一种紧固装置的制作方法

本实用新型涉及工程安装技术领域，尤其涉及一种紧固装置。

背景技术：

半导体行业中反应炉腔体内部需要较高温度以满足工艺要求，通常腔体内部使用灯管加热，灯管工作段位于腔体内部，灯管尾部伸出腔体连接电源，为保证腔体内部气体不泄露需将灯管伸出腔体的过孔密封，使用密封圈紧贴灯管，再使用压板压紧密封圈，而压板通过多个连接螺栓的拧紧来实现对密封圈的压紧操作。因灯管为易碎件，密封时，如果压板上的各连接螺栓预紧力不均，将造成压板的密封不严；如果压板上连接螺栓的预紧力过紧，则将造成灯管压伤。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种紧固装置，能够解决针对多个连接螺栓进行紧固时存在的受力不均匀的技术问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种紧固装置，包括齿圈和拧紧机构，所述齿圈的内侧设有内齿；所述拧紧机构包括连接架以及设置于所述齿圈内的至少两个齿轮，所述连接架分别与各所述齿轮的一端转动连接，各所述齿轮分别与所述齿圈的内齿相啮合，各所述齿轮的另一端设有连接孔，所述连接孔用于通过连接件连接被安装件。所述齿圈转动能够带动各所述齿轮同步旋转，进而使得与各齿轮的连接孔相配合的连接件实现同步紧固，从而保证各连接件所受的预紧力均匀一致。

进一步地，各所述齿轮分别通过轴承与所述连接架转动连接，所述齿轮与所述连接架相连接的一端开有安装孔，所述轴承外圈卡合于所述安装孔壁上，所述轴承的内圈通过固定连接件与所述连接架相连，使得所述连接架与所述齿轮之间装配更加方便，转动连接效果更好。

具体地，所述连接架设有连接管，所述连接管插入所述安装孔中且所述连接管底部抵靠在所述轴承上，所述固定连接件为固定螺栓，所述固定螺栓穿过所述轴承的内圈与所述连接管内壁螺纹连接，使得所述连接架与各所述齿轮之间装配更加便捷，连接更加稳定。

具体地，所述轴承的外圈套设有卡环，所述轴承通过所述卡环与所述安装孔壁卡合连接，便于实现所述轴承与所述齿轮的稳固安装。

进一步地，所述被安装件为压板，所述压板上安装有加热灯管；所述连接件为连接螺栓，各所述连接螺栓穿过所述压板连接于相对应的所述齿轮的连接孔内，便于通过连接螺栓对带有加热灯管的压板实现压紧安装。

具体地，各所述齿轮均匀布置在所述齿圈内，所述连接架与各相邻的所述齿轮依次相连，从而保证各所述齿轮在所述齿圈中转动时的稳定性，通过所述连接架将各齿轮连接为整体，实现各所述齿轮的同步转动。

具体地，所述连接架上设置有开口，便于加热灯管从开口处穿过。

具体地，所述连接孔为螺栓孔，所述螺栓孔为内六角孔，便于对连接螺栓进行紧固操作，而且紧固效果更好。

进一步地，所述齿圈为由至少两个齿段首尾相连组成的闭环结构，相邻的两个所述齿段之间通过可拆卸连接件相连，便于实现所述齿圈的可拆卸连接，进而方便将所述齿圈套装在安装件上。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有如下优点：

本实用新型提供的紧固装置，在齿圈中设置至少两个齿轮，通过连接架与各个齿轮进行转动连接，转动齿圈时，能够带动各齿轮同步旋转，进而使得与各齿轮相配合的连接件实现同步紧固，从而保证各连接件所受的预紧力均匀一致。

附图说明

图1是本实用新型实施例紧固装置的俯视三维图；

图2是本实用新型实施例紧固装置的仰视三维图；

图3是本实用新型实施例紧固装置的齿轮与连接架安装示意图；

图4是本实用新型实施例紧固装置的加热灯管安装后的第一轴测图；

图5是本实用新型实施例紧固装置的加热灯管安装后的第二轴测图。

图中：1：齿圈；101：齿段；2：齿轮；201：连接孔；3：连接架；301：第一连接段；302：第二连接段；303：第三连接段；4：轴承；5：卡环；6：连接管；7：固定连接件；8：压板；9：加热灯管；10：连接螺栓；11：可拆卸连接件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-5所示，本实用新型提供一种紧固装置，包括齿圈1和拧紧机构，齿圈1的内侧设有一圈内齿。

拧紧机构包括连接架3以及设置于齿圈1内的至少两个齿轮2。连接架3分别与各齿轮2的一端转动连接，通过连接架3的连接能够使各齿轮2形成一个整体，从而保证各齿轮2转动的同步性。各齿轮2分别与齿圈1的内齿相啮合，齿圈1转动时能够带动各齿轮2随之转动。各齿轮2的另一端设有连接孔201，连接孔201用于通过连接件连接被安装件。当转动齿圈1时，能够带动各齿轮2同步旋转，进而使得与各齿轮2相配合的连接件实现同步紧固，从而保证各连接件所受的预紧力均匀一致。

具体地，齿圈1的外壁横截面呈多边形，便于通过扳手来转动齿圈1。齿圈1的外壁横截面可以根据实际需求设置为三角形、四边形、五边形、六边形等。在本实施例中，齿圈1的外壁横截面采用了正六边形，操作更加便捷。

具体地，齿圈1中设置的齿轮2的数量可以根据实际情况具体设置，例如可以设置两个、三个、四个、甚至四个以上的多个，在本实施例中，齿圈1中设有四个齿轮2。

具体地，各齿轮2均匀布置在齿圈1中，从而保证各齿轮2在齿圈1中转动时的稳定性。

具体地，连接孔201为螺栓孔，连接件为连接螺栓10，各连接孔201分别与各连接螺栓10配合连接，通过连接螺栓10与连接孔201之间的配合安装，实现被安装件与各齿轮2之间的压紧安装。

本实用新型所述的紧固装置，通过扳手转动齿圈1时，齿圈1的转动将带动与齿圈1啮合的各齿轮2同步转动，而各齿轮2的转动能够使与齿轮2对应配合的连接螺栓10拧紧，在此过程中，与各齿轮2相配合的连接螺栓10能够实现同步拧紧，从而保证各连接螺栓10所受的预紧力均匀一致，而且能够通过控制齿圈1的旋转圈数来保证各连接螺栓10的拧紧程度。

更具体来说，螺栓孔可以采用内六角孔，用于与连接螺栓10的六角形螺栓头相适配，通过齿轮2的转动来带动连接螺栓10旋转，进而实现对连接螺栓10的拧紧操作。当然，螺栓孔的形状可以根据所选用的连接螺栓10的具体形状结构而任意设置，例如可以采用三角形、四边形、五边形等。

在本实施例中，被安装件为压板8，压板8上安装有加热灯管9。压板8与各齿轮2分别通过连接螺栓10进行连接，各连接螺栓10穿过压板8连接于相对应的齿轮2的螺栓孔内。当转动齿圈1时，能够带动与齿圈1啮合的各齿轮2同步转动，使与齿轮2对应配合的连接螺栓10实现拧紧，从而实现对压板8的压紧固定，进而实现对加热灯管9的安装固定。在此过程中，由于各齿轮2同步转动，使得各连接螺栓10所受的预紧力均匀一致，从而保证压板8受力均匀，从而有效避免由于压板8受力不均匀而对加热灯管9造成的损坏。此外，由于压板8受力均匀，当通过压板8实现对密封圈的压紧密封时，由于密封圈用于对加热灯管9伸出反应腔室的过孔进行密封，因此密封圈受到的密封压紧力均匀一致，进而保证对反应腔室的密封效果。

具体来说，连接架3与各相邻的齿轮2依次相连，从而通过连接架3将各齿轮2连接为一整体，实现各齿轮2的同步转动。由于安装时，加热灯管9需要分别穿过压板8和齿圈1，因此为了便于将带有加热灯管9的压板8与各齿轮2进行连接，连接架3不采用闭环结构，而是需要设置一个开口，便于加热灯管9从开口处穿过。

具体来说，连接架3可以根据实际需要采用U形结构、L形结构或圆弧形结构。例如当齿圈1中设有两个齿轮2时，用于连接各齿轮2的连接架3可以采用圆弧形结构。当齿圈1中设有三个齿轮2时，用于连接各齿轮2的连接架3可以采用L形结构。

在本实施例中，连接架3由第一连接段301、第二连接段302和第三连接段303组成，第一连接段301、第二连接段302和第三连接段303依次连接形成U形结构。第一连接段301用于连接齿圈1中相邻的第一个齿轮2A和第二个齿轮2B，第二连接段302用于连接齿圈1中相邻的第二个齿轮2B和第三个齿轮2C，第三连接段303用于连接齿圈1中相邻的第三个齿轮2C和第四个齿轮2D，而相邻的第一个2A与第四个齿轮2D之间形成缺口，便于压板8上安装的加热灯管9穿过。

进一步来说，齿圈1为由至少两个齿段首尾相连组成的闭环结构。也即，齿圈1由至少两个齿段通过可拆卸的方式连接而成，组成齿圈1的齿段数量可以根据实际需求而设置。

在本实施例中，齿圈1由两个齿段101组成，两个齿段101首尾相连组成闭环结构，从而便于将齿圈1套装在压板8上安装的加热灯管9外部。

具体来说，相邻的两个齿段101之间通过可拆卸连接件11相连，可拆卸连接件11可以采用螺栓、螺钉、销钉等。

更进一步来说，连接架3与各齿轮2之间分别通过转动连接件相连，从而使各齿轮2能够相对于连接架3进行转动。其中，转动连接件可以采用轴承、转轴或销轴等。

在本实施例中，转动连接件采用轴承4，齿轮2与连接架3相连接的一端开有安装孔，轴承4外圈卡合于安装孔壁上，轴承4的内圈通过固定连接件与连接架3相连。其中，固定连接件7可以根据实际需求采用螺栓、螺钉、销钉等。

具体来说，连接架3上设有连接管6，连接管6的内壁设有连接螺纹，连接管6插入安装孔中，并且连接管6底部抵靠在轴承4上。

在本实施例中，固定连接件7采用固定螺栓，固定螺栓穿过轴承4的内圈与连接管6内壁螺纹连接。通过设置连接管6，便于实现连接架3与齿轮2之间的安装连接。

具体来说，轴承4的外圈套设有卡环5，轴承4通过卡环5与安装孔壁卡合连接，便于实现轴承4与齿轮2的稳固安装。

在使用时，先通过连接架3将各齿轮2进行连接，然后将压板8上的加热灯管9装入由各齿轮2围成的圆环中，并使压板8上的各连接螺栓10与各齿轮2的螺栓孔相对应。之后将齿圈1的各齿段101套设在各齿轮2外部，使齿圈1内齿与各齿轮2啮合，然后将各齿段101进行首尾连接。然后通过扳手转动齿圈1时，齿圈1的转动将带动与齿圈1啮合的各齿轮2同步转动，而各齿轮2的转动能够使与齿轮2对应配合的各连接螺栓10同步拧紧，从而实现对压板8的压紧固定，进而实现对加热灯管9的安装固定。再此过程中，由于各连接螺栓10所受的预紧力均匀一致，从而使得压板8受力均匀，从而有效避免由于压板8受力不均匀而对加热灯管9造成的损坏。而且能够通过控制齿圈1的旋转圈数来保证各连接螺栓10的拧紧程度，从而提高了拧紧操作精度。通过本实用新型所述的紧固装置进行拧紧操作，可重复性强，可以有效防止灯管损坏，避免易碎件损坏后的经济损失。

综上所述，本实用新型实施例所述的紧固装置，通过齿圈转动带动各齿轮同步旋转，能够使与各齿轮相配合的连接件实现同步紧固，从而保证各连接件所受的预紧力均匀一致。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“若干”的含义是一个或多个；“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。