技术总结
本实用新型公开了一种三轴机械手，包括X轴机构、Y轴机构、Z轴机构、升降气缸和工装夹具；所述Y轴机构通过X轴滑座固定在X轴机构上，Z轴机构通过Y轴滑座垂直固定在Y轴机构上；Z轴机构下设有升降气缸和工装夹具，工装夹具上安装有物料、防撞传感器；通过PLC控制系统内的电气控制系统控制三轴机械手的各个机构运作，当抓取过程中出现错误，物料、防撞传感器会发送信息给PLC控制系统内的电气控制系统，停止各机构运行，并发出警报。本实用新型通过在插片清洗设备内设置三个轴独立的驱动装置，并在Z轴上安装特定的工装夹具，抓取插片机内的硅片花篮，实现其在插片机与清洗设备之间的快速交换。
技术研发人员：胡宏锋
受保护的技术使用者：上海釜川自动化设备有限公司
技术研发日：2018.09.17
技术公布日：2019.04.30