一种软膜载具的制作方法

本实用新型涉及吸附载具领域，具体涉及一种软膜载具。

背景技术：

纳米压印技术领域会应用到软膜，软膜自身材质柔软又具备一定弹性，在使用软膜时，压印的压力容易造成软膜变形，影响压印结构精度和模版图形对准精度。所以软膜需要在放在硬质的载盘上，同时载盘还要对软膜起到稳固的固定作用。

技术实现要素：

本实用新型要解决的问题在于提供一种软膜载具，对软膜的底部边沿利用负压吸附固定，紧固效果好，作用力柔和，保证位置精度，便于软膜在进行作业与周转工序。

为解决上述问题，本实用新型提供一种软膜载具，为达到上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种软膜载具，包括：载盘，中部具备上下贯通的孔洞和横截面轮廓大于孔洞的侧立面，孔洞与侧立面之间垂直连接有台阶面，台阶面用于承载软膜；吸附孔，若干个吸附孔分布于台阶面上，吸附孔的底部与一根连通管连通；正负压气源，连接连通管，使吸附孔产生负压，将软膜吸附固定在台阶面上。

采用上述技术方案的有益效果是：正负压气源产生负压吸附力，对软膜的作用力比较温和，相比利用物理的夹持机构对软膜的直接接触，负压吸附对软膜的损伤少，软膜寿命加长。软膜沿着底部边沿一圈被牢牢固定，不会在移动过程中松脱。孔洞让出了软膜的大部分底平面，为后续的工序提供操作空间。侧立面限定了软膜水平方向上的移动自由度，确保软膜在周转过程中的位置精度。

作为本实用新型的进一步改进，侧立面的横断面轮廓为圆角矩形。

采用上述技术方案的有益效果是：圆角矩形的侧立面可以与软膜的边沿轮廓紧密贴合，确保软膜的位置精度。

作为本实用新型的更进一步改进，相邻吸附孔在台阶面上等间距分布。

采用上述技术方案的有益效果是：吸附孔以点连线，对软膜的底平面边沿起到密闭的吸附固定。

作为本实用新型的又进一步改进，连通管为闭环形状，且通过气嘴与正负压气源连接，气嘴为若干个，相邻气嘴之间的吸附孔数量相等。

采用上述技术方案的有益效果是：气嘴数量多保重众多的吸附孔的负压吸附力均一。

作为本实用新型的又进一步改进，连通管为闭环形状，且通过气嘴与正负压气源连接，气嘴为一个，且位于圆角矩形的一角。

采用上述技术方案的有益效果是：设在一角处的气嘴可以在当需要将软膜从载盘上剥离时的情况时，正负压气源产生正压，气嘴吹气，将软膜的一角吹翘起，方便人员拿取。共用一个气源，设备成本低。且由于吸附孔在吹气时气体一直是溢出的，所以远离一角处的其他吸附孔的正压出气力度锐减，确保只有软膜的一角翘起。

作为本实用新型的又进一步改进，吸附孔的长度方向与台阶面、侧立面的所在平面均呈角度设置，吸附孔与台阶面、侧立面均相交，台阶面的横断面轮廓尺寸大于软膜的平面尺寸。

采用上述技术方案的有益效果是：出于配合其他工序的需要，载盘中心有个大的孔洞，软膜会因为自重而在孔洞的位置有略微的下凹形变，但是斜向的吸附孔除了将软膜下表面牢牢吸附在台阶面上，吸附孔还具备水平方向的作用力，对软膜进行向四周方向的微量拉伸，将软膜吸附在侧立面上，对软膜实施一定的水平拉力，抵消软膜因自重而中心下沉的情况，给软膜一个预应力。

作为本实用新型的又进一步改进，台阶面上具备凹凸纹路，凹凸纹路的形状走势与侧立面的横断面轮廓为同心形状。

采用上述技术方案的有益效果是：凹凸纹路确保台阶面与软膜至少具备若干个闭环线接触，保证气密效果。

作为本实用新型的又进一步改进，吸附孔与台阶面的交界处设有弹性垫圈，弹性垫圈凸出于台阶面表面。

采用上述技术方案的有益效果是：弹性垫圈进一步提高软膜底平面的贴合程度，保证气密性，凸出台阶面表面的弹性垫圈注定会被挤压。

作为本实用新型的又进一步改进，弹性垫圈材质为硅胶。

采用上述技术方案的有益效果是：硅胶材质软度弹性适中，气密效果好。

作为本实用新型的又进一步改进，孔洞一端与台阶面相交，另一端与载盘相交的平面为载盘的底平面，吸附孔为贯穿台阶面、底平面的通孔，连通管位于载盘外部。

采用上述技术方案的有益效果是：连通管是载盘外部外接的，不是在载盘内部开凿形成的，连通管的加工难度降低，降低了载盘的制造成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一种实施方式的俯视图；

图2是本实用新型一种实施方式的全剖视图；

图3是本实用新型一种实施方式的断裂视图；

图4是本实用新型另一种实施方式的断裂视图；

图5是本实用新型另一种实施方式的俯视图；

图6是本实用新型另一种实施方式的俯视图；

图7是本实用新型另一种实施方式的局部俯视图；

图8是本实用新型另一种实施方式的断裂视图；

图9是本实用新型另一种实施方式的俯视图。

1-载盘；2-吸附孔；3-气嘴；4-软膜；5-台阶面；6-孔洞；7-吸气道；8-侧立面；9-弹性垫圈；10-连通管；11-凹凸纹路。

具体实施方式

下面结合具体实施例，对本实用新型的内容做进一步的详细说明：

为了达到本实用新型的目的，一种软膜载具，包括：载盘1，中部具备上下贯通的孔洞6和横截面轮廓大于孔洞6的侧立面8，孔洞6与侧立面8之间垂直连接有台阶面5，台阶面5用于承载软膜4；吸附孔2，若干个吸附孔2分布于台阶面5上，吸附孔2的底部与一根连通管10连通；正负压气源，连接连通管10，使吸附孔2产生负压，将软膜4吸附固定在台阶面5上。图7中虚线表示的是连通管10。

采用上述技术方案的有益效果是：正负压气源产生负压吸附力，对软膜的作用力比较温和，相比利用物理的夹持机构对软膜的直接接触，负压吸附对软膜的损伤少，软膜寿命加长。软膜沿着底部边沿一圈被牢牢固定，不会在移动过程中松脱。孔洞让出了软膜的大部分底平面，为后续的工序提供操作空间。侧立面限定了软膜水平方向上的移动自由度，确保软膜在周转过程中的位置精度。

在本实用新型的另一些实施方式中，侧立面8的横断面轮廓为圆角矩形。

采用上述技术方案的有益效果是：圆角矩形的侧立面可以与软膜的边沿轮廓紧密贴合，确保软膜的位置精度。

在本实用新型的另一些实施方式中，相邻吸附孔2在台阶面5上等间距分布。

吸附孔2实际数量为80个。

采用上述技术方案的有益效果是：吸附孔以点连线，对软膜的底平面边沿起到密闭的吸附固定。

在本实用新型的另一些实施方式中，连通管10为闭环形状，且通过气嘴3与正负压气源连接，气嘴3为若干个，相邻气嘴3之间的吸附孔2数量相等。如图1所示，气嘴3通过吸气道7与连通管10连接。

采用上述技术方案的有益效果是：气嘴数量多保重众多的吸附孔的负压吸附力均一。

在本实用新型的另一些实施方式中，连通管10为闭环形状，且通过气嘴3与正负压气源连接，气嘴3为一个，且位于圆角矩形的一角。

采用上述技术方案的有益效果是：设在一角处的气嘴可以在当需要将软膜从载盘上剥离时的情况时，正负压气源产生正压，气嘴吹气，将软膜的一角吹翘起，方便人员拿取。共用一个气源，设备成本低。且由于吸附孔在吹气时气体一直是溢出的，所以远离一角处的其他吸附孔的正压出气力度锐减，确保只有软膜的一角翘起。

在本实用新型的另一些实施方式中，如图4所示，吸附孔2的长度方向与台阶面5、侧立面8的所在平面均呈角度设置，吸附孔2与台阶面5、侧立面8均相交，台阶面5的横断面轮廓尺寸大于软膜4的平面尺寸。

采用上述技术方案的有益效果是：出于配合其他工序的需要，载盘中心有个大的孔洞，软膜会因为自重而在孔洞的位置有略微的下凹形变，但是斜向的吸附孔除了将软膜下表面牢牢吸附在台阶面上，吸附孔还具备水平方向的作用力，对软膜进行向四周方向的微量拉伸，将软膜吸附在侧立面上，对软膜实施一定的水平拉力，抵消软膜因自重而中心下沉的情况，给软膜一个预应力。

在本实用新型的另一些实施方式中，如图9所示，图9中隐藏了软膜4，台阶面5上具备凹凸纹路11，凹凸纹路11的形状走势与侧立面8的横断面轮廓为同心形状，均为形状渐小的同心矩形。凹凸纹路11有将吸附孔2包围在内的，也有吸附孔2全位于凹凸纹路11外的。

采用上述技术方案的有益效果是：凹凸纹路确保台阶面与软膜至少具备若干个闭环线接触，保证气密效果。

在本实用新型的另一些实施方式中，如图8所示，吸附孔2与台阶面5的交界处设有弹性垫圈9，弹性垫圈9凸出于台阶面5表面。

采用上述技术方案的有益效果是：弹性垫圈进一步提高软膜底平面的贴合程度，保证气密性，凸出台阶面表面的弹性垫圈注定会被挤压。

在本实用新型的另一些实施方式中，弹性垫圈9材质为硅胶。

采用上述技术方案的有益效果是：硅胶材质软度弹性适中，气密效果好。

在本实用新型的另一些实施方式中，如图8所示，孔洞6一端与台阶面5相交，另一端与载盘1相交的平面为载盘1的底平面，吸附孔2为贯穿台阶面5、底平面的通孔，连通管10位于载盘外部，即底平面的下方。

采用上述技术方案的有益效果是：连通管是载盘外部外接的，不是在载盘内部开凿形成的，连通管的加工难度降低，降低了载盘的制造成本。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。