干燥膜层的上表面之间的距离范围为Imm?10cm。隔板的下表面与待干燥膜层的上表面之间的距离设置有利于调节待干燥膜层四周边缘区域的溶剂挥发速率与其中心区域的溶剂挥发速率进一步趋于相同，从而进一步确保干燥后形成膜层的表面形貌均一。
[0047]实施例2:
[0048]本实施例提供一种干燥装置，与实施例1不同的是，多个孔的形状相同，大小不同，孔在隔板上不同区域的开孔大小用于与待干燥膜层上相对应区域的自然风干速率成反比。
[0049]即本实施例中是通过在隔板的不同区域分布形状相同、但大小不同的孔，从而使待干燥膜层上不同区域的溶剂挥发速率趋于相同的。
[0050]需要说明的是，本实施例中的隔板也需要根据不同区域溶剂挥发速率不同的待干燥膜层进行相应更换。
[0051]本实施例中干燥装置的其他结构及其干燥方法与实施例1中相同，此处不再赘述。
[0052]实施例3:
[0053]本实施例提供一种干燥装置，与实施例1-2不同的是，多个孔的大小和形状相同且均匀分布在隔板上，每个孔都对应配备有一个孔塞，孔塞能塞入孔内，以将孔堵住；或者，孔塞能从孔内拔出，以使孔通气。
[0054]即本实施例中是通过采用孔塞将孔塞住来调节隔板上的不同区域的开孔密度的。隔板上的开孔密度通过调节后能使待干燥膜层上不同区域的溶剂挥发速率趋于相同。
[0055]需要说明的是，本实施例中的隔板无需频繁更换，只要根据待干燥膜层上不同区域的溶剂挥发速率相应开启或堵塞隔板上相对应区域的孔即可。
[0056]本实施例中干燥装置的其他结构及其干燥方法与实施例1-2中的任意一个相同，此处不再赘述。
[0057]实施例1-3的有益效果:实施例1-3中所提供的干燥装置，通过设置干燥部和承载部，能使待干燥膜层在干燥过程中其不同区域的溶剂挥发速率基本相同，从而使待干燥膜层经干燥后形成表面形貌均一的膜层，改善了待干燥膜层干燥工艺后的表面形貌均一性效果，进而提高了包含该干燥膜层的显示器件的寿命和显示效果。
[0058]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种干燥装置，用于干燥采用湿法形成在基板上的待干燥膜层，其特征在于，包括干燥部和承载部，所述承载部用于承载形成有所述待干燥膜层的所述基板；所述干燥部用于对应并面对所述待干燥膜层设置，并用于对所述待干燥膜层进行干燥；所述干燥部和所述承载部能使所述待干燥膜层经干燥后形成表面形貌均一的膜层。
2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥部包括抽气罩、隔板和抽气机构，所述抽气罩包括用于面向所述待干燥膜层设置的第一开口和用于背向所述待干燥膜层设置的第二开口 ；所述第二开口连接所述抽气机构，所述隔板盖合在所述第一开口上，所述隔板上开设有多个孔；所述抽气机构用于从所述抽气罩中向外抽气。
3.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述抽气罩呈中空的锥体形，所述第二开口的面积小于所述第一开口的面积，所述第二开口在所述隔板上的正投影落在所述隔板的中心区域。
4.根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，所述隔板的形状和大小与所述待干燥膜层相同，所述隔板用于对应并平行于所述待干燥膜层设置，所述隔板上不同区域的开孔密度用于与所述待干燥膜层上相对应区域的自然风干速率成反比。
5.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，多个所述孔的大小和形状相同，所述孔在所述隔板上不同区域的分布密度用于与所述待干燥膜层上相对应区域的自然风干速率成反比。
6.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，多个所述孔的形状相同，大小不同，所述孔在所述隔板上不同区域的开孔大小用于与所述待干燥膜层上相对应区域的自然风干速率成反比。
7.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，多个所述孔的大小和形状相同且均匀分布在所述隔板上，每个所述孔都对应配备有一个孔塞，所述孔塞能塞入所述孔内，以将所述孔堵住；或者，所述孔塞能从所述孔内拔出，以使所述孔通气。
8.根据权利要求5-7任意一项所述的干燥装置，其特征在于，所述待干燥膜层的四周边缘区域的自然风干速率大于其中心区域的自然风干速率； 所述干燥部还包括设置在所述第一开口边框上的溶剂添加机构，所述溶剂添加机构用于对应向所述待干燥膜层的四周边缘区域添加呈挥发状态的溶剂，所述溶剂为湿法形成所述待干燥膜层时所采用的溶剂。
9.根据权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述溶剂添加机构包括开设在所述第一开口边框上的溶剂槽和对应设置在所述溶剂槽的远离所述第二开口一侧的挥发结构；所述溶剂槽用于容置未挥发的所述溶剂；所述挥发结构用于使所述溶剂槽中的所述溶剂挥发形成呈挥发状态的所述溶剂，并使呈挥发状态的所述溶剂对应添加到所述待干燥膜层的四周边缘区域。
10.根据权利要求9所述的干燥装置，其特征在于，所述承载部包括载板和围设在所述载板边缘的围栏，所述载板和所述围栏连接为一体；所述载板用于承载形成有所述待干燥膜层的所述基板，所述围栏的高度高于置于所述载板上的所述待干燥膜层的上表面的高度。
11.根据权利要求10所述的干燥装置，其特征在于，所述围栏的高于所述待干燥膜层的上表面的顶部距离所述待干燥膜层的上表面的距离大于10cm。
12.根据权利要求11所述的干燥装置，其特征在于，所述载板与所述第一开口的形状相同，所述载板的面积大于所述第一开口的面积，所述第一开口能对应嵌入至所述围栏围成的区域中。
13.—种如权利要求1-12任意一项所述的干燥装置的干燥方法，其特征在于，包括:将形成有待干燥膜层的基板置于承载部上；调整干燥部与所述待干燥膜层相对应并面对；所述干燥部对所述待干燥膜层进行干燥。
14.根据权利要求13所述的干燥方法，其特征在于，所述调整干燥部与所述待干燥膜层相面对具体包括:降低所述干燥部的抽气罩或者抬升所述承载部的载板，使所述抽气罩的第一开口进入到所述承载部的围栏围成的区域中，并使盖合在所述第一开口上的隔板的面向所述待干燥膜层的下表面与所述待干燥膜层的上表面之间的距离范围为Imm?10cm。
【专利摘要】本发明提供一种干燥装置及其干燥方法。该干燥装置用于干燥采用湿法形成在基板上的待干燥膜层，包括干燥部和承载部，承载部用于承载形成有待干燥膜层的基板；干燥部用于对应并面对待干燥膜层设置，并用于对待干燥膜层进行干燥；干燥部和承载部能使待干燥膜层经干燥后形成表面形貌均一的膜层。该干燥装置通过设置干燥部和承载部，能使待干燥膜层在干燥过程中其不同区域的溶剂挥发速率基本相同，从而使待干燥膜层经干燥后形成表面形貌均一的膜层，改善了待干燥膜层干燥工艺后的表面形貌均一性效果，进而提高了包含该干燥膜层的显示器件的寿命和显示效果。
【IPC分类】B41F23-04
【公开号】CN104859291
【申请号】CN201510172926
【发明人】代青, 刘则
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年4月13日