偏振膜的贴合装置及具有该贴合装置的液晶显示装置的制造系统的制作方法

专利名称：偏振膜的贴合装置及具有该贴合装置的液晶显示装置的制造系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种偏振膜的贴合装置及具有该贴合装置的液晶显示装置的制造系统。
背景技术：
以往，液晶显示装置被广泛制造。在液晶显示装置所使用的基板(液晶面板)上，通常贴合偏振膜，以对光的透过或遮断进行控制。偏振膜被贴合成其吸收轴正交。作为在基板上贴合偏振膜的方法，例举有在将偏振膜切割成适于基板的尺寸后进行贴合的所谓芯片对面板方式(chip to panel方式)。但是，在这种方式中，由于将偏振膜一片一片贴合在基板上，因此有生产率低的缺点。另一方面，作为其它方式，例举有将偏振膜供给到传送辊筒、连续将其贴合在基板上的所谓辊对面板方式(roll to panel方式)。若 采用该方法，能以较高的生产率进行贴合。作为辊对面板方式的例子，专利文献I公开了一种光学显示装置的制造系统。所述制造系统是，在将光学薄膜(偏振膜)贴合在基板上表面后，使基板回旋，从下表面贴合偏振膜。专利文献I :日本专利第4307510号公报(2009年8月5日发行)

发明内容
发明所要解决的课题但是，在上述以往的装置中，有如下问题。首先，在将偏振膜贴合在基板上时，为了避免尘埃等异物混入贴合面，通常在洁净室进行作业。并且，在洁净室中对空气进行整流。在用下降流对基板进行整流的状态下进行偏振膜的贴合，对于抑制异物所产生的成品率下降来说是必须的。关于这一点，专利文献I的制造系统的结构是，对基板从上表面及下表面贴合偏振膜。但是，在从偏振膜的上表面进行贴合时，气流(下降流)受偏振膜妨碍，有使得对基板的整流环境恶化这样的缺点。作为从偏振膜的上表面进行贴合的例子，图10 (A)及图10(B)表示上贴型制造系统中的气流的速度矢量。图10中的区域A是设置将偏振膜卷出的卷出部等的区域，区域B是主要通过偏振膜的区域，以及区域C是设置将从偏振膜上去除后的剥离膜予以卷取的卷取部等的区域。另外，从HEPA (高效微粒空气)过滤器40供给洁净空气。另外，在图10 (A)中，由于设置有可通过洁净空气的格栅41,故气流可通过格栅41向垂直方向移动。另一方面，在图10 (B)中，由于未设有格栅41，故在气流与图10 (B)最下部的地面接触后就沿地面移动。对于图10 (A)、(B)，区域A C配置在2F (2层)部分，来自HEPA过滤器40的洁净空气受偏振膜妨碍。因此，对于通过2F部分的基板难以产生向垂直方向的气流。相反，水平方向的气流矢量成为大(矢量的密度浓)状态。即，可以说是整流环境恶化的状态。本发明是鉴于上述以往的问题而做成的，其目的在于提供一种不会妨碍整流环境的偏振膜的贴合装置以及具有它的液晶显示装置的制造系统。用于解决课题的手段为实现上述目的，技术方案I所记载的本发明(第I发明)的偏振膜的贴合装置包括将长方形的基板以长边或短边沿输送方向的状态进行输送的第一基板输送机构；在所述第一基板输送机构中的所述基板的下表面贴合偏振膜的第一贴合部；使由所述第一基板输送机构输送的所述基板翻转并配置在第二基板输送机构上的翻转机构；将所述基板以短边或长边沿输送方向的状态进行输送的第二基板输送机构；以及在所述第二基板输送机构中的所述基板的下表面贴合偏振膜的第二贴合部，该偏振膜的贴合装置的特点是，所述第一基板输送机构和第二基板输送机构配置为朝向同一方向，所述翻转机构具有吸附所述基板的吸附部、以及与所述吸附部连接并使基板翻转的基板翻转部，所述基板翻转部将第一 基板输送机构中的基板配置在第二基板输送机构上，(I)使其遵循曲线、(2)使其翻转、(3)使沿着第一基板输送机构输送方向的长边或短边沿与输送方向正交的方向。采用上述的第I发明，能利用第一贴合部将偏振膜贴合在基板的下表面上，利用翻转机构使第一基板输送机构中的基板翻转、并以使沿着第一基板输送机构输送方向的长边或短边沿与输送方向正交的方向的状态将其配置在第一基板输送机构上，然后，能利用第二贴合部将偏振膜贴合在基板的下表面上。即，对于基板的两面，由于能从下表面贴合偏振膜，故不会妨碍整流环境。另外，由于翻转机构的动作是一个动作，故生产间隔时间短。因此，还能实现生产间隔时间短的贴合。此外，所述第一基板输送机构和第二基板输送机构向同一方向配置。即，不具有L字形等的复杂构造。因此，本发明的贴合装置的设置非常简便，面积效率优良。技术方案2所记载的本发明(第2发明)的偏振膜的贴合装置包括第一基板输送机构，该第一基板输送机构将长方形的基板以长边或短边沿输送方向的状态进行输送；第一贴合部，该第一贴合部将偏振膜贴合在所述第一基板输送机构中的所述基板的下表面上；基板支承装置，该基板支承装置具有对由所述第一基板输送机构输送的所述基板进行支承的基板支承部;翻转机构，该翻转机构与所述基板支承部连接并具有使由该基板支承部支承的基板翻转而配置的基板翻转部；第二基板输送机构，该第二基板输送机构对由所述翻转机构翻转且以短边或长边沿输送方向的状态配置的所述基板进行输送；以及第二贴合部，该第二贴合部将偏振膜贴合在所述第二基板输送机构中的所述基板的下表面上，该偏振膜贴合装置的特点是，所述第一基板输送机构和第二基板输送机构配置为朝向同一方向，所述翻转机构构成为，为了使所述基板的表面翻转为背面，使基板翻转部绕翻转的翻转轴及配置变更轴在一定角度范围内旋转，而配置变更轴从所述第一基板输送机构中输送的所述基板的配置方向至所述第二基板输送机构中输送的所述基板的配置方向利用配置变更部进行变更，由此，使所述第一基板输送机构中输送的所述基板遵循圆弧轨迹翻转，并沿着所述第二基板输送机构中的基板的输送方向变更配置而配置在所述第二基板输送机构上。技术方案3记载的本发明(第3发明)的偏振膜的贴合装置是，在第2发明中，所述翻转机构构成为，所述基板翻转部与翻转轴部连接，并由旋转驱动源分别旋转驱动，而翻转轴部具有可旋转地配设在所述配置变更部上的所述翻转轴。技术方案4记载的本发明(第4发明)的偏振膜的贴合装置是，在第2发明中，所述翻转机构构成为，所述配置变更部可相对旋转地配设在所述基板翻转部上，并由旋转驱动源分别旋转驱动，而所述基板翻转部与具有所述翻转轴的翻转轴部连接。技术方案5记载的本发明(第5发明)的偏振膜的贴合装置是，在第2发明至第4发明的任一发明中， 所述基板支承装置的所述基板支承部，由对所述第一基板输送机构输送的所述基板的两面进行夹持支承的多个支承构件构成。技术方案6记载的本发明(第6发明)的偏振膜的贴合装置是，在第2发明至第4发明中的任一发明中，所述基板支承装置的所述基板支承部，由具有对所述第一基板输送机构输送的所述基板的表面进行吸附的吸附部的吸附构件构成。技术方案7记载的本发明(第7发明)的偏振膜的贴合装置是，在第3发明或第4发明中，所述基板支承装置构成为，配设在与进行所述基板翻转动作的基板翻转部连接的构件上，利用进入所述第一基板输送机构及第二基板输送机构的端部的第一支承构件和第二支承构件的相对移动，而将所述第一基板输送机构输送的所述基板夹持支承在所述第一支承构件与第二支承构件之间，并且，利用所述第一支承构件和第二支承构件的相对移动，而将夹持支承在由所述基板翻转部翻转后的所述第一支承构件与第二支承构件之间的所述基板的夹持支承解除，并将其载放在所述第二基板输送机构的端部上。技术方案8记载的本发明(第8发明)的偏振膜的贴合装置是，在第3发明或第4发明中，所述第一基板输送机构的端部在宽度方向分割成多个部分，在相邻的部分之间形成有多个间隙，构成所述第一及第二支承构件的第一及第二梳状构件的多个突出部进入所述多个间隙，并且，所述第二基板输送机构的端部在输送方向分割成多个部分，在相邻的部分之间形成有多个间隙，构成翻转后的所述第一及第二支承构件的所述第一及第二梳状构件的多个突出部进入所述多个间隙。技术方案9记载的本发明(第9发明)的偏振膜的贴合装置是，在第8发明中，构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的第一及第二梳状构件构成为，以局部为支点在一定角度范围内进行摆动。技术方案10记载的本发明(第10发明)的偏振膜的贴合装置是，在第9发明中，构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件构成为，由摆动驱动机构摆动驱动。技术方案11记载的本发明(第11发明)的偏振膜的贴合装置是，在第10发明中，
所述摆动驱动机构包括对构成所述第一支承构件的具有多个突出部的所述第一梳状构件进行摆动驱动的第一摆动驱动机构；以及对构成所述第二支承构件的具有多个突出部的所述第二梳状构件进行摆动驱动的第二摆动驱动机构。技术方案12记载的本发明(第12发明)的偏振膜的贴合装置是，在第8发明中，构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件构成为可往复移动，以在一方向相对地接近或离开而使相对间隔产生变化。技术方案13记载的本发明(第13发明)的偏振膜的贴合装置是，在第12发明中，构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件，由直线驱动机构驱动，作往复移动。
另外，在技术方案14记载的本发明(第14发明)的偏振膜的贴合装置中，较佳的是，所述第一基板输送机构及第二基板输送机构配置在一直线上，在第一基板输送机构的第二基板输送机构侧的端部，沿相对于第一基板输送机构的输送方向为水平的两方向具有各两对的基板载放部及所述翻转机构，在所述端部上具有将基板从所述端部向所述基板载放部进行输送的输送构件，所述翻转机构使分别输送到所述基板载放部的基板翻转并配置在第二基板输送机构上。采用上述结构，由于具有两个翻转机构，因此每单位时间能进行两倍的基板处理。由此，由于每单位时间能翻转更多的基板，故生产间隔时间缩短。此外，由于第一基板输送机构及第二基板输送机构配置在一直线上，故能提供面积效率更优良的构造的贴合装置。另外，在技术方案15记载的本发明(第15发明)的偏振膜的贴合装置中，较佳的是，具有输送偏振膜的第一薄膜输送机构及第二薄膜输送机构，所述第一薄膜输送机构具有将由剥离膜保护的偏振膜予以卷出的多个卷出部；将偏振膜切断的切断部；将从偏振膜上去除剥离膜的去除部；以及将所去除的所述剥离膜予以卷取的多个卷取部，所述第二薄膜输送机构具有将由剥离膜保护的偏振膜予以卷出的多个卷出部；将偏振膜切断的切断部；将从偏振膜上去除剥离膜的去除部；以及将所去除的所述剥离膜予以卷取的多个卷取部，所述第一基板输送机构及第二基板输送机构设在所述第一薄膜输送机构及第二薄膜输送机构的上部，将去除所述剥离膜后的偏振膜贴合在基板上的所述第一贴合部设在所述第一薄膜输送机构与第一基板输送机构之间，将去除所述剥离膜后的偏振膜贴合在基板上的所述第二贴合部设在所述第二薄膜输送机构与第二基板输送机构之间。由此，由于具有多个卷出部及卷取部，故在一方的卷出部中偏振膜的卷筒状基片(日文原反)剩余量变少时，可使该卷筒状基片连接设在另一方卷出部上的卷筒状基片。其结果，不会使偏振膜的卷出停止，能持续进行作业，提高生产率。另外，在技术方案16记载的本发明(第16发明)的偏振膜的贴合装置中，较佳的是，具有在利用所述第一贴合部将偏振膜贴合在基板的下表面上之前对基板进行清洗的清洗部，所述第一基板输送机构以基板的短边沿输送方向的状态输送基板。由此，能以基板的长边与基板的输送方向正交的状态由清洗部对基板进行清洗。即，由于能减小基板沿输送方向的距离，故能进一步缩短清洗所需的生产间隔时间。其结果，能提供生产率更优良的偏振膜的贴合装置。另外，在技术方案17记载的本发明(第17发明)的偏振膜的贴合装置中，较佳的是，所述第一薄膜输送机构及所述第二薄膜输送机构具有对在从第一卷出部卷出的偏振膜上带有的缺陷显示进行检测的缺陷检测部；对所述缺陷显示进行判别、使所述基板停止输送的贴合避免部；以及将避免了与基板贴合的偏振膜予以回收的回收部。采用所述缺陷检测部、贴合避免部及回收部，由于能避免具有缺陷的偏光避免与基板贴合，因此能提闻成品率。技术方案18记载的本发明(第18发明)的液晶显示装置的制造系统，具有所述偏振膜的贴合装置；以及对由所述第二贴合部贴合偏振膜后的基板的贴偏进行检查的贴偏检查装置。由此，能对贴合有偏振膜的基板上产生的贴偏进行检查。另外，在技术方案19记载的本发明(第19发明)的液晶显示装置的制造系统中，较佳的是，具有分类输送装置，该分类输送装置根据所述贴偏检查装置的检查结果来判定有无贴偏、并根据该判定结果而对贴合有偏振膜的基板进行分类。 由此，当贴合有偏振膜的基板产生贴偏时，能迅速将不良品进行分类，能缩短生产间隔时间。另外，在技术方案20记载的本发明(第20发明)的液晶显示装置的制造系统中，较佳的是，具有偏振膜的贴合装置；以及对所述贴合装置中由第二贴合部贴合偏振膜后的基板上的异物进行检查的贴合异物自动检查装置。由此，能对贴合有偏振膜的基板上所混入的异物进行检查。另外，在技术方案21记载的本发明(第21发明)的液晶显示装置的制造系统中，较佳的是，具有分类输送装置，该分类输送装置根据所述贴合异物自动检查装置的检查结果来判定有无异物、并根据该判定结果而对贴合有偏振膜的基板进行分类。由此，当贴合有偏振膜的基板上混入有异物时，能迅速将不良品进行分类，能缩短生产间隔时间。另外，在技术方案22记载的本发明(第22发明)的液晶显示装置的制造系统中，较佳的是，具有对由所述第二贴合部贴合偏振膜后的基板上的异物进行检查的贴合异物自动检查装置，并具有分类输送装置，该分类输送装置根据所述贴偏检查装置的检查结果以及所述贴合异物检查装置的检查结果来判定有无贴偏和异物、并根据该判定结果而将贴合有偏振膜的基板进行分类。由此，当贴合有偏振膜的基板产生贴偏或混入异物时，能迅速将不良品进行分类，缩短生产间隔时间。发明的效果本第I发明的偏振膜的贴合装置如上所述,所述第一基板输送机构和第二基板输送机构向同一方向配置，所述翻转机构具有吸附所述基板的吸附部；以及与所述吸附部连接、使基板翻转的基板翻转部，所述基板翻转部使第一基板输送机构中的基板(I)遵循曲线、(2)翻转、(3)并沿着第一基板输送机构输送方向的长边或短边沿与输送方向正交的方向地配置在第二基板输送机构上。因此，能通过所述翻转机构以一个动作使基板称为翻转和长边及短边相对于输送方向被变更的状态。由此，能从下表面将偏振膜贴合在基板的两面上，故不会妨碍整流环境。另外，翻转机构的动作只是一个动作，故生产间隔时间短。因此，还能实现生产间隔时间短的贴合。此外，所述第一基板输送机构和第二基板输送机构配置为朝向同一方向配置。即，没有L字形等的复杂的构造，因此，本第I发明的贴合装置的设置非常简便，还能获得面积效率优良的效果。由上述结构构成的第2发明的偏振膜的贴合装置，由于所述翻转机构是为了使所述基板的表面成为背面，使基板翻转部绕翻转的翻转轴及配置变更轴在一定角度范围内旋转，而配置变更轴从所述第一基板输送机构中输送的所述基板的配置方向至所述第二基板输送机构中输送的所述基板的配置方向利用配置变更部进行变更，由此，使所述第一基板输送机构中输送的所述基板遵循圆弧轨迹翻转，并沿着所述第二基板输送机构中的基板的输送方向变更配置而配置在所述第二基板输送机构上，因此，利用所述基板翻转部的遵循连续的圆弧轨迹的翻转动作，而与所述基板的翻转和所述第二基板输送机构中的配置相一致地变更所述基板的配置，故获得这样的效果能缩短生产间隔时间，并能进行生产间隔时间短的贴合。由上述结构构成的第3发明的偏振膜的贴合装置是，在第2发明中，由于所述翻转机构的所述基板翻转部由所述旋转驱动源旋转驱动，所述基板翻转部与具有所述翻转轴的 翻转轴部连接，所述翻转轴由所述旋转驱动源旋转驱动并可旋转地配设在所述配置变更部上，因此，利用由所述旋转驱动源旋转驱动的所述基板翻转部的遵循一系列的圆弧轨迹的翻转动作，而与所述基板的翻转和所述第二基板输送机构中的配置相配合地变更所述基板的配置，故获得这样的效果能缩短生产间隔时间，并能进行生产间隔时间短的贴合。由上述结构构成的第4发明的偏振膜的贴合装置是，在第2发明中，由于所述翻转机构的所述配置变更部由旋转驱动源旋转驱动，而所述配置变更部可相对旋转地配设在与具有所述翻转轴的翻转轴部连接的由所述旋转驱动源旋转驱动的所述基板翻转部上，因此，利用由所述旋转驱动源旋转驱动的所述基板翻转部的遵循一系列的圆弧轨迹的翻转动作，而与所述基板的翻转和所述第二基板输送机构中的配置相配合地变更所述基板的配置，故获得这样的效果能缩短生产间隔时间，并能进行生产间隔时间短的贴合。由上述结构构成的第5发明的偏振膜的贴合装置是，在第2发明至第4发明的任一发明中，由于利用构成所述基板支承装置的所述基板支承部的所述多个支承构件，而将所述第一基板输送机构输送的所述基板的两面予以夹持支承，因此，获得这样的效果可靠地支承所述第一基板输送机构输送的所述基板，并可靠地进行所述基板的翻转及配置变更。由上述结构构成的第6发明的偏振膜的贴合装置是，在第2发明至第4发明的任一发明中，由于利用构成所述基板支承装置的所述基板支承部的具有所述吸附部的所述吸附构件，而吸附所述第一基板输送机构输送的所述基板的表面，因此，获得这样的效果可将所述基板支承部的结构做得简单，可轻量化和高速旋转。由上述结构构成的第7发明的偏振膜的贴合装置是，在第3发明或第4发明中，由于所述基板支承装置配设在与进行所述基板翻转动作的基板翻转部连接的构件上，利用进入所述第一基板输送机构及第二基板输送机构的端部的第一支承构件和第二支承构件的相对移动，而将所述第一基板输送机构输送的所述基板夹持支承在所述第一支承构件与第二支承构件之间，并且，利用所述第一支承构件和第二支承构件的相对移动，而将夹持支承在由所述基板翻转部翻转后的所述第一支承构件与第二支承构件之间的所述基板解除夹持支承，并将其载放在所述第二基板输送机构的端部上，由此，利用简单的结构，由所述第一基板输送机构输送的所述基板被夹持在进入所述第一基板输送机构的端部的所述第一支承构件与第二支承构件之间，从而获得可靠支承的效果，并可由所述基板翻转部对所述基板进行翻转，同时，通过将被夹持支承在由所述基板翻转部翻转后的所述第一支承构件与第二支承构件之间的所述基板解除夹持支承，将其载放在所述第二基板输送机构的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构输送所述基板的效果。由上述结构构成的第8发明的偏振膜的贴合装置是，在第3发明或第4发明中，通过构成所述第一及第二支承构件的第一及第二梳状构件的多个突出部进入形成于所述第一基板输送机构端部中宽度方向的多个分割部分的相邻部分之间的多个间隙，从而获得所述第一基板输送机构输送的所述基板被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过构成翻转后的所述第一及第二支承构件的第一及第二梳状构件的多个突出部进入形成于所述第二基板输送机构端部中输送方向的多个分割部分的相邻部分之间的多个间隙，翻转后的所述基板被解除夹持支承并被载放在所述第二基板输送机构的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构输送所述基板和贴合偏振膜的效果。
由上述结构构成的第9发明的偏振膜的贴合装置是，在第8发明中，通过构成所述第一及第二支承构件的第一及第二梳状构件的多个突出部进入形成于所述第一基板输送机构端部中宽度方向的多个分割部分的相邻部分之间的多个间隙，且至少一方的所述第一及第二梳状构件的多个突出部以局部为支点在一定角度范围内进行摆动，从而获得所述第一基板输送机构输送的所述基板被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过构成翻转后的所述第一及第二支承构件的第一及第二梳状构件的多个突出部进入形成于所述第二基板输送机构端部中输送方向的多个分割部分的相邻部分之间的多个间隙，且至少一方的所述第一及第二梳状构件的多个突出部以一端为支点在一定角度范围内进行摆动，从而翻转后的所述基板被解除夹持支承，且被载放在所述第二基板输送机构的端部上，由此获得可由所述第二基板输送机构输送所述基板和贴合偏振膜的效果。由上述结构构成的第10发明的偏振膜的贴合装置是，在第9发明中，通过构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件由所述摆动驱动机构摆动驱动，从而获得所述第一基板输送机构输送的所述基板被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过翻转后的所述基板被解除夹持支承，且被载放在所述第二基板输送机构的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构输送所述基板和贴合偏振膜的效果。由上述结构构成的第11发明的偏振膜的贴合装置是，在第10发明中，通过构成所述摆动驱动机构的所述第一摆动驱动机构对构成所述第一支承构件的具有多个突出部的所述第一梳状构件进行摆动驱动、且构成所述摆动驱动机构的第二摆动驱动机构对构成所述第二支承构件的具有多个突出部的所述第二梳状构件进行摆动驱动，从而获得所述第一基板输送机构输送的所述基板被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过翻转后的所述基板被解除夹持支承，且被载放在所述第二基板输送机构的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构输送所述基板和贴合偏振膜的效果O
由上述结构构成的第12发明的偏振膜的贴合装置是，在第8发明中，通过构成所述第一及第二支承构件的第一及第二梳状构件的多个突出部进入形成于所述第一基板输送机构端部中宽度方向的多个分割部分的相邻部分之间的多个间隙，且至少一方的所述第一及第二梳状构件的多个突出部在一个方向相对接近，从而获得所述第一基板输送机构输送的所述基板被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过构成翻转后的所述第一及第二支承构件的第一及第二梳状构件的多个突出部进入形成于所述第二基板输送机构端部中输送方向的多个分割部分的相邻部分之间的多个间隙，且至少一方的所述第一及第二梳状构件的多个突出部在一方向相对离开，从而翻转后的所述基板被解除夹持支承，被载放在所述第二基板输送机构的端部上，由此获得可由所述第二基板输送机构输送所述基板和贴合偏振膜的效果。由上述结构构成的第13发明的偏振膜的贴合装置是，在第12发明中，通过构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件由所述直线驱动机构直线驱动，并进行往复移动，从而获得所述第一基板输送机构输送的输送基板被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过翻转后的所 述基板被解除夹持支承，且被载放在所述第二基板输送机构的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构输送所述基板和贴合偏振膜的效果。


图I是显示本发明的制造系统的一实施例的剖视图。图2是显示图I的制造系统中夹持辊周边部分的剖视图。图3是显示与本实施例相同的下贴型制造系统中气流的速度矢量的剖视图。图4是显示本实施例的利用翻转机构使基板翻转过程的立体图。图5是显示另外的本实施例的基板支承装置及翻转机构的俯视图。图6是显示另外的本实施例的利用翻转机构将被支承的基板翻转后状态的俯视图。图7是显示另外的本实施例的翻转机构的局部放大立体图。图8是显示又一另外的本实施例的基板支承装置及翻转机构的俯视图。图9用于说明另外的本实施例的第一基板输送机构的下游端部中、基板支承装置及翻转机构动作状态的说明图。图10是用于说明另外的本实施例的第二基板输送机构的上游端部中、基板支承装置的动作状态的说明图。图11是用于说明另外的本实施例的利用一个旋转驱动源而有选择地对第一及第二基板支承构件进行驱动的状态、利用两个螺线管而使第一及第二基板支承构件的一端移动的状态的局部放大说明图。图12是用于说明另外的本实施例的利用作为两个直线驱动源的螺线管而使第一及第二基板支承构件往复移动并对基板进行支承的状态、利用与基板接触的面上形成有多个吸附部的一个支承构件而吸附基板的状态、利用两端形成有吸附部和被吸附部的两个支承构件而对基板进行吸附支承的状态的局部放大说明图。图13是显示在本实施例中基板翻转时的轨迹的立体图。
图14是显示利用图4所示的翻转机构使基板翻转的过程的俯视图。图15是显示图8所示的翻转机构的俯视图、主视图、立体图及用于说明翻转过程中基板翻转部的角度及位置变化的说明图。图16是用于说明图8所示的翻转机构的翻转过程中的中间旋转构件的角度变化和配设在中间旋转构件的外周壁上的基板翻转部的圆周方向的位置变化的说明图。图17是显示本实施例的贴合装置变形例的俯视图。图18是显示本实施例的具有液晶显示装置的制造系统的各构件的相关性的框图。图19是显示本实施例的液晶显示装置的制造系统动作的流程图。图20是显示上贴型制造系统中气流的速度矢量的剖视图。 符号说明I 第一卷出部Ia 第二卷出部2 第一卷取部2a 第二卷取部3 半切割器4 刀刃5、5’ 基板5a 偏振膜5b 剥离膜6、6a夹持辊(第一贴合部)7、7a缺陷薄膜卷取棍11 第一卷出部Ila 第二卷出部12 第一卷取部12a 第二卷取部13 半切割器14 刀刃16、16a夹持辊(第二贴合部)17、17a缺陷薄膜卷取棍40 HEPA 过滤器41 格栅50 薄膜输送机构51 第一薄膜输送机构52 第二薄膜输送机构60 贴合装置(偏振膜的贴合装置)61 第一基板输送机构61a 基板载放部62 第二基板输送机构
65 翻转机构66 基板支承装置66S 吸附部67 第一基板翻转部(基板翻转部)68 第二基板翻转部(基板翻转部)69 曲线70 控制部71 清洗部72 贴偏检查装置73 贴合异物自动检查装置74 分类输送装置100 制造系统(液晶显不装直的制造系统)
具体实施例方式对于本发明的一实施例，根据图I 图9说明如下，但本发明并不限定于此。首先，对本实施例的制造系统(液晶显示装置的制造系统)的结构说明如下。制造系统包含本发明的贴合装置。图I是表示制造系统的剖视图。如该图所示，制造系统100为二级构造，1F(1层)部分是薄膜输送机构50, 2F (2层)是包含基板输送机构的贴合装置60。〈薄膜输送机构〉首先，说明薄膜输送机构50。薄膜输送机构50将偏振膜(偏光板)卷出并输送到夹持辊6、6a及16、16a，起到将不需要的剥离膜卷取的作用。另一方面，贴合装置60的作用是，将薄膜输送机构50卷出的偏振膜贴合在基板(液晶面板)5上。薄膜输送机构50具有第一薄膜输送机构51及第二薄膜输送机构52。第一薄膜输送机构51将偏振膜输送到最初把偏振膜贴合在基板5下表面上的夹持棍6、6a。另一方面，第二薄膜输送机构52将偏振膜输送到翻转后的基板5的下表面。第一薄膜输送机构51具有第一卷出部I、第二卷出部la、第一卷取部2、第二卷取部2a、半切割器3、刀刃4以及缺陷薄膜卷取辊7、7a。在第一卷出部I上设有偏振膜的卷筒状基片，卷取偏振膜。作为所述偏振膜，也可不使用公知的偏振膜。具体来说，可使用用碘等对聚乙烯醇薄膜进行染色、向单轴方向延伸的薄膜等。作为所述偏振膜的厚度，不特别限定，但最好是5 μ m以上、400 μ m以下的偏振膜。在所述偏振膜的卷筒状基片中，吸收轴的方向位于行进方向(MD方向)。所述偏振膜的粘接剂层由剥离膜保护。作为所述剥离膜(也称为保护薄膜或分离膜)，可使用聚酯薄膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜等。作为所述剥离膜的厚度，不特别限定，但最好使用5μπι以上、100 μ m以下的剥离膜。由于制造系统100具有两个卷出部、两个与卷出部对应的卷取部，因此，当第一卷出部I的卷筒状基片的剩余量变少时，能使第二卷出部Ia上的卷筒状基片与第一卷出部I的卷筒状基片连接。由此，不会停止卷出偏振膜，能持续进行作业。利用本结构，能提高生产率。另外，只要各具有多个所述卷出部及卷取部即可，当然也可具有三个以上。
半切割器(切断部)3对由剥离膜保护的偏振膜(由偏振膜、粘接剂层及剥离膜构成的薄膜层压体)进行半切割，将偏振膜和粘接剂层切断。作为半切割器3，也可使用公知的构件。具体来说，可例举刀具、激光切割器等。在偏振膜及粘接剂层被半切割器3切断后，由刀刃(去除部)4从偏振膜上去除剥离膜。在偏振膜与剥离膜之间涂布有粘接剂层，在去除剥离膜后，粘接剂层残留在偏振膜侧。作为所述粘接剂层，不 特别限定，可例举丙烯基系、环氧系、聚氨酯系等的粘接剂层。粘接剂层的厚度不特别限定，但通常是5 40 μ m。另一方面，第二薄膜输送机构52是与第一薄膜输送机构51相同的结构，具有第一卷出部11、第二卷出部11a、第一卷取部12、第二卷取部12a、半切割器13、刀刃14及缺陷薄膜卷取棍17、17a。对于标有相同的构件名称的构件,表不与第一薄膜输送机构51中的构件相同的作用。作为较佳方式，制造系统100具有清洗部71。清洗部71的作用是，在利用夹持辊6、6a将偏振膜贴合在基板5的下表面上之前，对基板5进行清洗。作为清洗部71，也可使用由喷射清洗液的喷嘴及刷子等构成的公知的清洗部。通过在贴合之前由清洗部71对基板5进行清洗，从而可在基板5的附着异物较少的状态下进行贴合。接着，用图2来说明刀刃4。图2是表示制造系统100中夹持辊6、6a周边部分的剖视图。图2表示基板5从左方被输送、具有粘接剂层的(未图示，以后相同)的偏振膜5a从左下方被输送的状况。在偏振膜5a上具有剥离膜5b，偏振膜5a及粘接剂层由半切割器3切断，剥离膜5b未被切断(半切割)。在剥离膜5b侧，设有刀刃4。刀刃4是用于将剥离膜5b剥离的刃状构件，与偏振膜5a粘接力低的剥离膜5b由刀刃4剥离。然后，剥离膜5b被卷取在图I的第一卷取部2上。另外，也可代替刀刃而使用由粘接辊卷取剥离膜的结构。在该场合，与卷取部相同，通过在两个部位设置粘接辊，就能提高剥离膜的卷取效率。〈贴合装置〉下面，说明贴合装置60。贴合装置60是，对基板5进行输送，将薄膜输送机构50输送的偏振膜贴合在基板上。虽未图示，但在贴合装置60中洁净空气被供给到基板5的上表面。即，进行下降流的整流。由此，能以稳定的状态对基板5进行输送和贴合。贴合装置60设在薄膜输送机构50的上部。由此，能获得制造系统100的省空间化。虽未图示，但在贴合装置60上设有具有传送辊的基板输送机构，由此，基板5向输送方向被输送(用图6后述的第一基板输送装置61、第二基板输送装置62相当于基板输送机构)。在制造系统100中，基板5从左侧被输送，然后，从图中右侧即第一薄膜输送机构51的上部被输送到第二薄膜输送机构52的上部。基板5是长方形状，长边和短边的比例不特别限定，但可例如做成16 : 9 4 : 3的比例。另外，作为基板5的具体例子，例如可例举有机EL面板、液晶元件的玻璃基板面板。在薄膜输送机构50与贴合装置60之间，分别具有贴合部即夹持棍(第一贴合部)6、6a和夹持辊(第二贴合部)16、16a。夹持辊6、6a及16、16a是起到这样一种作用的构件将剥离膜被去除后的偏振膜贴合在基板5的下表面上。另外，为了在基板5的两面从下表面贴合偏振膜，在用夹持辊6、6a进行贴合后，利用翻转机构65将基板5翻转。对于翻转机构65,如后述。输送到夹持棍6、6a的偏振膜,夹着粘接剂层而贴合在基板5的下表面上。作为夹持辊6、6a，可分别采用压接辊、加压辊等公知的结构。另外，夹持辊6、6a的贴合时的压力和温度也可适当调节。夹持辊16、16a的结构也相同。另外，虽未图示，但在制造系统100中，较佳的结构是，从第一卷出部I至半切割器之间具有缺陷显示(标记)检测部，检测具有缺陷的偏振膜。另外，所述缺陷显示是，在制作偏振膜的卷筒状基片时进行检测并标上缺陷显示，或者，利用相较于缺陷显示检测部设在第一卷出部11或第二卷出部Ila侧的缺陷显示赋予部而标在偏振膜上。缺陷显示赋予部由照相机、图像处理装置及缺陷显示形成部构成。首先，利用所述照相机对偏振膜进行拍摄，通过对该拍摄信息进行处理，就能检查有无缺陷。作为所述缺陷，具体来说，如有尘埃等异物、鱼眼(” 二 7 4 )等。在检测出缺陷的场合，利用缺陷显示形成部而在偏振膜上形成缺陷显示。作为缺陷显示，用墨水等标记。
此外，未图示的贴合避免部，利用照相机对所述标记进行判别，将停止信号发送给贴合装置60而停止输送基板5。然后，检测出缺陷的偏振膜不利用夹持辊6、6a进行贴合，而被卷取在缺陷薄膜卷取辊(回收部)7、7a上。由此，能避免基板5与具有缺陷的偏振膜贴合。若具有这一系列的结构，就能避免具有缺陷的偏振膜与基板5贴合，提高成品率，这是较佳的。作为缺陷检测部和贴合避免部，可适用公知的检查传感器。如图I所示，在利用翻转机构65使基板5成为翻转状态后，基板5被输送到夹持棍16、16a。并且,偏振膜贴合在基板5的下表面上。结果,在基板5的两面被贴合偏振膜，成为基板5的两面以互不相同的吸收轴而贴合有二片偏振膜的状态。然后，根据需要，对基板5的两面检查是否产生贴偏。该检查通常可采用由具有照相机的检查部等形成的结构。如此，在制造系统100中，当将偏振膜贴合在基板5上时，从基板5的下表面进行贴合，不妨碍对基板5的整流环境。因此，可防止异物混入基板5的贴合面，能进行更正确的贴合。图3 (a)、图3 (b)表示与本发明系统的下贴型制造系统中的气流的速度矢量。图3 (a)、图3 (b)中的区域A是设置卷出部的区域，区域B主要是通过偏振膜的区域，以及区域C是设置卷取部等的区域。另外，从HEPA过滤器40供给洁净空气。另外，在图3(a)中，由于设有可通过洁净空气的格栅41，因此，气流可通过格栅41向垂直方向移动。另一方面，在图3 (b)中，由于未设有格栅41，因此，气流在与地面接触后就沿地面移动。由于图3 (a)、图3 (b)所示的制造系统是下贴型，因此，如图10 (a)、图10 (b)所示，偏振膜不会妨碍来自HEPA过滤器40的气流。因此，气流矢量的方向基本上是沿基本的方向，可以说实现了好比洁净室的整流环境。虽然在图3 (a)中设置格栅41，在图3 (b)中未设置，但是，两图都表示同样较佳的状态。另外，在图3及图10中，基板输送机构形成为水平，但未设置为连续的构造。因此形成为气流可通过基板输送机构间的结构。基板在由后述的翻转机构保持后，在基板输送机构间移送。另外，在制造系统100中，首先在长边宽度间(长边与输送方向正交)输送基板5，然后，在短边宽度间(短边与输送方向正交)输送基板5。〈基板支承装置〉
在翻转所述第一基板输送机构61中输送的所述基板5时对其进行保持的基板支承装置，可以是利用多个基板支承构件而进行机械夹持的状态、或利用流体压力的吸引作用而进行吸附的状态以及其它状态。吸附部66S如图4所示，由开设有多个吸附口的多个吸附构件构成，其多个吸附口对所述第一基板输送机构61中输送的基板5表面的多个部位进行吸附。由此，基板5的表面由吸附部66保持。作为吸附部66，可使用公知的吸附部，例如，可使用空气吸引方式的吸附部。0087基板支承装置66如图5至图7所示，是机械夹持式的，是构成为相对于具有传送棍筒612的所述第一基板输送机构61的薄膜和基板的输送方向的下游端部与具有传送棍筒622的所述第二基板输送机构61的薄膜和基板的输送方向的上游端部，即使考虑松动也 不会干涉地进入地，随着翻转机构65的基板翻转部67的翻转动作而使第一及第二基板支承部661、662夹插配置的基板搬送机构的基板支持装置。所述基板支承装置66如图5所示，由尺寸比贴合有薄膜的基板大的一对梳状构件构成，两个的一对梳状构件配设成，相对于与基板翻转部67的基部660而可作相对摆动。另外，基板支承装置66如图8所示，从缩短生产间隔时间的观点看，在垂直面以180度的角度关系配设两个，且与配设在所述第一及第二基板输送机构61、62的输送方向和与该输送方向正交的宽度方向的中间位置的翻转机构的两个基板翻转部67连接，同时，向第一基板输送机构61的宽度方向延伸的第一基板支承装置66和向第二基板输送机构62的输送方向延伸的第二基板支承装置66也可形成在同一平面正交的配置关系。此外，为了缩短生产间隔时间，也可在垂直面以90度(60度)的角度关系而对基板翻转部67配设四个(六个)基板支承装置。0090S卩，一方的基板支承装置66如图8所示，被配置为与具有传送辊筒612的所述第一基板输送机构61的薄膜和基板的输送方向下游端部相对地进入时,另一方的基板支承装置66被配置为，相对于具有传送辊筒622的所述第二基板输送机构62的薄膜和基板的输送方向的上游端部，被介插地进入。所述基板支承装置66配设在与进行所述基板翻转动作的所述基板翻转部67连接的构件上，通过进入以长边或短边沿输送方向的状态输送长方形基板的第一基板输送机构61和以短边或长边沿输送方向的状态输送所述基板的第二基板输送机构62的端部的第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动，被夹在所述第一支承构件661与第二支承构件662之间从所述第一基板输送机构被输送的所述基板5,被夹持支承，同时随着所述第一支承构件661与第二支承构件662的相对移动，由所述基板翻转部67被翻转后的被夹在所述第一支承构件661与第二支承构件662之间而被支持的所述基板5，被解除夹持支承，且被载放在所述第二基板输送机构62的端部上。所述第一基板输送机构61的下游侧端部沿宽度方向被分割成多个，例如四个分割部分61A、61B、61C、61D，在相邻的分割部分之间形成有多个间隙，构成所述第一及第二支承构件661、662的大致E字状的第一及第二梳状构件的多个例如三个突出部6611 6613、6621 6623所进入的多个间隙,并且,所述第二基板输送机构62的上游侧端部沿输送方向被分割成多个，例如四个分割部分62A、62B、62C、62D，在相邻的分割部分之间形成有多个间隙，构成翻转后的所述第一及第二支承构件661、662的所述第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623所进入的多个间隙。如图5及图6所示，在所述第一基板输送机构61的下游侧端部，在沿宽度方向被分割的四个分割部分61A、61B、61C、61D上分别配设有输送辊612，根据旋转驱动指令而通过旋转驱动机构及旋转联络构件(未图示)而被同步旋转驱动，下表面贴合有偏振膜的所述基板5被输送到图中右方，一旦到达停止位置就停止输送。如图5及图6所示，在所述第二基板输送机构62的上游侧端部，在沿基板输送方向被分割的四个分割部分62A、62B、62C、62D上分别配设有输送辊622，根据旋转驱动指令而通过旋转驱动机构及旋转联络构件(未图示)而被同步旋转驱动，由基板翻转部67翻转且上表面贴合有偏振膜的所述基板5就被输送到图中右方的第二贴合装置。
如图5至图7所示，所述第一及第二支承构件661、662是具有多个突出部6611 6613,6621 6623的第一及第二梳状构件，并由以进行控制的基部660内的一端为支点进行摆动的摆动构件构成。即，构成所述第一和第二支承构件661、662的具有多个突出部6611 6613、6621 6623的所述第一及第二梳状构件，通过摆动驱动机构6630而在一定角度范围例如90度范围内被摆动驱动。所述摆动驱动机构6630如图9所示,包括图9中上方的第一摆动驱动机构6631,其对构成所述第一支承构件661的具有多个突出部6611 6613的所述第一梳状构件进行摆动驱动；以及图9中下方的第二摆动驱动机构6632，其对构成所述第二支承构件662的具有多个突出部6621 6623的所述第二梳状构件进行摆动驱动。所述第一摆动驱动机构6631,由作为电气驱动装置的第一电动机构成,该第一电动机配设在通过所述联络部673而与进行所述基板翻转动作的所述基板翻转部67的端部672连接的基部660 —端上，随着基于摆动指令的驱动力及摆动方向，而使夹插于所述基部660的中间中空轴6601摆动旋转，由此，使构成与该中间中空轴6601 —体连接的作为所述第一支承构件661的所述第一梳状构件的所述多个突出部6611 6613摆动旋转。如图5至图10所示，根据旋转驱动指令，通过旋转驱动机构及旋转联络构件(未图示)，而在所述第一基板输送机构61的下游侧端部四个分割部分61A、61B、61C、61D旋转驱动输送棍612,下表面贴合有偏振膜的所述基板5被输送到图中右方,一旦到达停止位置，构成所述第一摆动驱动机构6631的作为电气驱动装置的第一电动机就随着基于摆动指令的驱动力及摆动方向而使夹插于所述基部660的中间中空轴6601在逆时针方向摆动旋转，且使构成与该中间中空轴6601 —体连接的所述第一梳状构件的如图9中(A)所示垂直状态的所述多个突出部6611 6613在逆时针方向摆动旋转90度，由此，如图9 (B)所示，将停止的下表面贴合有偏振膜的所述基板5夹持支承在与构成水平状态的所述第二梳状构件的所述多个突出部6621 6623之间。所述第二摆动驱动机构6632，由作为电气驱动装置的第二电动机构成，该第二电动机配设在通过所述联络部673而与进行所述基板翻转动作的所述基板翻转部67的端部672连接的基部660另一端上，随着驱动力及摆动方向，而使夹插于所述基部660的中心轴6602摆动旋转，由此，使构成与该中心轴6602 —体连接的作为所述第二支承构件662的所述第二梳状构件的所述多个突出部6621 6623摆动旋转。通过所述多个突出部6611 6613的逆时针方向的90度的摆动旋转，如图9中(B)所示水平状态的所述第二梳状构件的所述多个突出部6621 6623之间被夹持支承停止的下表面贴合有偏振膜的所述基板5的话，由于后述的基板翻转机构的所述基板翻转部67绕翻转轴翻转，因此，如图10 (A)所示，夹持所述基板5的所述多个突出部6611 6613和所述多个突出部6621 6623的上下关系翻转，并将基板5载放在所述第二基板输送机构的上游侧端部上。构成所述第二摆动驱动机构6632的作为电气驱动装置的第二电动机，随着基于摆动指令的驱动力及摆动方向而使介插于所述基部660的中心轴6602在逆时针方向摆动旋转，且使构成与该中心轴6602 —体连接的所述第二梳状构件的如图10中(A)所示水平状态的所述多个突出部6621 6623在逆时针方向摆动旋转，由此，由于如图10中(B)所示，使其摆动旋转90度，并作成垂直状态，因此，对被夹持在与构成所述第一梳状构件的所述多个突出部6611 6613之间的、下表面贴合有偏振膜的所述基板5的夹持状态予以解 除，并利用所述第二基板输送机构的输送棍662,而将下表面贴合有偏振膜的所述基板5输送到第二贴合装置。所述摆动驱动机构6630如图11 (A)所示,包括作为摆动驱动源的一个电动机6630 ;将来自该电动机6630的摆动驱动力与构成所述第一支承构件661的具有多个突出部6611 6613的所述第一梳状构件旋转联络而进行摆动驱动的第一离合器构件6633 ;以及将来自作为所述摆动驱动源的一个电动机6630的摆动驱动力与构成所述第二支承构件662的具有多个突出部6621 6623的所述第二梳状构件旋转联络而进行摆动驱动的第二离合器构件6634，由于将作为摆动驱动源的电动机6630做成一个，因此适于基板支承装置的简单化、轻量化。所述摆动驱动机构6630构成为，如图11 (B)所示是通过将促动器6635、6636用作为第一及第二摆动驱动源，并利用以局部为支点进行摆动的摆动构件使第一及第二支承构件661、662的另一端在图中上下移动,通过使构成所述第一及第二支承构件661、662的所述第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623以所述支点为中心而分别在一定角度范围内例如从O度至±30度左右进行摆动，从而是可将所述基板5的夹持支承及夹持支承状态予以解除的状态，由于能利用控制器6637来实现构成所述促动器6635、6636的螺线管的电流施加控制即接通断开控制，故具有控制简单的优点。上述说明了通过使所述第一及第二支承构件661、662相对摆动旋转而夹持支承所述基板5的例子，但是，可将实施方式构成为可往复移动，以使构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件在上下方向相对接近或离开而使相对间隔产生变化。即，构成所述第一及第二支承构件661、662的具有多个突出部6611 6613、6621 6623的所述第一及第二梳状构件可构成为由直线驱动机构即往复移动驱动机构驱动进行往复运动。0107所述直线驱动机构如图12 (A)所示，也可构成为，随着来自控制器6638C的驱动电流，利用除第一及第二螺线管6638A、6638B外的电气驱动装置的图12中上下方向的驱动力而使所述第一及第二支承构件661、662的至少一方相对接近，从而对所述基板5进行夹持支承，并且在翻转后所述第二基板输送机构的上游端，通过使所述第一及第二支承构件661,662的至少一方相对离开，从而解除所述基板5的夹持状态。另外，所述直线驱动机构如图12 (B)所示，可构成为，在构成基板支承构件661的梳状构件的多个突出部的与基板5的接触面上形成有多个吸附所述基板5的吸附部6639，利用由作为驱动装置的泵P供给的流体压力所产生的负压吸引作用，通过吸着或夹持所述基板5，使所述第一及第二梳状构件相对接近，由此构成为对所述基板夹持支承，若将作为驱动装置的泵或压力源设置在工厂内的适当部位并联络配管，则具有可将基板支承装置的结构简单化、轻量化和高速化的优点。另外，如图12 (C)所示，可构成为，在第一及第二支承构件661、662的两端形成有多个被吸附部和吸附部6639，利用从作为驱动装置的真空泵那样的吸引泵P借助配管而供给的流体压力(负压)所产生的负压吸引作用而使被吸附部被吸附在所述吸附部6639上，由此，使所述第一支承构件661向图中上方移动，并将基板夹持支承在所述第一及第二支承构件661、662之间，若将作为驱动装置的泵或压力源设置在工厂内的适当部位并联络配 管，则具有可将基板支承装置的结构简单化、轻量化和高速化的优点。上述实施方式说明了利用吸附部的吸引作用对基板进行吸附的状态，但也可是将除空气外的压力流体从排出口排出并利用该推压力来支承基板5的状态。另外，偏振膜的贴合装置包括以长边或短边沿输送方向的状态输送长方形基板的第一基板输送机构61 ;将第一偏振膜贴合在所述第一基板输送机构61中的所述基板的下表面上的第一贴合部6 ;以短边或长边沿输送方向的状态输送所述基板的第二基板输送机构62 ;将第二偏振膜贴合在所述第二基板输送机构中的所述基板的下表面的第二贴合部16 ;以及具有对由所述第一基板输送机构输送且贴合有第一偏振膜的所述基板5进行支承的基板支承部的基板支承装置66，偏振膜的贴合装置中的基板支承装置配设在与进行所述基板翻转动作的基板翻转部67连接的基部660上、通过进入所述第一基板输送机构61及第二基板输送机构62端部的第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动，所述第一基板输送机构61输送的贴合有第一偏振膜的所述基板5被夹持支承在所述第一支承构件661与第二支承构件662之间，另一方面，利用所述第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动，而将夹持支承在由所述基板翻转部67翻转后的所述第一支承构件661与第二支承构件662之间的贴合有第一偏振膜的所述基板5解除夹持支承，并将其载放在所述第二基板输送机构62的端部上。此外，偏振膜的贴合装置包括以长边或短边沿输送方向的状态输送长方形基板的第一基板输送机构61 ;将第一偏振膜贴合在所述第一基板输送机构中的所述基板的下表面上的第一贴合部6 ;以短边或长边沿输送方向的状态输送所述基板的第二基板输送机构62 ;将第二偏振膜贴合在所述第二基板输送机构中的所述基板的下表面上的第二贴合部16 ;以及翻转机构，该翻转机构构成为，利用与对由所述第一基板输送机构61输送且贴合有第一偏振膜的所述基板进行支承的基板支承部相连接的基板翻转部67的翻转动作，而使支承在所述基板支承部上的所述基板翻转，并变更配置而配置在第二基板输送机构上，偏振膜的贴合装置中的基板支承机构构成为，配设在与进行所述基板翻转动作的所述翻转机构的基板翻转部67连接的基部660上、利用进入所述第一基板输送机构61及第二基板输送机构62端部的第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动,所述第一基板输送机构61输送的贴合有第一偏振膜的所述基板5被夹持支承在所述第一支承构件661与第二支承构件662之间，另一方面,利用所述第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动，而将夹持支承在由所述基板翻转部67翻转后的所述第一支承构件661与第二支承构件662之间的贴合有第一偏振膜的所述基板5解除夹持支承，并将其载放在所述第二基板输送机构的端部上。在所述偏振膜的贴合装置中，所述翻转机构具有基板翻转部67，其可旋转地配置在翻转机构的基部670上，实现翻转动作 ，而翻转机构的基部670配设在与所述基板输送方向正交的第一及第二基板输送机构61、62的宽度方向的中间位置。以下说明所述基板支承构件的其它状态。基板支承部是支承基板5的构件，且可夹持所载放的基板。另外，基板支承部的较佳形态是具有吸附基板5的吸附构件。作为吸附构件，可使用公知的构件，例如，可使用空气吸引方式的吸附构件。基板支承部由管状的臂和吸附构件构成，且成为由吸附构件吸附的空气通过臂内的结构，但臂和吸附构件的形状不限定于该结构。另外，基板支承部是在臂上具有两个吸附构件的构造，具有一对由三根臂构成的臂组。另外，在基板5的对角线上配置四个吸附构件，在基板5的长度方向所述吸附构件间再配置两个吸附构件。臂的根数和吸附构件的设置数只是一个例子，例如，在使大的基板翻转的场合，只要增加臂的根数和吸附构件数等进行适当变更即可。另外，当然也可是将吸附构件的设置场所集中在基板5的中心部分或变更在基板5的端部周边等的变更。在基板翻转部不载放基板5时，为可以放入基板5的臂组间的距离扩开的状态(以下将该状态称为“待机状态”)。另一方面，基板翻转部67成为基板5臂组间的距离扩开的状态。另外，由于一对臂组夹持基板5，故也可将臂组间的距离缩小。如此，可变更臂组间的距离，因此，基板支承部形成为具有电动机、将电动机的旋转运动改变为直线运动以改变臂组间距离的结构。另外，只要是能改变臂组间距离的结构，也可改变为具有电动机的结构来使用。由上述结构构成的本实施例的偏振膜的贴合装置，由于所述基板支承装置66是配设在与进行所述基板翻转动作的基板翻转部67连接的基部660上，通过进入以长边或短边沿输送方向的状态输送长方形基板的所述第一基板输送机构61及以短边或长边沿输送方向的状态输送所述基板的第二基板输送机构62的端部的第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动，所述第一基板输送机构61输送的所述基板5就被夹持支承在所述第一支承构件661与第二支承构件662之间，并且，通过所述第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动，而将夹持支承在由所述基板翻转部67翻转后的所述第一支承构件661与第二支承构件662之间的所述基板5解除夹持支承，并将其载放在所述第二基板输送机构62的端部上，因此，利用简单的结构，由所述第一基板输送机构61输送的所述基板5被夹持在进入所述第一基板输送机构61端部的所述第一支承构件661与第二支承构件662之间，由此获得可靠支承的效果，并可由所述基板翻转部67翻转所述基板，同时，将夹持支承在由所述基板翻转部67翻转后的所述第一支承构件661与第二支承构件662之间的所述基板解除夹持支承，并将其载放在所述第二基板输送机构62的端部上，由此获得可输送所述第二基板输送机构62中的所述基板和贴合偏振膜的效果。
另外，本实施例的偏振膜的贴合装置，通过构成所述第一及第二支承构件661、662的第一及第二梳状构件的多个突出部6611、6613 6621 6623进入形成于所述第一基板输送机构61端部中宽度方向的多个分割部分61A、61B、61C、61D的相邻部分之间的多个间隙，从而获得所述第一基板输送机构61输送的所述基板5被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过构成翻转后的所述第一及第二支承构件661、662的第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623进入形成于所述第二基板输送机构62端部中输送方向的多个分割部分62A、62B、62C、62D的相邻部分之间的多个间隙，翻转后的所述基板的夹持支承被解除，将其载放在所述第二基板输送机构62的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构62输送所述基板和贴合偏振膜的效果。此外，本实施例的偏振膜的贴合装置，通过构成所述第一及第二支承构件661、662的第一及第二梳状构件的多个突出部进入形成于所述第一基板输送机构61端部中宽度方 向的多个分割部分的相邻部分之间的多个间隙，且至少一方的所述第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623以局部为支点在一定角度范围内进行摆动，从而获得所述第一基板输送机构61输送的所述基板5被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过构成翻转后的所述第一及第二支承构件661、662的第一及第二梳状构件的多个突出部进入形成于所述第二基板输送机构62端部中输送方向的多个分割部分的相邻部分之间的多个间隙，且至少一方的所述第一及第二梳状构件的多个突出部以局部为支点在一定角度范围内进行摆动，从而翻转后的所述基板的夹持支承被解除，并被载放在所述第二基板输送机构62的端部上，由此获得可由所述第二基板输送机构62输送所述基板和贴合偏振膜的效果。另外，本实施例的偏振膜的贴合装置，通过构成所述第一及第二支承构件661、662的具有多个突出部6611 6613、6621、6623的所述第一及第二梳状构件由所述摆动驱动机构摆动驱动，从而获得所述第一基板输送机构61输送的所述基板5被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621、6623之间而被可靠支承的效果，并且，通过翻转后的所述基板5夹持支承的被解除，被载放在所述第二基板输送机构62的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构62输送所述基板5和贴合偏振膜的效果。此外，本实施例的偏振膜的贴合装置，通过构成所述摆动驱动机构的所述第一摆动驱动机构6631对构成所述第一支承构件661的具有多个突出部6611 6613、6621 6623的所述第一梳状构件进行摆动驱动、且构成所述摆动驱动机构的第二摆动驱动机构6632对构成所述第二支承构件662的具有多个突出部的所述第二梳状构件进行摆动驱动，从而获得所述第一基板输送机构61输送的所述基板5被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623之间而被可靠支承的效果,并且，通过翻转后的所述基板的夹持支承的被解除，且被载放在所述第二基板输送机构62的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构62输送所述基板和贴合偏振膜的效果。另外，本实施例的偏振膜的贴合装置，通过所述摆动驱动机构将摆动驱动源6630和来自所述摆动驱动源的摆动驱动力借助所述第一离合器构件6633而传递给构成所述第一支承构件661的具有多个突出部6611 6613的所述第一梳状构件并进行摆动驱动、并将来自所述摆动驱动源6630的摆动驱动力借助所述第二离合器构件6634传递给构成所述第二支承构件662的具有多个突出部6621 6623的所述第二梳状构件并进行摆动驱动，从而获得所述第一基板输送机构61输送的所述基板6被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过翻转后的所述基板5的夹持支承的被解除，且被载放在所述第二基板输送机构62的端部上，从而获得所述第二基板输送机构62中能够输送所述基板5和贴合偏振膜的效果。此外，本实施例的偏振膜的贴合装置，通过构成所述第一及第二支承构件661、662的第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623进入形成于所述第一基板输送机构61端部中宽度方向的多个分割部分61A、61B、61C、61D的相邻部分之间的多个间隙、且使至少一方的所述第一及第二梳状构件的多个突出部在上下方向相对接近，从而获得所述第一基板输送机构61输送的所述基板5被夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，另一方面，通过构成翻转后的所述第一及第二支承构件
61、62的第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623进入形成于所述第 二基板输送机构62端部中输送方向的多个分割部分62A、62B、62C、62D的相邻部分之间的多个间隙、且使至少一方的所述第一及第二梳状构件的多个突出部在上下方向相对离开，从而翻转后的所述基板被解除夹持支承，且被载放在所述第二基板输送机构62的端部上，由此获得所述第二基板输送机构62中能够输送所述基板5和贴合偏振膜的效果。另外，本实施例的偏振膜的贴合装置，构成所述第一及第二支承构件661、662的具有多个突出部6611 6613、6621 6623的所述第一及第二梳状构件由所述直线驱动机构6638A、B直线驱动,进行往复移动，由此获得所述第一基板输送机构61输送的所述基板5夹持在所述第一及第二梳状构件的多个突出部之间而被可靠支承的效果，并且，通过翻转后的所述基板5的夹持支承的被解除，被载放在所述第二基板输送机构62的端部上，从而获得可由所述第二基板输送机构62中能够输送所述基板5和贴合偏振膜的效果。此外，本实施例的偏振膜的贴合装置，由于所述直线驱动机构利用电气驱动装置6638A、B的驱动力而使构成所述第一及第二支承构件661、662的梳状构件相对接近，从而夹持支承所述基板5，因此获得容易实现利用基于驱动指令的所述电气驱动装置的驱动力而夹持支承所述基板的控制的效果。另外，本实施例的偏振膜的贴合装置的所述直线驱动机构，通过由驱动装置供给的流体压力的作用而进行吸附或夹持使构成所述第一及第二支承构件661、662的梳状构件相对接近，从而夹持支承所述基板5，因此，通过与所述基板支承构件分开配置供给流体压力的驱动装置，从而获得可将所述基板支承构件的结构简单化、轻量化的效果。此外，本实施例的偏振膜的贴合装置配设在与进行所述基板翻转动作的基板翻转部67连接的基部660上、通过进入以长边或短边沿输送方向的状态输送长方形基板的所述第一基板输送机构61及以短边或长边沿输送方向的状态输送所述基板的第二基板输送机构62的端部的第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动,所述第一基板输送机构61输送的贴合有第一偏振膜的所述基板5就被夹持支承在所述第一支承构件661与第二支承构件662之间，并且,利用所述第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动,而将夹持支承在由所述基板翻转部67翻转后的所述第一支承构件661与第二支承构件662之间的贴合有第一偏振膜的所述基板5的夹持支承解除，将其载放在所述第二基板输送机构62的端部上，因此通过与所述基部660连接的所述基板翻转部67，可获得使得对所述基板翻转部67进行向以短边或长边沿输送方向的状态输送贴合有第一偏振膜的所述基板的第二基板输送机构62端部的翻转动作，和所述第二贴合部16对第二偏振膜的贴合的效果。另外，本实施例的偏振膜的贴合装置，由于所述基板支承装置利用配设在与进行所述基板翻转动作的所述翻转机构的基板翻转部67连接的基部660上、且进入所述第一基板输送机构61及第二基板输送机构62端部的第一支承构件661和第二支承构件662的相对移动，将所述第一基板输送机构61输送的贴合有第一偏振膜的所述基板5夹持支承在所述第一支承构件661与第二支承构件662之间，因此，获得贴合有第一偏振膜的所述基板5被可靠支承的效果，并且，利用所述第一支承构件和第二支承构件的相对移动，将夹持支承在由所述基板翻转部67翻转后的所述第一支承构件661与第二支承构件662之间的贴合有第一偏振膜的所述基板5的夹持支承解除，并将其载放在所述第二基板输送机构62的端部上，因此，根据与所述基部660连接的所述基板翻转部67，可获得这样的效果可对所述基板翻转部67进行向以短边或长边沿输送方向的状态输送贴合有第一偏振膜的所述基板5的第二基板输送机构62端部的翻转动作以及由所述第二贴合部16贴合第二偏振膜。〈翻转机构〉 翻转机构65是使由第一基板输送机构输送的基板5翻转并将其配置在第二基板输送机构上的构件。所述第一基板输送机构和第二基板输送机构向同一方向配置。图4是表示翻转机构65的立体图。翻转机构65具有第一基板翻转部(基板翻转部)67和第二基板翻转部(基板翻转部)68。第一基板翻转部67为棒状，具有吸附部66。第一基板翻转部67可绕自身的轴向旋转，通过吸附部66可使基板5向垂直于轴的垂直方向移动。另外，第一基板翻转部67与第二基板翻转部68连接。该连接部分是可驱动的，可变更第一基板翻转部67的位置，可变更基板5的位置。另外，第二基板翻转部68的构造是，除了两个臂构造外，基台部可水平旋转。利用两个臂构造，可将基板5沿上下方向移动，利用基台部的旋转，可使基板5在水平方向旋转。在本实施方式中，作为基板翻转部，表示了一基板翻转部67及第二基板翻转部68的构造，但基板翻转部不限定于该结构。例如，作为较佳的形态，可使用具有控制部的机械臂。在使用机械臂的场合，由于能进行更精密的基板5操作，故是较佳的。作为机械臂，可使用公知的机械臂。下面，说明第一基板翻转部67及第二基板翻转部68对基板5的翻转。图13是表示基板5翻转时轨迹的立体图。图13 Ca)是与图4中的基板5的状态对应的示图。为了容易把握基板5的轨迹，图示省略了吸附部66、第一基板翻转部67及第二基板翻转部68。首先，基板5以其短边沿输送方向的状态由第一基板输送机构输送。如图13 (a)所示，基板5停止在未图示的第一基板翻转部67的跟前，吸附部66吸附基板5的表面。基板5最后如图13 (d)所不,沿着第一基板输送机构的输送方向的短边沿与输送方向正交的方向地被配置在第二基板输送机构上。第一基板翻转部67及第二基板翻转部68，使基板5遵循曲线状态而移动，以使如图13 (a)中的基板5的状态变更成图13 (d)中的基板5的状态。即，利用平缓的一个动作使基板5移动。因此，本实施例的基板5的翻转不是直线移动，例如不是伴随使得沿基板5的一条边的方向的翻转的移动。另外，该动作既不是使基板的翻转及基板水平方向的旋转的两个动作连续的动作，也不是同时进行这两个动作。图13 (a)中的基板5如图13 (b) (d)所示，以其一方的(图中左侧的)短边为内侧、以另一方的(图中右侧的)短边为外侧进行移动。具体来说，图4所示的机械的各轴的旋转驱动系统被断开，是作业者能拨动机械的各轴的状态，在被拨动的机械的各轴角度及位移由传感器检测的示范模式中，如下所述那样基板5的姿势和实现该姿势的机械的各轴角度及位移由作业者指示，并被储存。在图13 (a)中，从基板5所处的水平面将基板5提起，基板以倾斜的状态移动，以成为外侧短边比内侧短边高的位置。基板5’表示基板5移动后的位置。另外，曲线69表示将基板5及基板5’对应的顶点之间连接后的基板5的轨迹。第一基板翻转部67及第二基板翻转部68遵循曲线而使基板5移动。换言之，也可说基板沿曲线轨迹移动。所述曲线是圆弧，不是直线而是平滑的轨迹。除了上述的示范以外，也可采用这样的实施例使基板随着图13所示的圆弧轨迹进行翻转移动地制作机械的各轴角度及位移数据并预先将其存储在控制装置的ROM内，根据这种数据而使机械动作，从而使基板随着图13所示的圆弧轨迹进行翻转移动。基板5经由图13 (b)及(C)所示的状态而最后移动到图13 (d)所示的状态。图 13 (d)的基板5的配置是这样的配置将图13 (a)的基板5翻转，将沿着输送方向的短边变更成为长边。此外，用图14来说明使基板5的配置变更的过程。图14 Ca) (d)是表示利用翻转机构65而使基板5翻转的过程的俯视图。图14 (a) (d)的基板5的配置分别与图13 (a) (d)中基板5的配置相对应。图14是表示图4中基板5旋转过程的俯视图。图14除翻转机构65外还图示了第一基板输送机构61及第二基板输送机构62。第一基板输送机构61及第二基板输送机构62具有传送棍，由其输送基板5。另外,第一基板输送机构61及第二基板输送机构62向同一方向配置。即，不具有L字形等复杂的构造。因此，本发明的贴合装置60的设置非常简便，面积效率优良。首先，如图14 Ca)所示，吸附部66吸附基板5的表面，基板5的表面被保持。然后，为成为图14 (d)的基板5的配置,基板5遵循图13 (a) (c)所示的曲线69轨迹而移动。在基板5到达图13 Cd)所示的位置后，在通过解除吸附部66的吸附而对基板5解除保持后，由第二基板输送机构62输送基板5。并且，翻转机构65回到图6 (a)的位置，用同样的动作使依次输送的其它基板5翻转。采用本实施例的翻转机构65，结果，利用一个动作，(I)使基板5翻转，同时，(2)沿着第一基板输送机构61的输送方向的长边或短边被配置成沿与输送方向正交的方向。因此，利用一个动作，而可使基板5的两个状态变更。如此，由于利用一个翻转机构65产生两个作用，故能在较短的生产间隔时间翻转基板5。即，由于利用一个翻转机构65进行基板5的翻转和沿输送方向的边的变更，故不会压迫贴合装置60中的线长。另外，在利用翻转机构65对基板5进行翻转和沿输送方向的边的变更后，可利用夹持辊16、16a对基板5从下表面贴合偏振膜。由此，可通过贴合装置60对基板5的两面都从下表面贴合偏振膜，不会妨碍整流环境。图14中，第一基板输送机构61及第二基板输送机构62的输送方向不配置在一直线上，而成为相邻的构造。对图14 (a)的基板5和图14 (d)的基板5进行比较时，互相对应的顶点之间的多个中点连接后的直线相对于第一基板输送机构61中基板5的输送方向为45°的角度。如此，第一基板输送机构61的输送方向和第二基板输送机构62的基板5的输送方向朝向同一方向，即尽管平行，但不是在同一直线上。另外，图14 (d)的基板5的配置只是一实例，不必严格做成这种配置。图5至图7所示的实施例的翻转机构包括往复部671，其相对于基部670如图中上下方向那样在一个方向伸缩自如；旋转部672，其夹插在该往复部671内且在图中水平面在90度范围内旋转；以及作为基板翻转部的基板翻转构件673，其与旋转轴6734配设成一体，旋转轴6734通过旋转自如地插入配设于该旋转部672上端的两个支承部6731、6723内的电动机6733而在180度的范围内进行旋转驱动，且基板翻转构件673与配设在所述基板支承装置66的基部660 —端的电动机6630连接成一体。由所述电动机6733旋转驱动的所述旋转轴6734构成翻转机构的基板翻转部673的翻转轴，夹插在往复部671内且在图中水平面在90度范围内旋转的旋转部672是配置变更构件，该旋转部672的旋转轴心是配置变更轴。 所述基板翻转构件673，根据来自控制装置的控制信号而从图5及图7所示的向第一基板输送机构61下游端宽度方向延伸的状态至图中跟前方向翻转180度，由于此时所述旋转部672在逆时针方向旋转90度驱动，因此，在旋转90度后，如图6所示，就处于向第二基板输送机构62上游端输送方向延伸的状态,可将输送到第一基板输送机构61下游端的基板5对其配置方向变更90度地配置于到第二基板输送机构62的上游端，并能够输送该基板5。所述旋转部672的逆时针方向的旋转，由于是这样的状态在图5所示的状态中，在沿所述第一基板输送机构61下游侧端部宽度方向被分割的多个例如四个分割部分61A、61B、61C、61D的相邻分割部分之间，进入构成所述第一及第二支承构件661、662的大致为E字状的第一及第二梳状构件的多个例如三个突出部6611 6613、6621 6623，因此，出于避免所述分割部分61A、61B、61C、61D和所述突出部6611 6613、6621 6623干涉、圆弧轨迹的控制及其它观点，将所述基板翻转构件673在上方旋转，所述三个突出部6611 6613,6621 6623位于所述分割部分61A、61B、61C、61D的上方且进入状态被消除后的翻转角度15度以上、30度、45度开始，开始所述旋转部672逆时针方向的旋转，并且，可任意设定旋转相位，以使所述旋转部672的逆时针方向的旋转一直延续到第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623开始进入图6所不的所述第二基板输送机构62上游侧端部的多个例如四个分割部分62A、62B、62C、62D内之前的翻转角度135度以上、150度、165度为止。由上述结构构成的翻转机构，其作为基板翻转部的基板翻转构件673绕所述旋转轴6734在180度的范围内进行翻转，而所述旋转轴6734旋转自如地插入在配设于在90度范围内进行旋转的所述旋转部672的上端的两个支承部6731、6732内，因此，通过组合后的沿一系列圆弧轨迹的移动而使支承在所述第一基板输送机构61下游侧端部的基板5翻转，并在沿所述第二基板输送机构62中的输送方向的方向变更而配置在所述第二基板输送机构62的上游侧端部上，故能缩短生产间隔时间。图8、图15及图16所示的实施例的翻转机构包括大致为L字状的往复部671，其如图中上下方向地相对于基部670而向一方向伸缩自如；基板翻转用的驱动电动机6733,其配设在该L字状的往复部671的顶端部上；固定部6735，其与该驱动电动机6733的旋转轴6734顶端配设成一体；上下环构件6736、6737，其一部分固定在该固定部6735上；中间旋转部6738，其绕图中逆时针方向可旋转地夹插在形成于该上下环构件6736、6737之间的空间内；以及第一及第二基板翻转部673，其成为圆周角为90度的角度关系而固定在该中间旋转构件6738的外周壁上，向第一基板输送机构61下游端宽度方向延伸，并与电动机6630连接成一体,而电动机配设在向第二基板输送机构62上游端输送方向延伸的所述基板支承装置66的两个基部660的一端上。所述驱动电动机6733的所述旋转轴6734构成翻转机构的翻转轴，与第一及第二 基部输送机构的基部输送方向配置成平行，可绕图中逆时针方向旋转地夹插在形成于上下环构件6736、6737之间的中间旋转构件6738构成配置变更构件，该中间旋转构件6738的旋转中心是配置变更轴。所述基部翻转构件673的作用是，利用基于来自控制装置的控制信号的驱动电动机6733的旋转，而从分别向图8、图15及图16所不的第一基板输送机构61下游端宽度方向及第二基板输送机构62上游端输送方向延伸的状态向图的纸面厚度方向及下方翻转180度，但此时，由于所述中间旋转构件6738和以90度的角度关系配设的第一及第二基板翻转部673在顺时针方向被旋转驱动源(未图示)旋转90度驱动，因此，在旋转90度后，如图8所示，支承在第一基板输送机构61下游端的基板5沿圆弧状轨迹移动并成为向第二基板输送机构62上游端的输送方向延伸的状态，并且，支承在第二基板输送机构62上游端的基板5沿圆弧状轨迹移动并成为向第一基板输送机构61下游端宽度方向延伸的状态。本实施例也与上述实施例相同，从为了避免所述基板支承装置66的所述分割部分61A、61B、61C、61D和所述突出部6611 6613、6621 6623干涉、圆弧轨迹的控制及其它观点考虑，所述基板翻转构件673在上方和下方旋转，从所述三个突出部6611 6613、6621 6623位于所述分割部分61A、61B、61C、61D的上方和下方且进入状态被消除后的翻转角度15度以上、30度、45度开始，开始所述中间旋转构件6738逆时针方向的旋转，并且，可任意设定旋转相位，以使所述中间旋转构件6738顺时针方向的旋转一直持续到第一及第二梳状构件的多个突出部6611 6613、6621 6623开始进入图8所示的所述第二基板输送机构62上游侧端部的多个例如四个分割部分62A、62B、62C、62D内之前的翻转角度135度以上、150度、160度为止。当所述上下环构件6736、6737达到向上方和下方旋转45度后状态时，如图15(C)及图16 (B)所示，由于所述中间旋转构件6738在顺时针方向旋转22. 5度被驱动，且以90度的角度关系配设在所述中间旋转构件6738外周壁上的第一及第二基板翻转部673在顺时针方向旋转22. 5度而被驱动，因此，通过沿组合了以旋转轴6734为中心的旋转和以所述中间旋转构件6738的旋转轴为中心的旋转后的圆弧轨迹的移动而分别成为22. 5度和112. 5度的状态。当所述上下环构件6736、6737向上方和下方旋转90度、且在成为垂直状态后时，如图15 (C)及图16 (C)所示，由于所述中间旋转构件6738向顺时针方向旋转45度而被驱动，且以90度的角度关系配设在所述中间旋转构件6738外周壁上的第一及第二基板翻转部673向顺时针方向旋转45度而被驱动，因此，通过沿上述组合了的圆弧轨迹的移动而分别成为45度和135度的状态。当所述上下环构件6736、6737是向上方和下方旋转135度的状态时，如图15 (C)及图16 (D)所示，由于所述中间旋转构件6738向顺时针方向旋转135度而被驱动，且以90度的角度关系配设在所述中间旋转构件6738外周壁上的第一及第二基板翻转部673向顺时针方向旋转62. 5度而被驱动，因此，通过沿上述组合了的圆弧轨迹的移动而分别成为
62.5度和152. 5度的状态。当所述上下环构件6736、6737是向上方和下方旋转180度的状态时，如图15 (C)及图16 (E)所示，由于所述中间旋转构件6738向顺时针方向旋转180度而被驱动，且以90度的角度关系配设在所述中间旋转构件6738外周壁上的第一及第二基板翻转部673在顺时针方向被驱动旋转90度，因此，根据沿上述组合了的圆弧轨迹的移动而分别成为90度和180度的状态。
本实施例的基板翻转部67及基板支承装置66如图8、图15(E)、图16(A)所示，由 于它们在垂直面以180度的角度关系设有两个，且与配置在所述第一及第二基板输送机构
61、62输送方向和与该输送方向正交的宽度方向的中间位置的翻转机构的两个基板翻转部673连接，同时，向第一基板输送机构61宽度方向延伸的第一基板支承装置66和向第二基板输送机构62输送方向延伸的第二基板支承装置66作成在同一平面正交的配置关系，因此，当基板翻转部67翻转180度时，通过沿上述组合了的连续的圆弧轨迹的移动而交换第一及第二基板翻转部67，能马上进行下一基板的支承和翻转，故比图4及图5所示的实施例还可缩短生产间隔时间。图17是表示使用两个翻转机构65的替换装置60变形例的俯视图。该变形例的变更点在于(I)翻转机构65是两个；(2)第一基板输送机构61具有基板载放部61a : (3)第一基板输送机构61及第二基板输送机构62配置在一直线上。另外，第一基板输送机构61及第二基板输送机构62朝同一方向配置这一点是相同的。基板载放部61a及翻转机构65，沿相对于所述端部的第一基板输送机构61的输送方向为水平的两方向而设在第一基板输送机构61中的第二基板输送机构62侧的端部。翻转机构65为图4、图13及图14说明的构造。另外，在所述端部具有将基板5输送到基板载放部61a的输送构件，具体来说，例如可例举传送辊。基板载放部61a是在翻转机构65对基板5进行移动前基板5被输送的终点的场所。采用该构造，第一基板输送机构61所输送的所述的基板5，利用输送构件而交替地输送到两个基板载放部61a上。基板载放部61a及翻转机构65各设置二对，由两个翻转机构65交替输送的多个基板5由第二基板输送机构62依次移动。在该变形例中，由于两个基板载放部61a分别沿第一基板输送机构61的水平的两方向设置，故翻转后的基板5就沿第一基板输送机构61的输送方向配置。因此，可将第一基板输送机构61及第二基板输送机构62配置在一直线上。采用该变形例，(I)由于具有两个翻转机构65，故能每单位时间双倍地处理基板5。由此，每单位时间能翻转更多的基板5，缩短生产间隔时间。此外，(2)由于第一基板输送机构61及第二基板输送机构62配置在一直线上，故能提供面积效率更优良的构造的贴合装置。由于在净室中尤其要求面积效率，故适用该贴合装置非常理想。〈其它的附带结构〉
此外，作为较佳的方式，制造系统100具有控制部70、清洗部71、贴偏检查装置72、贴合异物自动检查装置73及分类输送装置74。贴偏检查装置72、贴合异物自动检查装置73及分类输送装置74的作用是对贴合后的基板5即液晶显示装置进行检查等的处理。图18是表示具有所述液晶显示装置的制造系统的相关各构件的方框图，图19是表示液晶显示装置的制造系统动作的程序方框图。下面，说明具有液晶显示装置的各构件并说明其动作。控制部70，与翻转部65、清洗部71、贴偏检查装置72、贴合异物自动检查装置73及分类输送装置74连接，将控制信号发送给它们进行控制。控制部70主要由CPU(中央处理器)构成，根据需要而具有存储器等。当制造系统100具有清洗部71时，为了缩短清洗部71清洗间隔时间，最好第一基板输送机构61中的基板5以长边宽度输送到清洗部71。通常，由于清洗部71的清洗需要长时间，故从缩短清洗间隔时间的观点看，该结构是非常有效的。 接着，进行将偏振膜贴合在基板5两面上的贴合工序(图19的S2)，对于本工序，如图I 图17进行说明的那样。贴偏检查装置72对所贴合的基板5的偏振膜有无贴偏进行检查。贴偏检查装置72由照相机及图像处理装置构成，在由夹持辊16、16a贴合偏振膜的基板5的贴合位置设置有所述照相机。用所述照相机对基板5进行拍摄，通过对所拍摄的图像信息进行处理，可对基板5检查有无贴偏(贴偏检查工序，图9的S3)。另外，作为贴偏检查装置72，可使用以往公知的贴偏检查装置。贴合异物自动检查装置73对贴合后的基板5检查有无异物。贴合异物自动检查装置73与贴偏检查装置72相同，由照相机及图像处理装置构成，在由夹持辊16、16a贴合偏振膜后的基板5的第二基板输送机构62 (贴合装置60)上设置有所述照相机。由所述照相机对基板5进行拍摄，通过对所拍摄的图像信息进行处理，从而可对基板5检查有无贴合异物(贴合异物检查工序S4)。作为所述异物，如有尘埃等异物、小洞等。另外，作为贴合异物自动检查装置73，可使用以往公知的贴合异物检查装置。S3及S4既可按相反顺序进行，也可同时进行。另外，也可省略一方的工序。分类输送装置74根据来自贴偏检查装置72及贴合异物自动检查装置73的检查结果来判定有无贴偏和异物。分类输送装置74只要是从贴偏检查装置72及贴合异物自动检查装置73接受基于检查结果的输出信号、并可将贴合后的基板5分类成优良品和不合格品的装置即可。因此，可使用以往公知的分类输送系统。在该液晶显示装置的制造系统中，作为较佳的方式为检查贴偏和异物这两方的结构，当判定为检查出贴偏或异物时(是)，贴合后的基板5就被分类为不合格品(S7)。另一方面，当判定为都未被检查出贴偏及异物时(否)，贴合后的基板5就被分类为优良品(S6)。采用具有分类输送装置74的液晶显示装置的制造系统，能迅速对优良品及不合格品进行分类，能缩短生产间隔时间。当仅具有贴偏检查装置72或贴合异物自动检查装置73时，分类输送装置74也可是仅判定有无贴偏或异物中的一方的结构。此外，本实施例的偏振膜的贴合装置及液晶显示装置的制造系统，所述基板支承装置，由于所述基板支承装置对具有包含所述偏振膜的贴合装置的所述翻转机构的所述基板翻转部67进行旋转并进行翻转动作，因此，获得这样一种效果通过沿着所述基板翻转部的一次翻转动作所形成的圆弧轨迹的移动，而能在偏置后的位置将短边及长边的方向沿贴合有第一偏振膜的所述基板输送方向进行变更，同时能缩短生产间隔时间。另外，本实施例的偏振膜的贴合装置，由于所述基板支承装置对包含所述偏振膜的贴合装置的具有所述翻转机构的所述基板翻转部67进行翻转而进行翻转动作，因此，获得这样一种效果通过沿着所述基板翻转部的所述一次翻转动作所形成的圆弧轨迹的移动，而能在沿贴合有第一偏振膜的所述基板输送方向偏移后的位置对短边及长边的方向进行变更，同时能缩短生产间隔时间。另外，本发明不限定于上述的各实施方式，根据权利要求书及其精神而可作各种 变更，对于将不同实施例分别揭示的技术方案予以适当组合所得到的实施方式，也包含在本发明的技术范围内。产业上的实用性本发明的偏振膜的贴合装置，可用于将偏振膜贴合在基板上的领域中。
权利要求
1.一种偏振膜的贴合装置，其特征在于，包括 以长方形的基板的长边或短边沿输送方向的状态输送所述基板的第一基板输送机构； 在所述第一基板输送机构上的所述基板的下表面贴合偏振膜的第一贴合部； 使由所述第一基板输送机构输送来的所述基板翻转并配置在第二基板输送机构上的翻转机构； 以所述基板的短边或长边沿输送方向的状态输送所述基板的第二基板输送机构；以及在所述第二基板输送机构上的所述基板的下表面贴合偏振膜的第二贴合部，所述第一基板输送机构和第二基板输送机构配置为朝向同一方向， 所述翻转机构具有吸附所述基板的吸附部；和 与所述吸附部连接并使基板翻转的基板翻转部， 所述基板翻转部将第一基板输送机构上的基板配置在第二基板输送机构上，用以(I)使所述基板遵循曲线，(2)使所述基板翻转、(3)并使所述基板的沿着第一基板输送机构的输送方向的长边或短边沿与输送方向正交的方向。
2.一种偏振膜的贴合装置，其特征在于，包括 以长方形的基板的长边或短边沿输送方向的状态输送所述基板的第一基板输送机构； 在所述第一基板输送机构上的所述基板的下表面贴合偏振膜的第一贴合部； 具有对由所述第一基板输送机构输送来的所述基板进行支承的基板支承部的基板支承装置； 具有与所述基板支承部连接以使该基板支承部所支承的基板翻转配置的基板翻转部的翻转机构； 对由所述翻转机构翻转且以短边或长边沿输送方向的状态配置的所述基板进行输送的第二基板输送机构；以及 将偏振膜贴合在所述第二基板输送机构上的所述基板的下表面上的第二贴合部， 所述第一基板输送机构和第二基板输送机构配置为朝着同一方向， 所述翻转机构构成为，通过绕翻转轴及配置变更轴在一定角度范围内旋转，使所述第一基板输送机构上输送来的所述基板遵循圆弧轨迹翻转，并变更配置以使翻转了的所述基板沿着所述第二基板输送机构上的基板的输送方向，配置在所述第二基板输送机构上，所述翻转轴使基板翻转部翻转以使所述基板的表面成为背面，所述配置变更轴通过配置变更部使所述第一基板输送机构上输送的所述基板的配置方向变更至所述第二基板输送机构上输送的所述基板的配置方向。
3.如权利要求2所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 所述翻转机构构成为，所述基板翻转部与翻转轴部连接，并由旋转驱动源分别旋转驱动，所述翻转轴部具有可旋转地配设在所述配置变更部上的所述翻转轴。
4.如权利要求2所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 所述翻转机构构成为，所述配置变更部可相对旋转地配设在所述基板翻转部上，并由旋转驱动源分别旋转驱动，所述基板翻转部与具有所述翻转轴的翻转轴部连接。
5.如权利要求2至权利要求4中任一项所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于，所述基板支承装置的所述基板支承部，由对所述第一基板输送机构输送来的所述基板的两面进行夹持支承的多个支承构件构成。
6.如权利要求2至权利要求4中任一项所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 所述基板支承装置的所述基板支承部，由具有对所述第一基板输送机构输送来的所述基板的表面进行吸附的吸附部的吸附构件构成。
7.如权利要求3或权利要求4所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 所述基板支承装置构成为，配设在与进行所述基板翻转动作的基板翻转部连接的构件上，利用进入所述第一基板输送机构及第二基板输送机构的端部的第一支承构件和第二支承构件的相对移动，而将所述第一基板输送机构输送来的所述基板夹持在所述第一支承构件与第二支承构件之间以进行支承，并且，利用所述第一支承构件和第二支承构件的相对移动，而将通过夹持在由所述基板翻转部翻转后的所述第一支承构件与第二支承构件之间而被支承的所述基板解除通过夹持而进行的支承，并将其载放在所述第二基板输送机构的端部上。
8.如权利要求3或权利要求4所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 所述第一基板输送机构的端部在宽度方向被分割成多个部分，在相邻的部分之间形成有多个间隙，所述多个间隙供构成所述第一及第二支承构件的第一及第二梳状构件的多个突出部进入，并且，所述第二基板输送机构的端部在输送方向被分割成多个部分，在相邻的部分之间形成有多个间隙，所述多个间隙供翻转后的构成所述第一及第二支承构件的所述第一及第二梳状构件的多个突出部进入。
9.如权利要求8所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的第一及第二梳状构件构成为，以其局部为支点在一定角度范围内进行摆动。
10.如权利要求9所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件构成为，由摆动驱动机构摆动驱动。
11.如权利要求10所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 所述摆动驱动机构包括对构成所述第一支承构件的具有多个突出部的所述第一梳状构件进行摆动驱动的第一摆动驱动机构；以及对构成所述第二支承构件的具有多个突出部的所述第二梳状构件进行摆动驱动的第二摆动驱动机构。
12.如权利要求8所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件构成为可往复移动，以在一方向相对地接近或离开以使相对间隔产生变化。
13.如权利要求12所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 构成所述第一及第二支承构件的具有多个突出部的所述第一及第二梳状构件，由直线驱动机构驱动，作往复移动。
14.如权利要求I或权利要求2所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于，所述第一基板输送机构及第二基板输送机构配置在一直线上， 在第一基板输送机构的第二基板输送机构侧的端部，沿相对于第一基板输送机构的输送方向为水平的两方向各具有二对的基板载放部及所述翻转机构，在所述端部上具有将基板从所述端部向所述基板载放部进行输送的输送构件， 所述翻转机构使分别输送到所述基板载放部的基板翻转并配置在第二基板输送机构上。
15.如权利要求I、权利要求2或权利要求14中任一项所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 具有输送偏振膜的第一薄膜输送机构及第二薄膜输送机构， 所述第一薄膜输送机构具有将由剥离膜保护的偏振膜进行卷出的多个卷出部；将偏振膜切断的切断部；从偏振膜上去除剥离膜的去除部；以及将所去除的所述剥离膜进行卷取的多个卷取部， 所述第二薄膜输送机构具有将由剥离膜保护的偏振膜进行卷出的多个卷出部；将偏振膜切断的切断部；从偏振膜上去除剥离膜的去除部；以及将所去除的所述剥离膜进行卷取的多个卷取部， 所述第一基板输送机构及第二基板输送机构设在所述第一薄膜输送机构及第二薄膜输送机构的上部， 将去除所述剥离膜后的偏振膜贴合在基板上的所述第一贴合部设在所述第一薄膜输送机构与第一基板输送机构之间，将去除所述剥离膜后的偏振膜贴合在基板上的所述第二贴合部设在所述第二薄膜输送机构与第二基板输送机构之间。
16.如权利要求I、权利要求2、权利要求14或权利要求15中任一项所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 具有在利用所述第一贴合部将偏振膜贴合在基板的下表面上之前对基板进行清洗的清洗部， 所述第一基板输送机构以基板的短边沿输送方向的状态输送基板。
17.如权利要求15所述的偏振膜的贴合装置，其特征在于， 所述第一薄膜输送机构及所述第二薄膜输送机构具有 对被附加在从第一卷出部卷出的偏振膜上的缺陷显示进行检测的缺陷检测部； 对所述缺陷显示进行判别、使所述基板的输送停止的贴合避免部；以及 将避免了与基板贴合的偏振膜回收的回收部。
18.一种液晶显示装置的制造系统，其特征在于，具有 如权利要求I、权利要求2、权利要求14至权利要求17中任一项所述的偏振膜的贴合装置；以及 对由所述第二贴合部贴合偏振膜后的基板的贴偏进行检查的贴偏检查装置。
19.如权利要求18所述的液晶显示装置的制造系统，其特征在于， 具有分类输送装置，该分类输送装置根据所述贴偏检查装置的检查结果来判定有无贴偏、并根据该判定结果对贴合有偏振膜的基板进行分类。
20.一种液晶显示装置的制造系统，其特征在于，具有 如权利要求I、权利要求2、权利要求14至权利要求17中任一项所述的偏振膜的贴合装置；以及 贴合异物自动检查装置，该贴合异物自动检查装置对由所述贴合装置的第二贴合部贴合偏振膜后的基板上的异物进行检查。
21.如权利要求20所述的液晶显示装置的制造系统，其特征在于， 具有分类输送装置，该分类输送装置根据所述贴合异物自动检查装置的检查结果来判 定有无异物、并根据该判定结果而对贴合有偏振膜的基板进行分类。
22.如权利要求18所述的液晶显示装置的制造系统，其特征在于， 具有对由所述第二贴合部贴合偏振膜后的基板上的异物进行检查的贴合异物自动检查装置， 并具有分类输送装置，该分类输送装置根据所述贴偏检查装置的检查结果以及所述贴合异物自动检查装置的检查结果来判定有无贴偏和异物，并根据该判定结果将贴合有偏振膜的基板进行分类。
全文摘要
一种偏振膜的贴合装置，包含将基板(5)以短边沿输送方向的状态进行输送的第一基板输送机构；将偏振膜贴合在基板(5)下表面上的夹持辊；使基板(5)翻转并配置在第二基板输送机构上的翻转机构；将基板(5)以长边沿输送方向的状态进行输送的第二基板输送机构；以及将偏振膜贴合在第二基板输送机构上的基板(5)下表面上的夹持辊，第一基板输送机构和第二基板输送机构配置为朝向同一方向，翻转机构的基板翻转部将第一基板输送机构中的基板(5)配置在第二基板输送机构上，(1)使其遵循曲线、(2)使其翻转、(3)使其沿着第一基板输送机构输送方向的长边或短边沿与输送方向正交的方向。
文档编号G02F1/13GK102844702SQ201180018940
公开日2012年12月26日 申请日期2011年4月11日 优先权日2010年4月12日
发明者松本力也 申请人:住友化学株式会社