专利名称：微粒清除机台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种微粒清除机台，尤其涉及一种用于清除显示装置的基板上 的微粒的微粒清除机台。
背景技术：
随着平面显示技术的进步加上平面显示装置具有重量轻、体积小及省电等 优点，平面显示装置已愈来愈普及。常见的平面显示装置有液晶显示装置、等
离子显示装置(Plasma Display Panel, PDP)、有机发光二极管显示装置 (Organic Light Emitting Diode Display, OLED Display)以及电泳显示装 置(Electrophoretic Display, EPD)等，其中又以液晶显示装置的普及率最 高。
目前常见的液晶显示装置为薄膜晶体管(Thin Film Transistor, TFT) 液晶显示装置，其包括薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD Panel)与背光模 块，其中背光模块是用以提供面光源至液晶显示面板。此外，薄膜晶体管液晶 显示面板包括薄膜晶体管阵列基板、彩色滤光基板以及配置于此薄膜晶体管阵 列基板与彩色滤光基板之间的液晶层。
承上述，薄膜晶体管阵列基板与彩色滤光基板的制造方法都包括多道工艺 程序，若薄膜晶体管阵列基板与彩色滤光基板遭受大颗微粒(粒径约5um以上) 污染，则容易导致薄膜晶体管液晶显示面板产生缺陷甚至损坏。如此，将降低 薄膜晶体管液晶显示面板的生产良率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种微粒清除机台，以提高显示面板的 生产良率。
为实现上述目的，本发明提出一种微粒清除机台，其适于清除显示面板的 基板上的多个微粒。此微粒清除机台包括基座、检测模块以及微粒清除模块。
检测模块是配置于基座。检测模块是用以检测基板上的微粒的高度。微粒清除 模块是配置于基座以及相对应于该检测模块设置。微粒清除模块包括驱动机构 以及清除件，其中清除件是连接驱动机构。驱动机构适于调整清除件至一预定 高度，并驱使清除件移动，以刮削基板上的微粒。
在本发明的一实施例中，上述的微粒清除机台还包括移动平台与架体。此 移动平台位于检测模块以及微粒清除模块的下方,是用以承载基板，并移动基 板，以使基板上的微粒其中之一位于清除件下方。驱动机构适于调整清除件至 预定高度，并驱使清除件移动，以刮削位于清除件下方的微粒。架体连接基座 与移动平台，用以支撑基座于移动平台之上。
在本发明的一实施例中，上述的清除件呈棒状。 在本发明的一实施例中，上述的清除件的自由端呈针状。 在本发明的一实施例中，上述的清除件的自由端呈刀片状。 在本发明的一实施例中，上述的清除件的自由端呈剑尖状。 在本发明的一实施例中，上述的清除件的自由端呈扁平状。 在本发明的一实施例中，上述的清除件的材质包括铁、钢、钩金或不锈钢。 在本发明的一实施例中，上述的驱动机构适于驱使清除件沿第一轴及/或 第二轴移动，而第一轴实质上垂直于第二轴。
在本发明的一实施例中，上述的驱动机构适于驱使清除件沿一圆形轨迹移动。
在本发明的一实施例中，上述的驱动机构适于驱使清除件沿一椭圆形轨迹 移动。
在本发明的一实施例中，上述的驱动机构更适于驱使清除件转动。 在本发明的一实施例中，上述的驱动机构包括机械手臂以及马达。马达连
接机械手臂，而清除件是连接于马达。机械手臂适于使马达及连接于马达的清
除件移动，而马达适于使清除件转动。
本发明的微粒清除机台因通过驱使清除件移动来刮削基板上的微粒，所以
能使基板上的微粒变小，甚至将部分微粒完全清除。如此，可提升显示面板的
生产良率。
为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳 实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
图1是本发明一实施例的一种微粒清除机台的示意图； 图2是图1中驱动机构与清除件的立体示意图3是本发明一实施例中基板上的微粒清除前与清除后的示意图； 图4是本发明另三实施例的清除件的示意图。 其中，附图标记 50:基板 52:微粒 52':残留微粒 100:微粒清除机台 110:基座 120:检测模块 130:微粒清除模块 132:驱动机构 133:机械手臂
134、 134a、 134b、 134c:清除件 135:马达
137、 137a、 137b、 137c:自由端 140:移动平台
150:架体
具体实施例方式
图1是本发明一实施例所一种微粒清除机台的示意图，而图2是图1中驱 动机构与清除件的立体示意图。请参照图1与图2，基板50例如是显示面板 的基板。显示面板例如是液晶显示面板，但不以此为限。此外，在显示面板为 液晶显示面板的实施例中，基板50可以是液晶显示面板的二基板其中之一。 具体而言，基板50可以是主动组件阵列基板或对向基板。
以下将详细介绍上述所微粒清除机台100。本发明一实施例所微粒清除机 台100适于清除显示面板所基板50上的多个微粒52。此微粒清除机台100包
括基座110、检测模块120以及微粒清除模块130。检测模块120是配置于基 座110，且位于基板50上方。检测模块120例如是激光检测模块，其用以检 测基板50上的微粒52的高度。换句话说，检测模块120是用以检测微粒52 与检测模块120之间的距离，以判断微粒52的粒径。若微粒的粒径过大(如 粒径大于5微米)，则通过微粒清除模块130来刮削粒径过大的微粒52，以 使微粒52的粒径变小至2微米以下。
承上述，微粒清除模块130是配置于基座110以及相对应于该检测模块设 置，且位于基板50上方。微粒清除模块130包括驱动机构132以及清除件134， 其中清除件134是连接驱动机构132。清除件134例如是呈棒状，且清除件134 的自由端137例如是呈针状。清除件134的材质可以是铁、钢、钨金或不锈钢。 此外，驱动机构132适于调整清除件134至一预定高度，并驱使清除件134 移动，以刮削基板50上的粒径过大的微粒52。上述的预定高度是指清除件134 可以刮削到微粒52的高度。此外，驱动机构132在驱使清除件134移动时， 更可同时驱使清除件134转动，如此可使清除件134更易于刮削基板50上的 微粒52。
在本实施例中，驱动机构132例如包括机械手臂133以及马达135。马达 135连接机械手臂133，而清除件134是连接于马达135。机械手臂133适于 使马达135以及连接于马达135的清除件134移动，而马达135适于使清除件 134转动。此外，微粒清除机台100可更包括移动平台140。此移动平台140 位于检测模块120以及微粒清除模块130的下方(如图1所示)，是用以承载基 板50以及移动基板50，以使基板50上的其中一微粒52位于清除件134下方。 另夕卜，微粒清除机台100更进一步包括架体150，此架体150连接基座110与 移动平台140并用以支撑基座IIO于移动平台140之上。
图3是本发明一实施例中基板上的微粒清除前与清除后的示意图，其中图 3左边的图式是微粒52被清除件134刮削前的示意图，图3右边的图式是微 粒52被清除件134刮削后的示意图。请参照图1与图3，微粒清除机台100 的驱动机构130适于驱使清除件134沿第一轴(如X轴)来回移动，以刮削基 板50上的微粒52。被清除件134刮削后的残留微粒52'的粒径会小于被清除 件134刮削前的微粒52(其残留微粒52'的粒径至2微米以下)，如此可避免 过大的微粒52对显示面板产生不良的影响，进而提升显示面板的生产良率。
此外，清除件134也可将部分未固着于基板50上的微粒52推离基板50，以 将未固着于基板50上的微粒52从基板50上清除。
在本发明的其它实施例中，驱动机构130也可驱使清除件134沿第二轴(如 Y轴)来回移动，以刮削基板50上的微粒52。此外，驱动机构130也可驱使 清除件134沿圆形轨迹或椭圆形轨迹移动，以刮削基板50上的微粒52。此外， 虽然本实施例的微粒清除机台100是通过移动平台140来移动基板50，以使 基板50上的微粒52位于清除件134的下方，但在其它实施例中，基板50也 可放置于一固定平台上，并通过移动微粒清除模块130来刮削基板50上的微 粒52。
另外，本发明并不限定清除^^134的自由端137需呈针状，以下将另举数 种不同形状的清除件，但其并非用以限定本发明。图4是本发明另三实施例的 清除件的示意图。请参照图4，上述的微粒清除机台100的清除件134可更换 为清除件134a、清除件134b或清除件134c。清除件134a是呈棒状，且清除 件134a的自由端137a是呈刀片状。清除件134b是呈棒状，且清除件134b 的自由端137b是呈剑尖状。清除件134c是呈棒状，且清除件134c的自由端 137c是呈扁平状。
综上所述，本发明的微粒清除机台因通过驱使清除件移动来刮削基板上的 微粒，所以能使基板上的微粒的粒径在2微米以下)，甚至将部分微粒完全清 除。如此，可避免残留于基板上的微粒对显示面板产生不良的影响，所以本发 明的微粒清除机台可提升显示面板的生产良率。
当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情 况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但 这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
1．一种微粒清除机台，适于清除一显示面板的一基板上的多个微粒，其特征在于，该微粒清除机台包括一基座；一检测模块，配置于该基座，该检测模块是用以检测该基板上的该些微粒的高度；一微粒清除模块，配置于该基座以及相对应于该检测模块设置，该微粒清除模块包括 一驱动机构；以及 一清除件，连接该驱动机构，该驱动机构适于调整该清除件至一预定高度，并驱使该清除件移动，以刮削该基板上的该些微粒。
2. 根据权利要求l所述的微粒清除^l台，其特征在于，还包括 一移动平台，位于该检测模块以及该微粒清除模块的下方，用以承载该基板并移动该基板，以使该基板上的该些微粒其中之一位于该清除件下方，而该 驱动机构适于调整该清除件至该预定高度，并驱使该清除件移动，以刮削位于 该清除件下方的该微粒；以及一架体，连接该基座与该移动平台，用以支撑该基座于该移动平台之上。
3. 根据权利要求1所述的微粒清除机台，其特征在于，该清除件呈棒状。
4. 根据权利要求3所述的微粒清除机台，其特征在于，该清除件的一自由 端呈针状。
5. 根据权利要求3所述的微粒清除机台，其特征在于，该清除件的一自由 端呈刀片状。
6. 根据权利要求3所述的微粒清除机台，其特征在于，该清除件的一自由 端呈剑尖状。
7. 根据权利要求3所述的微粒清除机台，其特征在于，该清除件的一自由 端呈扁平状。
8. 根据权利要求1所述的微粒清除机台，其特征在于，该清除件的材质包 括铁、钢、钩金或不锈钢。
9. 根据权利要求1所述的微粒清除机台，其特征在于，该驱动机构适于驱 使该清除件沿一第一轴及/或一第二轴移动，而该第一轴垂直于该第二轴。
10. 根据权利要求1所述的微粒清除机台，其特征在于，该驱动机构适于驱使该清除件沿一圆形轨迹移动。
11. 根据权利要求l所述的微粒清除机台，其特征在于，该驱动机构适于 驱使该清除件沿一椭圆形轨迹移动。
12. 根据权利要求1所述的微粒清除机台，其特征在于，该驱动机构适于 驱使该清除件转动。
13. 根据权利要求1所述的微粒清除机台，其特征在于，该驱动机构包括: 一机械手臂；以及一马达，连接该机械手臂，而该清除件是连接于该马达，其中该机械手臂 适于使该马达及连接于该马达的该清除件移动，该马达适于使该清除件转动。
全文摘要
本发明公开了一种微粒清除机台，适于清除显示面板的基板上的多个微粒。此微粒清除机台包括基座、检测模块以及微粒清除模块。检测模块是配置于基座，且用以检测基板上的微粒的高度。微粒清除模块是配置于基座，且相对应于检测模块设置。微粒清除模块包括驱动机构以及清除件，其中清除件是连接驱动机构。驱动机构适于调整清除件至一预定高度，并驱使清除件移动，以刮削基板上的微粒。
文档编号G02F1/13GK101363988SQ20081016712
公开日2009年2月11日 申请日期2008年9月27日 优先权日2008年9月27日
发明者史瑞斌, 李锡闳 申请人:友达光电股份有限公司