包括共轭膜的光导的制作方法

专利名称：：包括共轭膜的光导的制作方法
技术领域：
：本发明涉及微机电系统(MEMS)。
背景技术：
：微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包含一对导电板，其中之一或两者可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特定实施例中，一个板可包含沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包含通过气隙与固定层分离的金属薄膜。如本文更详细描述，一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且/或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的新产品，将是有益的。
发明内容本文中所描述的各种实施例包含用于跨越显示器元件阵列而分布光的光导。所述光导可包括表面起伏特征以使在光导中传播的光转向到所述显示器元件阵列上。表面起伏特征可包含反射光的刻面。在一些实施例中，波状透射表面安置于光导上。此波状透射表面可保护所述刻面。还揭示其它实施例。本发明的一个实施例包含一种照明设备，其包含具有用于接收来自光源的光的第一端的光导面板，所述光导面板包含支持光沿着光导面板的长度传播的材料。所述照明设备进一步包含安置于光导面板的第一侧上的多个压痕，所述压痕经配置以使入射于第一侧上的光的至少一实质部分转向且将光的所述部分引导出光导面板的第二、相对侧，所述压痕具有通过全内反射而将光反射出光导面板的第二侧的倾斜侧壁；及至少一个波状透射表面，其包含具有大体上与光导面板中的所述多个压痕的对应形状互补的形状的多个突出表面部分，所述至少一个波状透射表面与光导面板通过间隙而分离。上文所揭示的照明设备可进一步包含相对于光导面板而安置的光条，其中所述光条具有用于接收来自光源的光的第一端，所述光条包含支持光沿着光条的长度传播的材料。光条进一步包含安置于光条的第一侧上的转向微结构，所述转向微结构经配置以使入射于第一侧上的光的至少一实质部分转向且将光的所述部分引导出光条的第二相对侧。在一些实施例中，至少一个大体上反射表面相对于光条而安置，以将从光条逸出的光反射穿过光条的不同于第二侧的一部分回到光条中。本发明的另一实施例包含一种制造照明设备的方法。在此方法中，提供具有用于接收来自光源的光的第一端的光导面板。所述光导面板包含支持光沿着光导面板的长度传播的材料。在光导面板的第一侧上安置多个压痕。所述压痕经配置以使入射于第一侧上的光的至少一实质部分转向且将光的所述部分引导出光导面板的第二、相对侧。所述压痕具有通过全内反射而将光反射出光导面板的第二侧的倾斜侧壁。提供至少一个波状透射表面。所述至少一个波状透射表面包含具有大体上与光导面板中的所述多个压痕的对应形状互补的形状的多个突出表面部分。所述至少一个波状透射表面与光导面板通过间隙而分罔。本发明的另一实施例包含一种照明设备。所述照明设备包含用于导引光的装置，其具有用于接收来自用于发光的装置的光的装置。所述光导引装置包含用于支持光沿着光导引装置的长度传播的装置。所述照明设备进一步包含用于使入射于光导引装置的第一侧上的光的至少一实质部分转向的装置。所述光转向装置经配置以将光的所述部分引导出光导引装置的第二、相对侧。光转向装置具有用于通过全内反射而将光反射出光导引装置的第二侧的装置。所述照明设备另外包含用于透射光的装置，其包含用于提供与光导引装置中的光转向装置的对应形状互补的形状的装置。所述光透射装置与光导引装置通过用于分离的装置而分离。图1是描绘干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等角视图，其中第一干涉式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于激活位置。图2是说明并入有3X3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。图3是图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动镜位置对所施加电压的图。图4是可用于驱动干涉式调制器显示器的一组行和列电压的说明。图5A说明图2的3X3干涉式调制器显示器中的显示器数据的一个示范性帧。图5B说明可用于写入图5A的帧的行和列信号的一个示范性时序图。图6A和图6B是说明包含多个干涉式调制器的视觉显示器装置的实施例的系统框图。图7A是图1的装置的横截面。图7B是干涉式调制器的替代实施例的横截面。图7C是干涉式调制器的另一替代实施例的横截面。图7D是干涉式调制器的又一替代实施例的横截面。图7E是干涉式调制器的额外替代实施例的横截面。图8A为包括空间光调制器阵列及光导面板的显示器装置的一部分的横截面的示意性说明。图8B为图8A的显示器装置的一部分的展开横截面的示意性说明，其说明双重图像的形成。图9A为包括空间光调制器阵列、光导面板及共轭膜的显示器装置的另一实施例的一部分的横截面的示意性说明。图9B为图9A的显示器装置的一部分的展开横截面的示意性说明。图10为包括照明设备的显示器装置的一部分的透视图的示意性说明，所述照明设备包含光发射器、光条及光导面板。图IlA为包括照明设备的另一显示器装置的一部分的横截面的示意性说明，所述照明设备包含围绕光条而安置的反射表面。图IlB为图IlA的显示器装置的一部分的俯视平面图的示意性说明。图IlC为相对于包含转向特征的光条而安置的反射表面的特写图的示意性说明。图IlD为包括衍射转向特征及相对于衍射转向特征而安置的反射表面的光条的示意性表示。图12A为图IlA的显示器装置的一部分的另一横截面的示意性说明，其展示注入到光导面板中的光的强度分布。图12B为图IlA的显示器装置的一部分的另一俯视平面图的示意性说明，其也展示注入到光导面板中的光的强度分布。图13A为包括光条的另一显示器装置的一部分的横截面的示意性说明，所述光条具有安置于光条的上方及下方的逆向反射器。图13B为图13A的显示器装置的一部分的俯视平面图的示意性说明，其展示由于逆向反射器而产生的强度分布。图14A为包括转向特征的光条的示意性表示，所述转向特征具有安置于其上的金属化物。图14B为包括转向特征及相对于转向特征而安置的波状反射器的光条的示意性表不。具体实施例方式以下详细描述针对本发明的某些特定实施例。然而，本发明可以许多不同方式实施。在本描述内容中参看了附图，附图中所有相同部分用相同标号表示。如从以下描述中将了解，所述实施例可实施在经配置以显示不论运动(例如，视频)还是固定(例如，静止图像)的且不论文字还是图画的图像的任何装置中。更明确地说，预期所述实施例可实施在多种电子装置中或与多种电子装置关联，所述多种电子装置例如(但不限于)移动电话、无线装置、个人数据助理(PDA)、手持式或便携式计算机、GPS接收器/导航器、相机、MP3播放器、摄像机、游戏控制台、手表、时钟、计算器、电视监视器、平板显示器、计算机监视器、汽车显示器(例如，里程表显示器等)、座舱控制器和/或显示器、相机视图的显示器(例如，车辆中后视相机的显示器)、电子相片、电子广告牌或指示牌、投影仪、建筑结构、包装和美学结构(例如，一件珠宝上的图像显示器)。具有与本文中描述的装置类似的结构的MEMS装置也可用于例如电子切换装置的非显示器应用中。在本文中所描述的各种实施例中，显示器可为从线性光源(例如，光条或邻近于7光导面板而安置的LED阵列)而边缘照明。光导面板安置于反射空间光调制器阵列(例如，MEMS元件或其它显示器元件的阵列)的前方。前光导面板可包含具有多种不同倾斜表面部分的多个表面起伏特征(surfacerelieffeature)。注入到光导的边缘中的光传播穿过光导，直到光撞击表面起伏特征中的一者为止。接着通过全内反射而使光转向，以便将光引导到光导面板的后方的反射调制器阵列上。光从调制器阵列反射且返回透射穿过光导面板的表面特征。然而，视光入射于表面特征上的位置而定，光将由不同倾斜表面部分以不同角度折射。结果，从调制器阵列上的单一点反射的光看似源自不同位置，且呈现一个或一个以上双重图像。为了减小所述重像，将具有大体相等且相对的表面起伏特征的共轭膜安置于光导面板的前方。从调制器阵列反射且穿过光导面板上的表面起伏特征的光线由共轭膜第二次折射以使光线重新引导到类似于光线在光导面板内的方向的轨道上。在某些实施例中，反射空间光调制器阵列包含以行及列布置的显示器元件。在一些实施例中，显示器元件包含MEMS装置。在各种实施例中，显示器元件包含干涉式调制器。图1中说明包含干涉式MEMS显示器元件的一个干涉式调制器显示器的实施例。在这些装置中，像素处于明亮状态或黑暗状态。在明亮(“接通”或“开启”)状态下，显示器元件将入射可见光的大部分反射到用户。当在黑暗(“断开”或“关闭”)状态下时，显示器元件将极少的入射可见光反射到用户。依据实施例而定，可颠倒“接通”和“断开”状态的光反射性质。MEMS像素可经配置以主要在所选颜色下反射，从而除了黑色及白色以外还允许彩色显示器。图1是描述视觉显示器的一系列像素中的两个相邻像素的等角视图，其中每一像素包含MEMS干涉式调制器。在一些实施例中，干涉式调制器显示器包含这些干涉式调制器的一行/列阵列。每一干涉式调制器包括一对反射层，其定位成彼此相距可变且可控制的距离以形成具有至少一个可变尺寸的谐振光学间隙。在一个实施例中，可在两个位置之间移动所述反射层之一。在第一位置(本文中称为松弛位置)中，可移动反射层定位成距固定部分反射层相对较大的距离。在第二位置(本文中称为激活位置)中，可移动反射层定位成更紧密邻近所述部分反射层。视可移动反射层的位置而定，从所述两个层反射的入射光相长地或相消地进行干涉，从而针对每一像素产生全反射状态或非反射状态。图1中像素阵列的所描绘部分包括两个相邻干涉式调制器12a和12b。在左侧干涉式调制器12a中，说明可移动反射层14a处于距包括部分反射层的光学堆叠16a预定距离处的松弛位置中。在右侧干涉式调制器12b中，说明可移动反射层14b处于邻近于光学堆叠16b的激活位置中。如本文所引用的光学堆叠16a和16b(统称为光学堆叠16)通常包含若干熔合层(fusedlayer)，所述熔合层可包括例如氧化铟锡(ITO)的电极层、例如铬的部分反射层和透明电介质。因此，光学堆叠16是导电的、部分透明且部分反射的，且可通过(例如)将上述层的一者或一者以上沉积到透明衬底20上来制造。部分反射层可由为部分反射的多种材料(例如，各种金属、半导体及电介质)形成。部分反射层可由一个或一个以上材料层形成，且层中的每一者可由单一材料或材料的组合形成。在一些实施例中，光学堆叠16的层经图案化成为多个平行条带，且如下文中进一步描述，可在显示器装置中形成行电极。可移动反射层14a、14b可形成为沉积金属层(一层或多层)的一系列平行条带(与行电极16a、16b垂直)，所述金属层沉积在柱18和沉积于柱18之间的介入牺牲材料的顶部上。当蚀刻去除牺牲材料时，可移动反射层14a、14b通过所界定的间隙19而与光学堆叠16a、16b分离。例如铝的高度导电且反射的材料可用于反射层14，且这些条带可在显示器装置中形成列电极。在不施加电压的情况下，间隙19保留在可移动反射层14a与光学堆叠16a之间，其中可移动反射层14a处于机械松弛状态，如图1中像素12a所说明。然而，当将电位差施加到选定的行和列时，形成在相应像素处的行电极与列电极的交叉处的电容器变得带电，且静电力将所述电极拉在一起。如果电压足够高，那么可移动反射层14变形且被迫抵靠光学堆叠16。光学堆叠16内的电介质层(在此图中未图示)可防止短路并控制层14与16之间的分离距离，如图1中右侧的像素12b所说明。不管所施加的电位差的极性如何，表现均相同。以此方式，可控制反射像素状态对非反射像素状态的行/列激活在许多方面类似于常规LCD和其它显示技术中所使用的行/列激活。图2到图5B说明在显示器应用中使用干涉式调制器阵列的一个示范性工艺和系统。图2是说明可并入有本发明各方面的电子装置的一个实施例的系统框图。在所述示范性实施例中，所述电子装置包括处理器21，其可为任何通用单芯片或多芯片微处理器(例如ARM、Pentium、PentiumII、PentiumIII、PentiumIV、PentiumPro、8051、MIPS、PowerPC、ALPHA)，或任何专用微处理器(例如数字信号处理器、微控制器或可编程门阵列)。如此项技术中常规的做法，处理器21可经配置以执行一个或一个以上软件模块。除了执行操作系统外，所述处理器可经配置以执行一个或一个以上软件应用程序，包括网络浏览器、电话应用程序、电子邮件程序或任何其它软件应用程序。在一个实施例中，处理器21还经配置以与阵列驱动器22通信。在一个实施例中，所述阵列驱动器22包括将信号提供到显示器阵列或面板30的行驱动器电路24和列驱动器电路26。在图2中以线1-1展示图1中说明的阵列的横截面。对于MEMS干涉式调制器来说，行/列激活协议可利用图3中说明的这些装置的滞后性质。可能需要(例如)10伏的电位差来促使可移动层从松弛状态变形为激活状态。然而，当电压从所述值减小时，可移动层在电压降回10伏以下时维持其状态。在图3的示范性实施例中，可移动层直到电压降到2伏以下时才完全松弛。因此，在图3中所说明的实例中，存在约3到7V的经施加电压窗口，在所述窗口内，装置在松弛状态或激活状态中均是稳定的。此窗口在本文中称为“滞后窗口”或“稳定窗口”。对于具有图3的滞后特性的显示器阵列来说，可设计行/列激活协议使得在行选通期间，已选通行中待激活的像素暴露于约10伏的电压差，且待松弛的像素暴露于接近零伏的电压差。在选通之后，所述像素暴露于约5伏的稳态电压差使得其维持在行选通使其所处的任何状态中。在此实例中，每一像素在被写入之后经历3-7伏的“稳定窗口”内的电位差。此特征使图1中说明的像素设计在相同的施加电压条件下在激活或松弛预存在状态下均是稳定的。因为干涉式调制器的每一像素(不论处于激活还是松弛状态)本质上是由固定反射层和移动反射层形成的电容器，所以可在滞后窗口内的一电压下维持此稳定状态而几乎无功率消耗。本质上，如果所施加的电压是固定的，那么没有电流流入像素中。在典型应用中，可通过根据第一行中所需组的激活像素断言所述组列电极来产生显示帧。接着将行脉冲施加到行1电极，从而激活对应于所断言的列线的像素。接着改变所述组已断言列电极以对应于第二行中所需组的激活像素。接着将脉冲施加到行2电极，从而根据已断言的列电极而激活行2中的适当像素。行1像素不受行2脉冲影响，且维持在其在行1脉冲期间被设定的状态中。可以连续方式对整个系列的行重复此过程以产生帧。通常，通过以每秒某一所需数目的帧的速度连续地重复此过程来用新的显示器数据刷新且/或更新所述帧。用于驱动像素阵列的行和列电极以产生显示帧的广泛种类的协议也是众所周知的且可结合本发明使用。图4、图5A和图5B说明用于在图2的3X3阵列上形成显示帧的一个可能的激活协议。图4说明可用于使像素展示出图3的滞后曲线的一组可能的列和行电压电平。在图4实施例中，激活像素涉及将适当列设定为-Vbias，且将适当行设定为+ΔV，其分别可对应于_5伏和+5伏。松弛像素是通过将适当列设定为+Vbias，且将适当行设定为相同的+AV，从而在像素上产生零伏电位差而实现的。在行电压维持在零伏的那些行中，不管列处于+Vbias还是-Vbias，像素在任何其最初所处的状态中均是稳定的。同样如图4中所说明，将了解，可使用具有与上述电压的极性相反的极性的电压，例如，激活像素可涉及将适当列设定为+Vbias，且将适当行设定为_Δν。在此实施例中，释放像素是通过将适当列设定为-Vbias，且将适当行设定为相同的_Δν，从而在像素上产生零伏电位差而实现的。图5Β是展示施加到图2的3X3阵列的一系列行和列信号的时序图，所述系列的行和列信号将产生图5Α中说明的显示器布置，其中被激活像素为非反射的。在对图5Α中说明的帧进行写入之前，像素可处于任何状态，且在本实例中所有行均处于0伏，且所有列均处于+5伏。在这些所施加的电压的情况下，所有像素在其既有的激活或松弛状态中均是稳定的。在图5Α的帧中，像素(1，1)、(1,2),(2,2),(3,2)和(3,3)被激活。为了实现此目的，在行1的“线时间(linetime)”期间，将列1和2设定为-5伏，且将列3设定为+5伏。因为所有像素均保留在3-7伏的稳定窗口中，所以这并不改变任何像素的状态。接着用从0升到5伏且返回零的脉冲选通行1。这激活了(1，1)和(1，2)像素且松弛了(1，3)像素。阵列中其它像素均不受影响。为了视需要设定行2，将列2设定为-5伏，且将列1和3设定为+5伏。施加到行2的相同选通接着将激活像素(2，2)且松弛像素(2，1)和(2，3)。同样，阵列中其它像素均不受影响。通过将列2和3设定为-5伏且将列1设定为+5伏来类似地设定行3。行3选通设定行3像素，如图5A中所示。在对帧进行写入之后，行电位为零，且列电位可维持在+5或-5伏，且接着显示器在图5A的布置中是稳定的。将了解，可将相同程序用于数十或数百个行和列的阵列。还将应了解，用于执行行和列激活的电压的时序、序列和电平可在上文所概述的一般原理内广泛变化，且上文的实例仅为示范性的，且任何激活电压方法均可与本文描述的系统和方法一起使用。图6A和图6B是说明显示器装置40的实施例的系统框图。显示器装置40可为(例如)蜂窝式电话或移动电话。然而，显示器装置40的相同组件或其稍微变化形式也说明例如电视和便携式媒体播放器的各种类型的显示器装置。显示器装置40包括外壳41、显示器30、天线43、扬声器45、输入装置48和麦克风46。外壳41通常由所属领域的技术人员众所周知的多种制造工艺的任一者形成，所述工艺包括注射模制和真空成形。另外，外壳41可由多种材料的任一者制成，所述材料包括(但10不限于)塑料、金属、玻璃、橡胶和陶瓷，或其组合。在一个实施例中，外壳41包括可去除部分(未图示)，所述可去除部分可与其它具有不同颜色或含有不同标记、图画或符号的可去除部分互换。如本文中所描述，示范性显示器装置40的显示器30可为包括双稳态显示器(bi-stabledisplay)在内的多种显示器的任一者。在其它实施例中，如所属领域的技术人员众所周知，显示器30包括例如如上所述的等离子、EL、OLED,STNIXD或TFTIXD的平板显示器，或例如CRT或其它电子管装置的非平板显示器。然而，出于描述本实施例的目的，如本文中所描述，显示器30包括干涉式调制器显示器。图6B中示意说明示范性显示器装置40的一个实施例的组件。所说明的示范性显示器装置40包括外壳41且可包括至少部分封围在所述外壳41中的额外组件。举例来说，在一个实施例中，示范性显示器装置40包括网络接口27，所述网络接口27包括耦合到收发器47的天线43。收发器47连接到处理器21，处理器21连接到调节硬件52。调节硬件52可经配置以调节信号(例如，对信号进行滤波)。调节硬件52连接到扬声器45和麦克风46。处理器21也连接到输入装置48和驱动器控制器29。驱动器控制器29耦合到帧缓冲器28且耦合到阵列驱动器22，所述阵列驱动器22进而耦合到显示器阵列30。根据特定示范性显示器装置40设计的要求，电源50将功率提供到所有组件。网络接口27包括天线43和收发器47使得示范性显示器装置40可经由网络与一个或一个以上装置通信。在一个实施例中，网络接口27也可具有某些处理能力以减轻对处理器21的要求。天线43是所属领域的技术人员已知的用于发射和接收信号的任何天线。在一个实施例中，所述天线根据IEEE802.11标准(包括IEEE802.11(a)、(b)或(g))来发射和接收RF信号。在另一实施例中，所述天线根据蓝牙(BLUETOOTH)标准来发射和接收RF信号。在蜂窝式电话的情况下，所述天线经设计以接收CDMA、GSM、AMPS或其它用于在无线手机网络内通信的已知信号。收发器47预处理从天线43接收到的信号，使得处理器21可接收所述信号并进一步对所述信号进行处理。收发器47还处理从处理器21接收到的信号使得可经由天线43从示范性显示器装置40发射所述信号。在一替代实施例中，收发器47可由接收器代替。在又一替代实施例中，网络接口27可由可存储或产生待发送到处理器21的图像数据的图像源代替。举例来说，所述图像源可为数字视频光盘(DVD)或含有图像数据的硬盘驱动器，或产生图像数据的软件模块。处理器21大致上控制示范性显示器装置40的全部操作。处理器21接收例如来自网络接口27或图像源的压缩图像数据的数据，并将所述数据处理成原始图像数据或处理成易被处理成原始图像数据的格式。处理器21接着将已处理的数据发送到驱动器控制器29或发送到帧缓冲器28以供存储。原始数据通常是指识别图像内每一位置处的图像特性的信息。举例来说，这些图像特性可包括颜色、饱和度和灰度级。在一个实施例中，处理器21包括微控制器、CPU或逻辑单元以控制示范性显示器装置40的操作。调节硬件52通常包括放大器和滤波器，以用于将信号发射到扬声器45，且用于从麦克风46接收信号。调节硬件52可为示范性显示器装置40内的离散组件，或可并入在处理器21或其它组件内。驱动器控制器29直接从处理器21或从帧缓冲器28取得由处理器21产生的原始图像数据，并适当地重新格式化所述原始图像数据以供高速发射到阵列驱动器22。具体来11说，驱动器控制器29将原始图像数据重新格式化为具有类似光栅的格式的数据流，使得其具有适于在显示器阵列30上进行扫描的时间次序。接着，驱动器控制器29将已格式化的信息发送到阵列驱动器22。尽管驱动器控制器29(例如IXD控制器)通常与系统处理器21关联而作为独立的集成电路(IC)，但可以许多方式实施这些控制器。其可作为硬件嵌入处理器21中，作为软件嵌入处理器21中，或与阵列驱动器22完全集成在硬件中。通常，阵列驱动器22从驱动器控制器29接收已格式化的信息且将视频数据重新格式化为一组平行波形，所述波形以每秒多次的速度被施加到来自显示器的χ-y像素矩阵的数百且有时数千个引线。在一个实施例中，驱动器控制器29、阵列驱动器22和显示器阵列30适用于本文描述的任意类型的显示器。举例来说，在一个实施例中，驱动器控制器29是常规显示器控制器或双稳态显示器控制器(例如，干涉式调制器控制器)。在另一实施例中，阵列驱动器22是常规驱动器或双稳态显示器驱动器(例如，干涉式调制器显示器)。在一个实施例中，驱动器控制器29与阵列驱动器22集成。此实施例在例如蜂窝式电话、手表和其它小面积显示器的高度集成系统中是普遍的。在又一实施例中，显示器阵列30是典型的显示器阵列或双稳态显示器阵列(例如，包括干涉式调制器阵列的显示器)。输入装置48允许用户控制示范性显示器装置40的操作。在一个实施例中，输入装置48包括例如QWERTY键盘或电话键区的键区、按钮、开关、触敏屏幕或压敏或热敏薄膜。在一个实施例中，麦克风46是用于示范性显示器装置40的输入装置。当使用麦克风46将数据输入到所述装置时，用户可提供声音命令以便控制示范性显示器装置40的操作。电源50可包括此项技术中众所周知的多种能量存储装置。举例来说，在一个实施例中，电源50是例如镍镉电池或锂离子电池的可再充电电池。在另一实施例中，电源50是可再生能源、电容器或太阳能电池，包括塑料太阳能电池和太阳能电池涂料。在另一实施例中，电源50经配置以从壁式插座接收功率。在某些实施例中，如上文中所描述，控制可编程性驻存在驱动器控制器中，所述驱动器控制器可位于电子显示器系统中的若干位置中。在某些实施例中，控制可编程性驻存在阵列驱动器22中。所属领域的技术人员将了解，上述优化可实施在任何数目的硬件和/或软件组件中且可以各种配置实施。根据上文陈述的原理而操作的干涉式调制器的结构的细节可广泛变化。举例来说，图7A-7E说明可移动反射层14及其支撑结构的五个不同实施例。图7A是图1的实施例的横截面，其中金属材料条带14沉积在垂直延伸的支撑件18上。在图7B中，可移动反射层14在系链(tether)32上仅在隅角处附接到支撑件。在图7C中，可移动反射层14从可包含柔性金属的可变形层34悬置下来。所述可变形层34直接或间接地连接到围绕可变形层34的周边的衬底20。这些连接在本文中称为支柱。图7D中说明的实施例具有支柱插塞42，可变形层34搁置在所述支柱插塞42上。如图7A-7C所示，可移动反射层14保持悬置在间隙上方，但可变形层34并不通过填充可变形层34与光学堆叠16之间的孔而形成所述支柱。而是，支柱由平坦化材料形成，其用于形成支柱插塞42。图7E中说明的实施例是基于图7D中展示的实施例，但也可适于与图7A-7C中说明的实施例以及未图示的额外实施例的任一者一起发挥作用。在图7E中所示的实施例中，已使用金属或其它导电材料的额外层来形成总线结构44。这允许信号沿着干涉式调制器的背面进行路由，从而消除许多原本可能必须形成在衬底20上的电极。在例如图7中所示的那些实施例的实施例中，干涉式调制器充当直接观看装置，其中从透明衬底20的前侧观看图像，所述侧与上面布置有调制器的一侧相对。在这些实施例中，反射层14以光学方式遮蔽在反射层的与衬底20相对侧的干涉式调制器的部分，其包括可变形层34。这允许对遮蔽区域进行配置和操作而不会消极地影响图像质量。此遮蔽允许图7E中的总线结构44，其提供使调制器的光学性质与调制器的机电性质分离的能力，例如，寻址或由所述寻址引起的移动。这种可分离的调制器结构允许选择用于调制器的机电方面和光学方面的结构设计和材料且使其彼此独立而发挥作用。此外，图7C-7E中所示的实施例具有源自反射层14的光学性质与其机械性质脱离的额外益处，所述益处由可变形层34执行。这允许用于反射层14的结构设计和材料在光学性质方面得以优化，且用于可变形层34的结构设计和材料在所需的机械性质方面得以优化。如上所述，干涉式调制器为反射的且可依日光或良好照亮环境中的周围灯光而定。另外，常常为黑暗周围环境中的干涉式调制器的照明提供内部照明源。在一些实施例中，用于干涉式调制器显示器或包含多个显示器元件的其它空间光调制器的照明系统包含光源、例如光条的光注入系统及光导面板。光注入系统将来自点光源(例如，发光二极管(LED))的光转换成线光源。光导面板在光导面板的窄边缘处收集来自光注入系统的光且使其朝向显示器元件重新引导，优选地跨越显示器元件阵列而均勻地展布光。光导面板可包含用于使光从光导面板中朝向显示器元件阵列转向的光“转向”膜。转向特征可包含将沿着光导面板的长度传播的光反射到显示器元件的多个倾斜部分。光从显示器元件反射且返回透射穿过光导面板以形成用于观看器的图像。然而，视光入射于表面特征上的位置而定，光将由不同倾斜部分以不同角度折射。结果，从显示器元件阵列上的单一点反射的光看似源自多个不同点，以致呈现双重图像。图8A为包括照明系统的显示器装置的横截面图，所述照明系统包含光导面板80及多个显示器元件81。光导面板80包括安置于其上的转向特征89。注入到光导面板80中的光经由全内反射而沿着光导面板的长度传播。为了给显示器元件阵列提供照明，使光转向穿过通常在约75度到90度之间的大角，以使得光传播穿过光导面板的厚度且透射到显示器元件81的有效表面。光转向特征89可包含定位于光导面板80的顶部、前方或暴露的观看侧82的多个表面起伏特征。表面特征89包括(例如)通过层压而附着的薄转向膜的部分。或者，可(例如)通过压印、注入模制、浇铸或其它技术而直接在光导面板80的顶侧82上制造转向特征。在某些实施例中，表面特征89包含布置于沿着光导面板80的长度L延伸的图案中的多个棱镜微结构。棱镜微结构可包含相对于彼此成角度以用于反射入射于空气/刻面界面上的光从而使光转向穿过大角的两个或两个以上转向刻面89a及89b。在某些实施例中，表面特征89包含多个重复棱镜微结构，每一重复棱镜微结构包含两个邻近的对称刻面。或者，表面特征89可包含多个重复棱镜微结构，每一重复棱镜微结构包含具有相对于光导面板80的膜或长度的不同倾斜角度的两个邻近刻面89a、89b。举例来说，在如图8A中所展示的某些实施例中，所述多对邻近刻面89a及89b可包含一个浅的长刻面89a及一非常短但更陡峭地偏斜的刻面89b。相对于彼此有利地形成角度以使得光线以大于临界角(如从刻面的法线测量的)的角度入射于刻面上的邻近刻面89a与89b将经历全内反射(TIR)，且将被转向穿过大约75°到90°的大角。举例来说，如果光如图8A中所展示顺序地撞击第一、浅刻面89a及接着第二、较陡峭刻面89b，则在空气/刻面界面处发生全内反射且光被转向穿过大角到显示器元件阵列。遵循此路径的光接着透射穿过光导80的厚度T且从邻近显示器元件81上的底侧/后侧83输出。多次内反射增强光导80内的光的混合，此辅助提供跨越显示器元件81的光输出的均勻性。在各种实施例中，跨越光导面板80的长度的转向特征89(例如，高度、深度、角度、密度等)的非均勻性增强光输出的均勻性。举例来说，转向特征89的密度随着距光导面板80的输入边缘84的距离的增加可使跨越光导面板的输出效率类似地增加，以便阻遏光在光导面板内的衰减。当从显示器元件阵列81反射而穿过光导面板80的厚度的光线穿过邻近刻面89a及89b退出光导面板的前侧82时，光归因于光导面板与空气之间的折射率的差而在光导面板/空气界面处在刻面的表面处被折射。在刻面89a及89b处退出光导面板80的光的折射角视其在界面处的入射角而定(根据斯涅耳(Snell)定律)。如上文所论述及图8B中所展示，在某些实施例中，邻近刻面89a及89b以相对于光导面板的法线的不同倾斜角度安置。因此，从图8B中所展示的显示器元件阵列81上的单一点181反射的光线182及185视其撞击哪个刻面89a及89b而以不同入射角入射于光导/空气界面上。因此光线182及185视其在刻面89a及89b上的入射角而以不同角度折射。所得的以不同角度经引导的光线183及186看似是从显示器元件阵列上的两个不同表观反射点(apparentreflectionpoint)188及189而非原始图像点181反射。此效应导致看似相对于显示器元件81所反射的真实图像轻微移位的双重图像的产生。刻面89a、89b越陡峭，重像(188、189)在X方向上与物件(181)的横向间隔越大。并且，由特定刻面类型对向的X方向上的横向距离的分数越大，与所述刻面相关联的双重图像越强烈，此是由于较大数目的射线由所述刻面捕获。举例来说，在图8B中，类型89a的刻面对向比类型89b的刻面大的横向距离，且由此归因于89a而产生的双重图像将更强烈。在某些实施例中，如图9A中所展示，可通过在光导面板80的前侧82前方安置共轭膜92而减小或消除双重图像。共轭膜92使从光导面板80的正面82发射的光线折射。射线由共轭膜92以与光导面板80的正面82所引入的折射相反的方向折射。共轭膜92因此可反向、阻遏或校正光线入射于光导面板/空气界面上时所得的折射。共轭膜92在侧面上具有朝向光导面板80而安置的波状透射表面93。在某些实施例中，共轭膜92可具有与波状透射表面93相对的前向、平面表面95。波状透射表面93由延伸跨越共轭膜92的长度L的多个表面起伏特征99组成。在某些实施例中，表面起伏特征99具有大体上与延伸跨越光导面板80的长度L的多个表面起伏特征89的形状互补的形状。举例来说，在一些实施例中，共轭膜92上的多个表面特征99可包含多个突起且光导面板80上的表面起伏特征89可包含延伸跨越其长度L的多个对应压痕。(在一些实施例中，共轭膜92上的多个表面特征99包含多个压痕且光导面板80上的表面起伏特征89包含多个对应突起。在一些实施例中，共轭膜92及光导面板80中的一者或两者包含突起与压痕两者。)所述突起(或压痕)可由相对于彼此以大体上相同角度安置以形成对称突起(或压痕)的邻近倾斜侧壁形成。或者，邻近倾斜侧壁可相对于彼此以不同倾斜角度安置，以使得所述突起(或压痕)为不对称的。在某些实施例中，倾斜侧壁可包含大体上平面的表面。在其它实施例中，倾斜侧壁可包含有刻面的表面。在一些实施例中，倾斜侧壁可为弯曲的。在某些实施例中，共轭膜92上的对应表面特征99(突起或压痕)的形状及大小可通过光导80上的表面起伏特征89中必要的形状来规定，此使通过光导面板80的侧边缘84而注入的光有效地及有效率地朝向显示器元件阵列81转向。举例来说，如图9A中所展示，形成光导面板80中的表面起伏特征89的刻面可包括从水平面以约2度倾斜的刻面89a，及以约45度倾斜的刻面89b。共轭膜92上的表面特征99可由与光导面板80上的刻面89a及89b相等且相对的刻面99a及99b形成。因此，在上文所提及的实施例中，刻面99a可同样从水平面以约2度倾斜且刻面99b可同样以约45度倾斜。在某些实施例中，可使用不同形状及配置。另外，表面起伏特征89及99的形状及/或大小可分别跨越光导80及共轭膜92的长度L而变化。然而，在某些实施例中，不管形状或配置，光导80及共轭膜92的对应刻面大体上相等且相对。在一些实施例中，可包括形状、大小、间隔等的某一差异。大体上互补的共轭膜92以及光导80上的表面起伏特征可通过压印、UV浇铸、卷轴式工艺或此项技术中已知的任何其它合适工艺来制造。在各种实施例中，共轭膜92与光导80上的表面起伏特征通过同一工具或模具(die)而制成。在一个实例中，同一母片(master)可形成光导面板80的前表面82及共轭膜92的匹配后表面93。使共轭膜92的表面93简单翻转(例如，围绕平行于χ轴的轴)且相对于光导面板80的表面旋转(例如，围绕平行于ζ轴的轴旋转)。或者，可使共轭膜92的表面93围绕平行于Y轴的轴翻转。或者，在某些实施例中，例如，当跨越膜的长度L的表面起伏特征的大小及形状增加或减小时，可使用单独的、互补工具来产生光导80上的表面起伏特征89及共轭膜92上的表面起伏特征99。进一步使共轭膜92上的表面起伏特征99与光导面板80上的表面起伏特征89对准，以使得共轭膜92的波状表面93上的所述多个突起对应于由光导面板80上的前表面82形成的所述多个压痕且因此可延伸到所述多个压痕中。举例来说，在一些实施例中，使共轭膜92上的表面起伏特征99中的所述多个突起的最高点与光导80上的表面起伏特征89中的所述多个压痕的最低点大致对准，或使共轭膜92上的表面起伏特征99中的所述多个突起的最低点与光导80上的表面起伏特征89中的所述多个压痕的最高点大致对准。在其它实施例中，可使共轭膜92上的表面起伏特征99的开始或边缘与光导面板80上的表面起伏特征89的开始或边缘对准。或者，可将对准特征化为共轭膜92的表面起伏特征99的一个或一个以上部分与光导面板80的表面起伏特征89的一个或一个以上对应部分大致对准。在一些实施例中，共轭膜92具有大体上与光导面板80的折射率相同的折射率。在某些实施例中，在共轭膜92与光导80之间维持小气隙74，以维持产生传播穿过贯穿光导面板80的长度L的光的全内反射的空气/光导面板界面。或者，可将具有比光导面板80及共轭膜92的折射率低的折射率的介质安置于光导面板80与共轭膜92之间，以确保传播穿过光导80的长度的光将在光导面板与介质之间的界面处被全内反射。所述介质可为气体、液体或固体。在某些实施例中，光导面板80及共轭膜92的折射率可不同。在所述状况下，光导面板80上的表面特征89与共轭膜上的表面特征99的形状无需等同或互补。然而，可选择折射率及形状，以使得由共轭膜92中的表面特征99引起的折射阻遏、减小或抵消由光导面板80中的表面特征89引起的折射。在所述实施例中，仍可减小、最小化或消除重像。在使用中，如图9A中所展示，当注入到光导面板80中的光170以(例如)大于临界角的斜角或掠射角顺序地撞击由刻面89a及89b形成的光导面板/空气界面时，其将被全内反射。光179接着经转向穿过在约75度与90度之间的大角并输出到所述多个显示器元件81上。所述多个显示器元件81将光182反射穿过光导面板80的厚度。光182接着撞击光导面板/空气界面，其中光182被折射视光撞击光导面板80的表面起伏特征89的入射角而定的量。经折射的光线183接着透射穿过安置于光导面板80的前方的共轭膜92。此处，光线183在空气/共轭膜界面处被第二次折射。又，折射的量视光线183撞击共轭膜92的表面起伏特征99的入射角而定。因此，如果共轭膜92具有与光导面板80上的表面起伏89相等且相对的表面起伏99，则共轭膜/空气界面处的折射将使由于行进穿过光导面板/空气界面的光而产生的折射反向。因此可以此方式减小双重图像。举例来说，如图9B中所展示，光线182及185是从所述多个显示器元件81上的同一反射点181反射。光线182及185接着透射穿过光导面板80的厚度T。光线182及185从所述多个显示器元件81以相对于法线的不同角度反射。因此，光线182以相对于刻面89的倾斜角度θη入射于长、浅刻面89a上。光线182折射穿过刻面89a(根据斯涅耳(Snell)定律)，Ii1Sinθn=n2sinθrl其中ni为光导80的折射率，n2为气隙74的折射率，θη为射线182的入射角，且θrl是在经折射的射线183与刻面89a的法线之间测量所得。如上文相对于图8B所论述，经折射的射线183接着将看似来自表观源188而非显示器元件阵列81上的真实图像反射点181。然而，此处，当射线183入射于共轭膜92的刻面99a上时，射线183在空气/共轭膜界面处被第二次折射。因为共轭膜92与光导面板80互补，所以共轭膜92的刻面99a大体上平行于光导面板80的刻面89a。同样，光线183撞击刻面99a的入射角θi2与光线183的折射角相同。因此，根据斯涅耳(Snell)定律，假定光导面板80与共轭膜92的折射率相同(例如,Ii1=Ii2),则由共轭膜92折射的射线193将具有等于Qil的折射角θ#作为此工艺的结果，光线193将平行于光线182。由于气隙74的宽度W，在撞击刻面99a且沿着原始路径经折射之前，经折射的光线183在远离原始光线182的横向方向上行进。因此，光线193将平行于光线182但轻微横向移位。因此，在某些实施例中，选择气隙74的宽度W，以减小或最小化经折射穿过气隙的光线的横向移位，因此减小或最小化横向移位。同时，在各种实施例中，气隙74在光导面板80与共轭膜92之间提供足够距离，以准许经导引穿过光导面板80的光线在光导80的边界处被全内反射。在一些实施例中，间隙的宽度可小于棱镜深度的一半。在一些其它实施例中，可保持间隙的宽度尽可能接近于零同时仍允许空气间隔。举例来说，在某些实施例中，气隙的宽度W可在大约0.75微米与大约5微米之间。在某些其它实施例中，气隙的宽度W可位于所指定的范围之外，例如，气隙的宽度W可小于0.75微米及大于5微米。如上所述，间隙74可包含其它介质且可为气体、液体或固体。在图9B中，光线185另一方面以相对于刻面89b的法线的倾斜角度θη,入射于短、陡峭刻面89b上。如图8B中所展示，光线185同样经历相对于刻面89b的折射(根据16斯涅耳(Snell)定律)，使得经折射的射线186接着将看似来自表观图像点189。此处，因为相对于刻面89b的法线的入射角θη,比相对于刻面89a的法线的入射角Qil大得多，所以光线186被折射较大角且由此看似来自距显示器元件阵列上的实际图像反射点181较远的表观源189。然而，如图9B中所展示，如同光线183—样，当射线186入射于共轭膜92的刻面99b上时，射线186在空气/共轭膜界面处被第二次折射。因为共轭膜92与光导面板80互补，所以共轭膜92的刻面99b大体上平行于光导面板80的刻面89b。因此，光线186撞击刻面99b的入射角θi2,与光线186的折射角θ…相同。因此，所得射线194将具有等于θη,的折射角。此结论假定光导面板80与共轭膜92的折射率大体上相同(例如，ηι=η2)。因此，光线194将平行于光线185。此处，再者，由于气隙74的宽度W，经折射的光线186在撞击刻面99b之前在远离原始光线185的横向方向上行进。同样，光线194将平行于光线185但轻微横向移位。在射线193、194退出共轭膜且进入共轭膜92上方的空气中之后，射线193、194即再一次被折射。因此，这些射线在光导面板80内可能不平行于射线182、185。然而，大体来说，所发射的光线192与195两者将看似来自大体上最初的图像点181(光线182及185是从最初的图像点181反射)，但事实为光线182是由浅刻面89a折射且光线185是由陡峭刻面89b折射。在某些实施例中，通过共轭膜的存在减小至少重像。在某些实施例中，上文所描述的光导面板80及共轭膜92可有利地连同其它照明设备特征一起使用以将光引导到多个显示器元件81上。图10说明包含照明设备的显示器装置，所述照明设备包含耦合到光导面板80的边缘的光条90。光条90具有用于接收来自光发射器72(例如发光二极管(LED)，但还可使用其它光源)的光的第一端90a。光条90包含支持光沿着光条90的长度传播的大体上光学透射材料。注入到光条90中的光沿着条的长度而传播。光在光条90中(例如)经由光条90的侧壁处的全内反射而导引，所述侧壁与空气或某一其它环绕流体或固体介质形成界面。转向微结构91定位于光条90的至少一侧(例如，大体上与光导面板80相对的侧90b)上。转向微结构91经配置以使入射于光条90的侧90b上的光的至少一实质部分转向且将光的离开光条90(例如，外侧90c)的部分引导到光导面板80中。光条90的转向微结构91包含具有刻面91a的多个转向特征91(其可被称作有刻面的转向特征或有刻面的特征)，如可在图8B中看见。图10中所展示的特征91为示意性的且特征91的大小及其间的间隔被夸大。刻面91a或倾斜表面经配置以将离开光条90的光朝向光导面板80引导或分散。光可(例如)由来自光条90的侧壁的一部分91b(其平行于光条的长度及倾斜表面91a中的一者)的全内反射反射。此光可从倾斜表面91a在朝向光导面板80的方向上反射。在图10中所说明的实施例中，转向微结构91包含具有大体上三角形横截面的多个三角形凹槽，但其它形状也是可能的。转向特征91的形状及定向将影响退出光条90且进入光导面板80中的光的分布。另外，跨越光导的长度的转向特征的大小及密度可影响退出光条90的光的分布。举例来说，转向微结构91可具有随着距光源72的距离d而保持大体上恒定或平均来说随着距光源72的距离d而增加的大小。或者，在某些实施例中，转向微结构91可具有随着距光源72的距离d而保持大体上相同或平均来说随着距光源72的距离d而增加的密度为P的转向特征。如图IlA及图IlB中所说明，照明设备可另外包含相对于光条90的侧面(顶部90d、底部90e、左侧90b，及/或末端90f)而安置的一个或一个以上反射器或反射部分94、95、96、97。在各种实施例中，反射表面94、95、96及97可包含平面反射器，但其它形状是可能的。反射表面94、95、96及97相对于光条90而安置，以将另外可能透射出顶部90d、底部90e、左侧90b及末端90f的光引导回到光条90中。明确地说，反射器97将传播穿过光条90的将被引导出光条90的后端(或第二端)90f的光返回朝向光源72引导。类似地，反射器94及95将传播穿过光条90的将被引导出光条90的顶部90d或底部90e的光引导回到光条90中。此光在光条90内传播，其中光可经引导朝向光导面板80。在一些状况下，经重新引导回到光条90中的光最终入射于转向微结构91上且因此经引导到光导面板80。图IlC说明传播穿过光条90的第一侧90a到侧面反射器96的射线。反射器96应足够接近以便将透射穿过光条90的光(例如，以使得不被全内反射的角度碰撞有刻面的转向特征91的第一表面91a的射线130)反射回到光条90中。然而，反射器96还应与光条90间隔开，以使得其不会干涉光条90的全内反射。举例来说，反射器96可与光条90通过间隙98而分离。图IlD说明其它实施例，其中转向特征包含衍射特征137而非棱镜特征。在各种实施例中，从光条90输出的光的一实质部分的角分布得以减小或受到限制，且类似地，注入到光导面板80中的光的角分布也得以减小或受到限制。如图12A及图12B中示意性说明，对于包括平面反射器94、95、96、97的实施例，传播到光导面板80中的光的角分布由两个主瓣(lobe)104、106组成。在图12B中，瓣106从光条90大体垂直于光条的长度而传播且角分布大体得以减小或受到限制。与此对比，瓣104从光条90以距光条的长度小于90°的角度传播。此瓣104定位于距光源72较远且较接近于光条90的远端91f的一侧上。在图12A中，瓣102为图12B的瓣104、106的侧视图且大体对称。图13A及图13B说明使用逆向反射器(retroreflector)114、115替代反射器94、95的实施例。逆向反射器114、115以光在其来的方向上返回的方式反射光。举例来说，相对于光条90的顶部90d及底部90e表面而安置的逆向反射器114、115产生光瓣118，所述瓣在与光发射器72(如图13B中所展示)相同的垂直于长度的侧面上从光条以距光条的长度小于90°的角度传播。从光条90射出更对称的光分布，因此帮助平衡经引导到光导面板80中且因此到显示器元件81中的光的量。在某些实施例中，反射器116、117中的一者或一者以上还包含逆向反射器。其它配置也是可能的。图14A说明转向特征的倾斜表面部分或刻面132包含例如金属(例如，铝)的反射材料的实施例，所述反射材料防止射线130穿过倾斜表面部分132。射线130反射回到光条90中而非透射穿过光条90。或者，如图14B中所说明，波状反射器134可接近于光条90的第一侧90b而定位。波状反射器134包括具有通过非倾斜部分150b而分离的倾斜表面150a的多个突起150。反射表面134的突起150可穿透到形成光条90的转向特征91的压痕91(例如，凹槽)中。以此方式，波状反射器134的反射表面可接近于转向膜。然而，小气隙或填充有另一介质的间隙可将波状反射器134与转向膜分离。广泛多种变化是可能的。可添加、移除或重新布置膜、层、组件及/或元件。另外，可添加、移除或重新排序处理步骤。并且，尽管本文中已使用术语“膜”及“层”，但如本文中所使用的所述术语可包括膜堆叠及多层。可使用粘附剂将所述膜堆叠及多层粘附到其它结构，或可使用沉积或以其它方式将所述膜堆叠及多层形成于其它结构上。尽管已在某些优选实施例及实例的情况下揭示了本发明，但所属领域的技术人员将理解，本发明超越特定揭示的实施例而扩展到其它替代实施例及/或扩展到对本发明及其明显修改及等效物的使用。另外，尽管已展示及详细描述本发明的若干变化，但所属领域的技术人员将基于本发明而容易明了在本发明的范围内的其它修改。还预期可形成实施例的特定特征及方面的各种组合或子组合且其仍属于本发明的范围。应理解，可将所揭示的实施例的各种特征及方面彼此组合或彼此取代，以便形成所揭示的本发明的变化模式。因此，期望本文中所揭示的本发明的范围不应由上文所描述的特定揭示的实施例来限制，而应仅通过所附权利要求书的清楚阅读来确定。权利要求一种照明设备，其包含光导面板，其具有用于接收来自光源的光的第一端，所述光导面板包含支持所述光沿着所述光导面板的长度传播的材料；安置于所述光导面板的第一侧上的多个压痕，所述压痕经配置以使入射于所述第一侧上的光的至少一实质部分转向且将光的所述部分引导出所述光导面板的第二、相对侧，所述压痕具有通过全内反射而将光反射出所述光导面板的所述第二侧的倾斜侧壁；以及至少一个波状透射表面，其包含具有大体上与所述光导面板中的所述多个压痕的对应形状互补的形状的多个突出表面部分，所述至少一个波状透射表面与所述光导面板通过间隙而分离。2.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述多个压痕包含形成于所述光导面板中的多个有刻面的特征。3.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述多个压痕包含形成于所述光导面板中的多个凹槽。4.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述光导面板包含转向膜且所述多个压痕包括于所述转向膜中。5.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述倾斜侧壁包含大体上平面的表面。6.根据权利要求5所述的照明设备，其中所述倾斜侧壁经配置以使得邻近倾斜侧壁形成大体上三角形压痕。7.根据权利要求6所述的照明设备，其中所述邻近倾斜侧壁具有相对于所述光导面板的不同倾斜角度。8.根据权利要求6所述的照明设备，其中所述波状透射表面的所述多个突出表面部分包含大体上平面的倾斜侧面。9.根据权利要求8所述的照明设备，其中邻近平面倾斜侧面形成所述波状透射表面中的大体上三角形的突出表面部分。10.根据权利要求8所述的照明设备，其中所述多个压痕的邻近倾斜侧壁之间的倾斜角度大体上与所述多个突出部分的邻近倾斜侧面之间的倾斜角度相同。11.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述波状透射表面的所述突出表面部分延伸到所述多个压痕中。12.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述波状透射表面的所述突出表面部分大体上与安置于所述光导面板上的所述多个压痕对准。13.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述至少一个波状透射表面包含膜。14.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述间隙包含气隙。15.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述间隙填充有气体。16.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述间隙填充有材料，所述材料具有不同于所述光导面板及所述波状透射表面的折射率。17.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述光导面板的折射率大体上与所述波状透射表面的折射率相同。18.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述多个压痕与所述波状透射表面之间的间隙小于大约5微米。19.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述光导面板相对于多个空间光调制器而安置，以使得从所述光导面板的所述第二侧射出的光照明所述多个空间光调制器。20.根据权利要求19所述的照明设备，其中所述多个空间光调制器包含MEMS装置。21.根据权利要求19所述的照明设备，其中所述空间光调制器包含通过间隙距离而分离的第一部分透射反射器及第二可移动反射器，所述第二可移动反射器可相对于所述第一部分透射反射器移动以便更改所述间隙距离。22.根据权利要求19所述的照明设备，其中所述多个空间光调制器包含干涉式调制器阵列。23.根据权利要求1所述的照明设备，其进一步包含光条，其相对于所述光导面板而安置，其中所述光条具有用于接收来自所述光源的光的第一端，所述光条包含支持所述光沿着所述光条的长度传播的材料；转向微结构，其安置于所述光条的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光的至少一实质部分转向且将所述光的所述部分引导出所述光条的第二相对侧；以及至少一个大体上反射表面，其相对于所述光条而安置以将从所述光条逸出的光反射穿过所述光条的不同于所述第二侧的一部分回到所述光条中。24.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述转向微结构包含所述光条的所述第一侧上的膜中的有刻面的特征。25.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述转向微结构包含多个凹槽。26.根据权利要求25所述的照明设备，其中所述转向微结构包含具有大体上三角形横截面的多个三角形凹槽。27.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述转向微结构包含多个衍射特征。28.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述至少一个反射表面相对于所述光条的所述第一侧而安置以接收透射穿过所述第一侧的光。29.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述光条进一步包含第二端，且所述至少一个反射表面相对于所述光条的所述第二端而安置以接收透射穿过所述第二端的光。30.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述光条进一步包含顶侧及相对底侧，且所述至少一个反射表面相对于所述光条的所述顶侧而安置以接收透射穿过所述顶侧的光。31.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述光条进一步包含顶侧及相对底侧，且所述至少一个反射表面相对于所述光条的所述底侧而安置以接收透射穿过所述底侧的光。32.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述光条进一步包含顶侧及相对底侧，且所述至少一个反射表面包含相对于所述光条的所述第一侧、所述顶侧及所述底侧而安置以接收透射穿过所述第一侧、所述顶侧及所述底侧的光的反射表面。33.根据权利要求32所述的照明设备，其中所述光条进一步包含第二端，且所述至少一个反射表面相对于所述光条的所述第二端而安置以接收透射穿过所述第二端的光。34.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述光条进一步包含顶侧及相对底侧，且所述至少一个反射表面包含相对于所述第一侧及所述顶侧而安置的反射表面。35.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述反射表面包含反射薄片。36.根据权利要求35所述的照明设备，所述反射薄片包含金属。37.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述反射表面与所述光条通过间隙而分罔。38.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述至少一个反射表面包含逆向反射器。39.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述至少一个反射表面包含多个逆向反射ο40.根据权利要求23所述的照明设备，其中所述至少一个反射表面包含安置于所述光条上的反射膜。41.根据权利要求40所述的照明设备，所述反射膜包含金属膜或电介质多层膜。42.一种制造照明设备的方法，其包含提供光导面板，所述光导面板具有用于接收来自光源的光的第一端，所述光导面板包含支持所述光沿着所述光导面板的长度传播的材料；在所述光导面板的第一侧上安置多个压痕，所述压痕经配置以使入射于所述第一侧上的光的至少一实质部分转向且将光的所述部分引导出所述光导面板的第二、相对侧，所述压痕具有通过全内反射而将光反射出所述光导面板的所述第二侧的倾斜侧壁；以及包括至少一个波状透射表面，所述至少一个波状透射表面包含具有大体上与所述光导面板中的所述多个压痕的对应形状互补的形状的多个突出表面部分，所述至少一个波状透射表面与所述光导面板通过间隙而分离。43.一种照明设备，其包含用于导引光的装置，其具有用于接收来自用于发光的装置的光的装置，所述光导引装置包含用于支持所述光沿着所述光导引装置的长度传播的装置；用于使入射于所述光导引装置的第一侧上的光的至少一实质部分转向的装置，所述光转向装置经配置以将光的所述部分引导出所述光导引装置的第二、相对侧，所述光转向装置具有用于通过全内反射而将光反射出所述光导引装置的所述第二侧的装置；以及用于透射光的装置，其包含用于提供与所述光导引装置中的所述光转向装置的对应形状互补的形状的装置，所述光透射装置与所述光导弓I装置通过用于分离的装置而分离。44.根据权利要求43所述的照明设备，其中所述光导引装置包含光导面板。45.根据权利要求43所述的照明设备，其中所述光接收装置包含所述光导引装置的第一端。46.根据权利要求43所述的照明设备，其中所述发光装置包含光源。47.根据权利要求43所述的照明设备，其中所述光传播支持装置包含支持所述光沿着所述光导引装置的所述长度传播的材料。48.根据权利要求43所述的照明设备，其中所述光转向装置包含安置于所述光导引装置的第一侧上的多个压痕。49.根据权利要求43所述的照明设备，其中所述光反射装置包含倾斜侧壁。50.根据权利要求43所述的照明设备，其中所述光透射装置包含至少一个波状透射表51.根据权利要求43所述的照明设备，其中互补形状提供装置包含多个突出表面部分。52.根据权利要求43所述的照明设备，其中所述分离装置包含间隙。全文摘要在本文中所描述的各种实施例中，前光导面板(80)包含具有多种不同倾斜表面部分(89a、89b)的多个表面起伏特征(89)。注入到所述光导(80)的边缘中的光(170)传播穿过所述光导(80)，直到光(170)撞击所述表面起伏特征(89)中的一者为止。接着通过全内反射使所述光转向，以便将所述光引导到所述光导面板(80)后方的反射调制器阵列(81)上。所述光从所述调制器阵列(81)反射且返回透射穿过所述光导面板(80)的所述表面特征(89)。然而，视所述光入射于所述表面特征上的位置而定，所述光将由所述不同倾斜表面部分以不同角度折射。结果，从所述调制器阵列上的单一点反射的光看似源自不同位置，且呈现双重图像。为了减小所述重像，将具有相等且相对表面起伏特征(99)的共轭膜(92)安置于所述光导面板(80)的前方。从所述调制器阵列(81)反射且穿过所述光导面板上的表面起伏特征(89)的光由所述共轭膜(92)第二次折射，以使射线返回到其原始轨道。文档编号G02F1/13357GK101910893SQ200880122756公开日2010年12月8日申请日期2008年12月15日优先权日2007年12月27日发明者徐刚,罗伯特·L·霍尔曼,马特·桑普塞尔,马雷克·米恩科,鲁塞尔·韦恩·居尔克申请人:高通Mems科技公司