专利名称：空气上浮组件及空气上浮组件的制造方法
技术领域：
本发明涉及用于非接触地传送基板等的空气上浮组件，特别涉及具有降低压缩空气的漏出的结构并且可以降低加工、组装的成本的空气上浮组件以及空气上浮组件的制造方法。
背景技术：
在液晶基板传送系统等中，使用有用于非接触地传送玻璃基板等的空气上浮组件。
图3为用于说明空气上浮组件的图。图3所示的空气上浮组件具有，空气上浮组件基体21、向空气上浮组件供给压缩的空气的空气供给口22、成为分配空气的流路的中空部24、限制空气流量的节流部26、使被节流部26节流的空气向被上浮物体41和组件之间流动的喷出部25。
另外，图4是表示现有的空气上浮组件的剖面结构的图。另外，图4(A)所示的剖面结构，表示从图4(B)中点划线所示的X-Y方向切断的剖面结构。如图4(A)所示，在现有的空气上浮组件中，在箱型的器具31上，使用了将空气向上方喷出的板状的上盖32的盖的结构。
但是，在这样现有的结构中存在着这样的问题。
第一，将压缩空气注入到箱型的器具31中时，在与上盖32和箱型的器具31的开口部接触的面C容易流出空气。
第二，为了将空气过渡到各喷出部25，箱型的器具31需要为中空结构，由于箱型的器具31为利用块状材料切削成的结构，加工成本高。
第三，为了不使从箱型的器具31和上盖32的接触面漏出空气，需要利用很多螺栓使箱型的器具31和上盖32紧密接触而进行固定，因此组装工时数的成本高。
所以，希望提供一种空气上浮组件，其具有可以容易地降低压缩空气的漏出的结构，并且，并且加工、组装箱型的器具31的中空结构的成本低。
另外，存在着现有技术的空气上浮装置以及空气上浮式传送装置(参照专利文献1)。在该现有技术中，利用支持用板材作为载置被上浮物的壁面部件，并且，在该板材的内表面上，配置由多孔材料构成的空气分散部件。即，即使支持被上浮物的部件和喷出空气的部件另外设置，并且，被上浮物如玻璃板等地需要具有比较大面积的平面精度，也可以充分地支持。另外，通过多孔材料构成的空气分散部件，可以使空气在支持面整体上均匀并且持续少量地喷出，因此，例如即使在无尘室内上浮玻璃板时，也不会像目前一样，卷起灰尘，并且也不会从偏离玻璃板的空气喷出孔漏出空气导致上浮力不足。
但是，本发明的目的在于解决从空气上浮组件的中空部(空气流路部)漏出空气的问题，并且实现加工成本的降低，本发明的目的和结构与所述现有技术不同。
专利文献1特开2004-345744号公报。
如上所述，在现有的空气上浮组件的结构中，从箱型的器具的开口部和盖的接触面容易漏出空气，另外，由于箱型的器具为由块状部件切削的结构，因此加工成本高。另外，为了不使从箱型的器具和盖的接触面漏出空气，需要很多的螺栓进行固定而保持紧密接触，因此存在着组装工时数的成本高的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的在于，提供一种空气上浮组件以及空气上浮组件的制造方法，其具有可以降低压缩空气的漏出的结构，并且，可以降低加工、组装的成本。
本发明是为了解决上述问题而作出的，本发明的空气上浮组件为通过压缩空气的喷出而使被上浮物体上浮的空气上浮组件，其形成为箱状并具有，将具有作为空气流路的中空部的板状的挤压型材在与挤压出方向垂直的方向上切断并切成希望的长度而得到的中空板材；安装在该中空板材的两断面上并堵住所述中空部的空气漏出防止盖，并且，在所述中空板材上加工成形有空气喷出部和空气供给口。
在这样结构的空气上浮组件中，将具有中空部的铝等的板状的挤压型材切断为希望的长度，形成中空板材。进而，形成利用空气漏出盖堵住中空板材的切断面的箱状的结构。然后，在中空板材的表面加工成形喷出部和空气供给口。
由此，可以将挤压型材的中空部作为空气流路而利用。因此，无需通过切削加工进行中空部的形成，降低了材料费及工时数。另外，堵住中空板材的切断面的空气漏出防止盖也可以减小，减少空气漏出并削减了固定盖的螺栓数。
另外，本发明的空气上浮组件，所述挤压型材的材料为铝。
通过这样的结构，由于用铝作为挤压型材的材料，因此，容易加工，进而可以制作出轻量、坚固并且耐腐蚀性高的空气上浮组件。
另外，本发明的空气上浮组件，所述挤压型材的材料为树脂。
通过这样的结构，利用树脂作为挤压型材的材料，因此，容易加工，进而可以制作出轻量的空气上浮组件。
另外，本发明的空气上浮组件的制造方法，其为通过压缩后的空气的喷出上浮被上浮物体的空气上浮组件的制作方法，其具有如下工序，将具有作为空气流路的中空部的板状的挤压型材在与挤压出方向垂直的方向上切断并切成希望的长度的中空板材的第一工序；在所述中空板材上加工成形空气喷出部及空气供给口的第二工序；在所述中空板材的两断面上安装空气漏出防止盖的第三工序。
通过该方法，将具有中空部的铝等的板状的挤压型材切断为希望的长度，形成中空板材。形成利用空气漏出盖堵住中空板材的切断面的箱状的结构。进而，在中空板材的表面加工成形喷出部和空气供给口。
由此，可以将挤压型材的中空部作为空气流路而利用。因此，无需通过切削加工进行中空部的形成，削减了材料费或工时数。另外，堵住中空板材的切断面的空气漏出防止盖也可以减小，可以减少空气漏出并削减固定盖的螺栓数。
另外，本发明的空气上浮组件的制造方法，所述挤压型材为铝。
通过该方法，由于将铝作为挤压型材的材料，因此，容易加工，进而可以制作出轻量、坚固并且耐腐蚀性高的空气上浮组件。
另外，本发明的空气上浮组件的制作方法，所述挤压型材为树脂。
通过该方法，由于将树脂作为挤压型材的材料，因此，容易加工，进而可以制作出轻量的空气上浮组件。
通过挤压加工形成现有技术中通过切削加工形成的中空部(空气流路)，由此，可以削减加工时数、加工时间。另外，可以减小堵住中空部的盖，减少空气漏出并削减固定盖的螺栓数，可以降低组装工时数。
图1(A)～(C)是用于说明本发明的空气上浮组件的制造方法的图；图2(A)～(B)是表示本发明的空气上浮组件的剖面结构的图；图3是用于说明空气上浮组件的图；图4(A)～(B)是表示现有的空气上浮组件的剖面结构的图。
符号说明1，空气上浮组件；2，中空部；3、4，空气漏出防止盖；5、25，喷出部；6、22，空气供给口；11，铝挤压型材；12，中空板材；21，空气上浮组件基体；24，中空部；26，节流部；31，箱型的器具；32，上盖；41，被上浮物体。
具体实施例方式
下面参照
实施本发明的优选实施方式。
图1是用于说明本发明的空气上浮组件的制造方法的图。以下，参照附图，说明本发明的空气上浮组件的制造方法。
首先，如图1(A)所示，准备铝挤压成型机成型的铝挤压型材11。该铝挤压型材11为具有中空部2的形状，为在箭头X方向挤压成型的板状的铝材料。将该铝挤压型材11切断为希望的尺寸L，制作出如图1(B)的作为空气上浮组件的母材的中空板材12。
如图1(C)所示，在中空板材12的面上进行喷出部5的孔加工，并且，在背面进行用于设置空气供给口(未图示)的加工，另外，在希望的部分进行研磨等的表面处理。
在加工结束后，通过螺栓固定等的方法安装用于防止从中空部2的空气漏出的空气漏出防止盖3、4，由此，完成空气上浮组件。
另外，图2为表示本发明的空气上浮组件的剖面结构的图。另外，图2(A)表示的剖面结构，表示在图2(B)的点划线所示的X-Y方向切断的剖面结构。
如图2(A)所示，在中空板材12上，通过螺栓7安装堵住中空部2的空气漏出防止盖3、4。另外，通过孔加工在中空板材12的表面设置多个喷出部5，另外，在中空板材12的背面设置空气供给口6。
在上述结构中，从空气供给口6向中空部2供给压缩后的空气，该空气将中空部2作为流路从喷出部5喷出向外部。
这样，在本发明的空气上浮组件1中，利用铝的挤压加工材料成形中空板材12，将该中空板材12的中空部2作为空气流路利用。由此，无需切削加工形成中空部2，可以削减材料费及工时数。另外，可以减小堵住中空部2的空气漏出防止盖3、4，可以减少空气漏出并削减固定盖的螺栓数。
另外，在图1以及图2所示的例子中，对通过铝挤压加工形成中空板材12的例子进行了说明。但也可以通过铝以外的材料(例如，树脂等)形成中空板材。另外，除铝挤压加工以外，可以通过铸造形成中空板材。
以上，说明了本发明的实施方式，但本发明的空气上浮组件不限于上述图示例，在不脱离本发明的主旨的范围内可以增加各种变更。
在本发明中，通过挤压加工形成了现有技术中利用切削加工形成的中空部(空气流路)，起到了降低空气漏出并减少加工数、加工时间的效果。本发明，在空气上浮组件以及空气上浮组件的制造方法等上是有用的。
权利要求
1.一种空气上浮组件，其通过喷出的压缩空气上浮被上浮物体，其特征在于，形成为箱状并具有将具有作为空气流路的中空部的板状的挤压型材在与挤压出方向垂直的方向上切断并切成希望的长度而得到的中空板材；安装在所述中空板材的两断面上并堵住所述中空部的空气漏出防止盖，在所述中空板材上加工形成有空气喷出部和空气供给口。
2.如权利要求1所述的空气上浮组件，其特征在于，所述挤压型材的材料为铝。
3.如权利要求1所述的空气上浮组件，其特征在于，所述挤压型材的材料为树脂。
4.一种空气上浮组件的制造方法，其通过喷出的压缩空气上浮被上浮物体，其特征在于，具有以下工序将具有作为空气流路的中空部的板状的挤压型材在与挤压出方向垂直的方向上切断并切出希望的长度的中空板材的第一工序；在所述中空板材上加工成形空气喷出部及空气供给口的第二工序；在所述中空板材的两断面上安装空气漏出防止盖的第三工序。
5.如权利要求4所述的空气上浮组件的制造方法，其特征在于，所述挤压型材的材料为铝。
6.如权利要求4所述的空气上浮组件的制造方法，其特征在于，所述挤压型材的材料为树脂。
全文摘要
一种空气上浮组件及空气上浮组件的制造方法，具有降低压缩空气的漏出的结构，并可以减少加工、组装的成本，将具有中空部的铝等的挤压型材(11)在与挤压出方向(X)垂直的方向上切断为希望的长度(L)，形成中空板材(12)。具有利用空气漏出盖(3、4)堵住中空板材(12)的切断面的箱状的结构。进而，在中空板材的表面加工成形喷出部(5)和空气供给口。
文档编号G02F1/1333GK101028894SQ200710005368
公开日2007年9月5日 申请日期2007年2月14日 优先权日2006年3月2日
发明者铃木健介 申请人:神钢电机株式会社