专利名称：光敏化合物和光敏组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及光敏化合物和光敏组合物，具体而言，本发明涉及具有在短波紫外光区域最大紫外线吸收的光敏基团的水溶性光敏化合物，还涉及包括所述化合物的光敏组合物。
背景技术：
现有技术中，光敏组合物用作经紫外线或同类活化能束辐照，形成需要的精细图形的材料。
对包含氮化物的光敏组合物，日本专利公开昭-48-79970揭示了一种包括聚乙烯基吡咯烷酮和氮化物的光敏组合物，日本专利公开昭-50-33764揭示的一种光敏组合物包括丙烯酰胺-双丙酮丙烯酰胺共聚物和氮化物。
芪基氮化物被用作上述光敏组合物中的氮化物。芪基氮化物有最大335nm或更长的吸收波长，含这类氮化物的光敏组合物在近缝曝光(close contact exposure)时显示满意的分辨率，但也存在问题，在接近曝光时未显示满意的分辨率。因此，迫切需要提高分辨率。
发明内容
经过本发明人深入研究，解决现有技术的光敏组合物存在的这类问题，发现含水溶性光敏化合物的水溶性光敏组合物可显示很高的分辨率，这种化合物的光敏基团在紫外线光谱的305nm或更短具有最大吸收波长。由此发现完成了本发明。
因此，本发明提供了一种由下面通式(1)或(2)表示的水溶性光敏化合物； 式(1)中，X代表一个直接键(direct bond)、有1-5个碳原子的亚烷基、-CH2O-、-OCH2-、-CH2OCH2-、-O-、-S-或-SO2-，Z代表-SO3-·Q+、-COO-·Q+或-SO2NR2，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基，两个Z基团可以相同或不同， 式(2)中，X代表一个直接键、有1-5个碳原子的亚烷基、-CH2O-、-OCH2-、-CH2OCH2-、-O-、-S-或-SO2-，Z代表-SO3-·Q+、-COO-·Q+或-SO2NR2，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基，光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长不大于305nm。
本发明还提供一种水溶性光敏组合物，该组合物包括1-30％(质量)水溶性光敏化合物(A)和70-99％(质量)水溶性乙烯基聚合物和/或共聚物(B)，所述(A)中的光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长不大于305nm。
通式(1)或(2)中的X代表的C1-5亚烷基包括直链烷基如亚甲基、亚乙基、正亚丙基、正亚丁基、正亚戊基等；支链亚烷基如1-甲基亚乙基、1-甲基亚丙基、2-甲基亚丙基、1-甲基亚丁基、2-甲基亚丁基、1,1-二甲基亚丙基、2,2-二甲基亚丙基等。
通式(1)或(2)中的X较好的是直接键、C1-5亚烷基、-CH2O-、-OCH2-、-CH2OCH2-、-O-、-S-或-SO2-，更好的是直接键、亚甲基和亚乙基。
通式(1)或(2)中，Z是-SO3-·Q+、-COO-·Q+或-SO2NR2，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，R可以是氢原子和/或C1-5烷基如甲基、乙基、正丙基和异丙基、正丁基、异丁基和叔丁基、正戊基、2-甲基丁基和3-甲基丁基；有一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基的C1-5烷基，例如羟烷基如羟甲基、2-羟基乙基、3-羟基丙基、2-羟基丙基、3-羟基-1-甲基丙基、4-羟基丁基和5-羟基戊基；羟基烷氧基烷基如2-(2-羟基乙氧基)乙基；烷氧基烷基如甲氧基甲基、2-甲氧基乙基、2-乙氧基乙基、3-甲氧基丙基、3-乙氧基丙基、3-丙氧基丙基和3-丁氧基丁基；烷基羰基(氧)烷基如甲基羰基甲基、甲基羰基乙基、甲基羰基丙基、甲基羰基氧甲基、甲基羰基氧乙基和甲基羰基氧丙基；烷氧基羰基烷基如甲氧基羰基甲基、甲氧基羰基乙基和甲氧基羰基丙基等。
从溶解度考虑，其中较好的是-SO3-·Q+基团(其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基，多个R聚基团可以相同或不同)。特别好的是-SO3-·Na+、-SO3-·K+或-SO3-·NR4+。
由通式(1)或(2)表示的本发明水溶性光敏化合物的光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长一般不大于305nm，当使用高压汞灯或超高压汞灯作为辐照光源时，从辐照光密度与分辨率匹配考虑，宜为240-300nm。
“光敏基团在紫外光谱的最大吸收波长”指光敏官能团(如通式(1)或(2)中的叠氮基团)的最大吸收波长，未考虑非光敏官能团的最大吸收波长。
由通式(1)或(2)表示的本发明的光敏化合物中，从分辨率、灵敏度和溶解度考虑，较好的是4,4’-二叠氮基-2,2’-亚联苯基二磺酸二钠、4,4’-二叠氮基-3,3’-亚联苯基二磺酸二钠、4,4’-二叠氮基-2,2’-亚甲基二苯基二磺酸二钠、4,4’-二叠氮基-3,3’-亚甲基二苯基二磺酸二钠、4,4’-二叠氮基-2,2’-(1,2-亚乙基苯)二磺酸二钠(disodium 4,4’-diazido-2,2’-(1,2-ethanediylbenzene)disulfonate)和4,4’-二叠氮基-3,3’-(1,2-亚乙基苯)二磺酸二钠。
制备通式(1)或(2)表示的本发明的光敏化合物的方法如下1．当通式(1)中的Z是-SO3-·Q+基团(其中Q+代表Li+、Na+或K+)时，(1)当通式(1)中的X是直接键时在碱(如氢氧化钠)存在下，用锌粉处理2-硝基苯磺酸衍生物(如2-硝基苯磺酸钠)或3-硝基苯磺酸衍生物(如3-硝基苯磺酸钠)，用硫酸处理制得的二苯肼(hydrozobenzene)衍生物，得到相应的4,4’-二氨基联苯基衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需的产物。
(2)当通式(1)中的X是亚甲基时在酸性条件下，用福尔马林处理2-氨基苯磺酸衍生物(如2-氨基苯磺酸钠)或3-氨基苯磺酸衍生物(如3-氨基苯磺酸钠)，得到相应的4,4’-二氨基二苯基甲烷衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，然后用叠氮化钠反应，制得所需产物。
(3)当通式(1)中的X是有2-5个碳原子的亚烷基时在氯化铝存在下，用C2-5α,ω-二氯烷(dichloroalkylene)处理2-硝基苯磺酸衍生物(如2-硝基苯甲酸钠)或3-硝基苯磺酸衍生物(如3-硝基苯甲酸钠)，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯基-C2-5-亚烷衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(4)当通式(1)中的X是-CH2O-或-OCH2-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-氯甲基-2-硝基苯磺酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯磺酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯磺酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯磺酸钠)与3-羟基-2-硝基苯磺酸衍生物或2-羟基-3-硝基苯磺酸衍生物反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基苄氧基苯衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(5)当通式(1)中的X是-CH2OCH2-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-氯甲基-2-硝基苯磺酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯磺酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯磺酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯磺酸钠)与3-羟甲基-2-硝基苯磺酸衍生物或2-羟甲基-3-硝基苯磺酸衍生物反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苄基醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(6)当通式(1)中的X是-O-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-羟基-2-硝基苯磺酸衍生物(如3-羟基-2-硝基苯磺酸钠)或2-羟基-3-硝基苯磺酸衍生物(如2-羟基-3-硝基苯磺酸钠)与3-氯-2-硝基苯磺酸衍生物或2-氯-3-硝基苯磺酸衍生物反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯基醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(7)当通式(1)中的X是-S-时用硝酸和硫酸硝酸化苯硫醚(phenyl sulfide)，然后用发烟硫酸磺化，随后再用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯硫醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(8)当通式(1)中的X是-SO2-时用间氯过苯甲酸氧化苯硫醚，然后用硝酸和硫酸硝酸化，再用发烟硫酸磺化，随后再用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯砜衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
2．当通式(1)中的Z是-SO3-·Q+基团(其中Q+是N+R4)时按照上述1.的同样方式制得的化合物，其中Z是-SO3-·Q+基团(其中Q+是Li+、Na+或K+)，该化合物用盐酸酸化，然后与HO-·N+R4反应，制得所需产物。
3．当通式(1)中的Z是-COO-·Q+基团(其中Q+是Li+、Na+或K+)时(1)当通式(1)中的X是直接键时
在碱(如氢氧化钠)存在下，用锌粉处理2-硝基苯甲酸衍生物(如2-硝基苯甲酸钠)或3-硝基苯甲酸衍生物(如3-硝基苯甲酸钠)，用硫酸处理制得的二苯肼衍生物，得到相应的4,4’-二氨基联苯基衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需的产物。
(2)当通式(1)中的X是亚甲基时在酸性条件下，用福尔马林处理2-苯胺羧酸衍生物(如2-苯胺羧酸钠)或3-氨基羧酸衍生物(如3-苯胺羧酸钠)，得到相应的4,4’-二氨基二苯基甲烷衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，然后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(3)当通式(1)中的X是有2-5个碳原子的烷时在氯化铝存在下，用C2-5α,ω-二氯烷处理2-硝基苯甲酸衍生物(如2-硝基苯甲酸钠)或3-硝基苯甲酸衍生物(如3-硝基苯甲酸钠)，随后钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯基-C2-5-亚烷衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(4)当通式(1)中的X是-CH2O-或-OCH2-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-氯甲基-2-硝基苯甲酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯甲酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯甲酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯甲酸钠)与3-羟基-2-硝基苯甲酸衍生物或2-羟基-3-硝基苯甲酸衍生物反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基苄氧基苯衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(5)当通式(1)中的X是-CH2OCH2-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-氯甲基-2-硝基苯甲酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯甲酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯甲酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯甲酸钠)与3-羟甲基-2-硝基苯甲酸衍生物或2-羟甲基-3-硝基苯甲酸衍生物反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苄基醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(6)当通式(1)中的X是-O-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-羟基-2-硝基苯甲酸衍生物(如3-羟基-2-硝基苯甲酸钠)或2-羟基-3-硝基苯甲酸衍生物(如2-羟基-3-硝基苯甲酸钠)与3-氯-2-硝基苯甲酸衍生物或2-氯-3-硝基苯甲酸衍生物反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯基醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(7)当通式(1)中的X是-S-时用溴对苯硫醚二溴化，然后用一氧化碳和钯催化剂羧基化。用硝酸和硫酸硝酸化后，用钯-碳进行加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯硫醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(8)当通式(1)中的X是-SO2-时用间氯过苯甲酸氧化苯硫醚，然后用溴进行二溴化，用一氧化碳和钯催化剂进行羧基化。用硝酸和硫酸硝酸化后，用钯-碳进行加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯砜衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
4．当通式(1)中的Z是-COO-·Q+基团(其中Q+是N+R4)时按照上述3.的同样方式制得的化合物，其中Z是-COO-·Q+基团(其中Q+是Li+、Na+或K+)，该化合物用盐酸酸化，然后与HO-·N+R4反应，制得所需产物。
5．当通式(1)中的Z是-SO2NR2时按照上述1.的同样方式制得的化合物，其中Z是-SO3-·Q+，该化合物与五氯化磷反应，然后在叔胺(如吡啶)存在下由R2NH反应，制得所需产物。
6．当通式(2)中的Z是-SO3-·Q+基团(其中Q+是Li+、Na+或K+)时(1)当通式(2)中的X是直接键在一种碱(如氢氧化钠)存在下，用锌粉处理2-硝基苯磺酸衍生物(如2-硝基苯磺酸钠)或3-硝基苯磺酸衍生物(如3-硝基苯磺酸钠)和硝基苯，用硫酸处理制得的1,2-二苯肼衍生物，得到相应的4,4’-二氨基联苯基衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需的产物。
(2)当通式(2)中的X是亚甲基时在酸性条件下，用福尔马林处理2-苯胺磺酸衍生物(如2-苯胺磺酸钠)或3-氨基磺酸衍生物(如3-苯胺磺酸钠)和苯胺，得到相应的4,4’-二氨基二苯基甲烷衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(3)当通式(2)中的X是有2-5个碳原子的亚烷基时在氯化铝存在下，用C2-5α,ω-二氯烷处理2-硝基苯磺酸衍生物(如2-硝基苯磺酸钠)或3-硝基苯磺酸衍生物(如3-硝基苯磺酸钠)和硝基苯和硝基苯，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯基-C2-5-亚烷衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(4)当通式(2)中的X是-CH2O-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-氯甲基-2-硝基苯磺酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯磺酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯磺酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯磺酸钠)与4-硝酸苯酚反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基苄氧基苯衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(5)当通式(2)中的X是-OCH2-时在碱(如氢氧化钠)存在下，4-硝基苯酚与3-氯甲基-2-硝基苯磺酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯磺酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯磺酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯磺酸钠)反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基苄氧基苯衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(6)当通式(2)中的X是-CH2OCH2-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-氯甲基-2-硝基苯磺酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯磺酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯磺酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯磺酸钠)与4-羟甲基硝基苯反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苄基醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(7)当通式(2)中的X是-O-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-羟基-2-硝基苯磺酸衍生物(如3-羟基-2-硝基苯磺酸钠)或2-羟基-3-硝基苯磺酸衍生物(如2-羟基-3-硝基苯磺酸钠)与4-氯硝基苯反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯基醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(8)当通式(2)中的X是-S-时；用硝酸和硫酸对苯硫醚硝化，然后用发烟硫酸进行单磺化，接着用钯-碳加氢，得到相应的4,4’--二氨基二苯硫醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(9)当通式(2)中的X是-SO2-时用间氯过苯甲酸氧化苯硫醚，然后用硝酸和硫酸进行硝化，用发烟硫酸进行磺化，再用钯-碳进行加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯砜衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
7．当通式(2)中的Z是-SO3-·Q+基团(其中Q+是N+R4)时按照上述6.的同样方式制得的化合物，其中Z是-SO3-·Q+基团(其中Q+是Li+、Na+或K+)，该化合物用盐酸酸化，然后与HO-·N+R4反应，制得所需产物。
8．当通式(2)中的Z是-COO-·Q+基团(其中Q+是Li+、Na+或K+)时(1)当通式(2)中的X是直接键时在碱(如氢氧化钠)存在下，用锌粉处理2-硝基苯甲酸衍生物(如2-硝基苯甲酸钠)或3-硝基苯甲酸衍生物(如3-硝基苯甲酸钠)和硝基苯，用硫酸处理制得的二苯肼衍生物，得到相应的4,4’-二氨基联苯基衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需的产物。
(2)当通式(2)中的X是亚甲基时在酸性条件下，用福尔马林处理2-苯胺羧酸衍生物(如2-苯胺羧酸钠)或3-氨基羧酸衍生物(如3-苯胺羧酸钠)和苯胺，得到相应的4,4’-二氨基二苯基甲烷衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(3)当通式(2)中的X是有2-5个碳原子的亚烷基时在氯化铝存在下，用C2-5α,ω-二氯烷处理2-硝基苯甲酸衍生物(如2-硝基苯甲酸钠)或3-硝基苯甲酸衍生物(如3-硝基苯甲酸钠)和硝基苯，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯基-C2-5-亚烷衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(4)当通式(2)中的X是-CH2O-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-氯甲基-2-硝基苯甲酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯甲酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯甲酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯甲酸钠)与4-硝酸苯酚反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基苄氧基苯衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(5)当通式(2)中的X是-OCH2-时在碱(如氢氧化钠)存在下，4-硝基苯酚与3-氯甲基-2-硝基苯甲酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯甲酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯甲酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯甲酸钠)反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基苄氧基苯衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(6)当通式(2)中的X是-CH2OCH2-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-氯甲基-2-硝基苯甲酸衍生物(如3-氯甲基-2-硝基苯甲酸钠)或2-氯甲基-3-硝基苯甲酸衍生物(如2-氯甲基-3-硝基苯甲酸钠)与4-羟甲基硝基苯反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苄基醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(7)当通式(2)中的X是-O-时在碱(如氢氧化钠)存在下，3-羟基-2-硝基苯甲酸衍生物(如3-羟基-2-硝基苯甲酸钠)或2-羟基-3-硝基苯甲酸衍生物(如2-羟基-3-硝基苯甲酸钠)与4-氯硝基苯反应，随后用钯-碳加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯基醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(8)当通式(2)中的X是-S-时用溴对苯硫醚进行单溴化，用一氧化碳和钯催化剂进行羧基化。随后用硝酸和硫酸进行硝化，再用钯-碳进行加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯硫醚衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
(9)当通式(2)中的X是-SO2-时用间氯过苯甲酸氧化苯硫醚，然后用溴进行单溴化，用一氧化碳和钯催化剂进行羧基化。用硝酸和硫酸进行硝化，再用钯-碳进行加氢，得到相应的4,4’-二氨基二苯砜衍生物。在盐酸存在的酸性条件下，用亚硝酸钠重氮化，随后与叠氮化钠反应，制得所需产物。
9．当通式(2)中的Z是-COO-·Q+基团(其中Q+是N+R4)时按照上述8.的同样方式制得的化合物，其中Z是-COO-·Q+基团(其中Q+是Li+、Na+或K+)，该化合物用盐酸酸化，然后与HO-·N+R4反应，制得所需产物。
10．当通式(2)中的Z是-SO2NR2时按照上述6.的同样方式制得的化合物，其中Z是-SO3-·Q+基团，该化合物与五氯化磷反应，然后在叔胺(如吡啶)存在下与R2NH反应，制得所需产物。
由通式(1)或(2)表示的本发明的水溶性光敏化合物可采用常规的分析方法例如元素分析、1H-NMR、13C-NMR、紫外光谱和/或红外光谱、和/或质谱进行检测。
本发明的水溶性光敏组合物包括(A)水溶性光敏化合物和(B)水溶性乙烯基聚合物和/或共聚物，(A)中的光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长不大于305nm，如果需要，组合物还可以包括其它组分。对水溶性光敏化合物(A)没有特别的限制，只要该化合物的光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长不大于305nm，并且可溶于水。因此，水溶性光敏化合物包括水溶性氮化物、水溶性重氮化合物和水溶性光氧化酸发生剂。
从分辨率考虑，优选水溶性氮化物，最好是上述通式(1)或(2)表示的水溶性氮化物。
上述水溶性光敏化合物(A)具有一个光敏基团，该基团在紫外吸收光谱中的最大吸收波长不大于305nm，与目前已知的芪基氮化物的最大吸收波长(如335-450nm)相比，漂移到较短波长一侧。因此，当采用紫外线辐照，用含(A)的光敏组合物形成图形时，与含源自芪的氮化物的组合物相比，也提高了分辨率。
上述水溶性光敏化合物(A)的光敏基团，在紫外光谱中的最大吸收波长一般不大于305nm，当辐照光源是高压汞灯或超高压汞灯时，从辐照光密度与分辨率间的匹配考虑，优选240-300nm。
从灵敏度和粘合力考虑，本发明的光敏组合物中(A)的加入量，以光敏组合物的质量为基准计，一般为1-30％(质量)，较好为1-20％(质量)。
(A)可以包括单一物质或两种或多种物质的混合物。
对用于本发明的水溶性光敏组合物的水溶性乙烯基聚合物和/或共聚物没有特别的限制，但包括有N-乙烯基吡咯烷酮聚合物和/或共聚物、N-乙烯基甲酰胺聚合物和/或共聚物、N-乙烯基乙酰胺聚合物和/或共聚物、(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物、N-C1-5-烷基(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物、N,N-二-C1-5-烷基(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物、(甲基)丙烯酰胺-双丙酮(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物、丙烯酰吗啉聚合物和/或共聚物、丙烯酰胺-2-甲基丙烷磺酸聚合物和/或共聚物、乙烯醇聚合物和/或共聚物、苯乙烯磺酸钠聚合物和/或共聚物、(甲基)丙烯酸聚合物和/或共聚物、日本专利公开昭-55-23163中所述的苯乙烯基吡啶鎓盐化合物、酪蛋白、明胶、甲基纤维素、羟丙基纤维素、聚乙烯纤维素和聚乙二醇。
从灵敏度考虑，其中较好的是N-乙烯基吡咯烷酮聚合物和/或共聚物、N-乙烯基甲酰胺聚合物和/或共聚物、N-乙烯基乙酰胺聚合物和/或共聚物、(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物、N-C1-5-烷基(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物、N,N-二-C1-5-烷基(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物、(甲基)丙烯酰胺-双丙酮(甲基)丙烯酰胺共聚物、丙烯酰吗啉聚合物和/或共聚物、丙烯酰胺-2-甲基丙烷磺酸聚合物和/或共聚物、乙烯醇聚合物和/或共聚物、苯乙烯磺酸钠聚合物和/或共聚物和(甲基)丙烯酸聚合物和/或共聚物，特别好的是N-乙烯基吡咯烷酮聚合物和/或共聚物，N-乙烯基甲酰胺聚合物和/或共聚物，N-乙烯基乙酰胺聚合物和/或共聚物和(甲基)丙烯酰胺-双丙酮(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物。
考虑到光敏组合物的灵敏度和粘度，上述水溶性乙烯基聚合物和/或共聚物(B)的重均分子量(采用GPC测定)一般应为50,000-2,000,000，以200,000-1,500,000为宜。
从灵敏度和粘合性考虑，(B)的加入量，以光敏组合物的质量为基准计，一般为70-99％(质量)，80-99％(质量)为佳。
(B)可以包含单一物质，或两种或多种物质的混合物。
如果需要改善组合物与玻璃表面的粘合力，本发明的组合物可包含胶粘改进剂(C)。通过加入(C)，可以改善与玻璃的粘合。(C)可以是硅烷偶联剂(如含氨基的硅烷偶联剂如乙烯基-三(β-甲氧基乙氧基)硅烷、N-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、γ-氨基丙基三甲氧基硅烷和γ-氨基丙基三乙氧基硅烷；含缩水甘油基的硅烷偶联剂如γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷和γ-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷；等)、钛偶联剂[如二羟基二乳酸根合钛，二烷基二(三乙醇铝酸根)合钛，氧合钛二(草酸单铵)，等]有机羧酸化合物、有机磷化合物和有机磷酸化合物。然而，从粘合强度考虑，优选硅烷偶联剂和钛偶联剂。
从粘合效果和分辨率考虑，如果加入(C)，其加入量，以(B)的质量为基准计，一般不大于10％(质量)，较好的为0.01-5％(质量)。
本发明的组合物可以包含水溶性溶剂作为稀释剂。通过加入这样的稀释剂，可以调节组合物的可分散性、储存稳定性、显影特性和粘合性。
对稀释剂没有特别的限制，但可以是任何一种能与各组分混溶的稀释剂。因此，例如可以是水；醇类溶剂如甲醇、乙醇和异丙醇；二醇类溶剂如甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂、二乙二醇单甲基醚和二乙二醇单乙基醚；酰胺溶剂如N-甲基吡咯烷酮、2-吡咯烷酮、二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺。
从灵敏度和分辨率考虑，其中较好的是水、醇类溶剂和乙二醇醚类溶剂，最好的是水。
可根据光敏组合物的施用条件选择稀释剂量。然而，稀释剂的用量，以水溶性乙烯基聚合物和/或共聚物质量为基准计，宜为2-100倍，5-70倍最好。
如果需要改善基片的润湿能力，本发明的光敏组合物还可以包含表面活性剂。对表面活性剂没有特别的限制，但可以是能与各组分混溶的任何表面活性剂，例如阴离子、非离子或阳离子型表面活性剂。
从稳定性角度考虑，其中较好的是非离子性表面活性剂(例如失水山梨醇酯-环氧乙烷加成物，烷基苯酚-环氧乙烷加成物)。
加入表面活性剂时，从添加效果和可显影性考虑，其量以(B)的质量为基准，一般不大于5％(质量)，0.05-3％(质量)为佳。
如果需要，本发明的光敏组合物还可以包含低分子量化合物，其分子中有羟基和/或碘原子，分子量不大于990。加入这样的低分子量化合物，可调节显影特性和粘合性，还可以提高灵敏度。
作为含羟基的低分子量化合物，有正丁醇、乙二醇、二乙二醇、丙二醇、1,3-丁二醇、1,5-戊二醇、三乙醇胺、甘油、丁四醇、季戊四醇、山梨(糖)醇、己糖醇和二季戊四醇。
作为含碘低分子量化合物，例如有碘乙酸、3,5-二氨基-2,4,6-三碘苯甲酸、3,5-二氨基-2,4,6-三碘苯甲酸钠、3-氨基-2,4,6-三碘苯甲酸、3-氨基-2,4,6-三碘苯甲酸钠、5-氨基-2,4,6-三碘间苯二甲酸、5-氨基-2,4,6-三碘间苯二甲酸钠、5-氨基-2,4,6-三碘间苯二甲氨酸、5-氨基-2,4,6-三碘间苯二甲氨酸钠、3,5-二碘水杨酸、3,5-二碘水杨酸钠、2,3,5-三碘苯甲酸、2,3,5-三碘苯甲酸钠、碘化四烷基铵、碘化钠和碘化钾。
加入这类含羟基和/或碘的低分子量化合物时，从添加效果和可显影性考虑，以(B)质量为基准，其量一般为1-200％(质量)，1-100％(质量)为佳。
本发明的水溶性光敏化合物和水溶性光敏组合物对形成细图形的保护层、形成彩色阴极射线管内表面图形的保护层、形成蚀刻屏蔽屏的保护层、形成滤色器的黑色基质保护层、分散滤色器颜料的保护层、等离子显示面板形成图形的保护层、场发射显示形成图形保护层、荧光显示管形成图形保护层、印刷线路板焊接保护层、印刷线路板蚀刻保护层、印刷线路板干膜保护层、中间层绝缘材料、液晶透明导电层(ITO)形成图形保护层、光敏印刷板、印刷油墨、光固化涂料组合物等特别有用，尤其对形成精细图形的保护层、形成彩色阴极射线管内表面图形的保护层(形成彩色阴极射线管黑色基质保护层、彩色阴极射线管荧光材料形成图形保护层、彩色阴极射线管颜料滤器形成图形保护层等)有用。
下面列举精细图形的形成作为本发明光敏组合物用途的一个具体例子。
精细图形形成的方法包括例如下列步骤一般通过旋转涂布等方法，在玻璃基底上施涂本发明的光敏组合物，厚度为0.1-2微米；使用热板、红外加热器、远红外加热器等干燥涂层，形成膜；由来自超高压汞灯、高压汞灯、金属卤化物灯或氙灯等的紫外线，通过具有所要求图形的光掩膜，以0.5-100mJ/cm2辐照该薄膜；显影并通过洗涤除去未曝光部分。
当本发明的光敏组合物用于形成彩色阴极射线管黑色基质时，由于组合物具有倒易律失效性质(reciprocity law failure)，还可以进一步提高分辨率。
倒易律失效性质是这样的性能在气体氧存在下条纹或点的图形面积明显小于在玻璃表面形成的光辐照面积。
用于本发明的光敏组合物的辐照紫外线的曝光设备中，滤光器和透镜宜由在240-305nm附近具有低光吸收的材料，尤其是石英制成。钠钙玻璃很能吸收波长不大于305nm的紫外线，因此不被优选。
实施本发明的最佳模式下面的实施例将详细地说明本发明。然而，它们不对本发明构成限制。下面“份”指“质量份”和“％”指“％(质量)”。
灵敏度有各种定义，然而，本文中定义为在恒定的照度下曝光和显影后，直到薄膜厚度的比例(残留薄膜比例)，相对于最初厚度的50％时的曝光时间。这种情况下，曝光时间越短，灵敏度越高。
实施例1合成4,4’-二叠氮基-2,2’-亚甲基二苯二磺酸二钠(1)将3-氨基苯磺酸(10克，57.8毫摩尔)溶解于4.5克37％福尔马林(水中)、20克浓盐酸(纯物质的含量为35％)和20克水组成的混合溶剂中，在80℃进行5小时反应。反应混合物冷却，然后加入氢氧化钠使其碱化，将该混合物倒入500毫升丙酮中，过滤收集产生的固体沉淀，得到6.7克(16.7毫摩尔)粗的4,4’-二氨基-2,2’-亚甲基二苯二磺酸二钠，收率=58％。
(2)在(1)中制得的粗的4,4’-二氨基-2,2’-亚甲基二苯二磺酸二钠(6.7克，16.7毫摩尔)溶解于100克水和5克浓盐酸(纯物质的含量为35％)组成的混合溶剂中，该溶液冷却至0-5℃。在该溶液中加入含1.3克(18.4毫摩尔)亚硝酸钠水溶液(5毫升)，该混合物于0-5℃继续搅拌1小时。于0-5℃，在其中加入含1.1克(16.7毫摩尔)叠氮化钠水溶液(5毫升)，混合物于室温搅拌5小时。加入氢氧化钠，使该反应混合物碱化，混合物倒入1000毫升丙酮，过滤收集产生的固体沉淀，干燥后得到6.1克(12.5毫摩尔)4,4’-二叠氮基-2,2’-亚甲基二苯二磺酸二钠二水合物。收率=75％。
元素分析计算值 测定值C:31.840 C:31.752H:2.467 H:2.448N:17.138 N:17.1921H-NMR(ppm)3.81(s,2H),7.60-7.70(m,4H),8.30(d,2H)最大吸收波长259nm。
实施例2合成4,4’-二叠氮基-3,3’-亚甲基二苯二磺酸二钠(1)将2-氨基苯磺酸(10克，57.8毫摩尔)溶解于4.5克37％福尔马林(水中)、20克浓盐酸(纯物质的含量为35％)和20克水组成的混合溶剂中，在80℃进行5小时反应。反应混合物冷却，然后加入氢氧化钠使其碱化，将该混合物倒入500毫升丙酮中，过滤收集产生的固体沉淀，得到7.4克(18.5毫摩尔)粗的4,4’-二氨基-3,3’-亚甲基二苯二磺酸二钠，收率=64％。
(2)在(1)中制得的粗4,4’-二氨基-3,3’-亚甲基二苯二磺酸二钠(7.4克，18.5毫摩尔)溶解于100克水和5克浓盐酸(纯物质的含量为35％)组成的混合溶剂中，该溶液冷却至0-5℃。在该溶液中加入含1.4克(18.4毫摩尔)亚硝酸钠水溶液(5毫升)，该混合物于0-5℃继续搅拌1小时。于0-5℃，在其中加入含1.2克(18.5毫摩尔)叠氮化钠水溶液(5毫升)，混合物于室温搅拌5小时。加入氢氧化钠，使该反应混合物碱化，混合物倒入1000毫升丙酮，过滤收集产生的固体沉淀，干燥后得到6.2克(12.6毫摩尔)4,4’-二叠氮基-3,3’-亚甲基二苯二磺酸二钠二水合物。收率=68％。
元素分析计算值 测定值C:31.840 C:31.892H:2.467 H:2.470N:17.138 N:17.0891H-NMR(ppm)3.81(s,2H),7.41(m,2H),7.92-8.11(m,4H)最大吸收波长262nm。
实施例3合成4,4’-二叠氮基-2,2’-(1,2-亚乙基苯)二磺酸二钠(1)将4,4’-二氨基-2,2’-茋二磺酸二钠(20克，48.7毫摩尔)溶解于150毫升乙醇中，在其中加入1.0克5％的钯-碳，在常压氢气氛下，于室温搅拌该混合物进行加氢。确定氢吸附停止后，过滤除去5％钯-碳，减压蒸馏除去乙醇，得到18.4克(44.3毫摩尔)粗的4,4’-二氨基-2,2’-(1,2-亚乙基苯)二磺酸二钠，收率=91％。
(2)在(1)中制得的粗4,4’-二氨基-2,2’-亚乙基苯二磺酸二钠(18.4克，44.3毫摩尔)溶解于800克水和13克浓盐酸(纯物质的含量为35％)组成的混合溶剂中，该溶液冷却至0-5C。在该溶液中加入含3.4克(48.7毫摩尔)亚硝酸钠水溶液(12毫升)，该混合物于0-5℃继续搅拌1小时。于0-5℃，在其中加入含2.9克(44.3毫摩尔)叠氮化钠水溶液(12毫升)，混合物于室温搅拌5小时。加入氢氧化钠，使该反应混合物碱化，混合物倒入5000毫升丙酮，过滤收集产生的固体沉淀，干燥后得到15.6克(31.0毫摩尔)4,4’-二氨基-2,2’-亚乙基苯二磺酸二钠二水合物。收率=70％。
元素分析计算值 测定值C:33.337 C:33.319H:2.798 H:2.804N:16.661 N:16.6421H-NMR(ppm)2.88(s,4H),7.21-7.38(m,4H),7.88(d,2H)
最大吸收波长258nm。
实施例4合成4,4’-二叠氮基-2,2’-联苯基二磺酸二钠(1)将3-硝基苯磺酸(10克，49.3毫摩尔)溶解于40毫升乙醇，在其中加入25克锌粉，该混合物回流下加热。继续回流下，按顺序加入氢氧化钠水溶液(15克/50毫升)和40毫升乙醇，回流2小时。然后加入锌粉(5克)，再继续回流4小时。之后，将反应混合物倒入150毫升的30％乙酸水溶液，其中含有0.5克亚硝酸钠，用乙醇洗涤所获固体，干燥后制得7.8克(22.7毫摩尔)粗的二苯肼-3,3’-磺酸，收率=92％。
(2)在(1)中制得的粗肼二苯肼-3,3’-磺酸(7.8克，22.7毫摩尔)溶解于50毫升乙醚，随后加入35毫升浓盐酸(纯物质的含量为35％)，该于室温下剧烈搅拌1小时。过滤收集沉淀的固体，用乙醚洗涤，然后加入100毫升10％氢氧化钠水溶液中，混合物于80℃搅拌1小时。混合物冷却后，用乙醚萃取反应混合物，萃取乙醚，制得6.3克(16.1毫摩尔)粗的4,4’-二氨基-2,2’-联苯基二磺酸二钠。收率=71％。
(3)在(2)中制得的4,4’-二氨基-2,2’-联苯基二磺酸二钠(6.3克，16.1毫摩尔)溶解于100克水和5克浓盐酸(纯物质的含量为35％)组成的混合溶剂中，该混合物冷却酯0-5℃。在其中加入含1.2克(17.7毫摩尔)亚硝酸钠的水溶液(5毫升)，该混合物于0-5℃继续搅拌1小时。然后，于0-5℃，在其中加入含1.0克(16.1毫摩尔)叠氮化钠水溶液(5毫升)，混合物于室温搅拌5小时。加入氢氧化钠，使该反应混合物碱化，混合物倒入1000毫升丙酮中。过滤收集产生的固体沉淀，干燥后得到4.8克(10.1毫摩尔)4,4’-二氨基-2,2’-联苯基二磺酸二钠二水合物。收率=63％。
元素分析计算值 测定值C:30.257 C:30.271H:2.116 H:2.111N:17.642 N:17.6211H-NMR(ppm)7.32(m,2H),7.76-7.99(m,4H)
最大吸收波长262nm。
实施例5按照下面配方，将各特定组分混合在一起，制得本发明的光敏组合物(1)。采用旋转涂布，将组合物(1)施涂在玻璃基底上，薄膜厚度为0.5微米，然后于50℃，在热板上干燥1分钟，形成涂层膜。然后，使用配备超高压汞灯的近程辐照设备，以2.5mW/cm2曝光照度，通过50微米线宽的光掩膜，使形成的涂层膜辐照紫外线。近程距离设定为50微米。之后，用水，于常温下进行显影，形成保护层图形，测定灵敏度。灵敏度为1.0秒(光辐照2.5mJ/cm2)。
还使用清晰度试验卡片1(Toppan Printing Co.产品)作为光掩膜，在下面条件下辐照紫外线光辐照25mJ/cm2，辐照时间10秒(光辐照2.5mJ/cm2)，近程距离为50微米。之后，用水于常温下进行显影，从而形成保护层图形，测定分辨率。分辨率为5微米。[光敏组合物配方(1)]
实施例6按照下面的配方，制备光敏组合物(2)。通过施涂该组合物，干燥、辐照和用水于常温下显影后，制得保护层图形，并按照与实施例1相同的方式测定灵敏度。灵敏度为1.5秒(光辐照3.8mJ/cm2)。
按照与实施例1相同的方式测定分辨率，为5微米。[光敏组合物配方(2)]
比较例1按照下面的配方，制备用于比较的光敏组合物(比较例1)。通过施涂该组合物，干燥、辐照和用水于常温下显影后，制得保护层图形，并按照与实施例1相同的方式测定灵敏度。灵敏度为2.5秒(光辐照6.3mJ/cm2)。
按照与实施例1相同的方式测定分辨率，为15微米。[光敏组合物配方(比较例1)]
工业应用性本发明的光敏化合物和光敏组合物能产生下列效果，具有极高应用性。
1)本发明的光敏化合物的最大吸收波长小于305nm，含所述光敏化合物的光敏组合物的分辨率极高，尤其在近程辐照时，因此，能形成尺寸精确度很高的精细图形。
2)不含如铬化合物的有害物质，因此，不需要除去废水中这类有害物质的设备，没有环境污染。
权利要求
1．一种水溶性光敏化合物，它由以下通式(1)或(2)表示 式(1)中，X代表直接键、有1-5个碳原子的亚烷基、-CH2O-、-OCH2-、-CH2OCH2-、-O-、-S-或-SO2-，Z代表-SO3-·Q+、-COO-·Q+或-SO2NR2，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基，两个Z基团可以相同或不同， 式(2)中，X代表直接键、有1-5个碳原子的亚烷基、-CH2O-、-OCH2-、-CH2OCH2-、-O-、-S-或-SO2-，Z代表-SO3-·Q+、-COO-·Q+或-SO2NR2，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选地包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基，光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长不大于305nm。
2．如权利要求1所述的水溶性光敏化合物，其特征在于所述光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长为240-300nm。
3．如权利要求1或2所述的水溶性光敏化合物，其特征在于通式(1)或(2)中的X是直接键、亚甲基或亚乙基。
4．如权利要求1-3中任一权利要求所述的水溶性光敏化合物，其特征在于通式(1)或(2)中的Z是-SO3-·Q+，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，所述R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基。
5．如权利要求1-4中任一权利要求所述的水溶性光敏化合物，其特征在于所述化合物是4,4’-二叠氮基-2,2’-亚联苯基二磺酸二钠、4,4’-二叠氮基-3,3’-亚联苯基二磺酸二钠、4,4’-二叠氮基-2,2’-亚甲基二苯二磺酸二钠、4,4’-二叠氮基-3,3’-亚甲基二苯二磺酸二钠、4,4’-二叠氮基-2,2’-(1,2-亚乙基二苯)二磺酸二钠或4,4’-二叠氮基-3,3’-(1,2-亚乙基二苯)二磺酸二钠。
6．一种光敏组合物，包括1-30％质量的水溶性光敏化合物(A)和70-99％(质量)水溶性乙烯基聚合物和/或共聚物(B)，所述(A)中的光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长不大于305nm。
7．如权利要求6所述的光敏组合物，其特征在于所述水溶性光敏化合物(A)的光敏基团在紫外光谱中的最大吸收波长为240-300nm。
8．如权利要求6或7所述的光敏组合物，其特征在于所述水溶性光敏化合物(A)是水溶性叠氮化物。
9．如权利要求6-8中任一权利要求所述的光敏组合物，其特征在于所述水溶性光敏化合物(A)由下面通式(1)或(2)表示 式(1)中，X代表直接键、有1-5个碳原子的亚烷基、-CH2O-、-OCH2-、-CH2OCH2-、-O-、-S-或-SO2-，Z代表-SO3-·Q+、-COO-·Q+或-SO2NR2，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选地包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基，两个Z基团可以相同或不同， 式(2)中，X代表直接键、有1-5个碳原子的亚烷基、-CH2O-、-OCH2-、-CH2OCH2-、-O-、-S-或-SO2-，Z代表-SO3-·Q+、-COO-·Q+或-SO2NR2，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选地包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基。
10．如权利要求9所述的光敏组合物，其特征在于所述通式(1)或(2)中的X是直接键、亚甲基或亚乙基。
11．如权利要求9或10所述的光敏组合物，其特征在于通式(1)或(2)中的Z是-SO3-·Q+，其中Q+代表Li+、Na+、K+或N+R4，所述R代表氢原子和/或有1-5个碳原子的烷基，所述烷基可任选地包含一个羟基、醚、羰基、羰氧基或氧羰基。
12．如权利要求6-11中任一权利要求所述的光敏组合物，其特征在于所述水溶性乙烯基聚合物和/或共聚物(B)包括至少一种选自下列的物质N-乙烯基吡咯烷酮聚合物和/或共聚物、N-乙烯基甲酰胺聚合物和/或共聚物、N-乙烯基乙酰胺聚合物和/或共聚物、(甲基)丙烯酰胺聚合物和/或共聚物、N-C1-5-烷基(甲基)丙烯酰胺、N，N-二-C1-5-烷基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酰胺-双丙酮(甲基)丙烯酰胺共聚物、丙烯酰吗啉聚合物和/或共聚物、丙烯酰胺-2-甲基丙烷磺酸聚合物和/或共聚物、乙烯醇聚合物和/或共聚物、苯乙烯磺酸钠聚合物和/或共聚物和(甲基)丙烯酸聚合物和/或共聚物。
13．如权利要求6-12中任一权利要求所述的光敏组合物，其特征在于以所述水溶性乙烯基聚合物和/或共聚物(B)的质量为基准，所述组合物包括0.01-10％质量的胶粘改进剂(C)。
14．如权利要求6-13中任一权利要求所述的光敏组合物，其特征在于所述组合物具有倒易律失效性质。
15．如权利要求6-14中任一权利要求所述的光敏组合物，其特征在于所述组合物可用于彩色阴极射线管内部表面图形的形成。
16．如权利要求15所述的光敏组合物，其特征在于所述内部表面图形形成是黑色基质形成。
全文摘要
本发明提供一种由下式(1)或下式(2)表示的水溶性光敏化合物,式中,X代表直接键、有1—5个碳原子的亚烷基、－CH
文档编号G03F7/008GK1297430SQ00800423
公开日2001年5月30日 申请日期2000年3月31日 优先权日1999年3月31日
发明者渡辺哲也, 向井孝夫, 丹羽恭规, 野田桂子, 渡部千代治 申请人:三洋化成工业株式会社, 索尼株式会社