光波导路装置的制造方法和由该方法获得的光波导路装置的制作方法

专利名称：光波导路装置的制造方法和由该方法获得的光波导路装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及光通讯、光信息处理、其它一般光学中广泛使 用的光波导路装置的制造方法和由该方法获得的光波导路装置。
背景技术：
光波导路装置的光波导路通常是在下敷层的正面将作为 光通路的芯形成为规定的图案，以覆盖该芯的状态形成上敷层 而构成的。这样的光波导路通常形成在金属制基板等的基板正 面，与该基板一起作为光波导^各来被制造。
制造这样的光波导路的以往的制造方法如下首先，如图 4的(a)所示，在基板10的正面形成下敷层2。接着，如图4的 (b)所示，在该下敷层2的正面涂敷芯形成用的感光性树脂， 形成感光性树脂层3A。接着，隔着形成有与芯的图案相对应的 开口图案的曝光掩模M对上述感光性树脂层3A照射照射线L, 使该照射线L通过上述开口图案的开口到达上述感光性树脂层 3A，对该感光性树脂层3A的部分进行曝光。上述照射线L与上 述感光性树脂层3A垂直地对该感光性树脂层3A进行照射，利用 该照射在曝光部分进行光反应，进行固化。然后，通过使用显 影液进行显影，如图4的(c)所示，使未曝光部分溶解而将其 去除，残留的曝光部分形成规定图案的芯3。通常该芯3的截面 形状形成四边形状。之后，如图4的(d)所示，覆盖该芯3地在 上述下敷层2的正面形成上敷层4。这样，在上述基板10的正面 形成光波导路W (例如参照专利文献l )。
专利文献l:日本特开2004-341454号公报可是，在这样的以往的方法中，如图5的(a)、 (b)所示， 根据情况有时芯30的侧面31形成为粗糙面。而且，在具有这样 的芯30的光波导路中，产生在芯30内传播的光的传播损失大这 样的问题。另外，图5的(b)是根据用电子显微镜将以图5的(a) 的圆圈部C圏起来的芯30放大700倍的照片而画成的立体图。这 样，通过用电子显微镜;故大700倍，能够确认芯30的侧面31形成 为啦U造面。
因此，本发明人为了研究芯30的侧面31形成为粗糙面的原 因，进行了反复的研究。在该过程中，如图5的(a)所示，弄 清了上述芯30的侧面31的粗糙面化是在作为上述基板10[参照 图4的(a) ~ ( d)]使用由以聚对苯二曱酸乙二醇酯(PET) 为主成分的材料构成的基板(以下称为"PET制基板")l的情 况下而产生的。然后，进一步反复研究的结果可知，如图6所示， 在上述P E T制基板1中含有润滑剂1 a等的添加成分，上述芯形成 工序中曝光所使用的照射线L与该润滑剂la等的添加成分接触 而产生反射，该照射线L的前进路径被打乱。此外，还可知几 乎所有的该照射线L到达上述PET制基板1的底面(与背面对应 的面)。即，如图6所示，在上述芯形成工序中，用于曝光的照 射线L透过了芯形成用感光性树脂层3A和下敷层2后，入射到上 述PET制基板1 ，在该PET制基板1内与上述润滑剂1 a等接触而前 进路径被打乱，倾斜地到达上述PET制基板1的底面。在此，因 为上述PET制基板1的背面通常与载置PET制基板1的载置台等 的、不透过照射线L的载置面接触，所以到达上述PET制基板1 的底面的照射线L不会自上述PET制基板1的背面射出而是在 PET制基板1的底面进行反射。然后，如上所述，因为照射线L 倾斜地到达上述PET制基板1的底面，所以在该底面进行反射的 照射线L在该底面沿斜向上方向反射。之后，该反射的照射线L
4在上述P E T制基板1内接触到上述润滑剂1 a等而前进路径被进 一步打乱，自该PET制基板1的正面沿斜上方射出。而且，该沿 斜上方射出的照射线L自下方沿斜向上的方向透过上述下敷层 2，在芯形成用感光性树脂层3A内的芯形成区域S中，自斜向下 方对芯30的形成图案的边界面(成为侧面31的面)进行曝光。 该自斜向下方的曝光因为是如上所述通过由上述PET制基板1 中含有润滑剂la等而造成的漫反射而进行的，所以不均匀。因 此，判断出是因自该斜向下方进行曝光的原因而造成在芯30的
31形成为粗纟造面。即，在芯30的成为侧面31的面上，由于上述 照射线L的漫反射，曝光度的大小不同，或是未曝光部分与曝 光部分产生混杂。然后，在后面的显影工序中，上述芯30的成 为侧面31的面的、曝光度小的部分、未曝光的部分一皮溶解而3皮 去除，曝光度大的部分、曝光部分残留下来。因此，芯30的侧 面31形成相j造面。

发明内容
本发明是鉴于这样的事情而做成的，其目的在于提供一种 即使在PET制基板的正面形成光波导路，也能抑制该光波导路 的芯侧面的粗糙面化的光波导路装置的制造方法和由该方法获 得的光波导路装置。
为了达到上述目的，作为本发明的第l技术方案的光波导 路装置的制造方法包括在由以聚对苯二曱酸乙二醇酯为主成 分的材料构成的基板的正面形成下敷层的工序；在该下敷层的 正面形成芯形成用感光性树脂层的工序；对该感光性树脂层照 射照射线，曝光成规定的图案，将该曝光部分形成芯的工序， 其中，在上述芯形成工序中，对上述感光性树脂层照射的照射线是透过该感光性树脂层经过上述基板的正面到达底面、并在
此进行反射的照射线，上述基板是下述(A)和(B)中的任一 种基板
(A) 在背面形成有吸收上述照射线的颜色的着色层的带 有着色层的基板；
(B) 整体以吸收上述照射线的颜色着色的着色基板。 此外，作为本发明的第2技术方案的光波导路装置是由上
述光波导路装置的制造方法获得的光波导路装置，其中，该光 波导路装置中的、由以聚对苯二曱酸乙二醇酯为主成分的材料 构成的基板是上述(A)和(B)中的任一种基板。
另外，在本发明中，主成分的意思是指占整体一半以上的 成分，也包括整体4义由主成分构成的情况。
为了即使在PET制基板[由以聚对苯二曱酸乙二醇酯(PET) 为主成分的材料构成的基板]的正面形成光波导路，也能使该光 波导路的芯侧面不会粗糙面化，本发明人对使自上述PET制基 板侧到达芯形成用感光性树脂层的照射线大幅度减少的方法进 行了反复地研究。在该研究过程中，着眼于用作上述照射线的 紫外线等被着色物吸收和几乎所有上述照射线到达上述PET制 基板的底面并在此进行反射进一步反复进行了研究。其结果发 现，在上述PET制基板是上述(A)和(B)中的任一种基板时， 上述照射线被上述(A)的带有着色层的基板的着色层、(B) 的着色基板本身吸收，从而抑制芯侧面的粗糙面化，完成了本 发明。
在本发明的光波导路装置的制造方法中，在形成光波导路 的PET制基板是上述(A)的带有着色层的基板(带有着色层的 P E T制基板)的情况下，在该带有着色层的P E T制基板的正面(未 形成有着色层一侧的面)经过形成下敷层、形成芯形成用感光性树脂层后，对该感光性树脂层照射照射线，曝光成规定图案， 将该曝光部分形成芯。在该芯形成工序中，透过了芯形成用感
光性树脂层和下敷层的照射线入射到上述带有着色层的PET制 基板的PET制基板部分内，接触到在该PET制基板部分的内部所 含有的润滑剂等而打乱了前进路径，但几乎所有的照射线到达 上述PET制基板部分的底面。在此，因为在上述PET制基板部分 的背面形成有吸收照射线的颜色的着色层，所以几乎所有到达 上述P E T制基板部分的底面的照射线被上述着色层吸收，在上 述PET制基板部分的底面进行反射的照射线几乎不存在。因此， 能够大幅度地减少在上述PET制基板部分的底面进行反射，并 自下方沿斜向上的方向透过下敷层而到达芯形成用感光性树脂 层的照射线。其结果，在芯形成用感光性树脂层内，几乎不存 在自斜下方对芯的成为侧面的面进行曝光而^f吏该面成为粗糙面 的照射线，能够有效地抑制芯侧面的粗纟造面化。
另 一方面，在形成光波导路的PET制基板是上述(B )的着 色基板(着色PET制基板)的情况下，在该芯形成工序中，几 乎所有的入射到上述着色PET制基板内的照射线在上述着色 PET制基板内被吸收。由此，能够大幅度地减少在上述着色PET 制基板的底面进行反射，并自下方沿斜向上的方向透过下敷层 而到达芯形成用感光性树脂层的照射线。其结果，在芯形成用 感光性树脂层内，几乎不存在自斜下方对芯的成为侧面的面进 行曝光而使该面成为粗糙面的照射线，能够有效地抑制芯侧面 的粗糙面化。而且，在形成光波导路的PET制基板是上述(B ) 的着色PET制基板的情况下，如上所述，因为该着色PET制基板 本身吸收照射线，几乎不存在进行反射的照射线，因此，具有 无需设置照射线吸收用的新的层，光波导路装置整体的厚度不 会变厚这样的优点。而且，因为本发明的光波导路制造是由上述制造方法而获 得的，所以能够有效地抑制芯侧面的粗糙面化，由此，能够减 小在芯内进行传播的光的传播损失。
特别是在吸收上述照射线的颜色是黑色的情况下，由于照 射线的吸收性优异，所以能够更加有效地抑制芯侧面的粗糙面 化。因此，在所获得的光波导路装置中，能够进一步减小在芯 内进行传播的光的传播损失。


图l的(a)是示意性地表示由本发明的光波导路装置的制 造方法的第l实施方式所获得的光波导路装置的剖视图，(b)是 根据以(a)的圆圈部C圏起来的芯的电子显微镜照片而画成的图。
图2的(a) ~ ( d)是示意性地表示本发明的光波导路装置 的制造方法的第l实施方式的说明图。
图3是示意性地表示本发明的光波导路装置的制造方法的 第2实施方式中的、对芯形成用感光性树脂层照射照射线的工序 的说明图。
图4的(a) ~ ( d)是示意性地表示以往的光波导路装置的 制造方法的说明图。
图5的(a)是示意性地表示上述以往的光波导路装置的制 造方法的芯形成的剖视图，(b)是根据以(a)的圆圏部C圈起 来的芯的电子显微镜照片而画成的图。
图6是示意性地表示上述以往的光波导路装置的制造方法 中的芯形成工序中的状况的说明图。
具体实施方式
图l的(a)表示由本发明的光波导路装置的制造方法的第1 实施方式所获得的光波导路装置。该光波导路装置在带有着色 层的PET制基板A的正面形成有光波导路W,该带有着色层的 PET制基板A由PET制基板1部分和在该PET制基板1部分的背面 形成的、吸收照射线的颜色的着色层5构成。该光波导路W具有 形成在上述带有着色层的PET制基板A的正面的下敷层2，如下 那样地制造而成。即，在上述下敷层2的正面形成感光性树脂层 3A[参照图2的(b)]后，对该感光性树脂层3A照射照射线L， 曝光成规定图案，形成芯3，而且，在该芯3上层叠形成上敷层4 而进行制造。在此，吸收上述照射线的颜色的着色层5起到吸收 对上述感光性树脂层3A所照射的照射线L的作用。另外，图l 的(b )是根据用电子显微镜将以图l的(a)的圓圏部C圈起来 的芯3放大700倍的照片而画成的立体图。详细地说明该实施方式的光波导路装置的制造方法。首先，准备上述PET制基板1[参照图2的(a)]。该PET制 基板l是无色透明的，通常使用市场贩卖品。市场上贩卖的PET 制基板1在该制造过程中无论如何都会含有润滑剂1 a等的添加 成分。另夕卜，作为上述PET制基板l,例如使用厚度为20nm lmm的范围内的基氺反。然后，如上所述，在上述PET制基板1的一面(背面)的规 定区域形成着色层5,该着色层5具有吸收在后面的芯3形成工序 [参照图2的(b) ~ ( c)]中曝光芯3形成用感光性树脂层3A时 所使用的紫外线等照射线L的颜色。由此，形成由上述PET制基 板l部分和上述着色层5构成的带有着色层的PET制基板A。在 此，作为吸收上述照射线L的颜色，例如列举有黑色、红色、 蓝色、绿色、黄色等。其中，从照射线L的吸收性优异的方面且，作为上述着色层5的形 成方法，例如列举有涂敷上述颜色的墨或涂料等的方法、进行黑化处理的方法等。上述着色层5的厚度通常设定为1 ~ 100nm 的范围内，优选为50 ~ 75nm的范围内。接着，如图2的(a)所示，在上述PET制基板1部分的另一 侧的面(正面)的规定区域涂敷在溶剂中溶解有下敷层2形成用 感光性树脂而成的清漆，形成该涂敷层2a。作为上述感光性树 脂，例如可以列举出感光环氧树脂等。涂Jt上述清漆的方法， 例如可采用旋涂法、浸渍法、浇铸法、注射法、喷墨法等。然 后，根据需要，对上述涂敷层2a进行50 ~ 120°C><10 ~ 30分钟的 加热处理，使其干燥。这样，形成下敷层2形成用感光性树脂层 2A。接着，用照射线对该感光性树脂层2A进行曝光。作为上述 曝光用的照射线例如可采用可见光、紫外线、红外线、X射线、 a射线、卩射线、Y射线等。最好采用紫外线(波长250 400nm)。 采用紫外线时，通过照射较大的能量能够获得较快的固化速度， 而且照射装置也小型且便宜，能够降低生产成本。作为紫外线 光源例如可以采用低压水银灯、高压水银灯、超高压水银灯等。 紫外线照射量通常被设定在10 ~ 10000mJ/cm2 , 优选50 ~ 3000mJ/cm2。在上述曝光后，为了结束光反应而进行加热处理。该加热 处理通常在80~ 250°C、优选在IOO ~ 200°C , 10秒 2小时、优 选在5分钟~ l小时的范围内进行。这样，如图2的(a)所示， 使上述感光性树脂层2A形成为下敷层2。下敷层2的厚度通常设 定在l ~ 50fim的范围内，优选设定在5 ~ 30nm的范围内。接着，如图2的(b)所示，在上述下敷层2的正面形成芯3[参 照图2的(c)]形成用感光性树脂层3A。该感光性树脂层3A的形成与在图2的(a)中说明的下敷层2形成用感光性树脂层2A 的形成方法相同地进行。另外，该芯3的形成材料采用折射率大 于上述下敷层2和后述上敷层4[参照图2的(d)]的形成材料的 折射率的材料。通过对上述下敷层2、芯3、上敷层4的各形成材 料种类进行选择、对该各形成材料的组成比例进行调整，可以 调整该折射率。之后，在上述芯3形成用感光性树脂层3A的上方配置曝光 掩模M,该曝光掩模M形成有与芯3对应的开口图案。隔着该曝 光掩模M,用照射线L对上述感光性树脂层3A的与上述开口图 案对应的部分进行曝光。该曝光与上述的下敷层2形成工序相同 地进行。在上述曝光中，上述照射线L相对于上述感光性树脂 层3A垂直地对其进行照射，在通过该照射而曝光的部分上进行 光反应并使其固化。该照射线L透过上述感光性树脂层3A和上 述下敷层2后，入射到上述PET制基板1部分内。在该PET制基板 l部分的内部，上述照射线L接触到在该PET制基板1部分中所含 有的润滑剂1 a等而前进路径被打乱，但几乎所有的照射线L到 达上述PET制基板1部分的底面。在此，因为上述PET制基板1 部分的背面形成有吸收照射线L的颜色的着色层5 ，所以几乎所 有的到达上述PET制基板l部分的底面的照射线L被上述着色层 5吸收，在上述PET制基板1部分的底面进行反射的照射线L几乎 不存在。由此，在PET制基板1部分的底面进行反射并自下方沿 斜向上方向透过下敷层2的照射线L大幅度地减少。其结果，在 芯3形成用感光性树脂层3A内，几乎不存在由漫反射而对芯3的 成为侧面的面进行曝光的照射线L ，能够抑制芯3的侧面的粗糙 面化。上述曝光后，与上述的下敷层2形成工序相同地进行加热处 理。接着，用显影液进行显影，如图2的(c)所示，使上述感ii光性树脂层3A中的未曝光部分溶解而将其去除，将残留在下敷 层2上的感光性树脂层3A形成为芯3的图案。上述显影，例如可 采用浸渍法、喷射法、搅拌法等。另外，作为显影液例如可采 用有机溶剂、含有碱性水溶液的有机溶剂等。这样，根据感光 性树脂组合物的成分适当选择显影液和显影条件。在上述显影后，通过加热处理去除残留在形成为芯3的图案 的感光性树脂层3A的正面等上的显影液。该加热处理通常是在 80~ 120°CxlO~ 30分钟的范围内进行。这样，将形成为上述芯3 的图案的感光性树脂层3A形成为芯3 。该芯3的侧面如上所述地 被抑制粗糙面化。此外，上述芯3的厚度通常设定在5 ~ 150|im 的范围内，优选5~ 100[xm的范围内。此外，芯3的宽度通常设 定在5 ~ 150i!m的范围内，优选5 ~ lOOiim的范围内。接着，如图2的(d)所示，在上述下敷层2的正面覆盖芯3 地形成上敷层4形成用感光性树脂层4A。该感光性树脂层4A的 形成与在图2的(a)中说明的下敷层2形成用感光性树脂层2A 的形成方法相同地进行。之后，也与下敷层2的形成工序相同地 进行曝光，加热处理等，将上述感光性树脂层4A形成为上敷层 4。上敷层4的厚度(自芯3的正面起的厚度)通常设定在5 lOOiam的范围内，优选IO ~ 80(im的范围内。这样，获得在带有着色层的PET制基板A的正面形成有由上 述下敷层2、芯3和上敷层4构成的光波导路W的光波导路装置。 在该光波导路装置的光波导路W中，因为芯3的侧面的粗糙面化 被抑制，所以能够减小光的传播损失，进行良好的光传播。图3表示本发明的光波导路装置的制造方法的第2实施方式 中的、对芯3形成用感光性树脂层3A照射照射线的工序。在该 实施方式中，作为PET制基板，采用其自身以吸收照射线L的颜 色被着色、成为有色透明的着色PET制基板B。该着色PET制基有润滑剂la等的添加成分。除 此之外的部分与上述第l实施方式相同，相同的部分标注相同的 附图标记。在该实施方式中，因为着色PET制基板B为照射线L的颜色， 所以吸收相对于上述感光性树脂层3A垂直地对其进行照射，透 过上述感光性树脂层3A和上述下敷层2，入射到上述着色PET 制基板B内的照射线L在上述着色PET制基板B内几乎都被吸 收。由此，在该着色PET制基板B的底面进行反射并自下方沿斜 向上方向透过下敷层2的照射线L大幅度地减少。其结果，在芯 3形成用感光性树脂层3A内，几乎不存在由漫反射而对芯3的成 为侧面的面进行曝光的照射线L,能够抑制芯3的侧面的粗糙面 化。另外，在上述各实施方式中，光波导路W以形成在带有着 色层的PET制基板A、着色PET制基板B的正面的状态或自上述 带有着色层的PET制基板A、着色PET制基板B剥离而使用。此外，在上述各实施方式中，形成了上敷层4，但也可以根 据情况而不形成上敷层4。接着，与比较例一起说明实施例。但是，本发明并不限定 于实施例。实施例1带有着色层的PET制基板准备无色透明的PET制基板(TORAY公司制、T60型、产 品编号188、厚度188jim)。然后，用油性标记笔(marking pen ) 在其一面(背面)上涂敷黑色的乙醇系墨，形成了厚度为50nm 的着色层。下敷层和上敷层的形成材料 通过将下述通式(1 )所示的双苯氧乙醇芴基缩水甘油醚(成.脂即3' ， 4'-环氧环己基甲 基3 , 4-环氧己烯羧酸酯(大赛璐化学工业公司制造， CELLOXIDE2021P )(成分B ): 40重量份、(3' ,4'-环氧环 己烷)甲基3' ，4'-环氧环己基羧酸酯(大赛璐化学工业公司 制造，CELLOXIDE2081 )(成分C): 25重量^f分、禾口4， 4'画7又[二 ((3羟基乙氧基)苯基亚硫酸基]苯基硫酸-双-六氟锑酸盐的 50%碳酸丙二酯溶液(成分D ): 2重量份混合，调制成下敷层和 上敷层的形成材料。
化1
O I Ri
CH2 _(OCHCH2)n —0
R6
I O O—(CH2 CHO)n—CH2"^
…(1)
(式中，R1 R6全部是氢原子，n=l ) 芯的形成材料
将70重量份的上述成分A、 30重量份的1， 3, 3-三{4-[2-(3-氧杂环丁烷)]丁氧基苯基}丁烷、和1重量份的上述成分D，溶 解到28重量份的乳酸乙烷中，调制成芯的形成材料。
光波导路装置的制造
利用旋转涂敷器在上述带有着色层的PET制基板的正面 (未形成有着色层一侧的面)涂敷上述下敷层的形成材料，形 成了膜厚为20nm的涂敷层。之后，由超高压水银灯对该涂敷层 的整个面照射紫外线，进行了累积光量为1000mJ/cm2( i线基准) 的曝光。接下来，放置在12(TC的加热板上10分钟，使反应结束。 这样，形成了下敷层。
接着，利用旋转涂敷器在上述下敷层的正面涂敷上述芯的形成材料之后，通过放置在70°C的加热板上5分钟，使溶剂挥发， 形成了芯形成用感光性树脂层。接着，隔着形成有规定的开口 图案(开口宽度50jim、相邻的开口与开口之间的间隙为200pm) 的玻璃掩模由超高压水银灯照射紫外线，以累积光量为 2000mJ/cm2 ( i线基准)对感光性树脂层进行曝光。然后，放置 在120。C的加热板上10分钟，使反应结束。接着，利用喷射显影 机使用90重量％的7- 丁内酯显影液进行显影，形成了芯(高度 50,)。
然后，利用旋转涂敷器在上述下敷层的正面覆盖上述芯地 涂敷了上述上敷层的形成材料。之后，与上述下敷层的形成方 法相同地形成了上敷层。这样，制造了光波导路装置(总厚 100(im )。
实施例2
通过在黑色透明的着色PET制基板(三菱树脂公司制、 Z608E型、产品编号07-17MB、厚度25pm)的正面与上述实施 例l相同地直接形成下敷层、芯和上敷层，制造了光波导路装置。
比4交例1
通过在与上述实施例l相同的无色透明的PET制基板的背 面不形成着色层，而是在该无色透明的PET制基板的正面与上 述实施例l相同地直接形成下敷层、芯和上敷层，制造了光波导 路装置。
芯侧面的^1M介
利用扫描型电子显微镜对上述实施例1 、 2和比较例1的光波 导路装置的芯的侧面进行了确认。其结果，比较例l的芯的侧面 形成为粗4造面， <旦实施例1 、 2的芯的侧面与比4交例1相比平坦得多。
光传播损失的测量使用冲切机(DISCO公司制、DAD522 )切断上述实施例1、 2和比较例1的光波导路装置，使芯的端面露出。此外，将上述 光波导路装置切断成10cm的长度，对光传播损失进行了测量。 其结果，实施例1的光波导路装置的光传播损失为1.96dB/10cm, 实施例2的光波导路装置的光传播损失为1.57dB/10cm,比较例1 的光波导路装置的光传播损失为3.80dB/10cm。
由上述结果可知，在实施例l、 2中，因为与比较例l相比 较芯侧面的粗4造面化被抑制，所以在实施例l、 2中，在带有着 色层的PET制基板、着色PET制基板几乎不发生漫反射。这是因 为，用于芯形成工序的紫外线几乎都被实施例l中的着色层、实 施例2中的着色PET制基板吸收。
权利要求
1.一种光波导路装置的制造方法，包括在由以聚对苯二甲酸乙二醇酯为主成分的材料构成的基板的正面形成下敷层的工序；在该下敷层的正面形成芯形成用感光性树脂层的工序；对该感光性树脂层照射照射线，曝光成规定的图案，将该曝光部分形成芯的工序，其特征在于，在上述芯形成工序中，对上述感光性树脂层照射的照射线是透过该感光性树脂层经过上述基板的正面到达底面、并在此进行反射的照射线，上述基板是下述(A)和(B)中的任一种基板(A)在背面形成有吸收上述照射线的颜色的着色层的带有着色层的基板；(B)整体以吸收上述照射线的颜色着色的着色基板。
2. 根据权利要求l所述的光波导路装置的制造方法，吸收 上述照射线的颜色是黑色。
3. 根据权利要求1或2所述的光波导路装置的制造方法，上 述照射线是紫外线。
4. 一种光波导路装置，是由上述权利要求l所述的光波导 路装置的制造方法获得的光波导路装置，其特征在于，包括 由以聚对苯二甲酸乙二醇酯为主成分的材料构成的基板；在该 基板的正面形成的、具有下敷层和芯的光波导路，上述芯由利 用照射线对芯形成用感光性树脂层进行了曝光的部分构成，上 述基板是下述(A)和(B)中的任一种基板(A) 在背面形成有吸收上述照射线的颜色的着色层的带有着色层的基板；(B) 整体以吸收上述照射线的颜色着色的着色基板。
5. 根据权利要求4所述的光波导路装置，吸收上述照射线 的颜色是黑色。
全文摘要
本发明提供一种即使在PET制基板的正面形成光波导路，也能抑制该光波导路的芯侧面的粗糙面化的光波导路装置的制造方法和由该方法获得的光波导路装置。在由PET制基板部分和形成在该PET制基板部分的背面、吸收照射线的颜色的着色层构成的带有着色层的PET制基板的正面经过形成下敷层、形成芯形成用感光性树脂层后，对该感光性树脂层照射照射线，曝光成规定图案，将该曝光部分形成芯。在该芯形成工序中，照射线到达PET制基板部分的底面时，几乎都被该着色层吸收，几乎不存在在PET制基板部分的底面进行反射的照射线。由此能大幅度减少在PET制基板部分进行漫反射而到达感光性树脂层的照射线，能有效地抑制芯侧面的粗糙面化。
文档编号G02B6/13GK101676753SQ20091017186
公开日2010年3月24日 申请日期2009年9月11日 优先权日2008年9月18日
发明者清水裕介, 疋田贵巳, 藤泽润一 申请人:日东电工株式会社