可调式反射罩的制作方法

文档序号:2813234阅读:121来源:国知局
专利名称:可调式反射罩的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种曝光机中的反射罩,尤其是一种能够调节反射罩内的反射面的倾 斜角度的可调式反射罩。
背景技术
目前,在曝光机设备中所用的反射罩的反射面的位置是固定不变的,故在使用的过 程中,会出现曝光不均匀的现象,从而大大降低了曝光机设备的工作质量。 发明内容
为了克服上述之不足,本实用新型的目的在于提供一种能调节反射罩内的反射面的倾 斜角度以提升曝光的均匀度的可调式反射罩。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是可调式反射罩包括反射罩、 反射板、间距调节器,在反射罩的内壁上设有反射板,反射板与反射罩之间设有间距调节 器。通过间距调节器来调节反射板与反射罩的内壁之间的间距,从而来调整反射板的倾斜 角度,以提升曝光的均匀度。
在反射罩的前后内壁上,反射板的上部与内壁之间的间距为8—10 mm。 在反射罩的左右内壁上,反射板的上部与内壁之间的间距为13—15 mm。 反射板是一个镜面铝板。
本实用新型的有益效果在于通过间距调节器来调节反射板与反射罩的内壁之间
的间距,从而来调整反射板的倾斜角度,以提升曝光的均匀度。以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细说明


图1为本实用新型的结构示图。
图中1、反射罩,2、反射板;3、调节螺丝;4、定位螺母。
具体实施方式

图1所示, 一种可调式反射罩,它包括反射罩l、反射板2、间距调节器,间距调 节器由调节螺丝3和定位螺母4组成,在反射罩1的内壁上设有反射板2,反射板2与反 射罩1之间通过调节螺丝3连接,位于调节螺丝3上的定位螺母4紧压反射板2。反射板 2采用镜面铝板。
在反射罩1的前后内壁上,反射板2的上部与内壁之间的间距为9 ram。在反射罩1的左右内壁上,反射板2的上部与内壁之间的间距为14 ram。
权利要求1、一种可调式反射罩,其特征在于它包括反射罩(1)、反射板(2)、间距调节器,在反射罩(1)的内壁上设有反射板(2),反射板(2)与反射罩(1)之间设有间距调节器。
2、 根据权利要求1所述的可调式反射罩,其特征在于所述的间距调节器由调节螺丝(3)和定位螺母(4)组成,反射板(2)与反射罩1之间通过调节螺丝(3)连接,位 于调节螺丝(3)上的定位螺母(4)紧压反射板(2)。
3、 根据权利要求1所述的可调式反射罩,其特征在于反射板(2)是一个镜面铝板。
4、 根据权利要求1所述的可调式反射罩,其特征在于在反射罩(1)的左右内壁上,反射板(2)的上部与内壁之间的间距为13—15醒。
5、 根据权利要求1所述的可调式反射罩,其特征在于在反射罩(1)的前后内壁上,反射板(2)的上部与内壁之间的间距为8—10 mm。
专利摘要本实用新型公开了一种可调式反射罩,它包括反射罩(1)、反射板(2)、间距调节器,在反射罩(1)的内壁上设有反射板(2),反射板(2)与反射罩(1)之间设有间距调节器;在反射罩的前后内壁上,反射板(2)的上部与内壁之间的间距为8-10mm;在反射罩(1)的左右内壁上,反射板(2)的上部与内壁之间的间距为13-15mm;反射板(2)是一个镜面铝板。本实用新型的优点在于通过间距调节器对反射板的角度进行调整后,大大提高了曝光的均匀度。
文档编号G03B27/70GK201247339SQ20082005196
公开日2009年5月27日 申请日期2008年8月8日 优先权日2008年8月8日
发明者邵建国 申请人:志圣科技(广州)有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1