工物重新搬入步骤中，按照第一搬送单元18所保持的被加工物11的背面11b侧与保持面14a接触的方式将该被加工物11载置于(搬入至)卡盘工作台14。
第一搬送单元18被控制单元52控制，以便将被加工物11搬入至预先确定的位置，将被加工物11搬入至与上述的调整步骤中的调整(即搬送单元18沿y轴方向的移动量)对应的位置。
因此，当将被加工物11载置于卡盘工作台14时，长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b在俯视时重叠、短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c在俯视时重叠。在将被加工物11载置于卡盘工作台14之后，打开阀54，使吸引源56的负压作用于被加工物11。通过上述过程，本实施方式的卡盘工作台14的调整方法完成。
在本实施方式的被加工物11的加工方法中，接着上述的被加工物重新搬入步骤，进行对被加工物11进行加工(切削)的加工步骤(切削步骤)。图7的(b)是用于对加工步骤进行说明的示意图。在加工步骤中，例如使卡盘工作台14旋转，使任意的长边侧分割预定线13a的延伸的方向与切削装置2的x轴方向一致。
另外，使卡盘工作台14和切削单元20进行相对地移动，例如使切削刀具44的位置在任意的长边侧分割预定线13a的延长线上对齐。然后，将切削刀具44的下端移动至比被加工物11的背面11b低的位置。
然后，一边使切削刀具44旋转一边使卡盘工作台14在x轴方向上移动。由此，使切削刀具44沿着任意的长边侧分割预定线13a切入，从而能够将被加工物11切断。
在反复进行该动作而沿着所有的长边侧分割预定线13a将被加工物11切断、分割之后，使卡盘工作台14旋转，使任意的短边侧分割预定线13b的延伸的方向与切削装置2的x轴方向一致。
另外，使卡盘工作台14和切削单元20进行相对地移动，使切削刀具44的位置在任意的短边侧分割预定线13b的延长线上对齐。然后，使切削刀具44的下端移动至比被加工物11的背面11b低的位置。
然后，一边使切削刀具44旋转一边使卡盘工作台14在x轴方向上移动。由此，使切削刀具44沿着任意的短边侧分割预定线13b切入，从而能够将被加工物11切断。当反复进行该动作而沿着所有的短边侧分割预定线13b将被加工物11切断、分割时，加工步骤结束。
如上所述，本实施方式的切削装置(加工装置)2具有：判定部52d，其判定在按照长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠的方式对卡盘工作台14相对于被加工物11的角度、位置进行调整的情况下短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c是否重叠；以及报知部52e，其在判定部52d判定为短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c不重叠的情况下，将该情况报知给操作者。
即，在卡盘工作台14相对于被加工物11的角度、位置存在偏移时，重视由于对被加工物11进行切削而使切削刀具44切入至卡盘工作台14的保持面14a的可能性高的长边侧分割预定线13a和长边侧刀具退刀槽14b而对卡盘工作台14相对于被加工物11的角度、位置进行调整，而且在短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c不重叠的情况下，报知该情况，因此在该情况下不会强行地对被加工物11进行加工而使卡盘工作台14发生破损。
另外，本发明不限于上述实施方式的记载，可以进行各种变更并实施。例如在上述实施方式中，对利用切削刀具44对被加工物11进行切削的切削装置2进行说明，但本发明的加工装置也可以是利用激光束对被加工物11进行加工的激光加工装置等。
另外，在上述实施方式的判定步骤中，仅考虑长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b的关系，判定在长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b重叠的情况下短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c是否重叠，但对于长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b的重叠方法没有限制。
例如也可以考虑短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c的关系，对卡盘工作台14的旋转量、卡盘工作台14的移动量、被加工物11(第一搬送单元18)的移动量进行设定(计算)。具体而言，例如考虑根据相对于长边侧分割预定线13a的长度与短边侧分割预定线13b的长度之和的长边侧分割预定线13a的长度和短边侧分割预定线13b的长度，对卡盘工作台14的旋转量进行设定。
例如在长边侧分割预定线13a的长度为x、短边侧分割预定线13b的长度为y、长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b的角度偏移量为δθ1、短边侧分割预定线13b与短边侧刀具退刀槽14c的角度偏移量为δθ2的情况下，将δθ1·x/(x+y)+δθ2·y/(x+y)的值设定为卡盘工作台14的旋转量。
这样，根据长边侧分割预定线13a的长度与短边侧分割预定线13b的长度的比率，对卡盘工作台14的旋转量进行设定，从而短边侧分割预定线13b容易相对于旋转后的短边侧刀具退刀槽14c重叠。不过，在该情况下，长边侧分割预定线13a与长边侧刀具退刀槽14b也必须重叠。
除此之外，上述实施方式的构造、方法等只要不脱离本发明的目的的范围，则可以适当变更并实施。