专利名称：一种用于掩膜版的定位确认装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于定位确认装置领域，尤其涉及一种掩膜版定位确认装置。
背景技术：
在对掩膜版进行加工的过程中需要将掩膜版装在光刻机的工作平台上，由 光刻机对掩膜版进行后续光刻操作，但是，目前没有 一种工具在对装在光刻机 工作平台的掩膜版时进行对准确认，以使其掩膜版放置的位置符合设计要求。 在实践操作中，如果掩膜版放置的位置不符合要求会使光刻机在掩膜版光刻位 置不符合设计要求，对位不准而光刻出的掩膜版若继续进行后段工序的加工， 会导致废品或次品的产生。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种掩膜版定位确认装置，旨在解决掩膜版定 位随意性较大，定位不准确的问题。
本实用新型是这样实现的， 一种用于掩膜版对位确认装置，包括定位工具 和测量工具，所述定位工具与测量工具活动连接。
本实用新型的技术效果是它提供了一种掩膜版对位确认装置，该装置设 有的测量工具能够准确的测量出掩膜版在工作平台放置的位置是否符合要求， 从而为调整掩膜版的位置提供科学的依据。
图1是本实用新型实施例提供的用于掩膜版的定位确认装置的俯视示意图。图2是本实用新型实施例提供的用于掩膜版的定位确认装置的主视示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图 及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体 实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
请参阅图1和图2, —种用于掩膜版对位确认工具，包括定位工具10和测 量工具20,所述定位工具10和测量工具20活动连接。本实用新型主要用于掩 膜版的对位确认，也可用于其他形状和类型的零件的对位确认。在本实施例中， 本实用新型用于掩膜版在MP80+光刻机上的对位和确认；本实用新型和掩膜版 4均置于MP80+光刻才几的工作台30上。
请参阅图1和图2,定位工具10包括一定位块11和一连接块12,所述定 位块11与连接块12垂直连接，所述连接块12上设有一用于安装测量工具的阶 梯形凹槽(图中未示出)。在测量时定位工具IO的定位块11可紧贴着工作台 30的基准面31移动。
请参阅图1，本实用新型中设有的测量工具可为普通卡尺、位移变送器测 量装置或者数字显示游标卡尺等测量工具。在本实施例中，测量工具采用数字 显示游标卡尺20,所述^:字显示游标卡尺20包括一数字显示器22和游标卡尺 21,所述数字显示器22置于连接块12与游标卡尺21的结合处，用于将游标卡 尺21的位移转换成数字信号并显示出来；所述游标卡尺21 _没有一凸块(图中 未示出)，凸块的大小和形状与凹槽相对应，游标卡尺21置于定位工具10的 凹槽中并可在凹槽内滑动。游标卡尺21与定位工具设有连接块l2的凸块凹槽 配合连接可使游标卡尺21与连接块12的配合更加紧密，当游标卡尺21在连接 块12内移动时不致于产生晃动，从而保证测量数据的准确无误。
当使用本实用新型测量掩膜版时，将定位工具10的定位块12紧贴工作台30的基准面31，用手轻移游标卡尺21使其轻抵掩膜版的边缘，记下数字显示 器显示的数据；更换不同的位置进行测量，将测量的结果进行处理，得出掩膜 版实际偏移的情况。由于本实用新型的测量工具是采用数字显示游标卡尺，其 测量精度可精确到O.lmm，完全可以满足掩模版的定位确认需要。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型， 凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应 包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1、一种用于掩膜版的对位确认装置，其特征在于包括定位工具和测量工具，所述定位工具与测量工具活动连接。
2、 如权利要求1所述的用于掩膜版的对位确认工具，其特征在于所述的 测量工具为数字显示游标卡尺，所述的数字显示游标卡尺包括数字显示器和游 标卡尺，所述数字显示器置于定位工具上，所述游标卡尺与定位工具活动连接。
3、 如权利要求2所述的用于掩膜版的对位确认工具，其特征在于所述定 位工具上设有凹槽，所述游标卡尺与凹槽相对应，该游标卡尺置于定位工具所 设有的凹槽之中并于所述凹槽内滑动。
专利摘要本实用新型适用于零部件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置，它包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。该装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求，大大降低由于掩膜版位置偏移产生的废品数量，可广泛应用于掩膜版的定位确认领域之中。
文档编号G03F7/20GK201237696SQ20082021200
公开日2009年5月13日 申请日期2008年9月24日 优先权日2008年9月24日
发明者郝明毅 申请人:清溢精密光电(深圳)有限公司