曝光装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种曝光装置，其在印刷布线基板翻转后不需要进行预校准。所述曝光装置具有：进行印刷布线基板的一面侧的曝光的一面侧曝光部（1）；交接部（2）；以及进行另一面侧的曝光的另一面侧曝光部（3），曝光部（1、3）分别具备吸附手部（5）、吸附手部（6），在设定于曝光部（1）和曝光部（3）之间的交接部（2），利用吸附手部（5）进行印刷布线基板（99）的翻转，并直接交接至吸附手部（6）。
【专利说明】曝光装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及印刷布线基板的曝光装置。
【背景技术】
[0002]在用于制造在基板两面形成有电路的印刷布线基板的曝光装置中，排列有两台曝光装置，在该曝光装置之间设有基板的翻转装置，以进行基板两面的曝光。另外，在利用输送器将印刷布线基板从曝光装置向翻转装置搬送时、和在利用翻转装置进行翻转时，印刷布线基板从基准位置偏移，因此为了进行该位置校正，在翻转装置的出口侧设置了预校准装直。
[0003]因此，在这样的曝光装置中，导致装置复杂化、生产线变长、成本上升以及制造时间增长、生产率降低等问题。
[0004]因此，一直以来进行了各种尝试，例如在下述专利文献I中提出了如下方案:通过将印刷布线基板固定来进行翻转，从而防止位置偏移而除去翻转装置的出口侧的预校准装置。
[0005]专利文献1:日本特开平7-251921号公报
[0006]但是，在上述以往的结构中，虽能够除去预校准装置，但需要用于从曝光装置向翻转装置、或从翻转装置向曝光装置搬送印刷布线基板的搬送输送器等搬送装置，因此存在装置整体依然复杂的问题。
【发明内容】
[0007]本发明的目的在于解决上述现有技术的问题。
[0008]为了达成上述目的，本发明的印刷布线基板的曝光装置的特征在于，所述曝光装置具备:一面侧曝光部，其对印刷布线基板的一面侧进行曝光；另一面侧曝光部，其对该印刷布线基板的另一面侧进行曝光；交接部，其设于所述曝光部和曝光部之间，为了使在一个曝光部完成了曝光后的印刷布线基板在另一个曝光部进行曝光而进行交接；一面侧吸附手部，其吸附固定所述印刷布线基板的一面侧，并在所述一面侧曝光部和所述交接部之间移送印刷布线基板；另一面侧吸附手部，其吸附固定所述印刷布线基板的另一面侧，并在所述另一面侧曝光部和所述交接部之间移送印刷布线基板；以及手部旋转机构，其安装于所述一面侧吸附手部和另一面侧吸附手部中的至少一方，通过使所述吸附手部旋转，来使印刷布线基板翻转180度，在所述交接部，利用所述手部旋转机构使吸附手部旋转而翻转印刷布线基板，从而在所述一面侧吸附手部和另一面侧吸附手部之间进行印刷布线基板的交接。
[0009]另外，在本发明中，所述曝光装置也可以构成为，还具备:搬入搬出装置，其设于所述一面侧曝光部的与交接部侧相反的一侧、和所述另一面侧曝光部的与交接部侧相反的一侧，用于从该曝光部搬入或搬出印刷布线基板；以及印刷布线基板的预校准装置，其设于该搬入搬出部，所述曝光装置能够进行使印刷布线基板从所述一面侧曝光部移向另一面侧曝光部的工序、以及相反地使印刷布线基板从另一面侧曝光部移向一面侧曝光部的工序。
[0010]根据本发明的曝光装置，在交接部利用吸附手部直接进行印刷布线基板的交接，而不使用以往的翻转装置，因此不会产生印刷布线基板的基准位置的偏移，因此不需要在下游侧的曝光部的入口侧设置预校准部。另外，通过设于吸附手部的手部旋转机构进行印刷布线基板的翻转，因此也不需要翻转装置。而且，还具有如下等效果:从一个曝光部至另一个曝光部，全部利用吸附手部进行印刷布线基板的移送，因此，不需要在它们之间另行设置搬送装置。另外，具有能够灵活应对生产线、不需要改造成本等的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是示出本发明的一个实施方式的概要俯视图。
[0012]图2是示出本发明的一个实施方式的概要主视图。
[0013]图3是本发明的一个实施方式的一面侧及另一面侧吸附手部5的主视图。
[0014]图4是本发明的一个实施方式的一面侧及另一面侧吸附手部5的俯视图。
[0015]标号说明
[0016]1:曝光部；2:交接部；3:曝光部；5:吸附手部；6:吸附手部；7:手部旋转机构；10:搬入搬出部；11:辊式输送器；15:基座；30:搬入搬出部；31:辊式输送器；35:基座；50:行走导轨；51:行走基座；52:Z轴；53:Y轴；54:吸附机构；60:行走导轨；61:行走基座；62:Ζ轴；63:Υ轴；64:吸附机构；70:旋转马达；99:印刷布线基板。
【具体实施方式】
[0017]下面，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
[0018]图1是本发明的用于制造印刷布线基板的曝光装置的俯视图，图2是主视图。
[0019]该曝光装置具有进行一面侧的曝光的一面侧曝光部1、交接部2以及进行另一面侧的曝光的另一面侧曝光部3，它们依次呈直线状大致等间隔地配置。曝光部I具备搬入搬出部10，曝光部3具备搬入搬出部30，搬入搬出部10和搬入搬出部30从上一工序搬入印刷配线基板99或者将印刷配线基板99搬出至下一工序。
[0020]S卩，在上一工序实施了光刻胶处理后的印刷布线基板99从搬入搬出部10经由曝光部1、交接部2、曝光部3，在一面侧和另一面侧的表背面进行曝光，并从搬入搬出部30被送至下一工序。另外，如后述那样，也可以应对相反的流线，在该情况下，从搬入搬出部30经过曝光部3、交接部2、曝光部1，并从搬入搬出部10送至下一工序。
[0021]曝光部1、3构成为，分别具备基座15、基座35，在这里载置印刷布线基板99，并利用对位装置(未图示)进行对位后，从曝光光源(未图示)发出曝光光线，将在掩模(未图示)上描绘的图案烧接到印刷布线基板99上。
[0022]在曝光部I和曝光部3之间设定交接部2，在这里进行印刷布线基板99的翻转和交接。
[0023]在该曝光装置中，设有用于吸附印刷布线基板99的一面侧并进行搬送的一面侧吸附手部5、和用于吸附印刷布线基板99的另一面侧并进行搬送的另一面侧吸附手部6。吸附手部5在搬入搬出部10、曝光部1、交接部2的范围具备沿X方向延伸的行走导轨50，能够将印刷布线基板99从搬入搬出部10向曝光部I搬送，并从曝光部I搬送至交接部2。并且，吸附手部5构成为，能够反方向地从交接部2向曝光部I搬送，并从曝光部I搬送至搬入搬出部10。
[0024]吸附手部6在搬入搬出部30、曝光部3、交接部2的范围具备沿X方向延伸的行走导轨60，能够将印刷布线基板99从交接部2向曝光部3搬送，并从曝光部3搬送至搬入搬出部30。并且，吸附手部6构成为，遗够反方向地从搬入搬出部30向曝光部3搬送，并从曝光部3搬送至交接部2。
[0025]另外，在该实施方式中，行走导轨60配置于行走导轨50的上方，并且在交接部2处空出了印刷布线基板99如后所述地转动时不发生接触的间隔。
[0026]如图3所示,吸附手部5具备在行走导轨50行走的行走基座51和从该行走基座51向上方延伸设置的Z轴52。在该Z轴52设有沿基座15的宽度方向即Y方向延伸的Y轴53，Y轴53以能够沿上下方向升降的方式安装于Z轴52上。利用该结构，Y轴53构成为能够沿Z方向上下升降且能够沿X方向行走。
[0027]在Y轴53安装有吸附机构54，构成为利用该吸附机构54吸附固定印刷布线基板99，并搬送印刷布线基板99。
[0028]吸附机构54形成为板状的矩形形状，如图4所示，在其中心线处安装于Y轴53。
[0029]在该实施方式中，吸附手部5具备手部旋转机构7，Y轴53构成为能够利用手部旋转机构7的旋转马达70旋转360度。利用该结构，吸附手部5构成为能够在其中心线处使印刷布线基板99旋转180度而翻转。
[0030]如图3所示，吸附手部6也同样地具备在行走导轨60行走的行走基座61和从该行走基座61向上方向延伸设置的Z轴62。在该Z轴62设有沿基座35的宽度方向即Y方向延伸的Y轴63，并且Y轴63以能够沿上下方向升降的方式安装于Z轴62上。利用该结构，Y轴63构成为能够沿上下方向升降且能够沿X方向行走。
[0031]在Y轴63安装有吸附机构64，构成为利用该吸附机构64吸附固定印刷布线基板99，并搬送印刷布线基板99。
[0032]吸附机构64形成为板状的矩形形状，如图4所示，在其中心线处安装于Y轴63。
[0033]搬入搬出部10具备辊式输送器11，辊式输送器11构成为，与来自上一工序的辊式输送器11’连续，以搬入来自上一工序的印刷布线基板99。并且构成为，相反地从辊式输送器11将印刷布线基板99向辊式输送器11’搬出。
[0034]搬入搬出部30也同样地具备辊式输送器31，辊式输送器31构成为，与来自下一工序的辊式输送器31’连续，以向下一工序搬出印刷布线基板99。并且构成为，相反地从辊式输送器11’将印刷布线基板99搬入辊式输送器11。
[0035]搬入搬出部10和搬入搬出部30分别具备作为预校准装置的校准板(未图示)，而且在校准板设有止挡(未图示)和能够移动的校准销(未图示)。另外，校准板具备吸附固定印刷布线基板99的吸附装置。
[0036]校准板构成为能够升降，并构成为能够采取位于所述辊式输送器11、辊式输送器31的下侧的状态和位于所述棍式输送器11、棍式输送器31的上侧的状态。
[0037]而且构成为，当利用辊式输送器11、辊式输送器31接收印刷布线基板99时，使校准板上升而将辊式输送器11和辊式输送器31收纳于下方，利用止挡限制印刷布线基板99的行进方向位置并且利用校准销调整宽度方向位置，来进行预校准。预校准后，利用吸附装置将印刷布线基板99固定于预校准后的位置。
[0038]接着，对动作进行说明。对在图1和图2中，对生产线从左向右流动的情况的动作进行说明。
[0039]从上一工序经由辊式输送器11’将印刷布线基板99搬送至辊式输送器11上时，在这里进行预校准，并将印刷布线基板99吸附保持于校准板。
[0040]吸附手部5移动至该印刷布线基板99的上方，吸附机构54下降并吸附固定印刷布线基板99的上表面而将其搬送至曝光部1，将印刷布线基板99载置于基座15上并放开，然后吸附手部5退避至预定的位置。
[0041]在曝光部1，除了进行印刷布线基板99的校准之外，还对其一面侧进行曝光。
[0042]曝光完成后，利用吸附机构54再次吸附印刷布线基板99的一面侧，并将印刷布线基板99搬送至交接部2。在交接部2驱动手部旋转机构7的旋转马达70，如图3所示地使印刷布线基板99旋转180度，从而翻转印刷布线基板99。由此，印刷布线基板99的未曝光的另一面侧朝向上方。
[0043]接着，如图2所示，吸附手部6移动至交接部2，其吸附机构64下降并吸附固定经翻转而变成朝向上方的印刷布线基板99的另一面侧。同时解除吸附机构54的固定，吸附手部6将印刷布线基板99搬送至曝光部3，将印刷布线基板99载置于基座35，并解除固定，然后吸附手部6退避至预定的位置。印刷布线基板99在基座35上校准并对其另一面侧进行曝光。
[0044]曝光完成后，利用吸附机构64吸附固定印刷布线基板99的另一面侧，并搬送至搬入搬出部30。而且，印刷布线基板99被从辊式输送器31移送至辊式输送器31’，从而送至
下一工序。
[0045]在上述内容中，对从左向右流动的生产线的情况进行说明，但从右向左流动的生产线的动作也大致相同，在该情况下，在搬入搬出部30进行预校准。另外，在交接部2利用吸附手部6搬送完成了另一面侧的曝光后的印刷布线基板99，并在这里利用翻转了 180度的吸附机构54来吸附印刷布线基板99的下侧(一面侧)，通过吸附机构54转动180度而返回原样来翻转印刷布线基板99。由于其他的动作与上述动作相反，所以省略了说明。
[0046]如上所说明的那样，根据本发明的曝光装置，利用吸附手部5进行印刷布线基板99的搬送、翻转，并将印刷布线基板99直接交接至吸附手部6，因此不会产生印刷布线基板99的位置偏移。另外，在从右侧向左侧的生产线的情况下也利用吸附手部6进行印刷布线基板99的搬送，并直接交接至吸附手部5，利用吸附手部5翻转印刷布线基板99，因此同样地不会产生印刷布线基板99的位置偏移。因此，不需要翻转装置和翻转后的预校准装置，能够使装置简化。另外，在交接部2进行的翻转是以印刷布线基板99的中心线为轴进行的翻转，因此交接部2本身的空间也是最少的。
[0047]而且，在曝光部I和曝光部3之间，不使用辊式输送器等，因此抑制起灰。
【权利要求】
1.一种曝光装置，其是印刷布线基板的曝光装置，其特征在于， 所述曝光装置具备: 一面侧曝光部，其对印刷布线基板的一面侧进行曝光； 另一面侧曝光部，其对该印刷布线基板的另一面侧进行曝光； 交接部，其设于所述一面侧曝光部和所述另一面侧曝光部之间，为了使在一个曝光部完成了曝光后的印刷布线基板在另一个曝光部进行曝光而进行交接； 一面侧吸附手部，其吸附固定所述印刷布线基板的一面侧，并在所述一面侧曝光部和所述交接部之间移送印刷布线基板； 另一面侧吸附手部，其吸附固定所述印刷布线基板的另一面侧，并在所述另一面侧曝光部和所述交接部之间移送印刷布线基板；以及 手部旋转机构，其安装于所述一面侧吸附手部和另一面侧吸附手部中的至少一方，通过使所述吸附手部旋转，来使印刷布线基板翻转180度， 在所述交接部，利用所述手部旋转机构使吸附手部旋转而翻转印刷布线基板，从而在所述一面侧吸附手部和另一面侧吸附手部之间进行印刷布线基板的交接。
2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于， 所述曝光装置还具备: 搬入搬出装置，其设于所述一面侧曝光部的与交接部侧相反的一侧和所述另一面侧曝光部的与交接部侧相反的一侧，用于从该曝光部搬入或搬出印刷布线基板；以及印刷布线基板的预校准装置，其设于该搬入搬出装置， 所述曝光装置能够进行使印刷布线基板从所述一面侧曝光部移向另一面侧曝光部的工序、以及相反地使印刷布线基板从所述另一面侧曝光部移向一面侧曝光部的工序。
【文档编号】G03F7/20GK103488052SQ201310193949
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2013年5月22日 优先权日:2012年6月11日
【发明者】渡边健二 申请人:株式会社 阿迪泰克工程