液滴喷出装置的制作方法

专利名称：液滴喷出装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及使用功能液滴喷头对长尺寸的工件进行描画的液滴喷出装置及其所 适用的工件以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。
背景技术：
液滴喷出装置具备使将单张的基板(工件)定位了的吸附台(定位台)沿X轴方 向移动的X轴台、使搭载了功能液滴喷头的喷头组件沿Y轴方向移动的Y轴台，通过在使喷 头组件及基板相对移动的同时，对功能液滴喷头进行喷出驱动，就会在已经定位了的基板 上描画给定的描画图案。另外，在液滴喷出装置上，设有接受来自功能液滴喷头(的全部喷出喷嘴)的抛打 喷出的一对刷洗箱(brushing box)。一对刷洗箱被自由移动地支撑于X轴台上，并且被按 照在X轴方向夹持吸附台的方式配设。所以，当驱动X轴台时，按照刷洗箱、定位台(工件) 的顺序，喷头组件面向它们，在刷洗动作之后连续地进行描画动作。像这样，通过在描画动 作之前，进行刷洗(brushing)动作，就可以使功能液滴喷头的功能液滴喷出状态稳定，能 够对工件进行精度优良的描画处理。[专利文献1]特开2003466673号公报但是，为了提高对工件的描画效率，考虑使用如下的盘式录音带方式的液滴喷出 装置，即，将在长边方向设置了多个描画出描画图案的实际描画区域的卷状的工件导入液 滴喷出装置，在将工件拉出的同时，以实际描画区域单位进行描画处理，并且将处理完的工 件依次卷绕起来。但是，此时，由于工件被连续地送来，因此无法像以往的液滴喷出装置那 样，在作为工件的输送方向的X轴方向配设刷洗箱，无法在对实际描画区域的描画动作前 进行刷洗动作。

发明内容
所以，本发明的目的在于，提供可以在对设于卷状的工件上的实际描画区域进行 描画动作之前不久，进行刷洗动作，从而可以对实际描画区域稳定地进行描画的盘式录音 带方式的液滴喷出装置及其所适用的工件以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子 设备。本发明是对沿长边方向配置了多个描画区域的工件进行描画的液滴喷出装置，其 特征是，具备配设于描画空间中并将工件吸附定位的吸附台、将工件间歇地拉出并以使工 件弯曲的状态导入吸附台的拉出机构、具有功能液滴喷头并通过在使功能液滴喷头相对于 描画空间相对移动的同时对功能液滴喷头进行喷出驱动而对所吸附定位的所述工件进行 描画的描画机构、将描画完的工件从吸附台上以弯曲的状态接受的工件收容机构、将接受来自功能液滴喷头的喷出的刷洗箱按照收容于工件的弯曲部分的至少一方的方式配设的 刷洗组件。根据该构成，刷洗箱被配设于拉出机构和吸附台之间的工件的弯曲部分及吸附台 和工件收容机构之间的工件的弯曲部分的至少一方。所以，在描画处理时，通过使功能液滴 喷头相对于描画空间相对移动，就可以使功能液滴喷头面向刷洗箱(brushing box)，进行 刷洗动作。此时，由于吸附台和刷洗箱相邻近，因此功能液滴喷头就能够在对吸附台上的工 件(描画区域)进行描画动作前进行刷洗(brushing)动作。所以，在描画动作中，就可以 从功能液滴喷头中稳定地喷出功能液，能够对描画区域精度优良地进行描画。此时，最好在工件上，与各描画区域对应，设有用于对各描画区域进行位置修正的 对准标记，还具备拍摄对准标记而进行图像识别的图像识别机构、将吸附台可以转动地支 撑并基于利用图像识别机构实施的图像识别而对描画区域相对于功能液滴喷头的水平面 内的位置进行修正的θ台。根据该构成，由于设有与各描画区域对应了的对准标记，因此就可以基于该图像 识别对描画区域进行θ修正(位置修正)，从而能够对工件进行精度优良的描画。此时，刷洗箱最好被支撑于θ台上。根据该构成，在对吸附台进行θ修正时，刷洗箱也与吸附台一起进行θ旋转。这 样，就可以使刷洗箱与进行了位置修正的实际描画区域对应地恰当地面对。此时，刷洗箱最好被与弯曲部分的吸附台侧的倾斜对应地形成。根据该构成，就可以将刷洗箱配置在与吸附台尽量接近的位置上，而不使刷洗箱 的底部与工件干扰。另外，即使当弯曲比较小时，也能够在弯曲部分配设刷洗箱。此时，工件收容机构最好卷绕工件。根据该构成，由于描画处理后的工件被卷绕成卷状，因此就可以使描画处理后的 工件的处置更为容易。本发明的工件的特征在于，利用所述的任意一个液滴喷出装置描画。根据该构成，由于利用所述的任意一个液滴喷出装置描画，因此就可以对工件进 行精度良好的描画。此时，工件优选安装了电子部件的柔性基板。根据该构成，通过将卷状的工件导入液滴喷出装置而进行描画处理，就可以有效 地制造柔性基板。本发明的电光学装置的制造方法的特征在于，使用所述说明中记载的液滴喷出装 置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。另外，本发明的电光学装置的特征在于，使用 所述说明中记载的液滴喷出装置，在工件上形成了由功能液滴形成的成膜部。根据这些构成，由于使用所述的液滴喷出装置，因此就可以向实际描画区域稳定 地喷出功能液。所以，就可以精度优良地形成成膜部，有效地制造高精度的电光学装置。而 且，作为电光学装置(设备)，可以考虑液晶显示装置、有机EUElectro-Luminescence) 装置、电子发射装置、PDP(Plasma Display Panel)装置及电泳显示装置等。而且，电子 发射装置是包括所谓的 FED (Field Emission Display)装置或 SED (Surface-Conduction Electron-Emitter Display)装置的概念。另外，作为电光学装置，可以考虑包含金属配线 形成、透镜形成、光刻胶形成及光扩散体形成等的装置。
本发明的电子设备的特征在于，搭载了利用所述说明中所记载的电光学装置的制 造方法制造的电光学装置或所述说明中所记载的电光学装置。此时，作为电子设备，除了所谓的搭载了平板显示器的携带电话、个人计算机以 外，各种电器产品都对其适用。


图1是本发明的实施方式的液滴喷出装置的说明图，(a)是液滴喷出装置的俯视 图，(b)是工件的放大俯视图。图2是本发明的实施方式的液滴喷出装置的说明图，(a)是液滴喷出装置的侧视 图，(b)是工件的定位台周围的放大侧视图。图3是喷头平板周围的俯视图。图4是功能液滴喷头的外观立体图。图5是对于液滴喷出装置的主控制系统进行说明的方框图。图6是说明滤色片制造工序的流程图。图7(a) (e)是以制造工序顺序表示的滤色片的示意性剖面图。图8是表示使用了适用本发明的滤色片的液晶装置的概略构成的要部剖面图。图9是表示使用了适用本发明的滤色片的第2例的液晶装置的概略构成的要部剖 面图。图10是表示使用了适用本发明的滤色片的第3例的液晶装置的概略构成的要部 剖面图。图11是作为有机EL装置的显示装置的要部剖面图。图12是说明作为有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图。图13是说明无机物提堰层的形成的工序图。图14是说明有机物提堰层的形成的工序图。图15是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。图16是说明形成了空穴注入/输送层的状态的工序图。图17是说明形成蓝色的发光层的过程的工序图。图18是说明形成了蓝色的发光层的状态的工序图。图19是说明形成了各色的发光层的状态的工序图。图20是说明阴极的形成的工序图。图21是作为等离子体型显示装置(PDP装置)的显示装置的要部分解立体图。图22是作为电子发射装置(FED装置)的显示装置的要部剖面图。图幻是显示装置的电子发射部周围的俯视图(a)及表示其形成方法的俯视图(b)。其中，1液滴喷出装置，2描画装置，3拉出装置，4输送装置，5卷绕装置，6控制装 置，21定位台，31吸附台，32 θ台，42功能液滴喷头，71工件对准照相机，101刷洗组件，111 刷洗箱，142拉出卷轴，182卷绕卷轴，W工件，a实际描画区域，b工件对准标记
具体实施例方式下面将参照附图对使用了本发明的液滴喷出装置进行说明。该液滴喷出装置是用于制造被装入小型的照相机或携带电话等中的柔性基板的装置，是用于利用使用了功能液 滴喷头的液滴喷出法，向柔性的基底薄膜(工件)上喷出溶解了功能材料的功能液，形成电 阻、线圈、电容器等元件(芯片部件面安装部件)或金属配线等的装置。如图1及图2所示，液滴喷出装置1具备具有功能液滴喷头42并在工件W上进 行功能液滴的描画的描画装置2、将被卷绕成卷状的长尺寸的工件W拉出的拉出装置3、用 于将被拉出的工件W沿着给定的输送路径输送的输送装置4、卷绕工件W的卷绕装置5。即， 该液滴喷出装置1是用盘式录音带方式进行处理的装置，首先输送装置4将利用拉出装置 3拉出的工件W沿着输送路径送向描画装置2。此后，在利用描画装置2对工件W进行了描 画处理后，利用输送装置4从描画装置2中将工件W的处理完的部分送出，并且将被送出的 处理完的工件W用卷绕装置5依次卷绕。此时，在从拉出装置3到输送装置4之间，及输送 装置4到卷绕装置5之间，工件W被以具有弯曲的状态输送。而且，虽然省略了图示，但是 在液滴喷出装置1上，设有将各装置统一控制的控制装置6，所述一连串的动作是基于控制 装置6的控制来进行的。另一方面，如图1(b)所示，在被导入液滴喷出装置1的工件W上，沿长边方向具有 给定的间隙地连续地设有多个利用描画处理描画给定的描画图案(单位描画图案)的实际 描画区域a。此外，在实际描画区域a和实际描画区域a之间，设有与各实际描画区域a对 应的一对0个)工件对准标记b。该一对工件对准标记b是为了对吸附在后述的吸附台 31上的实际描画区域a进行θ修正，并且进行X ·Υ轴方向的数据修正而使用的。而且，工 件W最终被以形成了工件对准标记b的各实际描画区域a间的区域切除。此后，通过对以 每个实际描画区域a切掉的工件W进行给定的工序，制造多个柔性基板。而且，在本实施方式中所使用的工件W上，已经制作有芯片部件(或金属配线)的 一部分。此外，在卷绕工件W时，为了不使所加入的芯片部件损伤，在工件W上，重合有实施 了压花加工的长尺寸的间隔片S，工件W在将间隔片层叠了的状态下被卷绕成卷状，并被搬 入·搬出。下面，对液滴喷出装置1的各装置进行说明。如图1及图2所示，描画装置2具备 机台11、在机台11上的全部区域中被广泛地放置并具有功能液滴喷头42的描画机构12、 附设在描画机构12上地放置在机台11上的喷头维护机构13。描画机构12具有将被利用输送装置4导入描画空间的工件W定位的定位台21、搭 载了多个功能液滴喷头42的喷头组件22、垂设喷头组件22的承载架23、借助承载架23在 描画空间内使喷头组件22沿X轴方向及Y轴方向移动的X ·Υ移动机构24。而且，这里，将 工件W的输送方向(工件W的长边方向)设为X轴方向，将与X轴方向水平地正交的方向 设为Y轴方向而进行说明。定位台21被配置于与工件W的输送路径面对地设置的描画空间中，具有将工件吸 附定位的吸附台31、将吸附台31可以θ旋转地支撑并被支撑于机台11上的θ台32。在 吸附台31的表面(定位面)上，形成有多个用于吸附工件W的吸附孔(图示略)。虽然详 细情况将在后面叙述，但是本实施方式中，为了能够以实际描画区域单位进行描画处理，吸 附台31被制成可以将1个实际描画区域a吸附定位的大小。如图3所示，喷头组件22是在喷头平板41上搭载多个功能液滴喷头42而构成的。 如图4所示，功能液滴喷头42是所谓的双联的喷头，具备具有双联的连接针52的功能液导入部51、与功能液导入部51相连的双联的喷头基板53、与功能液导入部51的下方相连并 在内部形成了被功能液充满的喷头内流路的喷头主体M。连接针52被与图外的功能液罐 连接，向功能液导入部51供给功能液。喷头主体M由空腔55 (piezo压电元件)、具有开设 了多个喷出喷嘴58的喷嘴面57的喷嘴平板56构成。当对功能液滴喷头42进行喷出驱动 时，(向piezo压电元件施加电压)利用空腔55的泵作用，功能液滴被从喷出喷嘴58中喷 出ο而且，多个喷出喷嘴58被以等间距O个点的间距)整齐排列，形成2列分割喷嘴 列，并且2列分割喷嘴列之间相互错开1个点的间距量。即，在功能液滴喷头42上，利用2 列分割喷嘴列形成1个点间距间隔的喷嘴列，从而能够实现1个点间距(高析像度)的描 画。在喷头平板41上，沿Y轴方向连续地(局部重复)配置有多个功能液滴喷头42 的各喷嘴列，利用全部功能液滴喷头42的喷嘴列形成1条描画线。1条描画线的长度与所 述的工件W的实际描画区域a的长度对应，从而可以对工件W有效地进行描画。承载架23具有支撑喷头组件22的承载架主体61、用于借助承载架主体61进行喷 头组件22的相对于θ方向的(水平面内的)位置修正的θ旋转机构62、借助θ旋转机 构62使承载架主体61 (喷头组件22)支撑于X · Y移动机构M上的近似I字形的吊设构 件63。而且，在承载架主体61上，为了对工件W(实际描画区域a)进行位置修正，借助照 相机支撑臂72搭载有拍摄它的一对0个)工件对准照相机71。本实施方式中，位于与被 吸附定位于吸附台31上的实际描画区域a相邻的一方的一侧(本实施方式中为拉出装置 3侧)的一对工件对准标记b被作为对准的基准使用。此外，基于利用工件对准照相机71 得到的拍摄结果，进行工件W的位置修正，使得成为基准的一对工件对准标记b处于给定位 置。Χ·Υ移动机构M具备X轴台81和Y轴台82，其中X轴台81沿X轴方向延伸，而 Y轴台82借助承载架23将喷头组件22沿Y轴方向自由滑动地支撑，并且被支撑于X轴台 81上，沿X轴方向自由滑动。X轴台81由一对X轴移动机构91构成，各X轴移动机构91架设在立设于机台11 的多根支柱92上，且在以被工件W的输送路径夹持的方式配设的一对支持基座(图示略) 上分别设置。虽然未图示，但各X轴移动机构91具有构成X轴方向的驱动系的X轴马达驱 动的X轴滑块，在各X轴滑块，Y轴台82的端部以滑动自由的方式支撑。Y轴台82在两端被支撑于X轴台81的一对X轴滑块上的Y轴支撑平板93上，搭 载有构成Y轴方向的驱动系统的Y轴马达(图示略)、Υ轴马达的Y轴滑块(图示略)，在Y 轴滑块上，沿Y轴方向自由移动地支撑有承载架23 (吊设构件63)。这里，对描画处理时的一连串的动作进行说明。首先，驱动X轴台81，使承载架 23(喷头组件22)面向给定位置，利用工件对准照相机71拍摄工件W。此后，基于该拍摄结 果，驱动θ台32，进行实际描画区域a的θ修正，并且进行X轴方向及Y轴方向的数据修 正。然后，驱动X轴台81，使喷头组件22沿X轴方向来向移动，并且与其同步地对功能 液滴喷头42进行喷出驱动，进行功能液滴的选择性的喷出。当喷头组件22的来向移动结束
7时，Y轴台82被驱动，使喷头组件22沿Y轴方向移动给定距离。此后，再次进行X轴台81 的驱动、与之同步的功能液滴喷头42的喷出驱动，进行喷头组件22的X轴方向的回向移动 和功能液滴对工件W的选择性的喷出。描画处理中，通过交互地进行此种喷头组件22的向 X轴方向的移动及与之同步的功能液滴喷头42的喷出驱动(主扫描)、喷头组件22的向Y 轴方向的移动(副扫描)，功能液滴喷头42在描画空间内移动，在被定位于吸附台31上的 工件W的实际描画区域a上描画单位描画图案。而且，将对1个实际描画区域a，从开始描 画处理到单位描画图案的描画结束的动作设为1个节拍。下面，对喷头维护机构进行说明。喷头维护机构13是用于实现功能液滴喷头42 的功能维持 恢复的机构，具备刷洗组件101、抽吸组件102、擦拭组件103及喷出故障检查 组件104。此外，这些组件被面向喷头组件22的移动轨迹地配置，从而从下侧与搭载于喷头 组件22上的功能液滴喷头42相面对地进行维护动作。而且，如图2所示，抽吸组件102、擦拭组件103及喷出故障组件104被设置于竖立 设于机台11上的公共支撑架105上。公共支撑架105由支撑抽吸组件102、擦拭组件103 及喷出故障检查组件104的公共支撑平板105a、被沿Y轴方向并列地配设并支撑公共支撑 平板10 的两端的支柱构件(图示略)构成。在机台11及公共支撑平板10 之间产生 间隙，工件W被穿过该间隙送向吸附台31 (参照图2 (a))。刷洗组件101是用于接受由功能液滴喷头42的全部喷出喷嘴58的抛打喷出(刷 洗)喷出的功能液滴的构件，由配置于所述的描画空间中并接受功能液的一对刷洗箱111、 将一对刷洗箱111支撑于吸附台31 (或θ台32)上的一对箱支撑构件112构成。各刷洗箱111被制成俯视长方形的细长的箱状，在其底部，铺设有吸收功能液的 吸收材料(图示略)。虽然详细情况将在后面叙述，但是由输送装置送来的工件W将会在夹 持吸附台31的前后而向下侧弯曲的状态下被输送，各刷洗箱111被配设于与吸附台31接 近的该弯曲部分(参照图2、。此外，各刷洗箱111的侧视形状被模仿所配置的工件W的位 于吸附台31侧的弯曲形状制成。所以，各刷洗箱111被配置于吸附台31的附近，而各刷洗 箱111的底部不会与工件W相干扰。另外，与吸附台31相比位于靠近卷绕装置5侧的工件W 虽然为了防止描画完的功能液滴落，可以较大地弯曲，但是通过像本实施方式的刷洗箱111 那样，将其侧视形状与工件W的弯曲形状对应地形成，就能够将刷洗箱111配设于比较小的 空间(弯曲部分)中。而且，吸附台31的拉出装置3侧的工件W的弯曲形状和卷绕装置5 侧的工件W的弯曲的形状各自不同，各刷洗箱111的侧视形状也各自不同(参照图2)。各箱支撑构件112支撑着刷洗箱111 (参照图1及图2)，使得各刷洗箱111位于 工件W的弯曲部分，并且其上端面与吸附台31的定位面成为同一平面，另外沿着各刷洗箱 111沿吸附台31的Y轴延伸的一对边(周缘)地(工件W的外侧)从吸附台31伸出。各 箱支撑构件112由于将各刷洗箱111支撑于θ台32上，因此当对吸附台31进行θ修正 而使之旋转时，各刷洗箱与之一起进行θ旋转。本实施方式中，包括了吸附台31、被将其夹持地配设的一对刷洗箱111的区域被 作为描画空间设定，当为了进行描画处理，将工件W在描画空间内沿X轴方向进行往复运动 时，喷头组件22的功能液滴喷头42就会在面向工件W之前不久依次面向刷洗箱111，进行 刷洗(描画前刷洗)。而且，本实施方式中，虽然按照夹持吸附台31的方式，设置一对刷洗箱111，但是也可以仅设置某一方。此外，在拉出装置3—侧的弯曲部分设置刷洗箱的情况下，也可以将 其设置在所述的公共支撑框架105上。如图1及图2所示，抽吸组件102是通过抽吸功能液滴喷头42 (喷出喷嘴58)，从 喷出喷嘴58中强制性地排出功能液的组件，具有与功能液滴喷头42的喷嘴面57密接的多 个帽(图示略)、使帽与功能液滴喷头42 (喷嘴面57)分离接近的帽离接机构(图示略)、 能够借助帽抽吸功能液滴喷头42的单一的抽吸机构(喷射器或抽吸泵)。功能液的抽吸除 了为了消除/防止功能液滴喷头42的堵塞而进行以外，在新设置了液滴喷出装置1的情况 下，或进行功能液滴喷头42的喷头更换等情况下，为了向从功能液供给机构到功能液滴喷 头42的功能液流路中填充功能液而进行。而且，帽具有像工件W的输送时那样，将利用在将对工件W的描画处理暂时停止时 进行的功能液滴喷头42的抛打喷出(定期刷洗)而喷出的功能液接收(定期)的刷洗箱 的功能。此外，当1个节拍的描画处理结束时，喷头组件22就会向抽吸组件102上移动，进 行定期刷洗。这样，就可以有效地防止工件输送时的功能液滴喷头42的堵塞。此时，利用 帽离接机构，帽将其上面移动至与功能液滴喷头42的喷嘴面57略微分离的位置。另外，帽在液滴喷出装置1的非工作时，也用于保管功能液滴喷头42。此时，通过 使喷头组件22面向抽吸组件102，使帽与功能液滴喷头42的喷嘴面57密接，将喷嘴面57 密封，防止功能液滴喷头42 (喷出喷嘴58)的干燥。擦拭组件103是用喷洒了清洗液的擦拭片121擦抹功能液滴喷头42的喷嘴面 57(进行擦拭)的组件，具备在将卷成卷状的擦拭片121拉出的同时卷绕起来的卷绕组件 122、向已拉出的擦拭片121喷洒清洗液的清洗液供给组件(图示略)、用喷洒了清洗液的擦 拭片121擦抹喷嘴面57的擦抹组件124。对功能液滴喷头42的擦拭动作是在利用抽吸组件102实施的功能液滴喷头42的 抽吸后进行的，将附着于喷嘴面57上的污垢擦掉。此外，擦拭组件103在X轴方向上被设 于吸附台31和抽吸组件102之间，从而可以在抽吸组件102的抽吸后，为了进行描画处理， 面向移动至描画空间的功能液滴喷头42，有效地进行擦拭动作(参照图1及图2)。喷出故障检查组件104是用于检查是否从搭载于喷头组件22上的全部功能液滴 喷头42 (的喷出喷嘴58)中恰当地喷出功能液的组件，具备用于接受由喷头组件22的全部 功能液滴喷头42的全部喷出喷嘴58中被检查喷出的功能液并描画给定的检查图案的被 描画组件131、拍摄在被描画组件131上所描画的检查图案而进行检查的拍摄组件(图示 略)。用拍摄组件拍摄的检查图案的拍摄结果被发送给控制装置6而进行图像识别，基于该 图像识别，利用控制装置6判断各功能液滴喷头42的各喷出喷嘴58是否正常地喷出功能 液(喷嘴是否堵塞)。而且，喷出故障检查组件104也被设于吸附台31和抽吸组件102之间(参照图1 及图幻。由此，喷出故障检查组件104就可以面向为了进行定期刷洗而向吸附台31移动中 的喷头组件22，进行喷出故障检查，(使喷头组件22没有丝毫移动地)有效地检查功能液 滴喷头42的喷出故障。下面，对拉出装置3、输送装置4及卷绕装置5依次进行说明。如图1及图2所示， 拉出装置3被设于附设于机台11的上流侧的拉出机台141上，具备被自由旋转地支撑于图 外的拉出支撑框架上并安装了卷状的工件W的拉出卷轴142、使拉出卷轴142正反旋转的拉出马达143。此外，当对拉出马达143进行正驱动而使拉出卷轴142正向旋转时，就会将工 件W从拉出卷轴142向输送装置4拉出。而且，在位于拉出卷轴142的上方的位置，在拉出机台141上，设有将被与工件W 一起拉出而卷绕在卷轴142上的间隔片S卷绕的隔板卷绕卷轴151。隔板卷绕卷轴151与 从拉出卷轴142中的工件W的拉出同步地卷绕间隔片S，从而仅将工件W向输送装置4供 给。而且，也可以将拉出马达143兼作隔板卷绕卷轴151的驱动源使用。工件W的拉出被与所述的描画处理并行地进行，在描画处理时，至少将实际描画 区域a的X轴方向的长度量，即为了进行下一次的描画处理而被输送的工件W的输送量(1 个节拍的量)拉出。此时，所拉出的工件W将会在拉出卷轴142和输送装置4 (拉出侧输送 辊171 后面叙述)之间下垂。即，拉出卷轴142和拉出侧输送辊171之间成为工件W的缓 冲区域(空间)。此外，本实施方式中，在该缓冲区域中，设有通过检测拉出侧下垂的下端位 置来检测工件W的拉出量的拉出量检测传感器161，基于拉出量检测传感器161的检测结 果，控制拉出马达143的驱动。具体来说，拉出量检测传感器161被配置于与将1个节拍量 的工件W拉出时产生的拉出侧下垂的下端位置对应的位置上，当拉出量检测传感器161检 测出拉出侧下垂的下端位置时，即停止拉出马达143的驱动。像这样，在本实施方式中，由 于基于工件W的拉出侧下垂的下垂量来控制拉出马达143，因此就能够不受拉出卷轴142的 卷绕直径影响地进行(给定量的)工件W的拉出。而且，当使工件W下垂时，由于有将已经被加入工件W的芯片部件等破坏的情况， 因此按照使拉出侧下垂不超过给定的曲率Rl的方式，设定拉出卷轴142和拉出侧输送辊 171的距离，并且设置检测拉出侧下垂的下端位置的下限位置的拉出侧下限传感器162。如图1及图2所示，输送装置4具备配设于拉出机台141上并接受从拉出卷轴142 中拉出的工件W的拉出侧输送辊171、配设于机台11上并按照使由拉出侧输送辊171送出 的工件W穿过所述的公共支撑架105 (公共支撑平板10 之下)的方式改变路径的第1路 径变更辊172、将利用第1路径变更辊172改变了路径的工件W按照向吸附台31水平地输 送的方式再次对其改变路径的第2路径变更辊173、配设于设置了卷绕装置5的卷绕机台 181 (后面叙述)上并将描画完的工件W向卷绕装置5 (卷绕卷轴182 后面叙述)输送的卷 绕侧输送辊174、使卷绕侧输送辊174正反旋转的卷绕侧输送马达(图示略)。卷绕侧输送 马达由带有编码器的伺服马达或步进马达构成，根据其旋转量，由控制装置6把握工件W的 输送量。所述一对刷洗箱111当中的一方被配设于利用第2路径变更辊173改变路径而输 送的工件W的向上倾斜部分，另一方被配设于从吸附台31向下倾斜地输送的工件W的倾斜 部分。而且，由于对从吸附台31向下倾斜地输送的工件W，利用描画处理进行功能液滴的 描画，因此其倾斜角度被设定为已经描画在工件W上的功能液不会因倾斜而垂落液滴的角 度。卷绕侧输送马达由带有编码器的伺服马达或步进马达构成，根据其旋转量，由控制装置 6把握工件W的输送量。利用输送装置4实施的工件W的输送被在所述的1个节拍的描画处理结束后进 行，当1个节拍的描画处理结束时，卷绕输送马达即被驱动。这样，作为驱动辊的卷绕侧输 送辊174就会旋转，并且作为从动辊的拉出侧输送辊171、第1路径变更辊172及第2路径 变更辊173进行从动旋转。此后，进行1个节拍量的工件输送，从定位台21将描画完的工件W送出，并且新的部分(实际描画区域a)被送入定位台21。如上所述，本实施方式中，由 于在开始工件W的输送前，预先拉出1个节拍量的工件W，因此就可以不受由拉出装置3实 施的工件W的拉出影响地，迅速并且精度优良地进行工件输送。如图1及图2所示，卷绕装置5被设于附设于机台11的下流侧的卷绕机台181上， 具备被自由旋转地支撑于图外的卷绕支撑框架上并将由输送装置4送来的描画完的工件W 卷绕的卷绕卷轴182、使卷绕卷轴182正反旋转的卷绕马达183。此外，当对卷绕马达183 进行正驱动而使卷绕卷轴182正向旋转时，就会将来自卷绕侧输送辊174的工件W卷绕在 卷绕卷轴182上。工件W的卷绕动作与工件W的拉出动作相同，被与描画处理并行地进行。由输送 装置4 (卷绕侧输送辊174)送来的(1个节拍量的)工件W被以暂时下垂的状态送向卷绕 装置5侧。此外，当工件W的输送结束而开始描画处理时，卷绕马达183被驱动，弯曲了的 工件W被卷绕在卷绕卷轴182上。此时，卷绕马达183的控制也通过检测出下垂(卷绕侧 下垂)来进行。具体来说，与卷绕1个节拍量的工件W时的卷绕侧下垂的下端位置对应地 配置卷绕量检测传感器191，当卷绕量检测传感器191检测出卷绕侧下垂的下端位置时，卷 绕马达183的驱动就会被停止。另外，在输送装置4上，为了检测出工件W的过度卷绕，设 有检测卷绕侧下垂的下端位置的上限位置的卷绕侧上限传感器192。而且，同图中所示的符号201为供给间隔片S所隔板供给卷轴，向被卷绕的描画完 的工件W上供给间隔片S。所供给的间隔片S被与工件W —起卷绕在卷绕卷轴182上，防止 因描画处理而将形成于工件W上的芯片部件或已经形成好的元件等破坏。而且，技术方案中所说的工件收容机构由输送装置4的一部分(卷绕侧输送辊 174、卷绕侧输送马达)、卷绕装置5构成。另外，本实施方式中，虽然采用将由卷绕侧输送辊 174从吸附台31传递来的描画完的工件W利用卷绕装置卷绕成卷状的构成，但是在接在描 画装置2的描画处理后连续地进行使用了其他的装置的处理的情况下，不进行描画完的工 件W的卷绕，而从卷绕侧输送辊174直接将工件W向其他的装置送出。下面，在参照图5的同时对液滴喷出装置1的主控制系统进行说明。液滴喷出装 置1具备具有描画机构12的描画部211、具有喷头维护机构13的喷头维护部212、具有拉 出装置3的工件拉出部213、具有输送装置4的工件输送部214、具有卷绕装置5的工件卷 绕部215、具有各装置的各种传感器类(拉出量检测传感器161、拉出侧下限传感器162、卷 绕量检测传感器191、卷绕侧上限传感器192等)并进行各种检测的检测部216、具有驱动 各部的各种驱动器的驱动部217、与各部连接并进行液滴喷出装置1整体的控制的控制部 218(控制装置6)。控制部218具备用于连接各装置的界面221、具有能够暂时储存的存储区域并被 作为用于控制处理的作业区域使用的RAM222、具有各种存储区域并储存控制程序或控制数 据的R0M223、储存用于对工件W进行描画的描画数据、来自各装置的各种数据等并且储存 用于对各种数据进行处理的程序等的硬盘224、依照储存于R0M223或硬盘224中的程序等 对各种数据进行运算处理的CPU225、将它们相互连接的总线226。此外，控制部218将由各装置送来的各种数据经由界面221输入，并且依照储存于 硬盘224中的(或由⑶-ROM驱动器等外部输入装置中依次读出的)程序，使CPU225进行 运算处理，将其处理结果经由界面221向各装置输出。这样，各装置就被统一控制，进行所述的对工件W的一连串的处理。如上所述，本实施方式的液滴喷出装置1中，由于在作为工件W的输送方向的X轴 方向上，在吸附台31的前后使工件W弯曲，在该弯曲部分配设了刷洗箱111，因此就可以对 在描画处理时搭载于喷头组件22上的全部功能液滴喷头42进行描画前刷洗处理，从而能 够对工件W的实际描画区域a稳定地进行描画。而且，本实施方式的液滴喷出装置虽然可以用于形成电阻、线圈、电容器等元件或 金属配线等，但是用于形成它们的工序是各自不同的工序。这样，通过向与各工序对应的多 个液滴喷出装置，导入与各自的目的匹配的专用的功能液，并且以给定的顺序将工件向与 各工序对应的液滴喷出装置依次导入，进行描画处理，这些元件或配线就会在工件W上被 依次形成。下面，作为使用本实施方式的液滴喷出装置1制造的电光学装置(平板显示器)， 以滤色片、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装 置、SED装置)以及形成于这些显示装置上的有源矩阵基板等为例，对它们的构造及其制造 方法进行说明。而且，所谓有源矩阵基板是指形成了薄膜晶体管及与薄膜晶体管电连接的 电源线、数据线的基板。首先，对装入液晶显示装置或有机EL装置等中的滤色片的制造方法进行说明。图 12是表示滤色片的制造工序的流程图，图7是依照制造工序顺序表示的本实施方式的滤色 片600 (过滤片基体600A)的示意性剖面图。首先，在黑矩阵形成工序(SlOl)中，如图7(a)所示，在基板(W)601上形成黑矩阵 602。黑矩阵602由金属铬、金属铬和氧化铬的叠层体或树脂黑等形成。在形成由金属薄膜 构成的黑矩阵602时，可以使用溅射法或蒸镀法等。另外，在形成由树脂薄膜构成的黑矩阵 602的情况下，可以使用凹版印刷法、光刻法、热转印法等。然后，在提堰形成工序(Sl(^)中，在重叠于黑矩阵602上的状态下形成提堰603。 即，首先如图7(b)所示，按照覆盖基板601及黑矩阵602的方式，形成由负型的透明的感光 性树脂构成的光刻胶层604。此后，在将其上面用制成矩阵图案形状的掩模薄膜605覆盖的 状态下进行曝光处理。继而，如图7(c)所示，通过对光刻胶层604的未曝光部分进行蚀刻处理，对光刻胶 层604进行图案处理，形成提堰603。而且，当利用树脂黑形成黑矩阵时，能够将黑矩阵和提 堰同时使用。该提堰603与其下的黑矩阵602成为将各象素区域607a分区的分区壁部607b，在 后面的着色层形成工序中利用功能液滴喷头42形成着色层(成膜部)608R、608G、608B时 规定功能液滴的命中区域。通过经由以上的黑矩阵形成工序及提堰形成工序，就可以获得所述过滤片基体 600A。而且，本实施方式中，作为提堰603的材料，使用涂膜表面成为疏液(疏水)性的 树脂材料。这样，由于基板(玻璃基板)601的表面为亲液(亲水)性，因此在后述的着色 层形成工序中向被提堰603 (分区壁部607b)包围的各象素区域607a内的液滴的命中位置 精度提高。然后，在着色层形成工序(S103)中，如图7(d)所示，利用功能液滴喷头42喷出功能液滴，使之命中由分区壁部607b包围的各象素区域607a内。此时，使用功能液滴喷头 42，导入R · G · B三色的功能液(过滤片材料)，进行功能液滴的喷出。而且，作为R · G · B 三色的排列图案，有条纹排列、马赛克排列及三角形排列等。其后，经过干燥处理(加热等处理)使功能液固定，形成三色的着色层608R、608G、 608B。形成了着色层608R、608G、608B后，则转移至保护膜形成工序(S104)，如图7 (e)所 示，按照覆盖基板601、分区壁部607b及着色层608R、608G、608B的上面的方式，形成保护膜 609。S卩，在向基板601的形成有着色层608R、608G、608B的面全体喷出了保护膜用涂布 液后，经过干燥处理形成保护膜609。此后，在形成了保护膜609后，滤色片600转移至成为下一工序的透明电极的 ITOdndium Tin Oxide)等的加膜工序。图8是表示作为使用了所述的滤色片600的液晶显示装置的一个例子的无源矩阵 型液晶装置(液晶装置)的概略构成的要部剖面图。在该液晶装置620上，通过安装液晶 驱动用IC、背光灯、支撑体等附带要素，即获得作为最终产品的透过型液晶显示装置。而且， 滤色片600由于是与图7所示的构件相同的构件，因此对于对应的部位使用相同的符号，将 其说明省略。该液晶装置620大致由滤色片600、由玻璃基板等制成的对置基板621及由被夹持 在它们之间的STN(Super Twisted Nematic)液晶组合物构成的液晶层622构成，将滤色片 600配置在图中上侧(观测者侧)。而且，虽然未图示，但是在对置基板621及滤色片600的外面(与液晶层622侧相 反一侧的面)上分别配设有偏光片，另外在位于对置基板621侧的偏光片的外侧，配设有背 光灯。在滤色片600的保护膜609上(液晶层侧)，以给定的间隔形成有多个在图8中沿 左右方向尺寸较长的长方形的第1电极623，按照将该第1电极623的与滤色片600侧相反 一侧的面覆盖的方式，形成有第1取向膜624。另一方面，在对置基板621的与滤色片600相面对的面上，以给定间隔形成有多个 沿与滤色片600的第1电极623正交的方向尺寸较长的长方形的第2电极626，按照覆盖该 第2电极626的液晶层622侧的面的方式，形成有第2取向膜627。这些第1电极623及第 2电极626由ITO等透明导电材料形成。设于液晶层622内的隔块6 是用于将液晶层622的厚度(盒间隙)保持一定的 构件。另外，密封材料6 是用于防止液晶层622内的液晶组合物向外部漏出的构件。而 且，第1电极623的一个端部作为环绕配线623a延伸至密封材料629的外侧。此外，第1电极623和第2电极625交叉的部分为象素，滤色片600的着色层608R、 608G、608B位于该成为象素的部分。通常的制造工序中，在滤色片600上，进行第1电极623的图案处理及第1取向膜 624的涂布，制成滤色片600侧的部分，并且与之不同地在对置基板621上，进行第2电极 626的图案处理及第2取向膜627的涂布，制成对置基板621侧的部分。其后，在对置基板 621侧的部分加入隔块6 及密封材料629，在该状态下，贴合滤色片600侧的部分。然后， 从密封材料629的注入口将构成液晶层622的液晶，将注入口封闭。其后，层叠两偏光片及背光灯。实施方式的液滴喷出装置1例如能够在涂布构成所述的间隙的隔块材料(功能 液)，并且在对置基板621侧的部分上贴合滤色片600侧的部分之前，向被密封材料6 包 围的区域均一地涂布液晶(功能液)。另外，还可以用功能液滴喷头42进行所述的密封材 料629的印刷。另外，还可以用功能液滴喷头42进行第1 第2两取向膜624、627的涂布。图9是表示使用了本实施方式中制造的滤色片600的液晶装置的第2例的概略构 成的要部剖面图。该液晶装置630与所述液晶装置620最大不同的方面在于，将滤色片600配置在 了图中下侧(与观测者相反的一侧)。该液晶装置630大致通过在滤色片600和由玻璃基板等制成的对置基板631之间 夹持有由STN液晶构成的液晶层632而构成。而且，虽然未图示，但是在对置基板631及滤 色片600的外面分别配设有偏光片等。在滤色片600的保护膜609上(液晶层632侧)，沿图中向里方向以给定的间隔 形成有多个在图中向里方向上尺寸较长的长方形的第1电极633，按照覆盖该第1电极633 的液晶层632侧的面的方式形成有第1取向膜634。在对置基板631的与滤色片600相面对的面上，以给定的间隔形成有沿与滤色片 600侧的第1电极633正交的方向延伸的多个长方形的第2电极636，按照覆盖该第2电极 636的液晶层632侧的面的方式形成有第2取向膜637。在液晶层632中，设有用于将该液晶层632的厚度保持一定的隔块638、用于防止 液晶层632内的液晶组合物向外部漏出的密封材料639。此外，与所述的液晶装置620相同，第1电极633和第2电极636的交叉的部分为 象素，滤色片600的着色层608R、608G、608B位于该成为象素的部分。图10是表示使用应用了本发明的滤色片600构成液晶装置的第3例的图，是表示 透过型的TFTCThin Film Transistor)型液晶装置的概略构成的分解立体图。该液晶装置650是将滤色片600配置于图中上侧(观测者侧)的构成。该液晶装置650大致由滤色片600、被与之相面对地配置的对置基板651、夹持在 它们之间的未图示的液晶层、配置于滤色片600的上面侧(观测者侧)的偏光片655、配设 于对置基板651的下面侧的偏光片(未图示)构成。在滤色片600的保护膜609的表面(对置基板651侧的面)上形成有液晶驱动用 的电极656。该电极656由ITO等透明导电材料制成，成为将形成后述的象素电极660的区 域整体覆盖的全面电极。另外，取向膜657被以覆盖该电极656的与象素电极660相反一 侧的面的状态设置。在对置基板651的与滤色片600相面对的面上形成有绝缘层658，在该绝缘层658 上，以相互正交的状态形成有扫描线661及信号线662。此外，在被这些扫描线661和信号 线662包围的区域内形成有象素电极660。而且，虽然在实际的液晶装置中，在象素电极660 上设有取向膜，但是将图示省略。另外，在由象素电极660的缺口部和扫描线661和信号线662包围的部分中，装入 具备源电极、漏电极、半导体及门电极的薄膜晶体管663。这样，通过对扫描线661和信号线 662施加信号而将薄膜晶体管663开·关，就可以进行对象素电极660的通电控制。
而且，所述的各例的液晶装置620、630、650虽然采用了透过型的构成，但是也可 以设置反射层或半透过反射层，形成反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。下面，图11是有机EL装置的显示区域(以下简称为显示装置700)的要部剖面图。该显示装置700大致以在基板(W) 701上，层叠了电路元件部702、发光元件部703 及阴极704的状态构成。在该显示装置700中，从发光元件部703向基板701侧发出的光透过电路元件部 702及基板701而被向观测者侧射出，并且从发光元件部703向基板701的相反一侧发出的 光在被阴极704反射后，透过电路元件部702及基板701而被向观测者侧射出。在电路元件部702和基板701之间形成有由硅氧化膜构成的基底保护膜706，在该 基底保护膜706上(发光元件部703侧)形成于由多晶硅构成的岛状的半导体膜707。在 该半导体膜707的左右的区域中，通过打入高浓度阳离子分别形成有源区域707a及漏区域 707b。这样，未被打入阳离子的中央部就成为通道区域707c。另外，在电路元件部702上，形成有覆盖基底保护膜706及半导体膜707的透明的 门绝缘膜708，在该门绝缘膜708上的与半导体膜707的通道区域707c对应的位置上，形 成有例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的门电极709。在该门电极709及门绝缘膜708上，形 成有透明的第1层间绝缘膜711a和第2层间绝缘膜711b。另外，贯穿第1、第2层间绝缘 膜711a、711b，形成有与半导体膜707的源区域707a、漏区域707b分别连通的接触孔71加、 712b。此外，在第2层间绝缘膜711b上，以给定的形状图案处理而形成由ITO等构成的 透明的象素电极713，该象素电极713穿过接触孔71 而与源区域707a连接。另外，在第1层间绝缘膜711a上配设有电源线714，该电源线714穿过接触孔712b 而与漏区域707b连接。像这样，在电路元件部702上，分别形成有与各象素电极713连接的驱动用的薄膜 晶体管715。所述发光元件部703大致由分别层叠于多个象素电极713上的功能层717、设于各 象素电极713及功能层717之间而将各功能层717分区的提堰部718构成。由这些象素电极713、功能层717及配设于功能层717上的阴极704构成发光元 件。而且，象素电极713被以俯视近似矩形的形状图案处理而形成，在各象素电极713之间 形成有提堰部718。提堰部718由例如由SiO、SiO2, TiO2等无机材料形成的无机物提堰层718a(第1 提堰层)、被层叠于该无机物提堰层718a上并由丙烯酸树脂、聚亚酰胺树脂等耐热性、耐溶 剂性优良的光刻胶形成的截面为梯形的有机物提堰层718b (第2提堰层)构成。该提堰部 718的一部分被以骑跨在象素电极713的周缘部上的状态形成。此外，在各提堰部718之间，形成有相对于象素电极713向上方逐渐扩展开的开口 部 719。所述功能层717由在开口部719内被以层叠状态形成于象素电极713上的空穴注 入/输送层717a、形成于该空穴注入/输送层717a上的发光层717b构成。而且，也可以与 该发光层717b相邻地再形成具有其他的功能的其他的功能层。例如，也可以形成电子输送层。
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空穴注入/输送层717a具有从象素电极713侧输送空穴而注入发光层717b的功 能。该空穴注入/输送层717a是通过喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第1组合物 (功能液)而形成的。作为空穴注入/输送层形成材料，使用公知的材料。发光层717b是发出红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)的任意一种光的层，通过喷出含 有发光层形成材料(发光材料)的第2组合物(功能液)而形成。作为第2组合物的溶剂 (非极性溶剂)优选使用相对于空穴注入/输送层717a不溶的公知的材料，通过将此种非 极性溶剂用于发光层717b的第2组合物中，就可以不使空穴注入/输送层717a再溶解地 形成发光层717b。这样，发光层717b中，从空穴注入/输送层717a注入的空穴、从阴极704注入的 电子就会在发光层中复合而发光。阴极704被以覆盖发光元件部703的全面的状态形成，与象素电极713构成一对 而起到在功能层717中流过电流的作用。而且，在该阴极704的上部配置有未图示的密封 构件。下面，参照图12 图20，对所述的显示装置700的制造工序进行说明。该显示装置700如图12所示，是经过提堰部形成工序(Slll)、表面处理工序 (S112)、空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)及对置电极形成工序 (S115)而制造的。而且，制造工序并不限定于例示的情况，也有根据需要删除或追加其他的 工序的情况。首先，在提堰部形成工序(Slll)中，如图13所示，在第2层间绝缘膜717b上形成 无机物提堰层718a。该无机物提堰层718a是通过在形成位置上形成了无机物膜后，对该无 机物膜利用光刻技术等进行图案处理而形成的。此时，无机物提堰层718a的一部分被与象 素电极713的周缘部重合地形成。形成了无机物提堰层718a后，如图14所示，在无机物提堰层718a上形成有机物 提堰层718b。该有机物提堰层718b也与无机物提堰层718a相同，利用光刻技术等进行图 案处理而形成。像这样就形成提堰部718。另外，与之相伴，在各提堰部718之间，形成相对于象素 电极713向上方开口的开口部719。该开口部719规定象素区域。表面处理工序(SlU)中，进行亲液化处理及疏液化处理。实施亲液化处理的区域 是无机物提堰层718a的第1叠层部718a及象素区域713的电极面713a，这些区域被例如 以氧作为处理气体的等离子体处理将表面处理为亲液性。该等离子体处理还兼作作为象素 电极713的ITO的清洗等。另外，疏液化处理是对有机物提堰层718b的壁面718s及有机物提堰层718b的上 面718t实施的，利用例如以四氟化甲烷为处理气体的等离子体处理对表面进行氟化处理 (处理为疏液性)。通过进行该表面处理工序，在使用功能液滴喷头42形成功能层717时，就可以使 功能液滴更为可靠地命中象素区域，另外能够防止命中了象素区域的功能液滴从开口部 719中溢出的情况。这样，通过经过以上的工序，就可以得到显示装置基体700A。该显示装置基体 700A被放置于图1所示的液滴喷出装置1的定位台21上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(SlU)及发光层形成工序(S114)。如图15所示，在空穴注入/输送层形成工序(SlU)中，从功能液滴喷头42中将 含有空穴注入/输送层形成材料的第1组合物向作为象素区域的各开口部719内喷出。其 后，如图16所示，进行干燥处理及热处理，使第1组合物中所含的极性溶剂蒸发，在象素电 极(电极面713a) 717上形成空穴注入/输送层717a。下面，对发光层形成工序(S114)进行说明。该发光层形成工序中，如上所述，为了 防止空穴注入/输送层717a的再次溶解，作为发光层形成之时所使用的第2组合物的溶 剂，使用相对于空穴注入/输送层717a不溶的非极性溶剂。但是，另一方面，空穴注入/输送层717a由于相对于非极性溶剂的亲和性低，因此 即使将含有非极性溶剂的第2组合物向空穴注入/输送层717a上喷出，也可能无法使空穴 注入/输送层717a和发光层717b密接，或者可能无法均一地涂布发光层717b。所以，为了提高空穴注入/输送层717a相对于非极性溶剂以及发光层形成材料的 表面的亲和性，最好在发光层形成之前进行表面处理(表面改性处理)。该表面处理是通过 将作为与发光层形成之时所使用的第2组合物的非极性溶剂相同的溶剂或与之类似的溶 剂的表面改性材料涂布在空穴注入/输送层717a上，并使之干燥而进行的。通过实施此种处理，空穴注入/输送层717a的表面就容易与非极性溶剂亲和，在 其后的工序中，就可以将含有发光层形成材料的第2组合物均一地涂布在空穴注入/输送 层717a上。此后，如图17所示，将含有与各色当中的任意一种(图17的例子中为蓝色(B)) 对应的发光层形成材料的第2组合物作为功能液滴，向象素区域(开口部719)内打入给定 量。被打入了象素区域内的第2组合物在空穴注入/输送层717a上展开而被充满于开口 部719内。而且，即使万一第2组合物脱离象素区域而命中了提堰部718的上面718t时，由 于该上面718t被如上所述地实施了疏液处理，因此第2组合物很容易滚入开口部719内。其后，通过进行干燥工序等，对喷出后的第2组合物进行干燥处理，使第2组合物 中所含的非极性溶剂蒸发，即如图18所示，在空穴注入/输送层717a上形成发光层717b。 该图的情况下，形成与蓝色(B)对应的发光层717b。同样地，使用功能液滴喷头42，如图19所示，依次进行与对应于所述的蓝色(B)的 发光层717b的情况相同的工序，形成与其他的颜色(红色(R)及绿色(G))对应的发光层 717b。而且，发光层717b的形成顺序并不限定于例示的顺序，以何种顺序来形成都可以。 例如，也可以与发光层形成材料对应地决定形成的顺序。另外，作为R ·Β三色的排列图 案，有条纹排列、马赛克排列及三角形排列等。如上所示，在象素电极713上，形成功能层717，即空穴注入/输送层717a及发光 层717b。此后，转移至对置电极形成工序(S115)。对置电极形成工序(SlM)中，如图20所示，在发光层717b及有机物提堰层718b 的全面上，例如利用蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极704(对置电极)。该阴极704在本 实施方式中，例如通过将钙层和铝层层叠而构成。在像这样形成了阴极704后，通过实施利用密封构件将该阴极704的上部密封的 密封处理或配线处理等其他的处理等，就可以得到显示装置700。下面，图21是等离子体型显示装置(PDP装置以下简称为显示装置800)的要部分解立体图。而且，同图中将显示装置800以切掉其一部分的状态表示。该显示装置800大致包括被相互面对地配置的第1基板801、第2基板802及形成 于它们之间的放电显示部803。放电显示部803由多个放电室805构成。按照使这些多个 放电室805当中的红色放电室805R、绿色放电室805G、蓝色放电室805B这三个放电室805 形成一组，构成1个象素的方式配置。在第1基板801的上面以给定的间隔成条纹状地形成地址电极806，按照覆盖该地 址电极806和第1基板801的上面的方式形成电介质层807。在电介质层807上，按照位于 各地址电极806之间，并且沿着各地址电极806的方式，竖立设置有隔壁808。该隔壁808 包括如图所示沿地址电极806的宽度方向两侧延伸的部分、沿与地址电极806正交的方向 延伸设置的未图示的部分。这样，由该隔壁808分隔的区域就成为放电室805。在放电室805内配置有荧光体809。荧光体809是发出红(R)、绿(G)、蓝⑶的 任意一种颜色的荧光的物质，在红色放电室805R的底部配置有红色荧光体809R，在绿色放 电室805G的底部配置有绿色荧光体809G，在蓝色放电室805B的底部配置有蓝色荧光体 809B。在第2基板802的图中下侧的面上，沿与所述地址电极806正交的方向以给定的 间隔成条纹状地形成有多个显示电极811。此外，按照覆盖它们的方式形成有电介质层812 及由MgO等构成的保护膜813。第1基板801和第2基板802被以使地址电极806和显示电极811相互正交的状 态相面对地贴合。而且，所述地址电极806和显示电极811被与未图示的交流电源连接。这样，通过向各电极806、811通电，在放电显示部803中荧光体809激发发光，从 而能够进行彩色显示。本实施方式中，可以使用图1所示的液滴喷出装置1形成所述地址电极806、显示 电极811及荧光体809。以下将例示第1基板801的地址电极806的形成工序。此时，在将第1基板801放置于液滴喷出装置1的定位台21上的状态下进行以下 的工序。首先，利用功能液滴喷头42，将含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液) 作为功能液滴，使之命中地址电极形成区域。该液体材料是作为导电膜配线形成用材料，将 金属等导电性微粒分散在了分散剂中的材料。作为该导电性微粒，可以使用含有金、银、铜、 钯或镍等的金属微粒或导电性聚合物等。当对于成为补充对象的全部的地址电极形成区域的液体材料的补充结束后，即 通过对喷出后的液体材料进行干燥处理，使液体材料中所含的分散剂蒸发，形成地址电极 806。但是，在所述说明中虽然例示了地址电极806的形成，然而对于所述显示电极811 及荧光体809，也可以通过经过所述各工序来形成。对于形成显示电极811的情况，与地址电极806的情况相同，将含有导电膜配线形 成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，使之命中显示电极形成区域。另外，在形成荧光体809的情况下，将含有与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液 体材料(功能液)从功能液滴喷头42中作为液滴喷出，使之命中对应的颜色的放电室805内。下面，图22是电子发射装置(也称作FED装置或SED装置以下简称为显示装置 900)的要部剖面图。而且，同图中，将显示装置900的局部作成剖面而表示。该显示装置900大致包括被相互面对地配置的第1基板901、第2基板902及形成 于它们之间的电场发射显示部903。电场发射显示部903由配置为矩阵状的多个电子发射 部905构成。在第1基板901的上面，相互正交地形成有构成负极906的第1元件电极906a及 第2元件电极906b。另外，在由第1元件电极906a及第2元件电极906b分隔的部分中，形 成有形成了间隙908的导电性膜907。S卩，由第1元件电极906a、第2元件电极90 及导 电性膜907构成多个电子发射部905。导电性膜907例如由氧化钯(PdO)等构成，另外间隙 908是在使导电性膜907成膜后，利用成形等而形成的。在第2基板902的下面，形成有与负极906对峙的正极909。在正极909的下面， 形成有格子状的提堰部911，在被该提堰部911包围的向下的各开口部912中，与电子发射 部905对应地配置有荧光体913。荧光体913是发出红(R)、绿(G)、蓝(B)的任意一种颜色 的荧光的物质，在各开口部912中，以所述的给定的图案配置有红色荧光体913R、绿色荧光 体913G及蓝色荧光体9i;3B。此外，如此构成的第1基板901和第2基板902被留有微小的间隙地贴合。该显 示装置900中，夹隔导电性膜(间隙908) 907，从作为阴极的第1元件电极906a或第2元件 电极906b中飞出的电子与形成于作为阳极的正极909上的荧光体913碰撞而激发发光，从 而能够进行彩色显示。该情况下，也与其他的实施方式相同，可以使用液滴喷出装置1形成第1元件电极 906a、第2元件电极906b、导电性膜907及正极909，并且可以使用液滴喷出装置1形成各 色的荧光体913R、913G、913B。第1元件电极906a、第2元件电极906b及导电性膜907具有图23 (a)所示的俯视 形状，在使它们成膜的情况下，如图23 (b)所示，预先留下加入第1元件电极906a、第2元件 电极906b及导电性膜907的部分，形成提堰部BB(光刻法)。然后，在由提堰部BB构成的 槽部分中，形成第1元件电极906a及第2元件电极906b (利用液滴喷出装置1实施的喷墨 法)，在使其溶剂干燥而进行了成膜后，形成导电性膜907(利用液滴喷出装置1实施的喷墨 法)。此后，在形成了导电性膜907后，将提堰部BB去除(磨光剥离处理)，转移至所述的 冲压处理。而且，与所述的有机EL装置的情况相同，最好进行对第1基板901及第2基板 902的亲液化处理、对提堰部911、BB的疏液化处理。另外，作为其他的电光学装置，可以考虑金属配线形成、透镜形成、光刻胶形成及 光扩散体形成等装置。通过将所述的液滴喷出装置1用于各种电光学装置(设备)的制造 中，就可以有效地制造各种电光学装置。
权利要求
1.一种液滴喷出装置，其特征在于，包括沿输送路径输送工件的输送装置和向所述工件喷出液滴的喷头组件， 所述喷头组件沿所述工件的输送方向以及与所述输送方向正交的方向移动。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于， 具有将被卷绕成卷状的所述工件拉出的拉出装置。
3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于， 具有卷绕所述工件的卷绕装置。
4.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于， 所述喷头组件与所述工件的实际描画区域的长度相对应。
全文摘要
一种液滴喷出装置，具备将沿长边方向配置了多个描画区域的卷状的工件(W)吸附定位的吸附台(31)、将工件(W)间歇地拉出并以使工件(W)弯曲的状态导入吸附台(31)的拉出机构(3)、具有功能液滴喷头(42)并通过在使功能液滴喷头(42)相对移动的同时对所吸附定位的工件(W)以描画区域单位进行描画的描画机构(12)、将描画完的工件(W)以使之弯曲的状态卷绕的卷绕机构(5)、将接受来自功能液滴喷头(42)的喷出的刷洗箱(111)按照收容于工件(W)的弯曲部分的至少一方的方式配设的刷洗组件(101)。由此可在对卷状的工件进行描画动作之前不久进行刷洗动作并可对实际描画区域稳定地进行描画。
文档编号B41J15/16GK102126343SQ20111000578
公开日2011年7月20日 申请日期2005年10月10日 优先权日2004年10月21日
发明者宫阪洋一 申请人:精工爱普生株式会社