液体喷射装置、液体喷射装置的填充方法与流程

本发明涉及打印机等液体喷射装置、液体喷射装置的填充方法。

背景技术：

作为液体喷射装置的一个示例，存在一种喷墨式的记录装置，其将从油墨盒(液体供给源)经由油墨流道(液体供给流道)而被供给的油墨(液体)从记录头(液体喷射部)向记录纸张喷出(喷射)并进行印刷(例如专利文献1)。记录装置具备对记录头进行压盖的盖部件、和对盖部件的内部空间施加负压从而从记录头中抽吸油墨的抽吸泵。

油墨流道具有锥状空间部，在该锥状空间部中设置有过滤器部件(过滤器)。当向这样的油墨流道填充油墨时，有时会在与过滤器部件相比靠上游侧的锥状空间部(上游侧过滤器室)中残留有气泡(气体)。

因此，记录装置对抽吸泵进行驱动，在以气泡与过滤器部件相接的程度的低流速而对油墨进行抽吸后，以气泡穿过过滤器部件的高流速对油墨进行抽吸，从而将气泡从记录头排出。但是，当将气泡从记录头中排出时，有时气泡的一部分未被排出而残留于记录头内，而使油墨的喷出变得不稳定。

这样的课题并未被限于具备设置于油墨流道上的过滤器部件的记录装置，在具备设置于液体供给流道上的过滤器的液体喷射装置、液体喷射装置的填充方法中大体是共同的课题。

专利文献1：日本特开2000-127455号公报

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种即使在液体供给流道内设置有过滤器的情况下也能够将液体适当地向液体供给流道填充的液体喷射装置、液体喷射装置的填充方法。

以下，对用于解决上述课题的手段进行记载。

用于解决上述课题的液体喷射装置具备：液体喷射部，其具有喷射液体的喷嘴开口；液体供给流道，其能够将所述液体从液体供给源向所述液体喷射部的所述喷嘴开口供给；以及过滤器部，其具有对异物进行捕集的过滤器，所述过滤器上设置有能够供流体穿过的多个孔，所述过滤器部构成所述液体供给流道的一部分，在所述液体供给流道中，在将所述液体供给源侧设为上游侧且将所述喷嘴开口侧设为下游侧的情况下，在以使所述下游侧的压力低于所述上游侧的压力的方式来作用有压力从而向未填充所述液体的状态的所述液体供给流道内填充所述液体供给源内的所述液体的填充动作中，在所述过滤器部中的成为所述过滤器的上游侧的上游侧过滤器室与成为所述过滤器的下游侧的下游侧过滤器室之间产生的最大压力差，大于对在所述过滤器的上游侧为所述液体且该过滤器的下游侧为气体的情况下形成于所述孔处的气液界面进行破坏的压力差，且小于对在所述过滤器的上游侧为所述气体且该过滤器的下游侧为所述液体的情况下形成于所述孔处的气液界面进行破坏的压力差。

用于解决上述课题的液体喷射装置的填充方法，其中的所述液体喷射装置具备：液体喷射部，其具有喷射液体的喷嘴开口；液体供给流道，其能够将所述液体从液体供给源向所述液体喷射部的所述喷嘴开口供给；以及过滤器部，其具有对异物进行捕集的过滤器，所述过滤器上设置有能够供流体穿过的多个孔，所述过滤器部构成所述液体供给流道的一部分，所述液体喷射装置的填充方法为，在所述液体喷射装置中，在将所述液体供给流道中的所述液体供给源侧设为上游侧且将所述喷嘴开口侧设为下游侧的情况下，以使所述下游侧的压力低于所述上游侧的压力的方式来作用有压力，从而向未填充所述液体的状态的所述液体供给流道内填充所述液体供给源内的所述液体的填充方法，在所述填充方法中，在所述过滤器部中的成为所述过滤器的上游侧的上游侧过滤器室与成为所述过滤器的下游侧的下游侧过滤器室之间产生的最大压力差，大于对在所述过滤器的上游侧为所述液体且该过滤器的下游侧为气体的情况下形成于所述孔处的气液界面进行破坏的压力差，且小于对在所述过滤器的上游侧为所述气体且该过滤器的下游侧为所述液体的情况下形成于所述孔处的气液界面进行破坏的压力差。

附图说明

图1为一个实施方式所涉及的液体喷射装置的立体图。

图2为表示上述液体喷射装置的概要结构的侧视图。

图3为表示上述液体喷射装置所具备的液体供给装置的示意图。

图4为第三过滤器和脱气机构的示意图。

图5为网式过滤器的示意图。

图6为网式过滤器的示意剖视图。

图7为多孔板的过滤器的示意剖视图。

图8为形成于第一过滤器的孔处的第一气液界面的示意图。

图9为形成于第一过滤器的孔处的第二气液界面的示意图。

图10为形成于喷嘴开口处的第三气液界面的示意图。

图11为表示对第二气液界面进行破坏的压力的表。

具体实施方式

以下，参照附图，对一个实施方式所涉及的液体喷射装置进行说明。并且，本实施方式的液体喷射装置为，通过向纸张等介质喷射作为液体的一个示例的油墨从而印刷文字以及图像的喷墨打印机。另外，本实施方式的液体喷射装置也为对长条的介质进行印刷的大幅面打印机。

如图1所示，液体喷射装置10具备一对腿部11、被组装在腿部11上的筐体12、将缠绕在卷筒体上的介质m向筐体12内放卷的放卷部13、对从筐体12排出的介质m进行引导的引导部14、以及将由引导部14引导的介质m收卷到卷筒体上的收卷部15。另外，液体喷射装置10具备对由收卷部15收卷的介质m赋予张力的张力赋予机构16、和由使用者进行操作的操作面板17。

并且，在本实施方式中，将液体喷射装置10的长边方向设为“宽度方向”，将液体喷射装置10的进深方向设为“前后方向”，将作为腿部11的长边方向的液体喷射装置10的上下方向设为“铅直方向”。在附图中，用x轴表示宽度方向，用y轴表示前后方向，用z轴表示铅直方向。在此，宽度方向、前后方向以及铅直方向为相互正交的方向。

如图2所示，液体喷射装置10具备对介质m进行支承的支承台20、对介质m进行输送的输送部30、对介质m进行印刷的印刷部40、实施印刷部40的维护的维护部50(参照图3)、以及对液体喷射装置10的动作进行控制的控制部60。另外，如图1以及图2所示，液体喷射装置10具备向印刷部40供给液体的液体供给装置100。

如图2所示，支承台20在与介质m的输送方向正交(交叉)的介质m的宽度方向上延伸。输送部30具备被配置于输送方向上的支承台20的两侧的输送辊对31、32。而且，通过输送辊对31、32被输送电机(省略图示)进行驱动，从而使被输送辊对31、32夹持的介质m沿着支承台20的表面而在输送方向上被输送。

印刷部40具备喷射液体的液体喷射部41、在宽度方向上延伸设置的引导轴42、以及由该引导轴42引导从而可在宽度方向上往复移动的滑架43。滑架43伴随着滑架电机(省略图示)的驱动而进行移动。

如图3所示，液体喷射部41具有喷射液体的喷嘴开口44。液体喷射部41具备与喷嘴开口44连通的独立液室411、由独立液室411和振动板412划分而成的收纳部413、以及被收纳于收纳部413内的致动器414。液体喷射部41具备临时对所供给的液体进行贮留从而向多个独立液室411供给液体的共用液室415。

致动器414例如为在被施加了驱动电压的情况下进行收缩的压电元件。伴随着致动器414的收缩而使振动板412发生变形之后，当解除驱动电压的施加时，容积发生了变化的独立液室411内的液体会作为液滴而从喷嘴开口44进行喷射。

维护部50具备可对液体喷射部41的喷嘴开口44进行覆盖的盖51。盖51通过将喷嘴开口44所开口的空间设为封闭空间从而对液体喷射部41进行压盖。为了对喷嘴开口44的干燥进行抑制等，而实施压盖。维护部50具备对盖51内进行抽吸的抽吸泵52、用于对废液进行回收的废液罐53、以及对盖51内的压力进行调节的调节器54。

当在对液体喷射部41进行压盖的状态下对抽吸泵52进行驱动时，成为负压作用于喷嘴开口44上且液体被强制性地从喷嘴开口44排出的所谓的抽吸清洁。调节器54在盖51内的压力低于预定的压力(例如-20kpa)的情况下使盖51内和大气连通。即，调节器54通过向盖51内取入空气，从而进行调节，以使盖51内的压力成为预定的压力。

接下来，对液体供给装置100的一个实施方式进行说明。

液体喷射装置10按照每种从液体喷射部41喷射的液体的种类而具备液体供给装置100。例如，如果是打印机，则按照每种油墨的颜色而具备液体供给装置100。

如图3所示，液体供给装置100具备对成为对液体喷射部41供给液体的供给源的液体供给源101进行保持的液体供给源保持部102。液体供给源101只要为可对液体进行收纳的结构即可，例如，既可以设为可更换的盒式，也可以设为可补充液体的罐式。并且，在将液体供给源101设为盒式的情况下，优选为，液体供给源保持部102以能够拆装液体供给源101的方式对液体供给源101进行保持，在将液体供给源101设为罐式的情况下，优选为，液体供给源保持部102以不能拆装液体供给源101的方式对液体供给源101进行保持。

液体供给装置100在与液体供给源101相比靠下游侧，具备对从液体供给源101供给的液体进行贮留的第一中间贮留体121(120)以及第二中间贮留体122(120)。另外，液体供给装置100具备对第一中间贮留体121进行保持的第一中间贮留体保持部131、对第二中间贮留体122进行保持的第二中间贮留体保持部132、以及对中间贮留体120内的压力进行调节的压力调节机构140。

如图2所示，中间贮留体120(121、122)位于与液体供给源101相比靠铅直方向上方，并位于与液体喷射部41(喷嘴开口44的开口位置)相比靠铅直方向下方。

如图3所示，液体供给装置100具备可从液体供给源101向液体喷射部41的喷嘴开口44供给液体的液体供给流道150。液体供给流道150具有第一液体流道151～第六液体流道156，而且，独立液室411以及共用液室415作为液体供给流道150的一部分而发挥功能。液体供给装置100具备与液体供给流道150一起形成供液体循环的循环流道157的流体流道158、和可将流体向循环流道157的外部排出的排出流道159。在以下的说明中，在液体供给流道150中，将液体供给源101侧称为上游侧，将喷嘴开口44侧称为下游侧。

液体供给装置100具备设置于液体供给流道150、流体流道158、以及排出流道159上的第一开闭阀161～第三开闭阀163、第一流量传感器171、第二流量传感器172、第一单向阀181～第六单向阀186。液体供给装置100具备设置于循环流道157上的循环泵190、第一过滤器部210～第四过滤器部240、静态混合器250、液体贮留部260、脱气机构270、液压调节机构280。

第一液体流道151对第一中间贮留体121和第六液体流道156进行连接。第一液体流道151的上游端与第一中间贮留体121(第一中间贮留体保持部131)连接，第一液体流道151的下游端与第二液体流道152的下游端以及第六液体流道156的上游端连接。在第一液体流道151上，从上游侧依次设置有第一开闭阀161、第一流量传感器171以及第一单向阀181。

第二液体流道152对第二中间贮留体122和第六液体流道156进行连接。第二液体流道152的上游端与第二中间贮留体122(第二中间贮留体保持部132)连接，第二液体流道152的下游端与第一液体流道151的下游端以及第六液体流道156的上游端连接。在第二液体流道152上，从上游侧依次设置有第二开闭阀162、第二流量传感器172以及第二单向阀182。

第三液体流道153对第一液体流道151和第五液体流道155进行连接。第三液体流道153的上游端与第五液体流道155的下游端以及第四液体流道154的上游端连接，第三液体流道153的下游端被连接于第一液体流道151中的第一流量传感器171与第一单向阀181之间的位置上。在第三液体流道153上设置有第三单向阀183。

第四液体流道154对第二液体流道152和第五液体流道155进行连接。第四液体流道154的上游端与第五液体流道155的下游端以及第三液体流道153的上游端连接，第四液体流道154的下游端被连接于第二液体流道152中的第二流量传感器172与第二单向阀182之间的位置上。在第四液体流道154上设置有第四单向阀184。

第五液体流道155对第三液体流道153以及第四液体流道154和液体供给源101进行连接。第五液体流道155的上游端与液体供给源101(液体供给源保持部102)连接，第五液体流道155的下游端与第三液体流道153的上游端以及第四液体流道154的上游端连接。

第六液体流道156对第一液体流道151以及第二液体流道152和液体喷射部41进行连接。第六液体流道156的上游端与第一液体流道151的下游端以及第二液体流道152的下游端连接，第六液体流道156的下游端与共用液室415连接。在第六液体流道156上，从上游侧依次设置有第三开闭阀163、第四过滤器部240、静态混合器250、液体贮留部260、脱气机构270、第二过滤器部220、液压调节机构280以及第一过滤器部210。

流体流道158的两端与第六液体流道156连接。流体流道158的一端与构成第六液体流道156的第一过滤器部210连接，流体流道158的另一端连接部160连接，连接部160位于第六液体流道156上的与第三开闭阀163相比靠上游侧处。具体而言，流体流道158的一端被连接于第一过滤器部210所具有的第一上游侧过滤器室212。流体流道158的另一端被连接于液体供给流道150上的与第一上游侧过滤器室212相比靠上游侧。因此，流体流道158可将第一上游侧过滤器室212内的流体不经由第一下游侧过滤器室213而向第一上游侧过滤器室212的外部排出。在流体流道158上，从第一过滤器部210侧依次设置有第三过滤器部230、循环泵190、第五单向阀185。

排出流道159与第三过滤器部230连接。在排出流道159上从成为上游侧的第三过滤器部230侧依次设置有第六单向阀186和脱气机构270。即，本实施方式的液体供给装置100具备被设置于第六液体流道156和排出流道159上的多个(2个)脱气机构270。通过在排出流道159上设置脱气机构270，从而排出流道159可将流体向循环流道157的外部排出。

液体供给流道150、流体流道158、排出流道159这些流道只要是能够使液体流动的流道即可。例如，流道既可以被形成于可弹性变形的软管内，也可以被形成于由硬质的树脂材料构成的流道形成部件的内部，此外也可以通过在形成有槽的流道形成部件上粘贴薄膜部件而被形成。

接下来，对中间贮留体120的一个实施方式进行说明。

如图3所示，第一中间贮留体121以及第二中间贮留体122与一个液体供给源101对应设置。即，在本实施方式中，从一个液体供给源101供给的液体被贮留于两个中间贮留体120中。另外，也可以说，第一中间贮留体121被设置于第一液体流道151上，第二中间贮留体122被设置于第二液体流道152上。

第一中间贮留体121以及第二中间贮留体122具有以可收纳液体的方式由挠性部件形成为袋状的液体收纳部123、和形成有对液体收纳部123进行收纳的收纳空间124的壳体125。在液体收纳部123中，设置有使该液体收纳部123的内部和第一液体流道151或第二液体流道152连通的液体连接口126。另外，在壳体125中，设置有可对收纳空间124和压力调节机构140进行连通的压力调节口127。并且，优选为，壳体125的收纳空间124设为封闭空间，且优选为，除了压力调节口127之外不产生气体的流出或流入。

第一液体流道151的上游端与第一中间贮留体保持部131连接，第二液体流道152的上游端与第二中间贮留体保持部132连接。并且，第一中间贮留体保持部131以及第二中间贮留体保持部132对中间贮留体120以可拆装的方式进行保持。因此，通过将第一中间贮留体121从第一中间贮留体保持部131上拆下，从而能够使第一中间贮留体121从第一液体流道151上分离，通过将第二中间贮留体122从第二中间贮留体保持部132上拆下，从而能够使第二中间贮留体122从第二液体流道152上分离。

接下来，对压力调节机构140的一个实施方式进行说明。

压力调节机构140具有对第一中间贮留体121内的压力进行调节的第一压力调节机构141、和对第二中间贮留体122内的压力进行调节的第二压力调节机构142。第一压力调节机构141以及第二压力调节机构142具有以不存在间隙的方式与中间贮留体120的压力调节口127连接的压力调节流道143、和设置于压力调节流道143上的压力调节泵144。而且，压力调节机构140通过压力调节泵144的驱动，而通过向壳体125的收纳空间124送出气体，从而对中间贮留体120内进行加压，并通过从壳体125的收纳空间124中排出气体，从而对中间贮留体120内进行减压。

另外，压力调节机构140针对每个中间贮留体120而被设置。因此，压力调节机构140能够在对第一中间贮留体121以及第二中间贮留体122中的一方的中间贮留体120的收纳空间124进行加压的同时对另一方的中间贮留体120的收纳空间124进行减压。另外，在以下的说明中，也将对中间贮留体120的收纳空间124进行加压的情况简称为“对中间贮留体120内进行加压”，将对中间贮留体120的收纳空间124进行减压的情况简称为“对中间贮留体120内进行减压”。

接下来，对第一开闭阀161～第三开闭阀163、第一流量传感器171、第二流量传感器172、第一单向阀181～第六单向阀186进行说明。

第一开闭阀161为，可对容许第一液体流道151内的液体的流动的开阀状态、和切断第一液体流道151内的液体的流动的闭阀状态进行切换的阀。第一开闭阀161通过在将第一中间贮留体121从第一中间贮留体保持部131上拆下时设为闭阀状态，从而能够抑制液体从第一液体流道151的上游端漏出的情况。

第二开闭阀162为，可对容许第二液体流道152内的液体的流动的开阀状态、和切断第二液体流道152内的液体的流动的闭阀状态进行切换的阀。第二开闭阀162通过在将第二中间贮留体122从第二中间贮留体保持部132上拆下时设为闭阀状态，从而能够抑制液体从第二液体流道152的上游端漏出的情况。

第三开闭阀163为，可对容许第六液体流道156内的液体的流动的开阀状态、和切断第六液体流道156内的液体的流动的闭阀状态进行切换的阀。第三开闭阀163通过在维护部50对液体喷射部41进行维护时设为闭阀状态，从而能够对维护部50作用于喷嘴开口44上的负压进行蓄压。即，当在对负压进行蓄压的状态下使第三开闭阀163开阀时，成为液体从喷嘴开口44迅猛排出的所谓扼流清洁。

第一开闭阀161～第三开闭阀163例如既可以是通过螺线管而使阀开闭的电磁阀(螺线管操纵阀)，也可以为通过电动机而使阀开闭的电动阀，此外也可以为通过流体压力缸而使阀开闭的流体压力阀，还可以为其他的控制阀。

第一流量传感器171对流动于第一液体流道151中的液体的流量进行检测，第二流量传感器172对流动于第二液体流道152中的液体的流量进行检测。并且，第一流量传感器171以及第二流量传感器172既可以为电磁式的流量计，也可以为科里奥利式的流量计，此外也可以为超声波式的流量计，还可以为其他的流量计。

第一单向阀181～第六单向阀186容许流体从上游侧向下游侧的流动，而对流体的从下游侧向上游侧的流动进行限制。

第一单向阀181在第一液体流道151中容许流体从第一中间贮留体121向第六液体流道156的流动。第一单向阀181对流体从第六液体流道156以及第二液体流道152向第一中间贮留体121的流动进行限制。

第二单向阀182在第二液体流道152中容许流体从第二中间贮留体122向第六液体流道156的流动。第二单向阀182对流体从第六液体流道156以及第一液体流道151向第二中间贮留体122的流动进行限制。

第三单向阀183在第三液体流道153中容许流体从液体供给源101向第一中间贮留体121的流动，而对流体从第一中间贮留体121向液体供给源101的流体的流动进行限制。即，第三单向阀183容许流体从第五液体流道155向第一液体流道151的流动，而对流体从第一液体流道151向第五液体流道155的流动进行限制。

第四单向阀184在第四液体流道154中容许流体从液体供给源101向第二中间贮留体122的流动，而对流体从第二中间贮留体122向液体供给源101的流动进行限制。即，第四单向阀184容许流体从第五液体流道155向第二液体流道152的流动，而对流体从第二液体流道152向第五液体流道155的流动进行限制。

因此，当第一压力调节机构141对第一中间贮留体121内进行减压时，收纳于液体供给源101内的液体经由第五液体流道155、第三液体流道153以及第一液体流道151而流入第一中间贮留体121。第一压力调节机构141对第一中间贮留体121内进行加压，且在液体喷射部41内液体被消耗时，贮留于第一中间贮留体121内的液体经由第一液体流道151、第六液体流道156而被向液体喷射部41供给。

当第二压力调节机构142对第二中间贮留体122内进行减压时，收纳于液体供给源101内的液体经由第五液体流道155、第四液体流道154以及第二液体流道152而流入第二中间贮留体122。当第二压力调节机构142对第二中间贮留体122内进行加压，且液体在液体喷射部41中被消耗时，贮留于第二中间贮留体122中的液体经由第二液体流道152、第六液体流道156而被向液体喷射部41供给。

第五单向阀185容许流体从第一过滤器部210向连接部160的流动，而对从连接部160向第一过滤器部210的流动进行限制。因此，在流体流道158中，流体从第一过滤器部210向连接部160流动。因此，在流体流道158中，也将第一过滤器部210侧称为上游侧，将连接部160侧称为下游侧。

第六单向阀186容许流体从第三过滤器部230向脱气机构270的流动，而对流体从脱气机构270向第三过滤器部230的流动进行限制。

接下来，对第一过滤器部210～第四过滤器部240的一个实施方式进行说明。

第一过滤器部210～第四过滤器部240随着使用时间的增大而异物的捕集能力降低。因此，液体喷射装置10也可以将第一过滤器部210～第四过滤器部240中的至少一个过滤器部设为可更换。在该情况下，优选为，如图2所示，在筐体12上设置罩18，并在打开罩18时从筐体12露出的位置上设置可更换的过滤器部。

如图3所示，第一过滤器部210、第二过滤器部220、第四过滤器部240构成液体供给流道150以及循环流道157的一部分。第三过滤器部230构成流体流道158以及循环流道157的一部分。

第一过滤器部210具有对异物进行捕集的第一过滤器211、成为与第一过滤器211相比靠上游侧的第一上游侧过滤器室212、成为与第一过滤器211相比靠下游侧的第一下游侧过滤器室213。第一上游侧过滤器室212被配置于与第一下游侧过滤器室213相比靠铅直上方。第一上游侧过滤器室212呈大致圆锥形或大致圆锥台形，第一过滤器211构成第一上游侧过滤器室212的底面而被形成为大致圆盘状。优选为，第一上游侧过滤器室212的高度小于第一过滤器211的直径。

第二过滤器部220位于与第一过滤器部210相比靠上游侧。第二过滤器部220具有对异物进行捕集的第二过滤器221、成为与第二过滤器221相比靠上游侧的第二上游侧过滤器室222、成为与第二过滤器221相比靠下游侧的第二下游侧过滤器室223。

第三过滤器部230具有对异物进行捕集的第三过滤器231、成为与第三过滤器231相比靠上游侧的第三上游侧过滤器室232、成为与第三过滤器231相比靠下游侧的第三下游侧过滤器室233。

第四过滤器部240位于与第二过滤器部220相比靠上游侧。第四过滤器部240具有对异物进行捕集的第四过滤器241、成为与第四过滤器241相比靠上游侧的第四上游侧过滤器室242、成为与第四过滤器241相比靠下游侧的第四下游侧过滤器室243。

上游侧为，穿过第一过滤器211～第四过滤器241之前的初级侧，下游侧为，穿过第一过滤器211～第四过滤器241后的次级侧。优选为，第一过滤器211～第四过滤器241的可供流体穿过的过滤面积大于液体供给流道150以及流体流道158的流道截面积。

接下来，对设置于第六液体流道156、流体流道158、排出流道159上的其他结构进行说明。

静态混合器250具备多个在液体的流动方向上对该液体的流动进行分流的结构。而且，静态混合器250通过对流动于该静态混合器250中的液体进行分流或者转换或者反转，从而使液体中的浓度的偏差减少。

液体贮留部260具有对液体进行贮留的加压室261、构成加压室261的壁面的一部分的弹性膜262、在使加压室261的容积减少的方向上对弹性膜262进行施力的第一施力部件263。这样，在液体贮留部260中，加压室261对贮留于该加压室261内的液体进行加压。

在此，加压室261通过与在向液体喷射部41供给液体时中间贮留体120被加压的压力(例如，30kpa)相比较低的压力(例如，10kpa)而对贮留于该加压室261内的液体进行加压。详细而言，通过被第一施力部件263施力的弹性膜262而作用于被贮留于加压室261中的液体上的压力，与为了从中间贮留体120向液体喷射部41供给液体而由压力调节机构140作用于中间贮留体120上的压力相比而较低。因此，在来自中间贮留体120的液体的供给压力直至液体贮留部260而未降低的情况下，弹性膜262会克服第一施力部件263的作用力而在加压室261的容积变大的方向上进行位移。

如图3、图4所示，脱气机构270具备临时对液体进行贮留的脱气室271、由脱气室271和脱气膜272划分而成的排气室273、使排气室273与外部连通的排气通道274。

由于设置于第六液体流道156上的脱气机构270、和设置于排出流道159上的脱气机构270的结构大致相同，因此，通过对相同的结构标记相同的符号，而省略重复的说明。设置于第六液体流道156上的脱气机构270的脱气室271构成第六液体流道156的一部分，设置于排出流道159上的脱气机构270的脱气室271构成排出流道159的下游端。

脱气膜272具有使气体通过而使液体不通过的性质。作为脱气膜272，例如，能够采用在对ptfe(聚四氟乙烯)进行特殊延伸加工而制成的薄膜上形成有多个0.2微米左右的微细的孔的膜。当包含气体的液体流入脱气室271时，仅气体通过脱气膜272而进入排气室273，并通过排气通道274而向外部排出。由此，在对液体从排出流道159的排出进行抑制的同时，去除了被混入至贮留于脱气室271内的液体中的气泡或溶存气体。

在脱气机构270中，排气室273被配置于与脱气室271相比靠铅直上方。脱气机构270也可以具备对排气室273进行减压的减压泵275。减压泵275通过排气通道274而对排气室273进行减压，从而去除混入至贮留于脱气室271内的液体中的气泡或溶存气体。例如，在能够通过使用弹簧等施力部件而使排气室273的压力低于脱气室271的压力的情况下，也可以不设置减压泵275。

如图3所示，液压调节机构280在与第二过滤器部220相比靠下游侧的位置处与第二过滤器部220一体地设置。液压调节机构280具备：可经由连通孔281而与第二下游侧过滤器室223连通的压力室282；可对连通孔281进行开闭的阀体283；以及基端侧被收纳于第二下游侧过滤器室223内且顶端侧被收纳于压力室282内的受压部件284。

压力室282设为可对液体进行贮留。压力室282的壁面的一部分通过可挠曲位移的挠性壁285而被形成。阀体283例如只要为被安装在位于第二下游侧过滤器室223内的受压部件284的基端部分上的橡胶或树脂等弹性体即可。

液压调节机构280具备被收纳于第二下游侧过滤器室223内的第二施力部件286、以及被收纳于压力室282内的第三施力部件287。第二施力部件286经由受压部件284而在对连通孔281进行封闭的方向上对阀体283进行施力。当通过挠性壁285在使压力室282的容积减小的方向上挠曲位移而由该挠性壁285对受压部件284进行按压时，第三施力部件287将受压部件284推回。

因此，在压力室282的内压降低而挠性壁285对受压部件284进行按压的力大于第二施力部件286以及第三施力部件287的作用力的情况下，阀体283使连通孔281开放。当连通孔281被开放而液体从第二下游侧过滤器室223流入压力室282时，压力室282的内压上升。其结果为，在压力室282的内压上升至正压之前，通过第三施力部件287的作用力而使阀体283对连通孔281进行封闭。这样，压力室282的内压被保持在与第三施力部件287的作用力相对应的负压的范围内。另外，压力室282的内压随着液体从液体喷射部41的排出而降低。而且，阀体283根据压力室282的外压(大气压)和压力室282的内压之间的差压而自动地使连通孔281开闭。因此，液压调节机构280也称为差压阀(减压阀或者自密封阀)。

也可以在液压调节机构280中附加强制性地打开连通孔281并将液体向液体喷射部41供给的开阀机构290。例如，开阀机构290具备被收纳于通过挠性壁285而与压力室282划分出的收纳室291内的加压袋292、和使气体流入加压袋292内的加压流道293。

开阀机构290通过穿过加压流道293而流入的气体而使加压袋292膨胀，且使挠性壁285在使压力室282的容积减小的方向上挠曲位移，从而强制性地使连通孔281开放。液体供给装置100通过在连通孔281被开放的状态下将液体从液体供给源101加压供给至液体喷射部41，而能够实施使液体从液体喷射部41流出的加压清洁。

在该情况下，加压流道293也可以设为与排气通道274连接并可对减压泵275进行加压和减压这两方的驱动的结构。即，也可以在排气通道274上设置第七单向阀187，并通过减压泵275进行加压驱动而将气体向加压袋292送出，从而通过减压泵275进行减压驱动而对排气室273进行减压。

循环泵190使液体从第一上游侧过滤器室212向连接部160流动。当循环泵190进行驱动时，液体循环于循环流道157内，液体中所含的气泡等异物被第一过滤器211～第四过滤器241捕集。另外，在液体包含顔料等沉降成分的情况下，通过使液体循环或使液体穿过静态混合器250，从而对液体进行搅拌，以抑制浓度的不均匀化。

接下来，对第三过滤器部230的一个实施方式进行说明。

如图4所示，第三过滤器部230具备圆筒状的过滤器壳体234，并将圆筒状的第三过滤器231以使其中心轴与过滤器壳体234的中心轴重叠的方式配置于过滤器壳体234内。第三过滤器231的底面部分与上表面部分通过圆盘状的支承板235而被封闭。

第三上游侧过滤器室232为被围在过滤器壳体234与第三过滤器231之间而形成的空间，第三下游侧过滤器室233为在第三过滤器231的内侧处被围在支承板235与第三过滤器231之间而形成的空间。

流体流道158从呈圆筒状的过滤器壳体234的圆形状的上表面起与第三上游侧过滤器室232连接，并且贯穿底面以及底面侧的支承板235而与第三下游侧过滤器室233连接。

第三过滤器部230可以配置成以初级侧(上游侧)高于次级侧(下游侧)的方式而倾斜。另外，排出流道159可以与第三上游侧过滤器室232中的铅直方向的上端部连接。这样，进入第三上游侧过滤器室232的气体会存留在第三上游侧过滤器室232中的成为最高位置的角部，因此，气体与液体相比更易于进入至排出流道159中。

当流体进入第三过滤器部230时，该流体临时被贮留于第三上游侧过滤器室232之后，从第三过滤器231的外周面进入第三过滤器231内，并抵达第三下游侧过滤器室233。此时，包含气泡的异物被第三过滤器231捕集。另外，被第三过滤器231捕集的气泡存留在第三上游侧过滤器室232的上部，并从排出流道159向外部流出。而且，通过第三过滤器231而过滤掉了异物的液体向第三下游侧过滤器室233移动。并且，在图4所示的结构中，用箭头标记表示流体流动的方向。

接下来，对第一过滤器211～第四过滤器241的一个实施方式、以及第一过滤器211～第四过滤器241可捕集的异物的大小进行说明。

对于第一过滤器211～第四过滤器241，例如，可以使用网眼状体、多孔质体、形成了微细的贯穿孔的多孔板等。第一过滤器211～第四过滤器241也可以分别使用不同种类以及不同形状的过滤器。

作为网眼状体的过滤器，具有金属网、树脂性的网、网式过滤器、金属纤维等。作为金属纤维的过滤器，具有将不锈钢的细丝设为毛毡状的毛毡过滤器、使不锈钢的细丝进行压缩烧结而成的金属烧结过滤器等。作为多孔板的过滤器，具有电铸成型金属过滤器、电子线加工金属过滤器、激光束加工金属过滤器等。

如图5～图7所示，第一过滤器211～第四过滤器241上设置有可供流体穿过的多个孔302并对异物进行捕集。在本实施方式中，对过滤器的异物进行捕集的能力通过过滤粒度来表示。该过滤粒度为，表示能够以某种概率进行捕集的粒径的公称过滤粒度，且为根据iso4572标准而被测量的值。例如，过滤粒度为5μm表示能够对具有5μm的平均直径的颗粒的98.5％进行捕集。

优选为，表示第一过滤器211～第四过滤器241所能够捕集的异物的大小的过滤粒度小于喷嘴开口44的最小尺寸(例如，20μm(0.020mm))。由此，液体中的异物会难以到达喷嘴开口44。关于喷嘴开口44的最小尺寸，在喷嘴开口44为圆形的情况下为喷嘴开口44的直径。喷嘴开口44也可以不限于圆形，而设为对多边形、椭圆形、扇形、对这些形状进行组合的形状。

优选为，第二过滤器221所能够捕集的异物的大小大于第一过滤器211所能够捕集的异物的大小。即，例如，在第一过滤器211的过滤粒度为5μm的情况下，优选为，第二过滤器221设为与第一过滤器211相比较大的10μm的过滤粒度。

如图5、图6所示，在作为第一过滤器211～第四过滤器241而采用网式过滤器的情况下，能够设为斜纹密纹编织的过滤器。对不锈钢的金属丝301进行编织而形成的网式过滤器设置有作为图5中的金属丝301彼此的间隙(未图示)以及图6中的金属丝301彼此的间隙的网眼。即，在本实施方式中，将以使上游侧过滤器室和下游侧过滤器室连通且贯穿过滤器的方式而连续的金属丝301彼此的间隙即网眼称为孔302。

如图7所示，作为第一过滤器211～第四过滤器241，在采用多孔板的过滤器的情况下，优选为，孔302的最小尺寸小于喷嘴开口44的最小尺寸。在多孔板的过滤器中，形成有贯穿不锈钢板的大量(例如，每1cm²上有数万孔)的孔302。关于孔302的最小尺寸，在孔302为圆形的情况下，为孔302的直径(内径)。孔302的形状并未被限定为圆形，也可以设为正方形、六边形等多边形、椭圆形等。

接下来，对液体喷射装置10的电结构进行说明。

在控制部60的输入侧接口处连接有第一流量传感器171以及第二流量传感器172。另外，在控制部60的输出侧接口处连接有输送部30、致动器414、维护部50、压力调节泵144、第一开闭阀161～第三开闭阀163、减压泵275以及循环泵190。

根据流量传感器171、172的检测结果，控制部60对贮留于中间贮留体120内的液量进行运算。详细而言，根据流量传感器171、172的检测结果，在液体流入中间贮留体120的情况下，控制部60将液体流入的时间和其流量所对应的液量与被贮留于中间贮留体120内的液量进行相加。另一方面，根据流量传感器171、172的检测结果，在液体从中间贮留体120流出的情况下，控制部60将液体流出的时间和其流量所对应的液量从被贮留于中间贮留体120内的液量中减去。这样，控制部60能够掌握被贮留于中间贮留体120内的液量。并且，在流量传感器171、172无法对液体的流动方向进行区分的情况下，控制部60只要根据压力调节机构140的驱动方式而判断液体的流动方向即可。

接下来，对液体喷射装置10的填充方法进行说明。

在液体喷射装置10开始使用之前，实施向未填充有液体的状态的液体供给流道150内填充液体供给源101内的液体的填充动作。即，由于气体进入从与液体供给源101相连的液体供给流道150到喷嘴开口44为止的区域内，因此，在填充动作中排出该气体并填充液体。

如图3所示，控制部60对第一中间贮留体121内进行减压，并将收纳于液体供给源101内的液体向第一中间贮留体121供给。由此，第一液体流道151、第三液体流道153、第五液体流道155内的流体(主要是气体)流入第一中间贮留体121。

当第一中间贮留体121所具备的液体收纳部123的容积成为最大时，控制部60对第一中间贮留体121内进行加压，并对第二中间贮留体122内进行减压。当对第一中间贮留体121内进行加压时，收纳于第一中间贮留体121内的流体被向第六液体流道156供给，并通过设置于第六液体流道156上的脱气机构270而排出气体。当对第二中间贮留体122内进行减压时，第二液体流道152、第四液体流道154、第五液体流道155内的流体(主要是气体)流入第二中间贮留体122。

当第一中间贮留体121所具备的液体收纳部123的容积成为最小、且第二中间贮留体122所具备的液体收纳部123的容积成为最大时，控制部60对第一中间贮留体121内进行减压，并对第二中间贮留体122内进行加压。当对第二中间贮留体122内进行加压时，收纳于第二中间贮留体122内的流体被向第六液体流道156供给，通过设置于第六液体流道156上的脱气机构270而排出气体。

这样，控制部60交替反复进行第一中间贮留体121内的加压和第二中间贮留体122内的减压、以及第一中间贮留体121内的减压和第二中间贮留体122内的加压。由此，在第一中间贮留体121、第二中间贮留体122、第一液体流道151～第五液体流道155以及第六液体流道156的一部分中填充液体。

此后，控制部60在对液体喷射部41进行压盖的状态下以预定时间对抽吸泵52进行驱动，而对第一中间贮留体121与第二中间贮留体122中的至少一方的中间贮留体120内进行加压。即，控制部60在液体供给流道150中以使下游侧的压力低于上游侧的压力的方式而作用有压力。于是，液体从被加压的中间贮留体120中被供给，液体供给流道150内的流体(主要是气体)从液体喷射部41的喷嘴开口44中被排出。

如图8所示，具体而言，当液体被供给至第一过滤器部210时，第一过滤器211的上游侧成为液体，第一过滤器211的下游侧成为气体，在第一过滤器211的孔302中形成第一气液界面311。第一气液界面311在第一上游侧过滤器室212与第一下游侧过滤器室213之间的压力差成为第一压力差δpa以上时被破坏，液体被填充到液体供给流道150。

如图9所示，在液体中包含气体(气泡)的情况下，气体通过第一过滤器211而被捕集。此时，第一过滤器211的上游侧成为气体，第一过滤器211的下游侧成为液体，在第一过滤器211的孔302中形成第二气液界面312。第二气液界面312在第一上游侧过滤器室212与第一下游侧过滤器室213之间的压力差成为第二压力差δpb以上时被破坏。第二压力差δpb大于第一压力差δpa(δpa＜δpb)。

控制部60在填充动作中，以使在第一上游侧过滤器室212与第一下游侧过滤器室213之间产生的最大压力差大于第一压力差δpa且小于第二压力差δpb的方式，对抽吸泵52以及压力调节机构140进行驱动。因此，液体穿过第一过滤器211，相对于此，大于孔302的异物(气体)不会穿过第一过滤器211而被捕集。当在液体供给流道150中填充有液体时，控制部60使抽吸泵52的驱动停止。

在该阶段，在流体流道158中还残留有气体。接下来，控制部60进行将第一上游侧过滤器室212内的流体向第一上游侧过滤器室212的外部排出的排出动作。即，控制部60在解除了压盖的状态下以预定时间对循环泵190进行驱动，并使流体从第一上游侧过滤器室212移动至流体流道158。流体流道158内的流体(主要为气体)的一部分通过排出流道159而被排出，一部分从连接部160移动至液体供给流道150。流体在移动于循环流道157的过程中通过两个脱气机构270而排出气体，在流体流道158中也填充有液体。

在排出动作中，作用于第一上游侧过滤器室212上的压力，还作用于液体供给流道150中与第一上游侧过滤器室212相比靠下游侧处。因此，作用于与第一过滤器部210相比靠喷嘴开口44侧的液体供给流道150上的压力低于喷嘴开口44开口的空间的压力。

如图10所示，在喷嘴开口44中形成有第三气液界面313。在排出动作中，控制部60对循环泵190进行驱动，以使在第三气液界面313的上游侧与空间侧之间产生的最大压力差小于对第三气液界面313进行破坏的第三压力差δpc。

接下来，对破坏第三气液界面313的第三压力差δpc进行说明。

如图10所示，将液体的表面张力设为γ，将润湿角设为θ，将产生第三气液界面313的喷嘴开口44的直径设为d。

在喷嘴开口44为圆形的情况下，通过液面和喷嘴开口44之间的界面张力而产生的压力pγ为pγ＝4γcosθdπ/(πd2)＝4γcosθ/d。

将液体的密度设为ρ，将深度设为h，将重力加速度设为g的情况下的液体的水位差压力ph为ph＝ρhg。

对气液界面进行破坏的压力差δp与压力pγ、水位差压力ph均衡，成为δp＝pγ+ph。由于ph大致为0，因此成为δp＝pγ＝4γcosθ/d。

例如，在喷嘴开口44的直径d＝20μm、液体的表面张力γ＝23.6mn/m的情况下，当设为润湿角θ≈0时，成为δpc≈4.7kpa。即，当第三气液界面313的上游侧与空间侧之间的压力差成为大约4.7kpa以上时，形成于喷嘴开口44处的第三气液界面313被破坏的可能性较高。因此，控制部60对循环泵190进行驱动，以使第三气液界面313的上游侧与空间侧之间的压力差成为大约4.7kpa以下。

第一压力差δpa以及第二压力差δpb根据第一过滤器211的种类、材质、过滤粒度等而发生变化。另外，第一压力差δpa以及第二压力差δpb也根据液体的表面张力而发生变化。

在图11中，通过改变不锈钢网式过滤器与液体的组合而对第二气液界面312被破坏的第二压力差δpb进行测量，用○表示第二气液界面312未被破坏的情况，用×表示第二气液界面312已被破坏的情况。并且，图11的网目为表示网式过滤器的网眼的开孔的单位，如果是网目2300，则是指每一英寸的网眼(金属丝301彼此的间隙)的数量具有2300个的网式过滤器。

no.1为，斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器(网目2300)与表面张力为23.6mn/m的液体的组合。在该组合中，当第一上游侧过滤器室212与第一下游侧过滤器室213之间的压力差为10kpa时，第二气液界面312未被破坏，而在为20kpa时，第二气液界面312已被破坏。即，第二压力差δpb大于10kpa且在20kpa以下(10kpa＜δpb≤20kpa)。因此，优选为，在填充动作中，控制部60对抽吸泵52以及压力调节机构140进行驱动，以使在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间产生的最大压力差小于被推测为大于10kpa且在20kpa以下的第二压力差δpb。另外，根据评价结果，更加优选为，在填充动作中，将在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间产生的最大压力差设为10kpa以下。

另外，作为斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器的孔302的、金属丝301彼此的间隙即网眼为复杂的形状。因此，难以根据其规格使用计算式而求出第二压力差δpb，而将斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器(网目2300)假设为形成有以公称过滤粒度10μm为直径的孔302的多孔板的过滤器。当根据求出对前述的气液界面进行破坏的压力差δp的计算式而求出第二压力差δpb时，成为δpb≈9.4kpa，而成为小于根据评价结果而推测出的第二压力差δpb的值。

no.2为，斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器(网目2800)与表面张力为23.6mn/m的液体的组合。在该组合中，当第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间的压力差为20kpa时，第二气液界面312未被破坏，当为30kpa时，第二气液界面312被破坏。即，第二压力差δpb大于20kpa且在30kpa以下(20kpa＜δpb≤30kpa)。因此，优选为，在填充动作中，控制部60对抽吸泵52以及压力调节机构140进行驱动，以使在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间产生的最大压力差小于被推测为大于20kpa且在30kpa以下的第二压力差δpb。另外，根据评价结果，更加优选为，在填充动作中，将在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间产生的最大压力差设为20kpa以下。

另外，将斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器(网目2800)假设为形成有以公称过滤粒度5μm为直径的孔302的多孔板的过滤器，当根据求出对气液界面进行破坏的压力差δp的计算式而求出第二压力差δpb时，成为δpb≈18.9kpa，而成为小于根据评价结果而推测出的第二压力差δpb的值。

no.3为，斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器(网目3600)与表面张力为23.6mn/m的液体的组合。在该组合中，当在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间的压力差为30kpa时，第二气液界面312未被破坏，当为40kpa时，第二气液界面312被破坏。即，第二压力差δpb大于30kpa且在40kpa以下(30kpa＜δpb≤40kpa)。因此，优选为，在填充动作中，控制部60对抽吸泵52以及压力调节机构140进行驱动，以使在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间产生的最大压力差小于被推测为大于30kpa且在40kpa以下的第二压力差δpb。另外，根据评价结果，更加优选为，在填充动作中，将在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间产生的最大压力差设为30kpa以下。

另外，将斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器(网目3600)假设为形成有以公称过滤粒度4μm为直径的孔302的多孔板的过滤器。当根据求出对前述的气液界面进行破坏的压力差δp的计算式而求出第二压力差δpb时，成为δpb≈23.6kpa，而成为小于根据评价结果而推测出的第二压力差δpb的值。

no.4为，斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器(网目2800)与表面张力为58.6mn/m的液体的组合。在该组合中，当第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间的压力差为50kpa时，第二气液界面312未被破坏，当为60kpa时，第二气液界面312被破坏。即，第二压力差δpb大于50kpa且在60kpa以下(50kpa＜δpb≤60kpa)。因此，优选为，在填充动作中，控制部60对抽吸泵52以及压力调节机构140进行驱动，以使在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间产生的最大压力差小于被推测为大于50kpa且在60kpa以下的第二压力差δpb。另外，根据评价结果，更加有优选为，在填充动作中，将在第一上游侧过滤器室212与第二下游侧过滤器室223之间产生的最大压力差设为50kpa以下。

另外，将斜纹密纹编织的不锈钢网式过滤器(网目2800)假设为形成有以公称过滤粒度5μm为直径的孔302的多孔板的过滤器，当根据求出对前述的气液界面进行破坏的压力差δp的计算式而求出第二压力差δpb时，成为δpb≈46.9kpa，而成为小于根据评价结果而被推测出的第二压力差δpb的值。

接下来，对以如上方式构成的液体喷射装置10的作用进行说明。

当液体喷射部41消耗液体时，收纳于液体供给源101内的液体穿过第四过滤器部240、第二过滤器部220、第一过滤器部210而被供给至液体喷射部41。液体中所含的气泡等的异物通过第四过滤器241、第二过滤器221、第一过滤器211而被捕集。

通过第二过滤器221而被捕集的气体通过设置于第六液体流道156上的脱气机构270而被向外部排出。优选为，脱气机构270位于与第二上游侧过滤器室222相比靠铅直上方。由此，能够使第二上游侧过滤器室222内的气泡移动至脱气机构270并进行脱气。

通过第一过滤器211而被捕集的气体通过循环泵190的驱动而被从第一上游侧过滤器室212向流体流道158排出。气体在通过第三过滤器部230而被捕集之后，通过脱气机构270而被向外部排出。

维护部50定期对液体喷射部41进行维护。在抽吸清洁以及加压清洁中，控制部60对抽吸泵52或压力调节机构140进行驱动，以使第一上游侧过滤器室212与第二上游侧过滤器室222的压力差在第一压力差δpa以上且小于第二压力差δpb。在扼流清洁中，控制部60对抽吸泵52进行驱动，以使在使第三开闭阀163开阀后的第一上游侧过滤器室212与第二上游侧过滤器室222的压力差成为第一压力差δpa以上且小于第二压力差δpb。

根据上述实施方式，能够获得如下的效果。

(1)在填充动作中，在第一上游侧过滤器室212与第一下游侧过滤器室213之间产生的最大压力差，大于对在第一过滤器211的上游侧为液体且下游侧为气体的情况下被形成于第一过滤器211的孔302处的第一气液界面311进行破坏的压力差。因此，从液体供给源101供给的液体会穿过第一过滤器211。而且，在填充动作中，在第一上游侧过滤器室212与第一下游侧过滤器室213之间产生的最大压力差，小于对在第一过滤器211的上游侧为气体且下游侧为液体的情况下被形成于第一过滤器211的孔302处的第二气液界面312进行破坏的压力差。因此，即使在气体滞留于第一上游侧过滤器室212中的情况下，也能够减少该气体成为气泡并穿过第一过滤器211向下游侧移动的可能性。因此，即使在液体供给流道150内设置有第一过滤器211的情况下，也能够将液体适当地填充至液体供给流道150。

(2)与喷嘴开口44的尺寸相比较大的异物能够通过第一过滤器211进行捕集。因此，能够减少无法穿过喷嘴开口44的异物向喷嘴开口44侧流动的可能性。

(3)与喷嘴开口44的尺寸相比较大的异物通过第二过滤器221而被捕集。因此，能够减少无法穿过喷嘴开口44的异物向喷嘴开口44侧流动的可能性。而且，由于将与第一过滤器211相比可捕集的异物的大小较大的第二过滤器221设置在与第一过滤器211相比靠上游侧，因此，能够减少被第一过滤器211捕集的异物，并减少第一过滤器211堵塞的可能性。

(4)在气体滞留于填充有液体的第一上游侧过滤器室212内的情况下，能够通过流体流道158而将包含气体的流体向第一上游侧过滤器室212的外部排出。因此，能够以不穿过第一过滤器211的方式而使滞留于第一上游侧过滤器室212内的气体(气泡)在不穿过液体喷射部41内的情况下向外部排出。

(5)例如，当从流体流道158侧抽吸流体从而将流体向第一上游侧过滤器室212的外部排出时，作用于液体供给流道150上的压力低于喷嘴开口44开口的空间的气压。在这一点上，在形成于喷嘴开口44处的第三气液界面313的上游侧与喷嘴开口44开口的空间侧之间产生的最大压力差，小于对形成于喷嘴开口44处的第三气液界面313进行破坏的第三压力差δpc。因此，能够减少被形成于喷嘴开口44处的第三气液界面313通过排出动作而被破坏的可能性，从而能够减少气体从喷嘴开口44流入的可能性。

(6)通过可将第一上游侧过滤器室212内的流体向第一上游侧过滤器室212的外部排出的流体流道158而形成循环流道157，并使排出流道159与构成循环流道157的一部分的第三过滤器部230连接。因此，能够作为将从第一上游侧过滤器室212排出的气体向液体供给流道150以及流体流道158的外部排出的结构，而适当地进行采用。

上述实施方式也可以如以下所示的变更例的方式进行变更。上述实施方式与下述变更例也可以任意组合。

·液体供给装置100也可以设为不具备第一中间贮留体121和第二中间贮留体122中的至少一方的结构。

·在填充动作中，控制部60也可以进行由抽吸泵52所实施的减压、和由压力调节机构140所实施的对中间贮留体120的加压中的任意一方，而将液体填充至液体供给流道150内。

·液体喷射装置10也可以设为具备第一过滤器部210～第四过滤器部240中的至少一个过滤器部的结构。即，例如，液体喷射装置10也可以设为不具备第三过滤器部230的结构。液体喷射装置10也可以设为不具备第二过滤器部220的结构。在液体喷射装置10设为不具备第一过滤器部210的结构的情况下，例如，第二过滤器部220作为第一过滤器部而发挥功能，第四过滤器部240作为第二过滤器部而发挥功能。

·第三过滤器部230也可以设置于第六液体流道156上。也可以使排出流道159与第二过滤器部220或第四过滤器部240连接，并作为第三过滤器部而发挥功能。

·也可以使排出流道159与第一过滤器部210连接。即，也可以使排出流道159与第一上游侧过滤器室212连接，而使第一上游侧过滤器室212内的流体经由排出流道159而向第一上游侧过滤器室212的外部排出。

·第一过滤器部210～第四过滤器部240也可以设为无法更换的结构。

·对循环泵190进行驱动的排出动作也可以在维护部50对液体喷射部41进行压盖的状态下进行。

·在排出动作中，在形成于喷嘴开口44处的第三气液界面313的上游侧与空间侧之间产生的最大压力差也可以大于第三压力差δpc。在最大压力差大于第三压力差δpc的情况下，优选为，在排出动作后进行抽吸清洁或加压清洁。

·在填充动作中，也可以在开阀机构290使连通孔281开放的状态下交替对第一中间贮留体121和第二中间贮留体122进行加压以及减压，而将从中间贮留体120加压供给的液体填充于液体供给流道150内。

·也可以设为，在能够通过贮留于第一中间贮留体121以及第二中间贮留体122中的任意一方的中间贮留体120内的液体而对液体供给流道150内进行填充的情况下，在对一方的中间贮留体120进行加压的状态下，开阀机构290使连通孔281开放，从而使从中间贮留体120加压供给的液体填充于液体供给流道150内。

·液体供给装置100也可以仅具备第一中间贮留体121以及第二中间贮留体122中的任意一方，以作为中间贮留体120。

·也可以在第六液体流道156的第三开闭阀163与连接部160之间设置送液泵，从而可将液体向成为与第六液体流道156的送液泵相比靠下游侧的液体供给流道150内进行加压供给。

·也可以将中间贮留体120(121、122)以及液体供给源101中的至少一方配置在与液体喷射部41(喷嘴开口44的开口位置)相比靠铅直方向上方，从而可利用水位差而将液体加压供给至液体供给流道150内。

·流体流道158也可以不形成循环流道157。在该情况下，能够将流体(液体)从成为与第一过滤器部210所具有的第一上游侧过滤器室212连接的流体流道158的一端的相反一侧的另一端向成为液体流道外部的另行设置的废液收集部排出。

·在采用可将流体(液体)从成为流体流道158与第一上游侧过滤器室212连接的一端的相反一侧的另一端向液体流道外部排出的方式的情况下，也可以在对第一中间贮留体121与第二中间贮留体122中的至少一方的中间贮留体120内进行加压的状态下，以预定时间对设置于流体流道158内的循环泵190进行驱动。也可以通过将液体供给流道150内的流体(主要是气体)从流体流道158的另一端排出，从而将液体填充至液体供给流道150的第一过滤器部210的第一上游侧过滤器室212。而且，也可以在对液体喷射部41进行压盖的状态下以预定时间对抽吸泵52进行驱动，将与第一过滤器部210的第一上游侧过滤器室212相比靠下游侧的液体供给流道150内的流体(主要是气体)从液体喷射部41的喷嘴开口44排出从而填充液体。并且，优选为，以预定时间对循环泵190进行驱动，在将液体填充至第一过滤器部210的第一上游侧过滤器室212时对液体喷射部41进行压盖，从而设为密闭状态，而使空气难以从喷嘴开口44流入。

也可以设为，在向液体供给流道150内填充液体供给源101内的液体的填充动作中，不进行由脱气机构270所实施的气体的排出。而且，也可以在填充动作结束后，进行由脱气机构270所实施的气体的排出。

·液体喷射装置10也可以设为不具备循环流道157以及流体流道158的结构。

·第二过滤器221所能够捕集的异物的大小也可以小于第一过滤器211所能够捕集的异物的大小。第二过滤器221所能够捕集的异物的大小也可以与第一过滤器211所能够捕集的异物的大小相同。即，第二过滤器221的过滤粒度也可以在第一过滤器211的过滤粒度以下。

·第一过滤器211～第四过滤器241所能够捕集的异物的大小也可以大于喷嘴开口44的最小尺寸。第一过滤器211～第四过滤器241所能够捕集的异物的大小也可以与喷嘴开口44的最小尺寸相同。即，第一过滤器211～第四过滤器241的过滤粒度也可以在喷嘴开口44的最小尺寸以上。

·液体喷射装置也可以为喷射或喷出除了油墨以外的其他的液体的液体喷射装置。作为形成微小量的液滴而从液体喷射装置喷出的液体的状态，也包括粒状、泪状、呈线状拖尾的状态。在这里所说的液体只需为能够由液体喷射装置喷射的材料即可。例如，只要是物质为液相时的状态的材料即可，包括粘性较高或较低的液状体、溶胶、凝胶水、其它无机溶剂、有机溶剂、溶液、液状树脂、液状金属(金属融液)这样的流状体、或者作为物质的一种状态的液体，还包括在溶剂中溶解、分散或混合有由颜料或金属粒子等的固体物构成的功能材料的粒子的液体等。作为液体的代表性的示例，可列举出如在上述实施方式中进行说明的油墨、液晶等。在这里，油墨是指，包括一般的水溶性油墨、油性油墨以及胶状油墨、热熔性油墨等的各种液体组成物的物质。作为液体喷射装置的具体示例，例如可以为如下的液体喷射装置，即，对用于液晶显示器、el(电致发光)显示器、面发光显示器、滤色器的制造的、以分散或溶解的形式含有电极材料或彩色材料等材料的液体进行喷射的液体喷射装置。也可以为喷射被用于生物芯片制造的生体有机物的液体喷射装置、作为精密吸液管所使用并喷射作为样本的液体的液体喷射装置、印染装置或微型分配器等。也可以为如下液体喷射装置，即，向钟表或相机等精密设备精确地喷射润滑油的液体喷射装置；为了形成被用于光通信元件等中的微小半球透镜(光学透镜)等，而向基板喷射紫外线固化树脂等透明树脂液的液体喷射装置。也可以为为了对基板等进行蚀刻而喷射酸或碱等蚀刻液的液体喷射装置。

符号说明

10…液体喷射装置；11…腿部；12…筐体；13…放卷部；14…引导部；15…收卷部；16…张力赋予机构；17…操作面板；18…罩；20…支承台；30…输送部；31…输送辊对；32…输送辊对；40…印刷部；41…液体喷射部；42…引导轴；43…滑架；44…喷嘴开口；50…维护部；51…盖；52…抽吸泵；53…废液罐；54…调节器；60…控制部；100…液体供给装置；101…液体供给源；102…液体供给源保持部；120…中间贮留体；121…第一中间贮留体；122…第二中间贮留体；123…液体收纳部；124…收纳空间；125…壳体；126…液体连接口；127…压力调节口；131…第一中间贮留体保持部；132…第二中间贮留体保持部；140…压力调节机构；141…第一压力调节机构；142…第二压力调节机构；143…压力调节流道；144…压力调节泵；150…液体供给流道；151…第一液体流道；152…第二液体流道；153…第三液体流道；154…第四液体流道；155…第五液体流道；156…第六液体流道；157…循环流道；158…流体流道；159…排出流道；160…连接部；161…第一开闭阀；162…第二开闭阀；163…第三开闭阀；171…第一流量传感器；172…第二流量传感器；181…第一单向阀；182…第二单向阀；183…第三单向阀；184…第四单向阀；185…第五单向阀；186…第六单向阀；187…第七单向阀；190…循环泵；210…第一过滤器部；211…第一过滤器；212…第一上游侧过滤器室；213…第一下游侧过滤器室；220…第二过滤器部；221…第二过滤器；222…第二上游侧过滤器室；223…第二下游侧过滤器室；230…第三过滤器部；231…第三过滤器；232…第三上游侧过滤器室；233…第三下游侧过滤器室；234…过滤器壳体；235…支承板；240…第四过滤器部；241…第四过滤器；242…第四上游侧过滤器室；243…第四下游侧过滤器室；250…静态混合器；260…液体贮留部；261…加压室；262…弹性膜；263…第一施力部件；270…脱气机构；271…脱气室；272…脱气膜；273…排气室；274…排气通道；275…减压泵；280…液压调节机构；281…连通孔；282…压力室；283…阀体；284…受压部件；285…挠性壁；286…第二施力部件；287…第三施力部件；290…开阀机构；291…收纳室；292…加压袋；293…加压流道；301…金属丝；302…孔；311…第一气液界面；312…第二气液界面；313…第三气液界面；411…独立液室；412…振动板；413…收纳部；414…致动器；415…共用液室；d…直径；m…介质；θ…润湿角。

于2017年6月15日提交的日本专利申请no.2017-117475的全部内容通过参照而援引于此。