一种柔性显示面板母板及柔性显示面板的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种柔性显示面板母板及柔性显示面板的制作方法，涉及显示【技术领域】，解决了现有的柔性显示面板在制作中打底层与载体基板分离产生微尘污染周围工艺环境的问题。一种柔性显示面板母板，包括：载体基板以及形成在所述载体基板上的至少一个柔性显示面板单元，其中，所述柔性显示面板单元包括形成在所述载体基板上的打底层、柔性衬底以及显示元器件，所述柔性显示面板单元的打底层包括第一区域和第二区域，所述第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二区域的打底层的激光吸收率，且所述第二区域的打底层的临界能量不大于所述第一区域的打底层的临界能量；所述第一区域位于柔性显示面板单元的边缘区域。
【专利说明】一种柔性显示面板母板及柔性显示面板的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及显示【技术领域】，尤其涉及一种柔性显示面板母板及柔性显示面板的制 作方法。
【背景技术】
[0002] 随着技术的发展，柔性显示装置获得越来越广泛的应用。柔性显示装置包括有机 发光二极管显示装置、电泳显示装置等。由于柔性显示面板的衬底为柔性衬底，在其上面很 难形成其他显示元器件。现有的柔性显示面板的制作主要是以载体基板（一般为玻璃基 板）作为载具承载着柔性衬底，再在柔性衬底上形成显示元器件，最后将柔性显示面板和 玻璃基板分离得到柔性显示面板。
[0003] 具体的，如图1所示，在玻璃基板10上形成打底层11，在所述打底层11上面形成 柔性衬底12,再在所述柔性衬底12上形成显示元器件13,最后将打底层11与玻璃基板10 分离，得到包括打底层的柔性显示面板。
[0004] 如图1所示，现有技术中一般采用激光从底面透过玻璃基板10照射在打底层11 上，利用激光破坏打底层与玻璃基板的接着界面达到分离的效果。但激光的高温照射下，玻 璃基板和打底层分离时打底层的底部会有部分脱落，产生的微尘污染周围工艺环境。
【发明内容】
[0005] 本发明的实施例提供一种柔性显示面板母板及柔性显示面板的制作方法，通过所 述柔性显示面板母板形成所述柔性显示面板，在制作过程中可避免激光去除产生的微尘污 染周围工艺环境。
[0006] 为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
[0007] 本发明实施例提供了一种柔性显示面板母板，包括：载体基板以及形成在所述载 体基板上的至少一个柔性显示面板单元，其中，所述柔性显示面板单元包括形成在所述载 体基板上的打底层、柔性衬底以及显示元器件，所述柔性显示面板单元的打底层包括第一 区域和第二区域，所述第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二区域的打底层的激光 吸收率，且所述第二区域的打底层的临界能量不大于所述第一区域的打底层的临界能量； 所述第一区域位于柔性显示面板单元的边缘区域。
[0008] 本发明实施例提供了一种柔性显示面板的制作方法，包括：
[0009] 在载体基板上制作柔性显示面板单元的打底层，其中，所述柔性显示面板单元的 打底层包括第一区域和第二区域，所述第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二区域 的打底层的激光吸收率，且所述第二区域的打底层的临界能量不大于所述第一区域的打底 层的临界能量；所述第一区域位于柔性显示面板单元的边缘区域；
[0010] 在所述打底层上制作柔性衬底；
[0011] 在所述柔性衬底上制作显示元器件；
[0012] 利用激光照射所述打底层；
[0013] 将所述打底层和载体基板分离。
[0014] 本发明的实施例提供一种柔性显示面板母板及柔性显示面板的制作方法，所述柔 性显示面板母板上柔性显示面板单元的打底层包括第一区域和第二区域，所述第一区域的 打底层的激光吸收率低于所述第二区域的打底层的激光吸收率，第二区域的打底层容易与 载体基板脱离且产生微尘少，且所述第二区域的打底层的临界能量不大于所述第一区域的 打底层的临界能量，则在相同激光强度下，第二区域的打底层与载体基板脱离的情况下第 一区域的打底层仍附着在载体基板上，由于第一区域位于柔性显示单元的边缘区域，则第 二区域的打底层与载体基板脱离即使激光使得第二区域的打底层有脱落也不会扩散至周 围环境，避免对周围工艺环境的影响，进而可以通过将柔性显示面板对应第一区域的部分 与第二区域的部分断开，或者直接将柔性显示面板和载体基板对应第一区域的部分切除， 再采用机械方式例如利用吸附装置吸附柔性显示面板，使其与载体基板分离。
【专利附图】
【附图说明】
[0015] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以 根据这些附图获得其他的附图。
[0016] 图1为现有技术利用激光将打底层和载体基板去除的示意图；
[0017] 图2为图3所示的柔性显示面板母板的A-A'向示意图；
[0018] 图3为本发明实施例提供的一种柔性显示面板母板示意图；
[0019] 图4为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板母板示意图；
[0020] 图5为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板母板示意图；
[0021] 图6为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制作方法示意图；
[0022] 图7为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的制作方法示意图。
[0023] 附图标记：
[0024] 10-玻璃基板；11-打底层；12-柔性衬底；13-显示元器件；111-第一区域； 112-第二区域。
【具体实施方式】
[0025] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例，都属于本发明保护的范围。
[0026] 本发明实施例提供的一种柔性显示面板母板，如图2所示，包括：载体基板（即图 2中的玻璃基板10)以及形成在所述载体基板上的至少一个柔性显示面板单元，其中，所述 柔性显示面板单元包括形成在所述载体基板上的打底层11、柔性衬底12以及显示元器件 13,所述打底层包括第一区域111和第二区域112,所述第一区域111的打底层的激光吸收 率低于所述第二区域112的打底层的激光吸收率，且所述第二区域112的打底层的临界能 量不大于所述第一区域111的打底层的临界能量；所述第一区域111位于柔性显示面板单 元的边缘区域。
[0027] 需要说明的是，柔性显示面板的制作主要是以载体基板（一般为玻璃基板）作为 载具承载着柔性衬底，再在柔性衬底上形成显示元器件。现有技术中为了防止柔性衬底被 破坏，一般在载体基板上先形成打底层，最后将打底层和玻璃基板分离得到柔性显示面板。 本发明实施例中，在柔性显示面板的制作过程中，在载体基板上形成打底层、柔性衬底以及 显示元器件的基板即为本发明实施例中的柔性显示面板母板。将柔性显示母板的载体基板 与打底层分离即得到柔性显示面板。
[0028] 所述打底层的临界能量即为打底层与载体基板脱离需要的激光强度。临界能量越 大则打底层与载体基板脱离需要的激光强度越高；反之，临界能量越小则打底层与载体基 板脱离需要的激光强度越低。现有技术中，一般采用非晶硅、氮化硅以及IT0(Indium tin oxide，氧化铟锡）等作为打底层，且由非晶硅、氮化硅以及ΙΤ0形成打底层的临界能量接 近。本发明实施例中，所述第二区域的打底层的临界能量不大于所述第一区域的打底层的 临界能量，可以是第二区域的打底层的临界能量小于第一区域的打底层的临界能量，或者， 第二区域的打底层的临界能量等于第一区域的打底层的临界能量。本发明实施例优选以第 二区域的打底层的临界能量小于第一区域的打底层的临界能量。
[0029] 具体的，当第二区域的打底层的临界能量等于第一区域的打底层的临界能量，由 于所述第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二区域的打底层的激光吸收率，则在相 同激光强度下，第二区域的打底层与载体基板脱离优先第一区域的打底层，即第二区域的 打底层与载体基板脱离的情况下第一区域的打底层仍附着在载体基板上。
[0030] 具体的，当第二区域的打底层的临界能量小于第一区域的打底层的临界能量，且 第一区域的打底层的激光吸收率低于第二区域的打底层的激光吸收率，则在相同激光强度 下，第二区域的打底层与载体基板脱离优先第一区域的打底层，即进一步有利于第二区域 的打底层与载体基板脱离的情况下第一区域的打底层仍附着在载体基板上。
[0031] 另外需要说明的是，对于部分材料，激光吸收率还可能与临界能量成反比，即激光 吸收率越高，则临界能量越小。则本发明实施例中，所述第一区域的打底层的激光吸收率低 于所述第二区域的打底层的激光吸收率，则第一区域的打底层的临界能量大于第二区域的 打底层的临界能量，即第二区域的打底层的临界能量小于所述第一区域的打底层的临界能 量。
[0032] 本发明实施例提供的一种柔性显示面板母板，包括：载体基板以及形成在所述载 体基板上的至少一个柔性显示面板单元，图2所示为在所述载体基板上形成一个柔性显示 面板单元的示意图。为了批量生产，还可以在一块载体基板上形成多个柔性显示面板单元， 其中，一个柔性显示面板单元最终将成为一个柔性显示面板，可以是在形成之后再将所述 多个显示面板单元切割，使其成为多个柔性显示面板。
[0033] 本发明实施例中，所述柔性显示面板母板上的各柔性显示单元的打底层包括第一 区域和第二区域，且所述第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二区域的打底层的激 光吸收率，第二区域的打底层容易与载体基板脱离且产生微尘少，且所述第二区域的打底 层的临界能量不大于所述第一区域的打底层的临界能量，则在相同激光强度下，第二区域 的打底层与载体基板脱离的情况下第一区域的打底层仍附着在载体基板上，由于第一区域 位于柔性显示单元的边缘区域，则第二区域的打底层与载体基板脱离即使激光使得第二区 域的打底层有脱落也不会扩散至周围环境，避免对周围工艺环境的影响，进而可以通过将 柔性显示面板对应第一区域的部分与第二区域的部分断开，或者直接将柔性显示面板和载 体基板对应第一区域的部分切除，再采用机械方式例如利用吸附装置吸附柔性显示面板， 使其与载体基板分离。
[0034] 需要说明的是，通过将柔性显示面板对应第一区域的部分与第二区域的部分断 开，或者直接将柔性显示面板和载体基板对应第一区域的部分切除，再采用机械方式例如 利用吸附装置吸附柔性显示面板，使其与载体基板分离，可以是在另外的工艺环境下进行。 例如在载体基板上形成柔性显示面板之后，在第一车间利用激光照射，将第二区域的打底 层与载体基板脱离，再在第二车间将将柔性显示面板和载体基板对应第一区域的部分切 除，再采用机械方式例如利用吸附装置吸附柔性显示面板，使其与载体基板分离。这样即使 激光照射打底层，第二区域的打底层与载体基板脱离时产生微尘，也可以保证第一车间工 艺环境的洁净。
[0035] 可选的，形成打底层的材料包括：非晶硅、氮化硅、氧化硅、聚酰亚胺（PI)或氧化 铟锡（Indium tin oxide,氧化铟锡）。当然，形成打底层的材料还可以是其他的塑料或氧 化物等，本发明实施例仅以上述为例进行详细说明。
[0036] 可选的，所述第一区域的打底层由第一材料形成；所述第二区域的打底层由第二 材料形成，其中，所述第一材料的激光吸收率低于所述第二材料的激光吸收率。即在第一区 域和第二区域分别采用不同的材料，利用不同的材料特性保证第一区域的打底层的激光吸 收率低于所述第二区域的打底层的激光吸收率。
[0037] 当然，还可以采用同一材料在载体基板上形成打底层，通过不同的温度以及打底 层表面参数（例如表面粗糙度）不同等使得第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二 区域的打底层的激光吸收率。
[0038] 可选的，所述第一材料为非晶硅，所述第二材料为氮化硅。发明人通过实验获得以 下几种材料在与载体基板脱离所需的激光强度关系：a-si (非晶硅）>PI(聚酰亚胺塑料） >IT0(Indium tin oxide,氧化铟锡）>SiNx(氮化娃）=SiOx(氧化娃）。本发明实施例 优选载体基板为玻璃基板，第一材料为非晶硅，第二材料为氮化硅。当然，第一材料和第二 材料还可以其他物质，本发明实施例仅以上述为例进行详细说明。
[0039] 可选的，如图2、图3所示，所述第一区域111位于柔性显示面板单元相对的两侧的 边缘区域。如图3所示，第一区域111设置在柔性显示面板单元相对的两侧的边缘区域，则 在柔性显示面板单元的显示元器件形成之后，可以通过将柔性显示面板单元相对的两侧的 边缘第一区域与第二区域断开（可以是沿图3所示的虚线将柔性显示面板单元第一区域和 第二区域切开），或者，将柔性显示面板单元以及载体基板相对的两侧的边缘即第一区域切 除（可以是沿图3所示的虚线切除），再将第二区域的打底层与载体基板进行机械分离（例 如可以是通过吸附装置等吸附柔性显示面板使其与载体基板分离）得到柔性显示面板。
[0040] 可选的，如图4所示，所述第一区域111位于柔性显示面板单元四周的边缘区域。 在柔性显示面板单元的显示元器件形成之后，可以通过将柔性显示面板单元相对的四周的 边缘第一区域与第二区域断开（可以是沿图4所示的虚线将柔性显示面板单元第一区域和 第二区域切开），或者，将柔性显示面板单元以及载体基板对应的第一区域切除（可以是沿 图4所示的虚线切除），再将第二区域的打底层与载体基板进行机械分离得到柔性显示面 板。
[0041] 或者，可选的，如图5所示，所述第一区域111位于柔性显示面板单元的四个边角 区域。第一区域设置在柔性显示面板单元的四个边角，可以沿图4所示的虚线将柔性显示 面板单元包括第一区域的部分与第二区域的部分断开，或者，将柔性显示面板单元和载体 基板对应包括第一区域的部分切除，再将第二区域的打底层与载体基板进行机械分离得到 柔性显示面板。
[0042] 本发明实施例提供了一种柔性显示面板的制作方法，如图6所示，所述方法包括：
[0043] 步骤101、在载体基板上制作柔性显示面板单元的打底层。
[0044] 其中，所述柔性显示面板单元的打底层包括第一区域和第二区域，第一区域的打 底层的激光吸收率低于所述第二区域的打底层的激光吸收率，且所述第二区域的打底层的 临界能量不大于所述第一区域的打底层的临界能量；所述第一区域位于柔性显示面板单元 的边缘区域。
[0045] 可选的，所述第一区域的打底层由第一材料形成；所述第二区域的打底层由第二 材料形成，其中，所述第一材料的激光吸收率低于所述第二材料的激光吸收率。其进一步可 选的，所述第一区域位于柔性显示面板单元相对的两侧的边缘区域。或者，所述第一区域形 成在柔性显示面板单元四周的边缘区域。或者所述第一区域形成在柔性显示面板单元的四 个边角区域。可选的，形成打底层的材料包括：非晶硅、氮化硅、氧化硅、聚酰亚胺或氧化铟 锡。优选的，所述第一材料为非晶硅，所述第二材料为氮化硅。
[0046] 优选的，第二区域的打底层的临界能量小于第一区域的打底层的临界能量。具体 的，当第二区域的打底层的临界能量小于第一区域的打底层的临界能量，且第一区域的打 底层的激光吸收率低于第二区域的打底层的激光吸收率，则在相同激光强度下，第二区域 的打底层与载体基板脱离优先第一区域的打底层，即进一步有利于第二区域的打底层与载 体基板脱离的情况下第一区域的打底层仍附着在载体基板上。
[0047] 步骤102、在所述打底层上制作柔性衬底。
[0048] 具体在打底层上制作柔性衬底可以参照现有技术，本发明实施例不作具体赘述。
[0049] 步骤103、在所述柔性衬底上制作显示元器件。
[0050] 步骤104、利用激光照射所述打底层。
[0051] 具体可以是激光透过载体基板照射打底层，破坏打底层与玻璃基板的接着界面。 由于所述第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二区域的打底层的激光吸收率，且所 述第二区域的打底层的临界能量不大于所述第一区域的打底层的临界能量，则在相同激光 强度下，第二区域的打底层与载体基板脱离的情况下第一区域的打底层仍附着在载体基板 上，由于第一区域的打底层附着在载体基板，则第二区域的打底层与载体基板脱离即使激 光使得第二区域的打底层有脱落也不会扩散至周围环境，避免对周围工艺环境的影响。优 选的，本发明实施例中以激光照射使得第二区域的打底层与载体基板脱离，且第一区域的 打底层与载体基板附着为例。
[0052] 当然，也可以是在相同激光强度下照射打底层，使得第一区域的打底层和第二区 域的打底层与载体基板的接着力变小，再利用机械等方法将所述打底层与载体基板分离。
[0053] 步骤105、将所述打底层和载体基板分离。
[0054] 具体的，可以是采用机械剥离等方法，由于第二区域的打底层与载体基板脱离之 后，可以通过外力使其与载体基板分离。
[0055] 可选的，如图7所示，所述将打底层和载体基板分离具体包括：
[0056] 步骤1051、将柔性显示面板单元对应包括打底层第一区域的部分与其他部分断 开。
[0057] 所述柔性显示面板单元对应打底层第一区域的部分可以是如图3、图4所示，沿虚 线将柔性显示面板单元对应第一区域的部分与对应第二区域的部分断开；还可以是如图5 所示，将柔性显示面板单元沿虚线将对应包括第一区域的部分和第二区域的部分（即图5 所示的每一条虚线对应的第一区域和第二区域的部分），与其他第二部分（即四条虚线交 叉形成的中间区域的部分）断开。
[0058] 具体的，将柔性显示面板单元对应包括打底层第一区域的部分与其他第二部分断 开，可以是利用刀轮将柔性显示面板单元以及载体基板对应包括打底层第一区域的部分切 除，从而使得柔性显示面板单元对应包括打底层第一区域的部分与其他第二部分断开；还 可以是利用刀轮仅将柔性显示面板单元对应包括打底层第一区域的部分与其他对应第二 区域的部分切开断开。这样载体基板不受损伤，还可以继续用于其他柔性显示面板的制作。
[0059] 步骤1052、采用机械方法将柔性显示面板单元对应打底层第二区域的部分与载体 基板分离。
[0060] 在相同激光强度下，第二区域的打底层与载体基板脱离的情况下第一区域的打底 层仍附着在载体基板上，可以通过将第一区域与其他第二部分断开，再采用机械方式例如 利用吸附装置直接将对应柔性显示面板的部分吸附，使其与载体基板分离。例如可以通过 刀轮将柔性显示面板单元包括第一区域的部分切割，使得柔性显示面板对应包括打底层第 一区域的部分与其他部分断开，利用吸附装置直接将对应柔性显示面板的部分吸附，或者 直接用力取下载体基板，使得将第二区域的打底层和载体基板分离。
[0061] 以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何 熟悉本【技术领域】的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵 盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1. 一种柔性显示面板母板，包括：载体基板以及形成在所述载体基板上的至少一个柔 性显示面板单元，其中，所述柔性显示面板单元包括形成在所述载体基板上的打底层、柔性 衬底以及显示元器件，其特征在于，所述柔性显示面板单元的打底层包括第一区域和第二 区域，所述第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二区域的打底层的激光吸收率，且 所述第二区域的打底层的临界能量不大于所述第一区域的打底层的临界能量；所述第一区 域位于柔性显示面板单元的边缘区域。
2. 根据权利要求1所述的柔性显示面板母板，其特征在于，形成打底层的材料包括：非 晶硅、氮化硅、氧化硅、聚酰亚胺或氧化铟锡。
3. 根据权利要求2所述的柔性显示面板母板，其特征在于，所述第一区域的打底层由 第一材料形成；所述第二区域的打底层由第二材料形成；其中，所述第一材料的激光吸收 率低于所述第二材料的激光吸收率。
4. 根据权利要求3所述的柔性显示面板母板，其特征在于，所述第一材料为非晶硅，所 述第二材料为氮化硅。
5. 根据权利要求1所述的柔性显示面板母板，其特征在于，所述第二区域的打底层的 临界能量小于所述第一区域的打底层的临界能量。
6. 根据权利要求1-5任一项所述的柔性显示面板母板，其特征在于，所述第一区域位 于柔性显示面板单元相对两侧的边缘区域。
7. 根据权利要求1-5任一项所述的柔性显示面板母板，其特征在于，所述第一区域位 于柔性显示面板单元四周的边缘区域。
8. 根据权利要求1-5任一项所述的柔性显示面板母板，其特征在于，所述第一区域位 于显示面板单元的四个边角区域。
9. 一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括： 在载体基板上制作柔性显示面板单元的打底层，其中，所述柔性显示面板单元的打底 层包括第一区域和第二区域，所述第一区域的打底层的激光吸收率低于所述第二区域的打 底层的激光吸收率，且所述第二区域的打底层的临界能量不大于所述第一区域的打底层的 临界能量；所述第一区域位于柔性显示面板单元的边缘区域； 在所述打底层上制作柔性衬底； 在所述柔性衬底上制作显示元器件； 利用激光照射所述打底层； 将所述打底层和载体基板分离。
10. 根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，形成打底层的材料包括：非晶硅、氮 化硅、氧化硅、聚酰亚胺或氧化铟锡。
11. 根据权利要求10所述的制作方法，其特征在于，所述第一区域的打底层由第一材 料形成；所述第二区域的打底层由第二材料形成；其中，所述第一材料的激光吸收率低于 所述第二材料的激光吸收率。
12. 根据权利要求11所述的制作方法，其特征在于，所述第一材料为非晶硅，所述第二 材料为氮化硅。
13. 根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述第二区域的打底层的临界能量 小于所述第一区域的打底层的临界能量。
14. 根据权利要求9-13任一项所述的制作方法，其特征在于，所述第一区域位于柔性 显示面板单元相对两侧的边缘区域。
15. 根据权利要求9-13任一项所述的制作方法，其特征在于，所述第一区域位于柔性 显示面板单元四周的边缘区域。
16. 根据权利要求9-13任一项所述的制作方法，其特征在于，所述第一区域位于柔性 显示面板单元的四个边角区域。
17. 根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述将所述打底层和载体基板分离 具体包括： 将柔性显示面板单元对应包括打底层第一区域的部分与其他部分断开，采用机械方法 将柔性显示面板单元对应打底层第二区域的部分与载体基板分离。
【文档编号】G09F9/33GK104091535SQ201410306919
【公开日】2014年10月8日 申请日期:2014年6月30日 优先权日:2014年6月30日
【发明者】谢明哲, 谢春燕, 刘陆 申请人:京东方科技集团股份有限公司