专利名称：具有循环泵的流体喷射组件的制作方法
具有循环泵的流体喷射组件
背景技术：
喷墨打印机中的流体喷射装置提供流体滴按需滴落喷射。一般而言，喷墨打印头通过经由多个喷嘴将墨液滴喷射到打印介质(诸如一张纸)上来打印图像。喷嘴通常被布置为一个或多个阵列，以便当打印头和打印介质相对彼此移动时来自喷嘴的适当顺序喷射使得在打印介质上打印字符或其它图像。在具体例子中，热喷墨打印头通过使电流通过加热元件以产生热量并使激发腔中的一小部分流体蒸发进而从喷嘴喷射滴。在另一例子中，压电式喷墨打印头使用压电材料执行器来产生迫使流体滴排出到喷嘴之外的压力脉冲。尽管喷墨打印机以合理的成本提供了高的打印质量，但是持续的进步依赖于克服研发中的各种挑战。例如，空气气泡是喷墨打印头中一直存在的问题。在打印期间，来自墨液的空气被释放并形成气泡，这些气泡从激发腔迁移到打印头中的其它位置并导致诸如阻滞墨液流动、降低打印质量、导致一定程度上满的打印墨盒显示已空及墨液泄漏的问题。此夕卜，当使用基于颜料的墨液时，颜料-墨液载体分离(PIVS)仍是一个问题。基于颜料的墨液在喷墨打印中是优选的，因为它们倾向于比基于染料的墨液更加稳定和持久。然而，在存储或不使用期间，颜料颗粒会沉淀或破坏墨液载体(即PIVS)，这会妨碍或完全阻碍墨液流向打印头中的激发腔和喷嘴。其它因素，诸如水(对于含水墨液)和溶剂(对于不含水墨液)的蒸发，也有助于PIVS和/或增加墨液粘度和粘性阻塞物的形成，这些会妨碍一段时间不使用之后的即时打印。
出于示例的目的，现参照附图来描述本发明的实施例，附图中
图1示出了根据一个实施例的、适于合并流体喷射组件的喷墨笔的例子；
图2A示出了根据一个实施例的流体喷射组件的横截面视图和俯视图2B示出了根据一个实施例的、在滴喷射事件期间的流体喷射组件的横截面视 图3示出了根据一个实施例的流体喷射组件的横截面视图和俯视图，所述流体喷射组件具有邻近喷射元件任一侧的两个流体馈送孔和邻近泵送元件远侧的一个流体馈送孔；
图4示出了根据一个实施例的流体喷射组件的横截面视图和俯视图，所述流体喷射组件具有邻近喷射元件任一侧的两个流体馈送孔和邻近泵送元件近侧的一个流体馈送孔；
图5示出了根据一个实施例的流体喷射组件的横截面视图和俯视图，所述流体喷射组件具有两个流体馈送孔，一个邻近泵送元件，一个邻近喷射元件，并且两者处于流体通道的相对末端；
图6示出了根据一个实施例的流体喷射组件的横截面视图和俯视图，所述流体喷射组件具有两个流体馈送孔，一个邻近泵送元件，一个邻近喷射元件，并且两者都朝向流体通道的中心；
图7示出了根据一个实施例的流体喷射组件的横截面视图和俯视图，所述流体喷射组件具有三个流体馈送孔，两个邻近泵送元件，一个在流体通道的远侧处邻近喷射元件；
图8示出了根据一个实施例的流体喷射组件的横截面视图和俯视图，所述流体喷射组件具有三个流体馈送孔，两个邻近泵送元件，一个朝向流体通道中心邻近喷射元件；
图9示出了根据一个实施例的流体喷射组件的俯视图，所述流体喷射组件具有与喷射元件配对的泵送元件和相对于该组件的长度正交定向的流体通道；
图10示出了根据一个实施例的流体喷射组件的俯视图，所述流体喷射组件具有与喷射元件配对的泵送元件和相对于该组件的长度纵向地定向的流体通道；
图11示出了根据一个实施例的流体喷射组件的俯视图，所述流体喷射组件具有与喷射元件配对的泵送元件和u形流体通道；
图12示出了根据一个实施例的流体喷射组件的俯视图，所述流体喷射组件具有与喷射元件配对的泵送元件和相对于流体喷射组件的长度对角地定向的流体通道；
图13示出了根据一个实施例的具有配对的滴产生器的流体喷射组件的俯视图，该液体产生器具有不平衡的循环通道；
图14示出了根据一个实施例的流体喷射组件的俯视图，所述流体喷射组件具有经由循环通道在多个周围滴产生器之间共享的泵送元件；
图15示出了根据本公开的一个实施例的基本流体喷射装置的方框图。
具体实施例方式问题和方案概述
如上所述，在喷墨打印系统的研发中仍需要克服各种挑战。例如，在这类系统中使用的喷墨打印头一直存在墨液受阻和/或堵塞的问题。先前解决此问题的方案主要涉及在使用打印头之前和之后对打印头进行维护。例如，在不使用期间通常要盖上打印头以防止喷嘴被变干的墨液堵塞。在使用它们之前，还要通过使喷嘴喷出墨液来准备好喷嘴。这些方案的缺点包括由于维护时间而不能立即进行打印的能力，以及由于维护期间消耗大量墨液而导致的总拥有成本的增加。因此，喷墨打印系统中的墨液受阻和/或堵塞仍是一个基本问题，它会降低整体打印质量并且增加成本。导致打印头中墨液受阻或堵塞的原因有许多。墨液受阻的一个原因是打印头中作为空气气泡积累的过量空气。当墨液暴露于空气时，诸如当墨液被存储于墨液储液器中时，额外的空气溶解入墨液中。随后从打印头的激发腔激发墨液滴的动作从所述墨液释放过量空气，然后过量空气作为空气气泡积累。所述气泡从激发腔移动到打印头的其它区域，它们在该处会阻碍墨液流动到打印头中或在打印头中的流动。基于颜料的墨液也会导致打印头中的墨液受:阻或堵塞。喷墨打印系统使用基于颜料的墨液和基于染料的墨液，尽管这两种墨液都存在优点和缺点，但是通常更优选基于颜料的墨液。在基于染料的墨液中，染料颗粒溶解在液体中，从而使得墨液倾向于浸透入纸中更深。这使得基于染料的墨液较低效并且由于墨液在图像边缘渗出而会降低图像质量。与之相反，基于颜料的墨液由墨液载体和高浓度的不可溶颜料颗粒组成，所述颜料颗粒涂覆有使得所述颗粒可保持悬浮在墨液载体中的分散剂。这帮助颜料墨液更多地停留在纸的表面而不是浸透到纸中。因此，颜料墨液比染料墨液更加有效，因为需要较少的墨液来在打印图案中产生相同的颜色强度。由于相比染料墨液，它们在遇水时不易被弄脏，因此颜料墨液还倾向于比染料墨液更加稳定和持久。然而，基于颜料的墨液的一个缺点是在运输和长期存储之后会在喷墨打印头中发生墨液受阻，导致喷墨笔的即用性能差。喷墨笔具有固定在其一端的打印头，所述打印头内部地耦接到墨液供应源。墨液供应源可以整装(self-contained)在笔主体中或可以处于所述笔之外的打印机上并通过笔主体耦接到打印头。经过长时间的储存，对大颜料颗粒的重力作用和/或分散剂的劣化会导致颜料沉淀或坠沉，这被称作PIVS (颜料-墨液载体分离)。颜料颗粒的沉淀或坠沉会妨碍或完全阻碍墨液流到打印头的激发腔和喷嘴中，这会导致打印头的即用性能差并降低图像质量。其它因素，诸如从墨液中蒸发水和溶剂，也有助于PIVS和/或增加墨液粘度和粘性阻塞物的形成，这会妨碍不使用一段之间之后的即时打印。本公开的实施例主要通过利用具有流体循环泵的流体喷射组件帮助克服喷墨打印头中的墨液受阻或堵塞问题。所述泵形成在下层衬底中流体槽上方的膜上，并且沿流体通道的长度(即朝向通道的一端)不对称地被放置，以便产生定向流体流动(即，流体的流向性,f luidic diodicity)。在不操作流体喷射组件的闲置时间内，泵使流体水平地循环通过流体通道和激发腔(即，在泵和激发腔的平面中)。泵还同时使流体竖直地循环通过形成在通道和流体槽之间的流体馈送孔。在流体喷射组件的正常操作期间，激发腔中的流体喷射元件通过喷嘴喷射流体滴。流体喷射元件的所述动作还产生使流体水平循环通过通道并在通道和流体狭槽之间竖直地循环的泵送动作。在流体喷射组件的空闲时间和启动操作期间的流体循环帮助防止喷墨打印头中的墨液受阻或堵塞。在一个示例性实施例中，流体喷射组件包括形成在第一衬底中的流体槽。所述第一衬底的顶表面附接到膜或第二衬底的底表面。通道形成在布置于第二衬底顶上的腔室层中，并且流体馈送孔形成为穿过所述流体槽和所述通道之间的第二衬底。流体喷射元件被定位成接近通道的第一端，并且泵送元件被定位成接近通道的第二端，以使流体水平地循环通过所述通道并且竖直地循环通过所述流体馈送孔。在另一不例性实施例中，一种流体喷射组件包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底的顶表面结合到所述第二衬底的底表面。流体槽形成在所述第一衬底中，并且具有形成在其中的通道的腔室层布置在第二衬底的顶表面上。形成为穿过所述第二衬底的流体馈送孔提供流体槽和通道之间的流体连通。喷射元件和泵送元件布置在所述通道中，以提供通过所述泵送元件和所述喷射元件之间的通道的水平流体循环和通过所述通道和流体槽之间的流体馈送孔的竖直流体循环。在另一示例性实施例中，一种在流体喷射组件中循环流体的方法包括水平地泵送流体使其通过泵送元件和喷射元件之间的流体通道；以及在所述流体通道和流体槽之间竖直地泵送流体使其通过在所述流体通道和所述流体槽之间延伸的流体馈送孔。示例性实施例
图1示出了根据一个实施例的、适于合并本文所公开的流体喷射组件102的喷墨笔100的例子。在此实施例中，流体喷射组件102被公开为流体滴喷出打印头102。喷墨笔100包括笔墨盒主体104、打印头(流体喷射组件)102和电接触件106。通过接触件106处提供的电信号激励流体喷射组件102中的各独立流体滴产生器222 (例如见图2)，以从选定的喷嘴108喷射流体滴。也可以通过接触件106处提供的电信号激励流体喷射组件102中各独立的泵送元件224 (例如见图2)，以在组件102中循环流体。所述流体可以是打印过程中使用的任意合适流体，诸如各种可打印流体、墨液、预处理混合物、定影剂等。在一些实施例中，所述流体可以是除打印流体之外的流体。笔100可以在墨盒主体104中包含它自己的流体供应源，或者它可以从外部供应源(未示出，诸如例如通过管连接到笔100的储液器)接收流体。包含它们自己的流体供应源的笔100通常在流体供应源耗尽之后即可被丢弃。图2A示出了根据本公开一个实施例的流体喷射组件102 (打印头102)的横截面视图和俯视图。流体喷射组件102包括第一衬底200，第一衬底200中形成有流体槽202。该狭长的流体槽202延伸到图2A的平面中并且与流体供应源(未示出，诸如流体储液器)流体连通。流体槽202是形成在第一衬底200中的沟槽，因此槽202的侧壁206由衬底200形成。流体槽202的上壁208由覆盖在上面的第二衬底或膜210的部分底表面形成。第二衬底210通过其底表面208的剩余部分附接到第一衬底200的顶表面212。在本领域技术人员公知的标准微制造工艺(例如，电铸、激光烧蚀、各向异性蚀刻、溅射、干法蚀刻、光刻、铸造、模塑、冲压和机械加工)中利用SOI (绝缘体上的硅)晶片形成第一衬底200和第二衬底210。SOI衬底中的二氧化硅(SiO2)层214提供了在形成诸如流体槽202的特征的同时实现了制造期间精确的蚀刻深度的机制。位于第二衬底210之上的腔室层216包括形成在层216中的流体通道218。流体馈送孔220 (220A和220B)延伸穿过第二衬底210 (其形成了流体槽202的顶208)并且提供了流体槽202和流体通道218之间的流体流通。流体通道218包括朝向通道218 —端布置的滴产生器222和朝向通道218另一端布置的流体泵送元件224。滴产生器210包括形成在喷嘴板228 (或上盖层)中的喷嘴226、激发腔230和布置在激发腔230中的喷射或激发元件232。激发腔230是流体通道218的延伸，是其一部分。可以独立地规定激发腔230和流体通道218的宽度以优化流体喷射和泵送。喷射元件232可以是能够操作以通过相应的喷嘴226喷射流体滴的任意装置，诸如，热电阻器或压电执行器。在所示实施例中，喷射元件232是由施加在第二衬底210之上的薄膜叠层形成的热电阻器。所述薄膜叠层通常包括氧化物层、限定喷射元件232的金属层、导电迹线和保护层(未独立示出)。流体泵送元件224也被布置在第二衬底210的顶表面上。泵送元件224可以是能够操作以如本文所讨论的在流体中产生运动和产生流体循环的任意装置(诸如热电阻器)。尽管将泵送元件224作为热电阻器元件来讨论，但是在其它实施例中它可以是适于被配置在流体喷射组件102的通道218中的各种泵送元件中的任意一种。例如，在不同实施例中，流体泵送元件224可以被实现为压电执行器泵、静电泵、电液压泵或蠕动泵。在所示实施例中，与喷射元件232相同，泵送元件224是由施加在第二衬底210之上的薄膜叠层形成的热电阻器。在流体泵224是热电阻器的实施例中，通过用电流激励泵送元件224 (即热电阻器)来实现流体泵送动作。所述电流使得电阻式泵送元件224快速加热，继而过热和蒸发与泵送元件224接触的流体薄层。膨胀的蒸汽气泡迫使流体在通道218中沿两个方向远离泵224。然而，如下面所讨论的，泵224相对于通道218的长度或中心的不对称放置导致流体具有朝向通道218长侧的净流量。可以稍微改变流体泵送元件224在流体通道218中的精确位置，但是在任何情形中都将相对于流体通道218的长度中心点不对称地放置流体泵送元件224。例如，假设图2A中流体通道218的长度是从图2A的较左侧处示出的流体馈送孔220B延伸到图2A的较右侧处的流体馈送孔220A，则通道218的近似中心位于这些较左和较右的流体馈送孔之间的中途或中间(midway)。因此，流体泵送元件224朝向通道218较右侧处的流体馈送孔220A相对于通道218的中心不对称地被放置。流体泵送元件224的不对称位置产生了在泵224和流体槽202之间的通道218的短侧，以及朝向通道218的中心和滴产生器222延伸的通道218的长侧。流体通道218中的流体泵送元件224的不对称位置是流体单向流(即流体的流向性)的基础。图2A中的灰色箭头图示了通过泵送元件224的泵送动作产生的流体流动和流体循环的大体方向。泵224朝向通道218短侧的不对称放置导致了沿朝向通道218的中心或长侧(即朝向滴产生器222)方向的净流体流量。如灰色方向箭头234大体示出的，泵送元件224通过流体馈送孔220A将流体从流体槽202竖直向上地循环到通道218中。然后流体朝向滴产生器222被水平地(即在泵224和喷射元件232/激发腔230的平面中)泵送通过通道218，之后沿竖直方向通过流体馈送孔220B返回流体槽202。图2B示出了根据本公开一个实施例的、在液体喷射事件期间流体喷射组件102的横截面视图。在流体喷射组件的正常操作期间，通过启动相应的喷射元件232经由相应的喷嘴226从腔230喷射流体滴236。然后，腔230再次填充有从流体槽202通过流体馈送孔220B竖直向上循环的流体，以准备喷射另一流体滴。更具体地，穿过热电阻器喷射元件232的电流使得加热元件232快速被加热，并且过热与元件232相邻的流体薄层。过热的流体蒸发，在相应的激发腔230中产生蒸汽气泡，并且快速膨胀的气泡迫使流体滴236排出相应的喷嘴226之外。当喷射元件232冷却时，蒸汽气泡迅速崩溃，通过流体馈送孔220B将更多流体竖直向上吸引到激发腔230中，以准备从喷嘴226喷射另一滴。因此，在正常的滴喷射事件中，显然的是，喷射元件232具有通过喷嘴226喷射流体滴以及在流体喷射组件102中循环流体的双重能力。图2B中的灰色箭头图示了在滴喷射事件期间由喷射元件232的泵送动作产生的流体流动和流体循环的大体方向。首先，当快速膨胀的气泡迫使流体滴236排出喷嘴226之外时，通道218中的流体朝向通道218的中心或长侧远离滴产生器222以与上述泵送元件224类似的方式、但沿不同方向水平地循环。当蒸汽气泡崩溃时，流体通过流体馈送孔220B竖直向上循环到腔230和通道218中，以再次填充喷射流体滴236所留下的空间。因此，在流体滴喷射期间，喷射元件232也用作泵送元件，其以与泵送元件224大致相同的方式在流体喷射组件102中沿竖直和水平方向两者循环流体。如上所示，独立地规定激发腔230和流体通道218的尺寸以优化流体的喷射和泵送这两者。图3至14示出了根据本公开实施例的流体喷射组件102的不同视图，在这些视图中，流体通道218、在流体槽202和通道218及泵送元件224和喷射元件232之间延伸的流体馈送孔220的结构和/或布局存在变化。例如，图3示出了根据本公开一个实施例的流体喷射组件102的横截面视图和俯视图，该流体喷射组件具有与图2实施例中相同的、邻近喷射元件232任意一侧的两个流体馈送孔220B和邻近泵送元件224远侧的仅仅一个流体馈送孔220A。如灰色方向箭头234所示，图3实施例中的泵送元件224的泵送动作通过单个流体馈送孔220A将流体从流体槽202竖直向上循环到通道218中，并且朝向通道的中心或长侧(即朝向滴产生器222)水平地循环通过通道218。尽管未示出，但是在正常的滴喷射事件期间，喷射元件232具有通过喷嘴226喷射流体滴以及在流体喷射组件102中循环流体的双重能力。如图2的实施例中所示，喷射元件232循环通道218中的流体，使其朝向通道的中心或长侧水平地远离滴产生器222，然后竖直向上地通过馈送孔220B进入腔230和通道218中，以再次填充当喷射元件232冷却和蒸发气泡缩小时喷射流体滴236所留下的空间。图4示出了根据本公开一个实施例的流体喷射组件102的横截面视图和俯视图，所述流体喷射组件102具有邻近喷射元件232任一侧的两个流体馈送孔220B和邻近泵送元件224近侧的仅仅一个流体馈送孔220A。如灰色方向箭头234所示，图4实施例中的泵送元件224的泵送动作通过单个流体馈送孔220A将流体从流体槽202竖直向上循环到通道218中，并且朝向通道的中心或长侧(即朝向滴产生器222)水平地循环通过通道218。同样，在正常的滴喷射事件期间，喷射元件232通过喷嘴226喷射流体滴并且在流体喷射组件102中循环流体。喷射元件232循环通道218中的流体，使其朝向通道的中心或长侧水平地远离液滴产生器222，然后竖直向上地通过馈送孔220B进入腔230和通道218中，以再次填充喷射流体滴236所留下的空间。图5至8示出了根据本公开实施例的流体喷射组件102中的流体通道218、流体馈送孔、泵送元件224和喷射元件232以及通过各个泵送元件224产生的流体循环的大体方向的额外例子的配置。在图5的实施例中，流体喷射组件102具有两个流体馈送孔220A和220B，一个邻近泵送元件224且在通道218的较右侧，另一个邻近喷射元件232且在通道218的较左侧。在图6的实施例中，流体喷射组件102也具有两个流体馈送孔220A和220B。一个流体馈送孔220A邻近泵送元件224，另一个流体馈送孔220B邻近喷射元件232，并且两个馈送孔都在泵送元件224和喷射元件232之间朝向通道218的中心。在图7和图8的实施例中，流体喷射组件102具有三个流体馈送孔220，其中两个流体馈送孔220A邻近泵送元件224任一侧。在图7中，第三流体馈送孔220B在通道218较左侧处邻近喷射元件232，在图8中，第三流体馈送孔220B朝向通道218的中心邻近喷射元件232。图9和10示出了根据本公开实施例的流体喷射组件102的俯视图，其中，在流体通道218中泵送元件224与喷射组件232配对。在图9的实施例中，流体通道218的长度与流体喷射组件102和下面的流体槽202 (未示出)的长度正交地定向。在图10的实施例中，流体通道218的长度被定向为使得它们与流体喷射组件102和下面的流体槽202(未示出)的长度相对应。在两种情形中，泵送元件224和喷射元件232在每个流体通道218中的不对称放置使得流体在泵送元件224和喷射元件232之间往复循环，并且通过流体馈送孔220进入下面的流体槽202和从中流出。例如，在图9的实施例中，泵送元件224从下面的流体槽202通过流体馈送孔220A竖直向上(即在平面之外)循环流体，然后流体从泵送元件224水平通过流体通道218循环到喷射元件232 (即在泵送元件224、喷射元件232等的平面中)，并且通过流体馈送孔220B竖直向下(即到所述平面中)返回流体槽202。当启动喷射元件232以喷射流体滴时，喷射元件232的泵送作用使得流体主要沿相反方向循环。流体以与图10的实施例中相似的方式循环。图11和12根据本公开实施例的流体喷射组件102的俯视图，其中，在具有不同形状的流体通道218中泵送元件224和喷射元件232配对。在图11的实施例中，流体通道218是u形形状，并且泵送元件224和流体馈送孔220A在“u”的一侧上，喷射元件232和流体馈送孔220B在“u”的另一侧上。泵送元件224从下面的流体槽202通过流体馈送孔220A竖直向上(即在平面之外)循环流体，然后流体从泵送元件224水平通过u形流体通道218循环到喷射元件232 (即在泵送元件224、喷射元件232等的平面中)，并且通过流体馈送孔220B竖直向下(即到所述平面中)返回流体槽202。当启动喷射元件232以喷射流体滴时，喷射元件232的泵送作用使得流体主要沿相反方向循环。图12的实施例具有相对于流体喷射组件102和下面的流体喷射槽202的长度对角地定向的流体通道218。图12中的流体循环与图11的实施例相似。图13示出了根据本公开一个实施例的流体喷射组件102的俯视图，该流体喷射组件102具有配对的滴产生器222和不平衡的循环通道218。如前述实施例中的一样，流体通道218中的流体泵送元件224的不对称放置是流体单向流动(即流体的流向性)的基础。泵送元件224朝向通道218 —端的不对称放置导致朝向通道218长侧的流体净流量。因此，在图13的实施例中，操作泵送元件224以在通道218中从左到右水平地循环流体(即在泵224、喷射元件232等的平面中)，然后流体通过在通道218右侧的流体馈送孔220竖直向上(即在所述平面之外)循环并通过在通道218左侧的流体馈送孔220竖直向下(即进入所述平面中)循环。图14示出了根据本公开一个实施例的流体喷射组件102的俯视图，所述流体喷射组件102具有经由循环通道218在多个周围滴产生器222之间共享的泵送元件。泵送元件224在四个滴产生器222之间的中心位置使得流体通过邻近泵224的流体馈送孔220竖直向上(即在所述平面之外)循环，水平地通过通道218到达每个滴产生器222 (S卩，在泵224、喷射元件232等的平面内)，并且竖直向下(即，进入所述平面中)通过喷射元件232任一侧的流体馈送孔220。图15示出了根据本公开一个实施例的基本流体喷射装置的方框图。流体喷射装置1500包括电子控制器1502和流体喷射组件102。流体喷射组件102可以是本发明描述的、图示的和/或预期的流体喷射组件102中的任意实施例。电子控制器1502通常包括处理器、固件和用于与流体喷射组件102通信并控制流体喷射组件102以精确方式喷射流体滴的其它电子元件。在一个实施例中，流体喷射装置1500可以是喷墨打印装置。就此而言，流体喷射装置1500还可以包括向流体喷射组件102供应流体的流体/墨液供应源和组件1504，提供接收所喷射的流体滴图案的介质的介质传输组件1506，以及电源1508。一般而言，电子控制器1502从主系统(诸如计算机)接收数据1510。 数据1510代表例如待打印的文档和/或文件并且形成打印任务，该打印任务包括一个或多个打印任务指令和/或指令参数。根据所述数据1510，电子控制器1002限定了喷射的滴的图案，该图案形成了字符、符号和/或其它图形或图像。
权利要求
1.一种流体喷射组件，包括形成在第一衬底中的流体槽；通道，其形成在布置于第二衬底顶上的腔室层中，其中，所述第二衬底的底表面附接到所述第一衬底的顶表面；形成在所述流体槽和所述通道之间的流体馈送孔；在所述通道的第一端处的流体喷射元件；以及在所述通道的第二端处的泵送元件，以使流体水平地循环通过所述通道并且竖直地循环通过所述流体馈送孔。
2.根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述流体馈送孔包括邻近所述流体喷射元件的第一流体馈送孔；以及邻近所述泵送元件的第二流体馈送孔。
3.根据权利要求2所述的流体喷射组件，其中，所述第一流体馈送孔处于所述流体喷射元件和所述通道的第一端之间。
4.根据权利要求2所述的流体喷射组件，其中，所述第二流体馈送孔在所述泵送元件和所述通道的第二端之间。
5.根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述流体馈送孔包括邻近所述流体喷射元件以及处于所述流体喷射元件任一侧上的第一流体馈送孔和第二流体馈送孔；以及邻近所述泵送元件的第三馈送孔。
6.根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述流体馈送孔包括邻近所述泵送元件以及处于所述泵送元件任一侧上的第一流体馈送孔和第二流体馈送孔；以及邻近所述流体喷射元件的第三馈送孔。
7.根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述流体馈送孔包括邻近所述流体喷射元件以及处于所述流体喷射元件任一侧上的第一流体馈送孔和第二流体馈送孔；以及邻近所述泵送元件以及处于所述泵送元件任一侧上的第三馈送孔和第四馈送孔。
8.根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述通道是u形的。
9.根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述通道相对于所述流体槽的长度对角地定向。
10.一种流体喷射组件，包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底的顶表面结合到所述第二衬底的底表面；形成在所述第一衬底中的流体槽；腔室层，其具有被布置在所述第二衬底的顶表面上的通道；流体馈送孔，其被形成为穿过所述第二衬底，以提供所述流体槽和所述通道之间的流体连通；布置在所述通道中的喷射元件；以及布置在所述通道中的泵送元件，以提供通过所述泵送元件和所述喷射元件之间的所述通道的水平流体循环以及通过所述通道和流体槽之间的所述流体馈送孔的竖直流体循环。
11.根据权利要求10所述的流体喷射组件，其中，所述通道包括在第一端处相交的多个通道，并且其中，所述泵送元件被布置在所述通道的交叉点处，并且喷射元件被布置在每个通道的第二端处，所述泵送元件提供了通过所述泵送元件与每个喷射元件之间的所述通道的水平流体循环以及通过所述通道与流体槽之间的所述流体馈送孔的竖直流体循环。
12.根据权利要求10所述的流体喷射组件，其中，所述泵送元件相对于所述通道的中心点被不对称地放置。
13.—种在流体喷射组件中循环流体的方法，包括水平地泵送流体使其通过泵送元件和喷射元件之间的流体通道；以及在所述流体通道和流体槽之间竖直地泵送流体使其通过在所述流体通道和所述流体槽之间延伸的流体馈送孔。
14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述泵送包括启动所述泵送元件，以推动流体通过所述流体通道和流体馈送孔。
15.根据权利要求13所述的方法，其中，所述泵送包括启动所述喷射元件，以通过喷嘴喷射流体并且推动流体通过所述流体通道和流体馈送孔。
全文摘要
一种流体喷射组件包括形成在第一衬底中的流体槽和形成在布置于第二衬底顶上的腔室层中的通道。所述第二衬底的底表面附接到所述第一衬底的顶表面，并且流体馈送孔形成在所述流体槽和所述通道之间。流体喷射元件在所述通道的第一端处，并且泵送元件在所述通道的第二端处，以使流体水平地循环通过所述通道并且竖直地循环通过所述流体馈送孔。
文档编号B41J2/14GK103025530SQ201080068294
公开日2013年4月3日 申请日期2010年7月28日 优先权日2010年7月28日
发明者A.戈夫亚迪诺夫, E.D.托尔尼艾宁, R.梅森格尔 申请人:惠普发展公司，有限责任合伙企业