电光装置和具备该电光装置的电子设备的制作方法

专利名称：电光装置和具备该电光装置的电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如在元件基板上制成周边驱动电路而构成的驱动电路内置型的液晶装置等的电光装置和具备该电光装置而构成的电子设备的技术领域。
背景技术：
在这种液晶装置等的电光装置中，在其图像显示区域中以矩阵状排列了为图像显示用而被驱动的多个像素部。在各像素部中配置了例如像素电极和对各像素电极进行开关控制的薄膜晶体管(以下，适当地称为「TFT」)，沿纵横相邻的像素电极间的间隙设置了扫描线、数据线、电容线等的布线。特别是在驱动电路内置型的情况下，在同一元件基板上的周边区域中制成了驱动扫描线或数据线用的扫描线驱动电路或数据线驱动电路。因此，在周边区域内对从沿元件基板的一边排列的多个外部电路连接端子到周边驱动电路的电源信号线、时钟信号线、图像信号线、控制信号线等的各种布线进行了平面布局。
在此，根据电光装置或元件基板的小型化的要求，也提出了对该各种布线的平面布局进行改进的技术，以使从外部电路连接端子到周边电路的多条各种布线容纳在被限制了的周边区域内，或使在被限制了的周边区域内接近地配置的各种布线间的相互间的噪声减少。
在这种电光装置中，既可谋求装置或元件基板的小型化、又能提高驱动频率或清晰度的图像的高品位化的要求在实践上是极为强烈的。
但是，按照上述的在现有的周边区域中设置各种布线的技术，在被限制了的周边区域内存在其一端分别连接到多个外部电路连接端子上的多条布线(在本申请的说明书中适当地称为「主布线」)。而且，存在主布线的条数或外部电路连接端子的个数伴随驱动方式的高度复杂化而增大的趋势。因此，对于至少某几条主布线来说，在其另一端到达周边驱动电路或上下导通端子的途中不得不与其它的主布线发生交叉。在该交叉的部位中，在元件基板上构筑的层叠结构中必须经由在构成该至少一条主布线的导电膜的上侧或下侧层叠的其它的导电膜构成的中继布线部分。而且，鉴于通常例如由铝等的在元件基板上构筑的层叠结构中电阻最低的导电膜形成主布线，这样，由另一导电膜、即不是电阻最低的导电膜形成中继布线部分这一点而存在显著地导致主布线中的布线电阻的增大的技术的问题。而且，根据该主布线的用途，相关的主布线中的布线电阻的增大很可能导致各种图像质量的下降。
要兼顾因以这种方式使周边区域变窄导致的装置的小型化和因像素间距或布线间距的微细化导致的图像质量的提高在实践上是极为困难的。另外，如果如上述那样作成中继布线部分，则导致因接触电阻或接触孔电阻引起的电阻增加，进而导致元件基板上的层叠结构和制造工艺的复杂化，也存在很可能最终导致装置成品率的下降或可靠性的下降这样的技术问题。

发明内容
本发明是是例如鉴于上述的问题而进行的，其目的在于提供能有效地实现主布线的低电阻化、同时能抑制主布线间的信号的相互干扰、由此可进行高品位的图像显示的电光装置和具备这样的电光装置的电子设备。
为了解决上述课题，本发明的电光装置具备在元件基板上的图像显示区域中具备的多个像素部，在位于上述元件基板上的上述图像显示区域的周边的周边区域中具备多个外部电路连接端子；多条主布线，其一端分别连接到该多个外部电路连接端子上；以及周边驱动电路，连接到该主布线的另一端上，用来根据从上述外部电路连接端子经上述主布线供给的电信号驱动上述像素部。而且，上述多条主布线由同一导电膜形成，同时在上述周边区域内对上述多条主布线进行了平面布局，使其相互不交叉。
按照本发明的电光装置，在其工作时，经外部电路连接端子和其一端连接到外部电路连接端子上的主布线分别对连接到主布线的另一端上的周边驱动电路供给例如图像信号、时钟信号及其反转信号、电源信号、控制信号等各种电信号。或者，经外部电路连接端子和其一端连接到外部电路连接端子上的主布线例如对在周边区域中设置的上下导通端子供给对向电极电位，进而经该上下导通材料对在对向基板一侧设置的对向电极供给对向电极电位。这样的主布线例如利用作为扫描线驱动电路、数据线驱动电路等的周边驱动电路，通过根据如上述那样供给的各种电信号驱动扫描线和数据线，进行规定方式的图像显示。例如，对多个像素部进行有源矩阵驱动。
在此，在本发明的电光装置中，特别地上述多条主布线由同一导电膜形成，同时在上述周边区域内对上述多条主布线进行了平面布局，使其相互不交叉。因此，在元件基板上构筑的层叠结构中包含在导电性方面优良的导电膜，如果作为上述的同一导电膜来采用，或者将在元件基板上构筑的层叠结构中在导电性方面最优良的导电膜作为上述的同一导电膜来采用，则可将多条主布线作为在导电性方面优良的布线来构筑。再者，即使主布线的条数或外部电路连接端子的个数伴随驱动方式的高度复杂化而增大，由于对多条主布线进行了平面布局，使其相互不交叉，故没有必要在交叉的部位中经由中继布线部分。而且，如果由铝等的在元件基板上构筑的层叠结构中电阻最低的导电膜形成主布线，则与利用由与其相比不是低电阻的层叠结构中的另一导电膜形成的中继布线部分的情况相比，可显著地降低主布线中的布线电阻。因而，可有效地在未发生之前防止起因于主布线的布线电阻的增加的各种图像质量的下降。换言之，可兼顾因使周边区域变窄导致的装置的小型化和因像素间距或布线间距的微细化导致的图像质量的提高。
另外，由于如上所述在主布线中可不作成中继布线部分，故可避免因主布线中的接触电阻或接触孔电阻引起的电阻增加，进而可使元件基板上的层叠结构和制造工艺变得单纯。因而，可最终地提高装置的成品率或可靠性。而且，通过对多条主布线进行平面布局以使其相互不交叉，也可显著地减少例如二条主布线经薄的层间绝缘膜交叉的情况下可看到的该二条主布线间的二种电信号的相互干扰。
以上的结果，按照本发明的电光装置，可有效地使主布线低电阻化，同时可抑制主布线间的信号的相互干扰，由此，可进行高品位的图像显示。
在本发明的电光装置的一个形态中，包含上述周边驱动电路的内部布线、从上述周边驱动电路朝向上述像素部引出的引出布线和从上述主布线分支的分支布线的至少一条而构成的副布线在其第1部分中由与上述同一导电膜不同的另一导电膜来形成并经层间绝缘膜与上述主布线交叉，而且在其第2部分中由上述同一导电膜来形成，在上述周边区域内对上述第2部分进行了平面布局，使其与上述主布线不交叉。
按照该形态，在周边区域中设置了内部布线、引出布线和分支布线等的副布线。这些布线中的周边驱动电路的内部布线是连接构成周边驱动电路内例如移位寄存器的多个排列的电路间的布线。
引出布线是将扫描线、数据线、电容线等从图像显示区域引向周边区域用的布线。分支布线是供给例如电源信号或时钟信号等在周边驱动电路的多个部位中共同地使用的各种电信号用的布线。
这样的副布线在其第1部分中由例如相对于在导电性方面最优良的导电膜来说经层间绝缘膜被层叠了的第二、第三等在导电性方面优良的金属膜或导电性多晶硅膜等构成，以与主布线相交的方式进行了平面布局。进而，这样的副布线在其第2部分中由例如与主布线同样地在导电性方面最优良的导电膜构成，以与主布线不相交的方式进行了平面布局。因而，对于副布线来说，只要不与主布线相抵触，可提高其导电性。
在该形态中，可经在上述层间绝缘膜中开了孔的接触孔电连接上述第1部分与上述第2部分间。
如果以这种方式来构成，副布线可起到包含经接触孔交叉地延伸以便避开主布线的第1部分和第2部分而构成的1条布线的功能。此外，也可用接触孔以外的方式连接该第1部分与第2部分间。
在本发明的电光装置的另一个形态中，在与上述元件基板对向地配置的对向基板上的上述周边区域中还具备对向电极，在上述元件基板上的上述周边区域中还具备上述多条主布线中的至少一条的用来对上述对向电极供给对向电极电位的对向电极电位线与取得上述对向电极之间的上下导通的上下导通端子，在上述周边区域中，上述对向电极电位线在上述多条主布线中处于靠近上述元件基板的边缘的位置上，在上述周边区域中，上述周边驱动电路与上述上下导通端子和上述对向电极电位线相比处于靠近上述元件基板的中央的位置上。
按照该形态，在其工作时，经外部电路连接端子和其一端连接到外部电路连接端子上的主布线例如对在周边区域中设置的上下导通端子供给对向电极电位，进而经该上下导通材料对在对向基板一侧设置的对向电极供给对向电极电位。由此，通过在对向电极与例如在像素部中被设置的像素电极之间发生纵向电场，可驱动例如在两基板间被夹持的液晶等的电光物质。在此，特别是在周边区域中，位于多条主布线中靠近元件基板的边缘处。例如，对向电极电位线从外部连接端子起沿元件基板的边缘延伸。与此不同，由于周边驱动电路与上下导通端子和对向电极电位线相比处于靠近元件基板的中央的位置上，故可比较简单地得到除了对向电极电位线外的主布线与对向电极电位线不交叉的平面布局。
此外，较为理想的是，在周边区域中对向电极电位线在多条主布线中处于靠近元件基板的最边缘的位置上。由此，可比较简单地得到除了对向电极电位线外的全部主布线与对向电极电位线不交叉的平面布局。
在该形态中，可构成为沿上述元件基板的一边排列了上述多个外部电路连接端子，上述多个外部电路连接端子中连接上述对向电极电位线的一端的外部电路连接端子在上述多个外部电路连接端子的排列中处于靠近端部的位置上。
如果以这种方式来构成，则对向电极电位线从靠近边缘的外部电路连接端子起延伸，处于靠近元件基板的边缘的位置上。因而，可非常简单地得到除了对向电极电位线外的主布线与对向电极电位线不交叉的平面布局。
此外，较为理想的是，连接对向电极电位线的一端的外部电路连接端子在周边区域中在多个外部电路连接端子的排列中处于最端部的位置上。例如，从排列了多个外部电路连接端子的边来看，沿元件基板的右边缘延伸的对向电极电位线的前端连接到右端的外部电路连接端子上，例如，沿元件基板的左边缘延伸的对向电极电位线的前端连接到左端的外部电路连接端子上。由此，即使在外部电路连接端子的附近的周边区域中，也可比较简单地得到除了对向电极电位线外的主布线与对向电极电位线不交叉的平面布局。
另外，在本发明的电光装置的另一形态中，在与上述元件基板对向地配置的对向基板上的上述周边区域中还具备对向电极，在上述元件基板上的上述周边区域中还具备上述多条主布线中的至少一条的用来对上述对向电极供给对向电极电位的对向电极电位线与取得上述对向电极之间的上下导通的上下导通端子。在上述周边区域中，上述对向电极电位线与除了上述对向电极电位线外的一条或多条主布线相比处于靠近上述元件基板的边缘的位置上，与除了上述对向电极电位线外的另一条或多条主布线相比处于靠近上述元件基板的中央的位置上，在上述周边区域中，上述周边驱动电路的一部分与上述上下导通端子和上述对向电极电位线相比处于部分地靠近上述元件基板的中央的位置上，在上述周边区域中，上述周边驱动电路的另一部分与上述上下导通端子和上述对向电极电位线相比处于部分地靠近上述元件基板的边缘的位置上。
按照该形态，在其工作时，经外部电路连接端子和其一端连接到外部电路连接端子上的主布线例如对在周边区域中设置的上下导通端子供给对向电极电位，进而经该上下导通材料对在对向基板一侧设置的对向电极供给对向电极电位。在此，特别是在周边区域中，对向电极电位线与除了对向电极电位线外的一条或多条主布线相比处于靠近元件基板的边缘的位置上。另一方面，在周边区域中，与除了对向电极电位线外的另一条或多条主布线相比，对向电极电位线处于靠近元件基板的中央的位置上。因而，可比较简单地得到除了对向电极电位线外的主布线与对向电极电位线不交叉的平面布局。
在该形态中，沿上述元件基板的一边排列了上述多个外部电路连接端子，上述多个外部电路连接端子中连接除了对向电极电位线外的另一条或多条主布线的一端的外部电路连接端子可在上述多个外部电路连接端子的排列中处于靠近端部的位置上。
如果这样来构成，则在周边区域中除了对向电极电位线外的另一条或多条主布线从靠近边缘的外部电路连接端子延伸，处于元件基板的靠近边缘的位置上。另一方面，除了对向电极电位线外的一条或多条主布线从靠近中央的外部电路连接端子延伸，处于元件基板的靠近中央的位置上。因而，可比较简单地得到除了对向电极电位线外的主布线与对向电极电位线不交叉的平面布局。
在具备上述的对向电极的各种形态中，可构成为上述多条主布线包含在分别供给时钟信号及其反转信号作为上述电信号的同时不与上述对向电极电位线交叉的一对时钟信号线。
如果这样来构成，则由于如假定交叉则相互干扰就变得显著的时钟信号线与对向电极电位线未交叉，故可有效地避免时钟信号的电位根据对向电极电位的变动而变动或对向电极电位根据时钟信号的电位的变动而变动的情况。由此，可进行高品位的图像显示。
在本发明的电光装置的另一形态中，上述多条主布线包含供给时钟信号及其反转信号作为上述电信号用的一对时钟信号线和供给电源信号作为上述电信号用的电源布线，上述一对时钟信号线与上述电源布线不交叉。
按照该形态，由于如假定交叉则相互干扰就变得显著的时钟信号线与电源布线未交叉，故可有效地避免时钟信号的电位根据电源信号的电位的变动而变动或电源信号的电位根据时钟信号的电位的变动而变动的情况。由此，可进行高品位的图像显示。
在本发明的电光装置的另一形态中，以避免相互交叉而弯曲地行进的方式对上述多条主布线进行了平面布局。
按照该形态，通过对于主布线来说使其弯曲地行进，一边以其布线长度变长为牺牲，一边避免主布线交叉的事态。在此，通过降低构成主布线的同一导电膜的电阻，可将与布线长度对应的布线电阻抑制得较低，另一方面，可获得因不利用交叉时所必要的中继布线带来的利益。
此外，在该形态中，优选以在数学或几何学方面尽可能减少交叉部位的方式进行平面布局，即使弯曲地行进也减少交叉部位。另一方面，对于上述的副布线来说，因可进行交叉，一边可提高布线间距，一边可避免对于主布线的交叉，在周边区域中对主布线和副布线进行平面布局。
在本发明的电光装置的另一形态中，上述多条主布线至少部分地包含由在与上述同一导电膜分开的层中形成的另一导电膜构成的冗余布线。
按照该形态，主布线除了由同一导电膜构成的布线部外利用包含在与该同一导电膜分开的层中形成的另一导电膜构成的冗余布线的冗余结构，可进一步降低主布线的布线电阻。另外，即使假定构成冗余结构的二条布线部分中的一方断线，由于还留下能起到布线的功能的可能性，故也可提高该电光装置中的可靠性。
此外，本发明的电光装置，具备在元件基板上的图像显示区域中具备的多个像素部，在位于上述元件基板上的图像显示区域的周边的周边区域中具备多个外部电路连接端子；扫描线驱动电路；数据线驱动电路；其一端连接到上述外部电路连接端子上其另一端连接到上述扫描线驱动电路上的扫描线驱动电路用布线；其一端连接到上述外部电路连接端子上其另一端连接到上述数据线驱动电路上的数据线驱动电路用布线；以及其一端连接到上述外部电路连接端子上用来供给上述多个像素部的图像信号的图像信号布线。而且，在上述周边区域内对上述扫描线驱动电路用布线、上述数据线驱动电路用布线和上述图像信号布线进行了平面布局，使其相互不交叉。
此外，在本发明的电光装置的一个形态中，可在上述扫描线驱动电路用布线与上述数据线驱动电路用布线之间配置上述图像信号布线。
此外，在本发明的电光装置的另一形态中，可在与上述元件基板对向地配置的对向基板上的上述周边区域中还具备对向电极和其一端连接到上述外部电路连接端子上其另一端对上述对向电极供给对向电位用的对向电极电位线，将上述对向电极电位线配置成包围上述扫描线驱动电路用布线。
本发明的电子设备为了解决上述课题具备上述的本发明的电光装置(其中包含其各种形态)而构成。
由于本发明的电子设备具备上述的本发明的电光装置，故通过利用主布线适当地供给各种电信号可实现能进行高品位的图像显示的电视、携带电话机、电子笔记本、文字处理器、寻像器型或监视器直接观察型的磁带摄像机、工作站、可视电话、POS终端、触摸面板等的各种电子设备。此外，作为本发明的电子设备，也可实现例如电子纸等的电泳装置。


图1是示出本实施例中的电光装置的整体结构的平面图。
图2是图1的H-H’剖面图。
图3是示出构成电光装置的图像显示区域的以矩阵状形成的多个像素中设置的各种元件、布线等的等效电路图。
图4是示出在TFT阵列基板上形成的各种驱动电路和各种信号布线的结构的等效电路图。
图5是示出在TFT阵列基板上形成的各种驱动电路和各种信号布线的结构的等效电路图。
图6是示出本发明的实施例的电光装置中的形成了数据线、扫描线、像素电极等的TFT阵列基板的互相邻接的多个像素组的平面图。
图7是图6的A-A’剖面图。
图8是图4或图5的B-B’剖面图。
图9是图4或图5的C-C’剖面图。
图10是与变形形态有关的主布线和冗余布线的一个剖面图。
图11是与变形形态有关的主布线和冗余布线的另一剖面图。
图12是作为本发明的电子设备的实施例的投射型彩色显示装置的一例的彩色液晶投影机的示意性的剖面图。
具体实施例方式
从以下说明的实施例可明白本发明的这样的作用和其它的优点。
以下，根据附图来说明本发明的实施例。以下的实施例是将本发明的电光装置应用于TFT有源矩阵驱动方式的液晶装置的实施例。
(电光装置的整体结构)首先，参照图1和图2说明与本实施例有关的电光装置的整体结构。图1是示出与本实施例有关的电光装置的整体结构的平面图，图2是图1的H-H’剖面图。在此，以作为电光装置的一例的驱动电路内置型的TFT有源矩阵驱动方式的液晶装置为例。
在图1和图2中，在与本实施例有关的电光装置中对向地配置了TFT阵列基板10和对向基板20。在TFT阵列基板10与对向基板20之间封入了液晶层50，利用在位于图像显示区域10a的周围的密封区52a中设置的密封材料52互相粘接了TFT阵列基板10与对向基板20。
密封材料52由贴合两基板用的例如光硬化性树脂、热硬化性树脂等构成，在制造工艺中将其涂敷在TFT阵列基板10上，该树脂是利用紫外线、加热等使其硬化的树脂。此外，该密封材料52中散布了使两基板间的距离(基板间的间隙)为规定值用的玻璃纤维或玻璃珠等的间隙材料。但是，如果是特别大型的电光装置，则可在液晶层50中散布间隙材料，以代替在密封材料52中散布或同时在两者中散布。
与配置了密封材料52的密封区52a的内侧并行地在对向基板20一侧设置了规定图像显示区域10a的框缘区域的遮光性的框缘遮光膜53。但是，也可在TFT阵列基板10一侧设置这样的框缘遮光膜53的一部分或全部作为内置遮光膜。
在本实施例中，在图像显示区域10a的周边规定了周边区域。即，从TFT阵列基板10的中央来看，将从框缘遮光膜53起靠近边缘的区域规定为周边区域。
在周边区域中的位于密封区52a的外侧的区域中沿TFT阵列基板10的一边(即，图1中的下边)设置了数据线驱动电路101和外部电路连接端子102。此外，沿与该一边邻接的二边(即，图1中的左右两边)而且以被框缘遮光膜53覆盖的方式设置了扫描线驱动电路104。再者，为了连接在图像显示区域10a的两侧设置的二个扫描线驱动电路104间，沿TFT阵列基板10的剩下的一边(即，图1中的上边)而且以被框缘遮光膜53覆盖的方式设置了多条布线105。在本实施例中，特别是在周边区域中对其一端分别连接到外部电路连接端子102上的多条主布线108进行了布线。主布线108的另一端连接到数据线驱动电路101、扫描线驱动电路104等上。此外，在后面详细地叙述这些TFT阵列基板10上的电路结构及其工作以及主布线108的平面布局。
在图2中，在TFT阵列基板10上并在形成了像素开关用的TFT及扫描线、数据线等的布线的像素电极9a上形成了取向膜。另一方面，在对向基板20上，除了对向电极21外，形成了栅格状或条状的遮光膜23，进而在最上层部分上形成了取向膜。此外，液晶层50例如由混合了一种或几种向列液晶的液晶构成，在该一对取向膜间取规定的取向状态。
在图1中，在TFT阵列基板10的4个角部附近设置了连接到作为在TFT阵列基板10上进行了平面布局的主布线108中的1条的对向电极电位线上的上下导通端子106t。在这些上下导通端子106t上分别配置了上下导通材料106。将上下导通材料106构成为与对向电极21的四角进行了面接触，经主布线108对对向电极21供给来自外部电路连接端子102的对向电极电位。
(像素部的结构)其次，参照图3说明本实施例中的电光装置的像素部。在此，图3是示出构成电光装置的图像显示区域的以矩阵状形成的多个像素中设置的各种元件、布线等的等效电路图。
在图3中，在本实施例中的电光装置的图像显示区域10a(见图1)内以矩阵状形成的多个像素部中，分别形成了像素电极9a和以开关方式控制该像素电极9a用的TFT30，被供给以后详细地叙述的图像信号S1、S2、...、Sn的数据线6a与该TFT30的源电连接。
此外，扫描线3a电连接到TFT30的栅上，被构成为以规定的时序并以脉冲方式以线顺序的方式按该顺序对扫描线3a施加扫描信号G1、G2、...、Gm。像素电极9a电连接到TFT30的漏上，通过在一定期间内关闭作为开关元件的TFT30，以规定的时序写入从数据线6a供给的图像信号S1、S2、...、Sn。
经像素电极9a对作为电光物质的一例的液晶写入的规定电平的图像信号S1、S2、...、Sn在与对向基板上形成的对向电极21之间在一定期间内被保持。通过利用被施加的电压电平使分子集合的取向或秩序变化，液晶对光进行调制，可进行灰度显示。如果是常白模式，则根据以各像素的单位被施加的电压，减少对于入射光的透射率，如果是常黑模式，则根据以各像素的单位被施加的电压，增加对于入射光的透射率，作为整体，从电光装置射出具有与图像信号对应的对比度的光。
在此，为了防止被保持了的图像信号漏泄，与在像素电极9a与对向电极21(见图1及图2)之间被形成的液晶电容并联地附加存储电容器70。与扫描线3a并列地设置该存储电容器70，该存储电容器70沿扫描线3a设置，包含电容线300，该电容线300包含固定电位侧电容电极，同时其电位被定为规定的电位。利用存储电容器70提高了各像素电极中的电荷保持特性。此外，电容线300的电位可常时地固定于一个电压值，也可按规定的周期在多个电压值间变动并在上述周期内固定于某个电压值。
接着，参照图4和图5说明与本实施例有关的电光装置的TFT阵列基板上的电路结构和主布线的平面布局。在此，图4是示出在TFT阵列基板上形成的各种驱动电路和各种信号布线的结构的等效电路图。图5是示出更具体地表明图4的各种驱动电路和各种信号布线的结构的等效电路图。此外，在以下的说明中，在信号和布线L之后分别附以同一字母记号来称呼经外部电路连接端子102输入到TFT阵列基板10内的信号名称及其信号布线。即，例如对于作为信号名称的“时钟信号CLX”，将其信号布线称呼为“时钟信号线LCLX”。
如图4和图5中所示，在TFT阵列基板10上，形成了构成对数据线6a供给图像信号的手段的一例的数据线驱动电路101和取样电路301以及构成对扫描线3a供给扫描信号的手段的一例的扫描线驱动电路104作为电光装置的驱动电路。此外，沿TFT阵列基板10的一边形成了包含从外部控制电路输入对这些驱动电路供给的各种信号用的多个端子的外部电路连接端子102(参照图1)。从外部电路连接端子102起配置主布线108。
数据线驱动电路101具备移位寄存器电路101a、波形选择电路101b和缓冲电路101c作为主要的构成要素。
移位寄存器电路101a将从外部控制电路经外部电路连接端子102和主布线108中的布线LVSSX和布线LVDDX供给的负电源VSSX和正电源VDDX作为电源来使用，根据从相同的外部控制电路供给的开始信号SPX开始传送工作。接着，根据经外部电路连接端子102和主布线108中的时钟信号线LCLX和反相位时钟信号线LCLXINV供给的移位寄存器电路101a用的时钟信号CLX和反相位时钟信号CLXINV按规定的时序依次对波形选择电路101b输出传送信号。
波形选择电路101b也称为“使能电路”，通过将从移位寄存器电路101a依次输出的传送信号的脉冲宽度限制为从外部控制电路经外部电路连接端子102输入的使能信号ENB1～ENB4的脉冲宽度来规定后述的取样电路301中的各取样期间。更具体地说，与上述的移位寄存器电路101a的各级对应地设置了波形选择电路101b，例如，利用NAND电路和倒相器等来构成波形选择电路101b，从移位寄存器电路101a依次输出的传送信号电位高电平，而且，进行时间轴上的波形的选择控制，使得只在使能信号ENB1～ENB4的某一个为高电平时数据线114被驱动。
缓冲电路101c在对以这种方式进行了波形的选择的传送信号进行了缓冲后，经取样电路驱动信号线114供给取样电路301作为取样电路驱动信号。缓冲电路101c也可进行电平移动处理、倒相处理等的信号处理。
取样电路301具备多个作为对图像信号进行取样用的开关用电路元件的一例的TFT202而被构成。但是，作为该开关用电路元件，如图中所示，是第1导电沟道型的TFT，可以是n沟道型的TFT，也可以是p沟道型的TFT。再者，也可利用互补型的TFT等来构成。上述的数据线6a的图3中的下端连接到TFT202的漏上，经引出布线116将图像信号线115连接到该TFT202的源上，同时连接到数据线驱动电路101上的取样电路驱动信号线114连接到该TFT202的栅上。构成为根据从数据线驱动电路101通过取样电路驱动信号线114供给取样电路驱动信号的情况，由取样电路301对图像信号线115上的图像信号VID1～VID6进行取样，以供给各数据线6a。
从外部电路连接端子102经主布线108供给的且如上所述那样由取样电路301写入到数据线6a中的图像信号S1、S2、...、Sn可按该顺序以线顺序的方式来供给，但在本实施例中，图像信号S1、S2、...、Sn与被以串-并方式展开的图像信号VID1～VID6的每一个相对应，被构成为对6条数据线6a的组按每个组来供给。此外，关于图像信号的相展开的数目，也可不限于6相，例如构成为将被展开为9相、12相、24相等多相的图像信号供给以与该展开数对应的数为一组的数据线6a的组。
扫描线驱动电路104具备移位寄存器电路和缓冲电路作为构成要素。而且，将从外部控制电路经外部电路连接端子102和主布线108中的布线LVSSX和布线LVDDX供给的负电源VSSX和正电源VDDX作为电源来使用，根据从相同的外部控制电路供给的开始信号SPX开始其内置移位寄存器电路的传送工作。接着，根据经外部电路连接端子102和主布线108中的时钟信号线LCLY和反相位时钟信号线LCLYINV供给的内置移位寄存器电路用的时钟信号CLY和反相位时钟信号CLYINV按规定的时序依次对上述的扫描线3a以脉冲方式施加扫描信号。
此外，在TFT阵列基板10上对作为主布线108中的一条的对向电极电位线LLCCOM进行了布线，使其连接到上下导通端子106t上，通过TFT阵列基板10上的4个角部。而且，经上下导通材料106、上下导通端子106t和对向电极电位线LLCCOM对对向电极21供给规定的电位。利用这些电位供给，可进行上述那样的在像素电极9a与对向电极21的两电极间被夹持的液晶的驱动。
在本实施例中，尤其是在图1中示出的密封区52a的内侧配置了扫描线驱动电路104。即，在图4和图5中，与通过4个上下导通端子106t而包围图像显示区域10a和各种驱动电路的并沿TFT阵列基板10的边缘进行了布线的对向电极电位线LLCCOM相比，在TFT阵列基板10的靠近中央处配置了扫描线驱动电路104。扫描线驱动电路104通过以这种方式进行配置，与在周边区域中密封区52a的外侧配置扫描线驱动电路104的情况相比，削减了TFT阵列基板10上的周边区域的空间且可谋求装置整体的小型化，而且，可对包含到达对向电极电位线LLCCOM和扫描线驱动电路104的各种信号布线的多条主布线108的组和包含到达数据线驱动电路101的各种信号布线的多条主布线108的组进行平面布局，使其相互不交叉。而且，可对到达扫描线驱动电路104的主布线108a进行平面布局，使其即使在组之间相互也不交叉。此外，即使在到达数据线驱动电路101的主布线108b的组之间，除了为连接到移位寄存器电路101a、波形选择电路101b、缓冲电路101c上所必要的交叉部外，能以相互不交叉的方式进行平面布局。此外，到达取样电路301的主布线108c、即图像信号线115除了为连接到取样电路301上所必要的交叉部外，能以相互不交叉的方式进行平面布局。
(外部电路连接端子和信号布线的配置结构)其次，接着一边参照图4和图5，一边说明外部电路连接端子102和连接到外部电路连接端子102上的各种信号布线的详细结构。此外，在以下的说明中，在信号和端子T之后分别附以同一字母记号来称呼经外部电路连接端子102输入到TFT阵列基板10内的信号名称及其输入端子。即，例如对于作为信号名称的“时钟信号CLX”，将其输入端子称呼为“端子TCLX”。
如上所述，沿TFT阵列基板10的一边设置的外部电路连接端子102具备大体被分类为对向电极电位线用、扫描线驱动电路用、图像信号用和数据线驱动电路用的4个用途的多个端子组而被构成。更具体地说，外部电路连接端子102具备端子TLCCOM作为对向电极电位线LLCCOM用、具备端子TSPY、端子TVSSY、端子TVDDY、端子TCLX和端子TCLXINV作为扫描线驱动电路104用、具备端子TVID1～TVID6作为图像信号VID1～VID6用以及具备端子TVSSX、端子TSPX、端子TVDDX、端子TCLX和端子TCLXINV、端子TENB1～TBNB4和端子TVSSX作为数据线驱动电路101用而被构成。
在此，在本实施例中，如图4和图5中所示，在右端和左端的两端配置了外部电路连接端子102中的供给对向电极电位LCCOM用的2个端子TLCCOM。而且，将两端连接到该2个端子TLCCOM上的对向电极电位线LLCCOM如上所述，连接到4个上下导通端子106t上，以包围密封区52a的外周的方式进行了布线。再有，上下导通端子106t也可以是1个。
其次，与在两端配置的端子TLCCOM相连从右侧起按下述顺序并排地配置了驱动扫描线驱动电路104用的端子TCLY、端子TCLYINV、端子TVDDY和端子TSPY。另一方面，从左侧起按下述顺序并排地配置了驱动扫描线驱动电路104用的端子TSPY和端子TVSSY。
通过用这样的位置关系配置并构成对向电极电位线用的端子TLCCOM和扫描线驱动电路104用的端子组，可使连接到扫描线驱动电路104用的端子组上的多条主布线108a、即驱动扫描线驱动电路104用的多条信号布线的全部在连接到TLCCOM上的对向电极电位线LLCCOM的内侧(即，靠近TFT阵列基板10的中央)进行布线。而且，如图5中所示，在右侧的扫描线驱动电路104和左侧的扫描线驱动电路104的外侧且沿对向电极电位线LLCCOM的内侧配置了时钟信号线LCLY、反相时钟信号线LCLYINV和作为恒定电位线的布线LVDDY，使其在图上的右侧起电连接到左右的扫描线驱动电路104上。即，在如本实施例那样在密封区52a的内侧配置了扫描线驱动电路104的情况下，对向电极电位线LLCCOM与上述的扫描线驱动电路104用的信号布线组在基板平面上不交叉。因而，在其制造工序阶段中可将对向电极电位线LLCCOM和驱动扫描线驱动电路104用的信号布线组108a作为同时形成的同一布线层来形成。
假定在采取通过用夹住层间绝缘膜等而分开的布线层形成对向电极电位线LLCCOM和驱动扫描线驱动电路104用的信号布线组以构成为在平面上看使之交叉的方法的情况下，可认为由于特别是在其交叉部分中从各自的信号布线产生的信号的噪声的缘故而存在产生互相干扰等的不良情况。与此不同，如上所述，在本实施例中，由于对向电极电位线LLCCOM与扫描线驱动电路104用的信号布线组在平面上看不交叉，用同一布线层来形成，故可在未发生之前防止这样的不良情况。
另外，如果假定将作为供给对向电极电位LCCOM的外部电路连接端子102的端子TLCCOM和驱动扫描线驱动电路104用的端子组配置成与图4或图5中示出的相反的位置关系，即，如果端子TLCCOM处于靠近中央的位置上，则必须使连接到各自的端子上的布线相互间在基板平面上彼此交叉，必须采取将某一条主布线108在中途转换连接到另外的布线层上等的手段。此时，由于经例如在层间绝缘膜中穿通地设置的接触孔等互相连接不同的布线层，故导致制造工序的复杂化，进而在这样的连接部位上特别是产生布线电阻增大等的不良情况的可能性很大。与此不同，通过如本实施例那样采取图4和图5中示出的那样的外部电路连接端子102的配置结构，即通过将端子TLCCOM配置在靠近边缘的位置上，对于对向电极电位线LLCCOM和驱动扫描线驱动电路104用的信号布线组108a来说，在制造工序中可比较容易地形成，而且适当地防止了起因于布线电阻的信号延迟等的不良情况。
此外，在密封区52a的外侧的区域中形成扫描线驱动电路104的情况下，相对于上述的例子相反地配置供给对向电极电位的端子TLCCOM和扫描线驱动电路104用的端子组，可构成为在基板平面上两者彼此不交叉。通过以这种方式来构成，与上述的情况同样，在基板平面上主布线108彼此不交叉，当然可防止因转换连接引起的布线电阻的增大。
在本实施例中，较为理想的是，由包含铝等低电阻的金属膜或合金膜构成了对向电极电位线LLCCOM和扫描线驱动电路104的驱动用的各主布线108a。通过这样来构成，可降低这些信号布线的时间常数，可防止因布线的迂回引起的信号延迟。另外，如果由低电阻的金属膜或合金膜形成主布线108a，则也容易采取以相互不交叉的方式使包含对向电极电位线LLCCOM的多条主布线108弯曲地行进的结构。即，因弯曲地行进的缘故，布线长度增大，伴随于此，布线电阻增大，但通过由低电阻的金属膜或合金膜来形成，可使因弯曲地行进带来的缺点变得几乎或完全不明显。相反，由于使其弯曲地行进可避免主布线108的交叉，故可在被限制了的周边区域内对数目更多的主布线108进行平面布局。
再者，在外部电路连接端子102中，与扫描线驱动电路104用的端子TSPY和端子TVSSY相连从左侧起按下述顺序并排地配置了图像信号用的端子TVID1～TVID6、数据线驱动电路101用的端子TVSSY、端子TSPY、端子TVDDY、端子TCLX和端子TCLXINV、端子TENB1～TBNB4和端子TVSSX。
在此，作为连接到端子TVID1～TVID6上的主布线108c的6条图像信号线115各自在基板平面上彼此不交叉地且也与连接到外部电路连接端子102上的其它的任一条信号布线在基板平面上彼此不交叉地在取样电路301与数据线驱动电路101之间的区域中进行了布线。具体地说，在扫描线驱动电路104的驱动用的主布线108a的布线LVSSY与数据线驱动电路101的驱动用的主布线108b的布线LVSSX之间配置了图像信号线115。而且，为了将各图像信号线115电连接到取样电路301上，经未图示的接触孔与引出布线116连接。而且，与其它的图像信号线115相互交叉地配置引出布线116。
此外，对于连接到数据线驱动电路用的各端子上的多条主布线108b、即作为恒定电位线的布线LVSSX和作为恒定电位线的布线LVDDX、开始信号线LSPX、时钟信号线LCLX和反相位时钟信号线LCLXINV以及使能信号线LENB1～LENB4来说，各自在基板平面上彼此不交叉地且也与连接到外部电路连接端子102上的其它的任一条主布线108在基板平面上彼此不交叉地进行了布线，以便到达数据线驱动电路101。具体地说，在主布线108a和主布线108c的内侧且以包围数据线驱动电路101的方式配置布线LVSSX。然后，在布线LVSSX的内侧配置了作为其它的主布线108b的开始信号线LSPX、时钟信号线LCLX和反相位时钟信号线LCLXINV以及使能信号线LENB1～LENB4。然后，为了电连接到数据线驱动电路101的移位寄存器电路101a、波形选择电路101b和缓冲电路101c上，经接触孔与引出布线连接。然后，与其它的主布线108b相互交叉地配置引出布线。
由于如上所述地配置了外部电路连接端子102，故按照本实施例，由于在基板平面上无交叉地对连接到各自的端子上的多条主布线108进行布线的缘故，故可将连接到外部电路连接端子102上的全部的主布线108作为在其制造工序的阶段中同时形成的同一布线层来形成。因此，可谋求制造工序的简化。而且，如已叙述的那样，可在未发生之前防止交叉的主布线108间的干扰等的不良情况，也可在未发生之前防止起因于布线中途的接触孔等产生的接触电阻或布线电阻的信号延迟等的不良情况。
在本实施例中，较为理想的是，将图像信号用的端子TVID1～TVID6配置成被恒定电位线用或属于低频控制信号的信号布线用的端子夹持其两侧，而且将其配置在尽可能离开属于用于驱动数据线驱动电路101的高频控制信号的信号布线用的端子的位置上。更具体地说，如图4和图5中所示，将图像信号用的端子TVID1～TVID6配置成被恒定电位线用的端子TVSSY和端子TVSSX所夹持，而且，将其配置在尽可能离开属于高频控制信号的布线用的端子TCLXINV、端子TCLX和端子TENB1～TBNB4和的位置上。一般来说，由于电磁波随距离和障碍物的介入而减少，故通过如本实施例那样来配置，可减少对于图像信号线115的高频的时钟噪声等的跳入。即，通过在离开高频控制信号用的布线组较远的位置上配置图像信号线115，减少了噪声的影响，而且，利用恒定电位线的介入，成为与高频控制信号的布线进行电屏蔽的形态。因而，可维持高品位的图像显示而不会因噪声的影响而导致图像质量恶化。
(像素部的详细结构)以下，参照图6和图7说明数据线6a、扫描线3a、TFT30等的与实现上述那样的电路工作的电光装置的像素部有关的实际的结构。在此，图6是示出本实施例的电光装置中的形成了数据线、扫描线、像素电极等的TFT阵列基板的互相邻接的多个像素组的平面图，图7是其A-A’剖面图。
在图6中，在TFT阵列基板10上以矩阵状设置了多个像素电极9a(用点线部9a’示出了轮廓)，分别沿像素电极9a的纵横的边界，设置了数据线6a和扫描线3a。数据线6a例如由铝膜等的金属膜或合金膜构成，扫描线3a例如由导电性的多晶硅膜等构成。此外，这样来配置扫描线3a，使其与半导体层1a中的用图中右上斜线区域示出的沟道区1a’相对，扫描线3a起到栅电极的功能。即，在扫描线3a与数据线6a交叉的部位上分别在沟道区1a’上设置了将扫描线3a的主线部作为栅电极被对向地配置的像素开关用的TFT30。
如图7中所示，电光装置具备透明的TFT阵列基板10和与其对向地配置的透明的对向基板20。TFT阵列基板10例如由石英基板、玻璃基板、硅基板构成，对向基板20例如由玻璃基板或石英基板构成。在TFT阵列基板10上，设置了像素电极9a，在其上侧，设置了被进行了研磨处理等的规定的取向处理的取向膜16。其中，像素电极9a例如由ITO(铟锡氧化物)膜等的透明导电性薄膜构成。另一方面，在对向基板20的整个面上设置了对向电极21，在其下侧，设置了被进行了研磨处理等的规定的取向处理的取向膜22。其中，对向电极21与上述的像素电极9a同样地例如由ITO膜等透明导电性薄膜构成，上述的取向膜16和22例如由聚酰亚胺薄膜等的透明的有机膜构成。液晶层50在没有被施加来自像素电极9a的电场的状态下，由取向膜16和22取规定的取向状态。
TFT30，如图7中所示，具有LDD(轻掺杂漏)结构，作为其构成要素，具备如上所述起到栅电极的功能的扫描线3a；例如由多晶硅膜构成且利用来自扫描线3a的电场形成沟道的半导体层1a的沟道区1a’；包含对扫描线3a与半导体层1a进行绝缘的栅绝缘膜的绝缘膜2；半导体层1a的低浓度源区1b和低浓度漏区1c；以及半导体层1a的高浓度源区1d和高浓度漏区1e。
再有，TFT30最好如图7中所示具有LDD结构，但也可具有不对低浓度源区1b和低浓度漏区1c进行杂质注入的偏移(offset)结构，也可以是自对准型的TFT，其中，以由扫描线3a的一部分构成的栅电极作为掩模，以高浓度注入杂质，以自对准的方式形成高浓度源和漏。此外，在本实施例中，作成在高浓度源区1d与高浓度漏区1e之间只配置了1个像素开关用TFT30的栅电极的单栅结构，但也可在其间配置2个以上的栅电极。如果以这种方式用双栅或三栅以上构成TFT，则可防止沟道与源-漏区接合部的漏泄电流，可降低关断时的电流。再者，构成TFT30的半导体层1a可以是非单晶层，也可以是单晶层。在单晶层的形成中，可使用贴合法等已知的方法。通过将半导体层1a作成单晶层。特别是可谋求周边电路的高性能化。
另一方面，在图7中，通过经电介质膜75对向地配置作为连接到TFT30的高浓度漏区1 e和像素电极9a上的像素电位侧电容电极的中继层71和作为固定电位侧电容电极的电容线300的一部分来形成存储电容器70。
电容线300例如包含由Ti(钛)、Cr(铬)、W(钨)、Ta(钽)、Mo(钼)等的高熔点金属中至少一种的金属单质、合金、金属硅化物、多晶硅硅化物、层叠了这些物质的层叠体等构成。或者，也可由Al(铝)膜来形成。
中继层71例如由导电性的多晶硅膜构成，起到像素电位侧电容电极的功能。但是，中继层71与后面叙述的电容线300同样，也可由包含金属或合金的单一层膜或多层膜构成。中继层71除了起到像素电位侧电容电极的功能外，还具有经接触孔83和85对像素电极9a与TFT30的高浓度漏区1e进行中继连接的功能。
电容线300起到与中继层71对向地配置的固定电位侧电容电极的功能。如果从平面上看该电容线300，则如图6中所示，与扫描线3a的形成区域重叠地被形成。更具体地说，电容线300具备沿扫描线3a延伸的主线部、在图中从与数据线6a交叉的各部位起分别沿数据线6a向上方突出的突出部和稍微包括与接触孔85对应的部位的包括部。其中，突出部利用扫描线3a上和数据线6a下的区域，对存储电容器70的形成区域的增大有贡献。此外，较为理想的是，电容线300从配置了像素电极9a的图像显示区域10a起在其周围延伸地设置，与恒定电位源电连接，其电位被定为固定电位。作为这样的恒定电位源，可以是对数据线驱动电路101供给的正电源VDDX或负电源VSSX的恒定电位源，也可以是对对向基板20的对向电极21供给的对向电极电位LCCOM。
如图7中所示，电介质膜75例如膜厚约为5～200nm的比较薄的HTO(高温氧化膜)、LTO(低温氧化膜)等的氧化硅膜或氮化硅膜等构成。从使存储电容器70增大的观点来看，只要能充分地得到膜的可靠性，电介质膜75越薄越好。
在图6和图7中所示，除了上述的部分外，在TFT30的下侧设置了下侧遮光膜11a。以栅格状对下侧遮光膜11a进行构图，由此规定了各像素的开口区域。此外，对于下侧遮光膜11a来说，也与上述的电容线300同样，由包含金属或合金的单一层膜或多层膜构成。此外，利用图6中的数据线6a和以与其交叉的方式形成的电容线300也进行了开口区域的规定。此外，对于下侧遮光膜11a来说，也与上述的电容线300同样，为了避免其电位变动对TFT30产生不良影响，最好从图像显示区域起在其周围延伸地设置并连接到恒定电位源上。
此外，在TFT30下设置了基底绝缘膜12。基底绝缘膜12除了从下侧遮光膜11a起对TFT30进行层间绝缘的功能外，通过在TFT阵列基板10的整个面上被形成，具有防止因TFT阵列基板10的表面研磨时的变粗糙或清洗后残留的尘埃等而使像素开关用TFT30特性变化的功能。
另外，在扫描线3a上形成了第1层间绝缘膜41，在该第1层间绝缘膜41中分别开出了通向高浓度源区1d的接触孔81和通向高浓度漏区1e的接触孔83。
在第1层间绝缘膜41上形成了中继层71和电容线300，在其上形成了第2层间绝缘膜42，在该第2层间绝缘膜42中分别开出了通向高浓度源区1d的接触孔81和通向中继层71的接触孔85。
另外，在第2层间绝缘膜42上形成了数据线6a，在其上形成了第3层间绝缘膜43，在第3层间绝缘膜43中形成了通向中继层71的接触孔85。
(信号布线的剖面结构)其次，以下与参照图7已说明的像素部的剖面结构对应地说明特别与本实施例有关的连接到外部电路连接端子上的各种信号布线的剖面结构。在此，图8是图4或图5的B-B’剖面图，图9是图4或图5的C-C’剖面图。
如图8中所示，连接到外部电路连接端子102的多个端子中的图4或图5中示出的右侧一半部分的端子TCLYINV～端子TLCCOM上的主布线108全部在图7中示出的第2层间绝缘膜42上各自彼此作为在制造工序阶段中同时形成的同一布线层来构成。另一方面，如图9中所示，对于连接到外部电路连接端子102的多个端子中的图4或图5中示出的剩下的左侧一半部分的端子TVDDX～端子TLCCOM上的主布线108来说，也在图7中示出的第2层间绝缘膜42上各自彼此作为在制造工序阶段中同时形成的同一布线层来构成。即，连接到外部电路连接端子102上的全部的主布线108与参照图7在上述的第2层间绝缘膜上形成的数据线6a的布线层一起，作为同时形成的同一布线层来构成。这一点是通过按图4或图5中示出的那样的顺序排列外部电路连接端子102的各端子、在基板平面上以彼此不交叉的方式对连接到这些端子上的主布线108进行布线来实现的。
如上所述，由于能将连接到外部电路连接端子102上的各种主布线108彼此作为同一布线层来构成，故在这些制造工序中可比较容易地形成，进而，通过能与数据线6a作为同一布线层来构成，可进一步使制造工序简化。另外，由于数据线6a如上所述例如由铝膜等的低电阻的金属膜或合金膜构成，故对于与其同时形成的连接到外部电路连接端子102上的各种主布线108来说，也可作为低电阻的信号布线来构成，可防止信号延迟等的不良情况。
(变形形态)其次，参照图10和图11，说明上述实施例的变形形态。在此，图10和图11分别是与变形形态有关的主布线和冗余布线的剖面图，图10是与其延伸方向垂直的剖面，即，在与图9相同的图4或图5的C-C’剖面对应的部位上切割的剖面图，图11是在沿其延伸方向的剖面切割的剖面图。
如图10和图11中所示，在变形形态中，作为与图9相同的由铝膜等分别形成的多条主布线108的布线LVDDX、LSPX、LVSSX等分别具有冗余布线600。冗余布线600是与主布线108分开的层，例如由与高熔点金属膜等的电容线300为同一的导电膜形成。此外，各冗余布线600在平面上看与对应的主布线108重叠地延伸，在构成冗余结构的区域中，被形成为具有与主布线108大致同样的平面布局。再者，冗余布线600分别经多个接触孔601与对应的主布线108电连接，起到该被连接的主布线108的冗余布线的功能。关于其它的结构，与参照图1至图9已说明的上述的因而，按照本变形形态，利用冗余结构的采用，可进一步降低主布线108的布线电阻。另外，即使假定构成冗余结构的主布线108和冗余布线中的一方发生断线，由于仍存在起到布线的功能的可能性，故可降低装置成为缺陷品的可能性，也可提高制造的成品率。
(电子设备)其次，关于作为将以上详细地说明的电光装置用作光阀的电子设备的一例的投射型彩色显示装置的实施例，说明其整体结构、特别是光学结构。在此，图12是投射型彩色显示装置的示意性的剖面图。
在图12中，作为本实施例中的投射型彩色显示装置的一例的液晶投影机1100被构成为这样的投影机其中准备了3个包含将驱动电路安装在TFT阵列基板上的液晶装置的液晶模块，分别作为RGB用的光阀100R、100G、100B来使用。在液晶投影机1100中，如果由金属卤素灯等白色光源的灯单元1102发射投射光，则利用3片反射镜1106和2片分色镜1108，分成与RGB的3原色对应的光分量R、G、B，分别被引导到与各色对应的光阀100R、100G、100B上。此时，特别是为了防止B光中因长的光路引起的光损耗，故经由入射透镜1122、中继透镜1123和射出透镜1124构成的中继透镜系统1121对其进行引导。然后，与被光阀100R、100G、100B分别调制的3原色对应的光分量在利用分色棱镜1112再度被合成之后，经投射透镜1114作为彩色图像投射到屏幕1120上。
本发明不限于上述的实施例，在不违反技术方案的范围和从整个说明书读取的发明的要旨或思想的范围内，可作适当的变更。伴随这样的变更的电光装置和电子设备也包含在本发明的技术的范围内。
权利要求
1.一种电光装置，其特征在于具备在元件基板上的图像显示区域中具备的多个像素部；位于上述元件基板上的上述图像显示区域的周边的周边区域中的，多个外部电路连接端子；多条主布线，其一端分别连接到该多个外部电路连接端子上；以及周边驱动电路，连接到该主布线的另一端上，用来根据从上述外部电路连接端子经上述主布线供给的电信号驱动上述像素部，上述多条主布线由同一导电膜形成，同时在上述周边区域内被平面布局为相互不交叉。
2.如权利要求1中所述的电光装置，其特征在于包含上述周边驱动电路的内部布线、从上述周边驱动电路朝向上述像素部引出的引出布线和从上述主布线分支的分支布线中的至少一条而构成的副布线，在其第1部分中由与上述同一导电膜不同的另一导电膜来形成经层间绝缘膜与上述主布线交叉，而且在其第2部分中由上述同一导电膜来形成，在上述周边区域内被平面布局为与上述主布线不交叉。
3.如权利要求2中所述的电光装置，其特征在于上述第1部分与上述第2部分间经在上述层间绝缘膜中开孔的接触孔电连接。
4.如权利要求1中所述的电光装置，其特征在于在与上述元件基板对向地配置的对向基板上的上述周边区域中还具备对向电极，在上述元件基板上的上述周边区域中还具备上述多条主布线中的至少一条的用来对上述对向电极供给对向电极电位的对向电极电位线与用来取得上述对向电极之间的上下导通的上下导通端子，在上述周边区域中，上述对向电极电位线在上述多条主布线中处于靠近上述元件基板的边缘的位置上，在上述周边区域中，上述周边驱动电路与上述上下导通端子和上述对向电极电位线相比处于靠近上述元件基板的中央的位置上。
5.如权利要求4中所述的电光装置，其特征在于上述多个外部电路连接端子，沿上述元件基板的一边排列，上述多个外部电路连接端子中连接上述对向电极电位线的一端的外部电路连接端子在上述多个外部电路连接端子的排列中处于靠近端部的位置上。
6.如权利要求1中所述的电光装置，其特征在于在与上述元件基板对向地配置的对向基板上的上述周边区域中还具备对向电极，在上述元件基板上的上述周边区域中还具备用上述多条主布线中的至少一条的用来对上述对向电极供给对向电极电位的对向电极电位线与用来取得上述对向电极之间的上下导通的上下导通端子，在上述周边区域中，上述对向电极电位线与除了上述对向电极电位线外的一条或多条主布线相比处于靠近上述元件基板的边缘的位置上，与除了上述对向电极电位线外的另一条或多条主布线相比处于靠近上述元件基板的中央的位置上，在上述周边区域中，上述周边驱动电路的一部分与上述上下导通端子和上述对向电极电位线相比处于部分地靠近上述元件基板的中央的位置上，在上述周边区域中，上述周边驱动电路的另一部分与上述上下导通端子和上述对向电极电位线相比处于部分地靠近上述元件基板的边缘的位置上。
7.如权利要求6中所述的电光装置，其特征在于上述多个外部电路连接端子沿上述元件基板的一边排列，上述多个外部电路连接端子中连接上述另一条或多条主布线的一端的外部电路连接端子在上述多个外部电路连接端子的排列中处于靠近端部的位置上。
8.如权利要求4中所述的电光装置，其特征在于上述多条主布线包含在分别供给时钟信号及其反转信号作为上述电信号的同时不与上述对向电极电位线交叉的一对时钟信号线。
9.如权利要求6中所述的电光装置，其特征在于上述多条主布线包含在分别供给时钟信号及其反转信号作为上述电信号的同时不与上述对向电极电位线交叉的一对时钟信号线。
10.如权利要求1中所述的电光装置，其特征在于上述多条主布线包含供给时钟信号及其反转信号作为上述电信号用的一对时钟信号线和供给电源信号作为上述电信号用的电源布线，上述一对时钟信号线与上述电源布线不交叉。
11.如权利要求1中所述的电光装置，其特征在于以避免相互交叉而弯曲地行进的方式对上述多条主布线进行了平面布局。
12.如权利要求1中所述的电光装置，其特征在于上述多条主布线至少部分地包含由在与上述同一导电膜分开的层中形成的另一导电膜构成的冗余布线。
13.一种电光装置，其特征在于具备在元件基板上的图像显示区域中具备的多个像素部；位于上述元件基板上的上述图像显示区域的周边的周边区域的，多个外部电路连接端子；扫描线驱动电路；数据线驱动电路；其一端连接到上述外部电路连接端子上其另一端连接到上述扫描线驱动电路上的扫描线驱动电路用布线；其一端连接到上述外部电路连接端子上其另一端连接到上述数据线驱动电路上的数据线驱动电路用布线；以及其一端连接到上述外部电路连接端子上用来供给上述多个像素部的图像信号的图像信号布线，在上述周边区域内将上述扫描线驱动电路用布线、上述数据线驱动电路用布线和上述图像信号布线平面布局为相互不交叉。
14.如权利要求12中所述的电光装置，其特征在于在上述扫描线驱动电路用布线与上述数据线驱动电路用布线之间配置上述图像信号布线。
15.如权利要求12中所述的电光装置，其特征在于在与上述元件基板对向地配置的对向基板上的上述周边区域中还具备对向电极和其一端连接到上述外部电路连接端子上其另一端对上述对向电极供给对向电位用的对向电极电位线，将上述对向电极电位线配置成包围上述扫描线驱动电路用布线。
16.一种电子设备，其特征在于具备权利要求1至权利要求15的任一项中所述的电光装置。
全文摘要
一种电光装置，在位于上述元件基板上的图像显示区域的周边的周边区域中具备多个外部电路连接端子；多条主布线，其一端分别连接到该多个外部电路连接端子上；以及周边驱动电路，连接到该主布线的另一端上，用来根据从上述外部电路连接端子经上述主布线供给的电信号驱动上述像素部。而且，上述多条主布线由同一导电膜形成，同时在上述周边区域内对上述多条主布线进行了平面布局，使其相互不交叉。
文档编号G02F1/1362GK1573892SQ200410046048
公开日2005年2月2日 申请日期2004年6月1日 优先权日2003年6月2日
发明者村出正夫 申请人:精工爱普生株式会社